JP3810127B2 - ガラス基板分断方法 - Google Patents

ガラス基板分断方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3810127B2
JP3810127B2 JP10551196A JP10551196A JP3810127B2 JP 3810127 B2 JP3810127 B2 JP 3810127B2 JP 10551196 A JP10551196 A JP 10551196A JP 10551196 A JP10551196 A JP 10551196A JP 3810127 B2 JP3810127 B2 JP 3810127B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
pair
scribe line
along
spacer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP10551196A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09286628A (ja
Inventor
孝 刈谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP10551196A priority Critical patent/JP3810127B2/ja
Publication of JPH09286628A publication Critical patent/JPH09286628A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3810127B2 publication Critical patent/JP3810127B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04Arrangements of vacuum systems or suction cups

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は単一の大きなガラス基板や、貼り合わてなる大きな一対のガラス基板を所要通りのサイズに分断し、これによって多数の液晶表示素子やエレクトロルミネッセンスなどの電子部品もしくはデバイス部品に供して、量産性を向上せしめたガラス基板分断方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示素子は2枚のガラス基板を貼り合わせて、その間に液晶を封入した構成であって、その貼り合わせ基板を多数個作成するために、ガラス基板の分断技術が開発されている。
【0003】
特開平4−246618号に提案された技術を図3によって説明すると、まず同図(A)に示す通り、テーブル上に配置したガラス基板1をローラ2で挟持しながら送り、次いで真空吸着可能なホルダー3でガラス基板1の液晶表示素子の中央部に相当する位置を吸着し、その後に分断位置にカッター4でスクライブライン5を入れる。その際にカッター4の下側はローラ6で受けている。
【0004】
次に同図(B)に示す通り、ホルダー3をガラス基板1のスクライブライン5に引張応力がかかるように、0.5〜3.0度傾斜させる。そのときにホルダー3に内蔵した応力センサーでガラス基板1にかかる応力を調整しながら、スクライブライン5にクラッチを入れる。
【0005】
そして、ガラス基板の裏面についても同図(A)および(B)の工程を実施して、さらに同図(C)に示す通り、ホルダー3を右方向に移動させると、液晶表示素子7はガラス基板から分断される。
【0006】
また、特開平5−286733号に提案された技術を図4でもって説明すると、2枚のガラス基板8、9をスペーサー材10を介して貼り合わせた構造のものに対して、その下側のガラス基板8に、分断しようとするスクライブライン11を設け、他方のガラス基板9上に直径3mmのウレタン線材12を載せ、このウレタン線材12上を凹溝を有する回転コロ13を約30kgの押圧荷重Pをかけながら回転させて、下側のガラス基板8を分断している。
【0007】
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら、特開平4−246618号の技術においては、1枚のガラス基板1より多くの基板を得たい場合に、より多くのスクライブライン5が要求されることになるので、多様なライン5を設けることになり、それらに対して個別にホルダー3の吸着位置と、ホルダー3のサイズ等を厳密に設定しなければならなくなり、これによって煩雑な作業となって、製造効率が低下し、その結果、製造コストが高くなるという問題点がある。
【0008】
その上、ホルダー3の吸着位置によっては、高精度な分断ができないという問題点もある。この問題点を図5により説明すると、図5に示すように隣接した2本のスクライブライン5がある場合には、これらのスクライブライン5と吸着位置14との関係で、ホルダー3にてガラス片を取り除く際に、自ずと限界があり、しかも、そのガラス片が小さすぎると、ホルダー3を傾けた際にはずれることになって、高精度な分断ができなくなり、あるいは15の位置が吸着位置である場合には、その狭い領域にホルダー3を配置するために、ホルダー自体のサイズを考慮しなければならないという問題点がある。
【0009】
また、特開平5−286733号の技術においては、スクライブライン11毎に線材12を移動させる必要があり、製造効率が低下するという問題点がある。しかも、スクライブライン11に精度よく線材12を載置させるには、相当に困難であり、そのために製造効率が下がり、製造コストが上がるという問題点もある。
【0010】
したがって本発明は、叙上に鑑みて完成されたものであり、その目的はスクライブラインの設定精度を高めるとともに、作業効率を高め、これによって製造コストを低減させたガラス基板分断方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明のガラス基板分断方法は、ステージ上にライン状のスペーサを介して、貼り合わせてなる一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって一方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで一方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって一方のガラス基板を複数に分断し、
その後、貼り合わせてなる一対のガラス基板を反転させて、ステージ上にライン状のスペーサを介して、一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって他方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで他方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって他方のガラス基板を複数に分断することを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図1と図2により説明する。図1は本発明のガラス基板分断方法に用いられるガラス基板分断装置16の正面概略図であり、図2はその側面図である。
【0013】
このガラス基板分断装置16において、17はステージ、18はステージ17内に設けられた隙間、19はステージ17上に配列されたライン状のスペーサ、20は分断されるガラス基板であり、ステージ17上にスペーサ19を介してガラス基板20を配している。このガラス基板20は単一のガラス基板や貼り合わてなる一対のガラス基板でもよい。
【0014】
そして、スペーサ19のラインにそってスクライブライン21を設定することで、隙間18を通して内部空間22に対して真空引きをおこなうことができ、これによってステージ17上にガラス基板20を固定できる。
【0015】
また、このように固定されたガラス基板20上にカッター装置23を載置する。このカッター装置23において、24はホイール状のカッター、25はカッター24を支持するホルダー、26は一対のローラー、27はエアーシリンダーである。このエアーシリンダー27はホルダー25(カッター24)とローラー26と連結され、それぞれを随時上下運動させる。
【0016】
また、28はスライド軸であって、このスライド軸28に沿ってカッター装置23を所定の位置や方向に走査できる。したがって、一対のローラー26をその対称面がスクライブライン21上に配されるように載置して、一対のローラー26をスクライブライン21にそって送ることができる。
【0017】
次に上記構成のガラス基板分断装置16を用いたガラス基板分断方法を説明する。この方法は順次下記(1)〜(4)からなる。
【0018】
(1)ステージ17上にスペーサ19を介してガラス基板20を配する。その際にスペーサ19のラインにそってガラス基板20にスクライブライン21を設定する。
【0019】
(2)ステージ17内に設けられた隙間18を通して内部空間22に対して真空引きをおこなって真空吸着させ、ステージ17上にガラス基板20を固定する。
【0020】
(3)カッター装置23を走査して、カッター24をスクライブライン21の直上に配し、さらにエアーシリンダー27でホルダー25(カッター24)を押圧しながら、スクライブライン21にそって切り込みを入れる。
【0021】
(4)一対のローラー26をその対称面がスクライブライン21(切り込みライン)上に配されるように載置して、エアーシリンダー27で一対のローラー26をスクライブライン21にそって押圧しながら移動させることによってガラス基板20を複数に分断する。
【0022】
以上の一連の工程で単一のガラス基板20を所要通りに分断するできる。また、貼り合わてなる一対のガラス基板20を分断する場合には、その一方のガラス基板を上記一連の工程(1)〜(4)で分断し、その後に他方のガラス基板を同様に工程(1)〜(4)で分断する。
【0023】
かくして上記実施形態のガラス基板分断方法によれば、カッター24と一対のローラー26とを組み合わせてなるカッター装置23を走査して、カッター24をスクライブライン21の直上に配し、まずはカッター24でもってスクライブライン21に切り込みを入れ、その直後に一対のローラー26でガラス基板20に歪みを入れるという連続した工程によって、スクライブライン21の設定精度を高めることができ、その上、作業効率が向上した。
【0024】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更や改良等は何ら差し支えない。たとえば、この実施形態であれば、真空吸着でステージ17上にガラス基板20を固定したが、その他に固定治具によりガラス基板20をステージ17上に固定してもよく、かかる固定治具によれば、ガラス板の四方端面のすべて、もしくは一部を固定する治具を配置することで、その板の前後左右の動きを防ぐことができる。
【0025】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、ライン状のスペーサを介してガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそってガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでカッターでガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら分断する工程でもって、スクライブラインの設定精度を高めるとともに、作業効率が高まって、製造コストが低減したガラス基板分断方法が提供できた。
【0026】
また、本発明のガラス基板分断方法によって、各種電子部品もしくはデバイス部品、たとえば液晶表示素子やエレクトロルミネッセンス、さらに配線パターニングされた基板などの量産性が向上し、製造コストが低減した。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガラス基板分断方法に用いられるガラス基板分断装置の正面概略図である。
【図2】本発明のガラス基板分断方法に用いられるガラス基板分断装置の側面概略図である。
【図3】(A),(B),(C)は従来のガラス基板分断方法の説明図である。
【図4】従来のガラス基板分断方法の説明図である。
【図5】従来のガラス基板分断方法に関する要部拡大断面図である。
【符号の説明】
16 ガラス基板分断装置
17 ステージ
19 スペーサ
20 ガラス基板
21 スクライブライン
23 カッター装置
24 カッター
26 一対のローラー
28 スライド軸

Claims (1)

  1. ステージ上にライン状のスペーサを介して、貼り合わてなる一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって一方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで一方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって一方のガラス基板を複数に分断し、
    その後、貼り合わせてなる一対のガラス基板を反転させて、ステージ上にライン状のスペーサを介して、一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって他方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで他方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって他方のガラス基板を複数に分断することを特徴とするガラス基板分断方法。
JP10551196A 1996-04-25 1996-04-25 ガラス基板分断方法 Expired - Fee Related JP3810127B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10551196A JP3810127B2 (ja) 1996-04-25 1996-04-25 ガラス基板分断方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10551196A JP3810127B2 (ja) 1996-04-25 1996-04-25 ガラス基板分断方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09286628A JPH09286628A (ja) 1997-11-04
JP3810127B2 true JP3810127B2 (ja) 2006-08-16

Family

ID=14409635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10551196A Expired - Fee Related JP3810127B2 (ja) 1996-04-25 1996-04-25 ガラス基板分断方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3810127B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007142264A1 (ja) * 2006-06-08 2007-12-13 Toray Engineering Co., Ltd. 基板割断装置、基板割断方法、及びこの装置または方法を用いて割断した割断基板

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4619024B2 (ja) * 2004-03-19 2011-01-26 芝浦メカトロニクス株式会社 脆性材料の割断加工システム及びその方法
JP2006062891A (ja) * 2004-08-24 2006-03-09 Amagasaki Kosakusho:Kk 合せガラス切断方法およびその装置
KR101096733B1 (ko) 2004-12-27 2011-12-21 엘지디스플레이 주식회사 기판의 절단장치 및 이를 이용한 기판의 절단방법
JP5129826B2 (ja) * 2010-02-05 2013-01-30 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板のブレイク方法
JP6435698B2 (ja) * 2014-08-07 2018-12-12 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置
KR101756072B1 (ko) * 2015-08-07 2017-07-11 로체 시스템즈(주) 롤러를 이용한 비금속 재료의 절단 장치 및 절단 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007142264A1 (ja) * 2006-06-08 2007-12-13 Toray Engineering Co., Ltd. 基板割断装置、基板割断方法、及びこの装置または方法を用いて割断した割断基板

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09286628A (ja) 1997-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7131562B2 (en) Scribing and breaking apparatus, system therefor, and scribing and breaking method
TWI435853B (zh) Cutter wheel, a method and a segmentation method using a brittle material substrate thereof, a method of manufacturing a cutter wheel
US7439665B2 (en) Flat display panel and method of dividing the flat display panel
TWI393618B (zh) Scribing device and scribing method
CN102057314B (zh) 基板加工系统
EP1475357B1 (en) Fragile material substrate parting system
JP2002103295A (ja) 脆性基板のブレイク方法及び装置
JP2004348111A (ja) 表示装置の製造方法及び製造装置
KR102205577B1 (ko) 접합 기판의 브레이크 방법
JP3810127B2 (ja) ガラス基板分断方法
US6945443B2 (en) Device for parting laminated substrate and liquid crystal cell
JP3610163B2 (ja) ガラス基板分断方法
JP2003313036A (ja) ガラス分断方法とその装置
JP3431951B2 (ja) 半導体基板貼り合わせ装置
JPH05297334A (ja) 液晶表示素子用ガラス基板の切断加工方法
JPH09278470A (ja) 液晶ガラス板の切断装置
JPH04246618A (ja) ガラス基板分断方法及びその装置
JP2021084382A (ja) 分断方法および分断装置
JPS6135699B2 (ja)
JPH03280448A (ja) 半導体ウエーハのダイシング方法
CN112368245B (zh) 玻璃基板截断装置以及玻璃基板截断方法
TW202220938A (zh) 貼合基板之加工方法
JPH07100799A (ja) ガラス基板の切断方法
JPH07111202A (ja) チップ部品用基板材のブレイク方法
JP2007015891A (ja) 表示装置の製造方法及び製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060523

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees