JP3423014B2 - セラミック基板の分割方法およびその分割装置 - Google Patents
セラミック基板の分割方法およびその分割装置Info
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- JP3423014B2 JP3423014B2 JP26496792A JP26496792A JP3423014B2 JP 3423014 B2 JP3423014 B2 JP 3423014B2 JP 26496792 A JP26496792 A JP 26496792A JP 26496792 A JP26496792 A JP 26496792A JP 3423014 B2 JP3423014 B2 JP 3423014B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多数の分割溝が平行に
形成されている短冊状のセラミック基板をチップ状に分
割する（ブレーキングする）際に用いて好適なセラミッ
ク基板の分割方法と、その分割装置とに関する。
形成されている短冊状のセラミック基板をチップ状に分
割する（ブレーキングする）際に用いて好適なセラミッ
ク基板の分割方法と、その分割装置とに関する。
【０００２】
【従来の技術】チップ部品のベース材などとして使用さ
れるチップ状のセラミック基板は、縦横に多数の分割溝
を形成した大面積のセラミック基板を縦方向または横方
向の分割溝に沿って一次分割して短冊状のセラミック基
板となした後、これを残りの分割溝に沿って二次分割す
ることにより得られる。そして、かかる二次分割を効率
的に行うために、従来、上記した短冊状のセラミック基
板を搬送用ベルトに搭載して搬送しながら、この短冊状
セラミック基板を、上面を凸に湾曲させた金属製の固定
プレートと、この湾曲面に合致する凹状底面を有して固
定プレートの上方で昇降可能な可動プレートとの間に位
置させ、次いで、加圧シリンダに連結した可動プレート
を固定プレートに向けて押圧付勢することにより、この
可動プレートの凹状底面に圧接される短冊状セラミック
基板に曲げ応力を加えてチップ状のセラミック基板に分
割するという分割方法ならびに分割装置が採用されてい
る。
れるチップ状のセラミック基板は、縦横に多数の分割溝
を形成した大面積のセラミック基板を縦方向または横方
向の分割溝に沿って一次分割して短冊状のセラミック基
板となした後、これを残りの分割溝に沿って二次分割す
ることにより得られる。そして、かかる二次分割を効率
的に行うために、従来、上記した短冊状のセラミック基
板を搬送用ベルトに搭載して搬送しながら、この短冊状
セラミック基板を、上面を凸に湾曲させた金属製の固定
プレートと、この湾曲面に合致する凹状底面を有して固
定プレートの上方で昇降可能な可動プレートとの間に位
置させ、次いで、加圧シリンダに連結した可動プレート
を固定プレートに向けて押圧付勢することにより、この
可動プレートの凹状底面に圧接される短冊状セラミック
基板に曲げ応力を加えてチップ状のセラミック基板に分
割するという分割方法ならびに分割装置が採用されてい
る。
【０００３】このほか、特公平２−６０４９３号公報に
公告されているように、搬送用ベルトに従動して回転自
在な一対のベアリングの上方にゴムローラを配置し、こ
のゴムローラを搬送用ベルト上の短冊状セラミック基板
に圧接させて曲げ応力を加えることにより分割するとい
う分割装置も提案されている。
公告されているように、搬送用ベルトに従動して回転自
在な一対のベアリングの上方にゴムローラを配置し、こ
のゴムローラを搬送用ベルト上の短冊状セラミック基板
に圧接させて曲げ応力を加えることにより分割するとい
う分割装置も提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た前者の従来技術は、短冊状セラミック基板に圧接する
可動プレートの凹状底面が局部的に摩耗して曲率が変わ
りやすいので、分割工程後、分割すべき個所が分割され
ずに残ってしまったり分割面にバリが形成されてしまう
等の不良を招来しやすく、また、かかる分割不良を極力
回避するために可動プレートを短期間のうちに交換しな
ければならず、これが加工コストを押し上げる要因とな
っていた。これに対し、上記した後者の従来技術は、ゴ
ムローラが回転しながら短冊状セラミック基板に圧接す
るので該ローラの外周面の摩耗は比較的むらが少ない
が、ゴム材を頻繁に短冊状セラミック基板に圧接させる
ことになるので摩耗が早く、分割不良を回避するために
はゴムローラを短期間のうちに交換しなければならなか
った。
た前者の従来技術は、短冊状セラミック基板に圧接する
可動プレートの凹状底面が局部的に摩耗して曲率が変わ
りやすいので、分割工程後、分割すべき個所が分割され
ずに残ってしまったり分割面にバリが形成されてしまう
等の不良を招来しやすく、また、かかる分割不良を極力
回避するために可動プレートを短期間のうちに交換しな
ければならず、これが加工コストを押し上げる要因とな
っていた。これに対し、上記した後者の従来技術は、ゴ
ムローラが回転しながら短冊状セラミック基板に圧接す
るので該ローラの外周面の摩耗は比較的むらが少ない
が、ゴム材を頻繁に短冊状セラミック基板に圧接させる
ことになるので摩耗が早く、分割不良を回避するために
はゴムローラを短期間のうちに交換しなければならなか
った。
【０００５】本発明はこのような従来技術の課題に鑑み
てなされたもので、その目的は、バリ等の発生を少なく
して確実にセラミック基板を分割することが可能とな
り、また分割不良を回避するために必要な部品の交換周
期が長くて加工コストが低減できるセラミック基板の分
割方法およびその分割装置を提供することにある。
てなされたもので、その目的は、バリ等の発生を少なく
して確実にセラミック基板を分割することが可能とな
り、また分割不良を回避するために必要な部品の交換周
期が長くて加工コストが低減できるセラミック基板の分
割方法およびその分割装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による分割方法は、多数の分割溝が平行に形
成されているセラミック基板を水平な載置面に搭載して
搬送する搬送用ベルトと、該搬送用ベルトに対向して一
体的に駆動される押え用ベルトとで上記セラミック基板
を挟持しながら搬送し、上記搬送用ベルトおよび上記押
え用ベルトを介して上記セラミック基板を、上記搬送用
ベルトに従動して回転する円形の第１の分割用ローラ
と、該第１の分割用ローラに対して上記搬送用ベルト、
上記セラミック基板及び上記押え用ベルトを間に挟み込
んで対峙し、さらに該第１の分割用ローラの軸心のセラ
ミック基板搬送方向の下流側の斜め上方に軸心を位置し
て配置され、上記押え用ベルトに従動して回転する円形
の第２の分割用ローラとで挟み込んで、上記セラミック
基板の後端側を上記押え用ベルトで押えつつ、上記第２
の分割用ローラを下方へ圧接して上記セラミック基板の
先端側にセラミック基板搬送方向と直角な方向の押圧力
を加えて曲げ応力を生じさせ上記分割溝に沿って分割
し、 上記搬送用ベルトと上記押え用ベルトとで上記セラ
ミック基板を挟持しながら、該搬送用ベルトと上記押え
用ベルトは、上記第２の分割用ローラによって上記セラ
ミック基板の分割時に上記セラミック基板搬送方向の下
流側の斜め下方に屈曲させ、その後水平方向に向くよう
に屈曲されて、上記第１及び第２の分割用ローラの上流
側、下流側で水平な載置面を形成して上記セラミック基
板を移送するようにした。
に、本発明による分割方法は、多数の分割溝が平行に形
成されているセラミック基板を水平な載置面に搭載して
搬送する搬送用ベルトと、該搬送用ベルトに対向して一
体的に駆動される押え用ベルトとで上記セラミック基板
を挟持しながら搬送し、上記搬送用ベルトおよび上記押
え用ベルトを介して上記セラミック基板を、上記搬送用
ベルトに従動して回転する円形の第１の分割用ローラ
と、該第１の分割用ローラに対して上記搬送用ベルト、
上記セラミック基板及び上記押え用ベルトを間に挟み込
んで対峙し、さらに該第１の分割用ローラの軸心のセラ
ミック基板搬送方向の下流側の斜め上方に軸心を位置し
て配置され、上記押え用ベルトに従動して回転する円形
の第２の分割用ローラとで挟み込んで、上記セラミック
基板の後端側を上記押え用ベルトで押えつつ、上記第２
の分割用ローラを下方へ圧接して上記セラミック基板の
先端側にセラミック基板搬送方向と直角な方向の押圧力
を加えて曲げ応力を生じさせ上記分割溝に沿って分割
し、 上記搬送用ベルトと上記押え用ベルトとで上記セラ
ミック基板を挟持しながら、該搬送用ベルトと上記押え
用ベルトは、上記第２の分割用ローラによって上記セラ
ミック基板の分割時に上記セラミック基板搬送方向の下
流側の斜め下方に屈曲させ、その後水平方向に向くよう
に屈曲されて、上記第１及び第２の分割用ローラの上流
側、下流側で水平な載置面を形成して上記セラミック基
板を移送するようにした。
【０００７】また、上記目的を達成するために、本発明
による分割装置は、水平な載置面に多数の分割溝が平行
に形成されているセラミック基板を搭載して搬送するた
めの搬送用ベルトと、該搬送用ベルトの載置面に対向し
て一体的に駆動され、該搬送用ベルトの載置面上のセラ
ミック基板に圧接して挟持する押え用ベルトと、上記搬
送用ベルトに従動して回転自在な円形の第１の分割用ロ
ーラと、上記搬送用ベルトに従動して回転自在で、上記
第１の分割用ローラに対して上記搬送用ベルト、上記セ
ラミック基板及び上記押え用ベルトを間に挟み込んで対
峙し、さらに該第１の分割用ローラの軸心のセラミック
基板搬送方向の下流側の斜め上方に軸心を位置して配置
され、また、上記搬送用ベルトを上記セラミック基板の
分割時に上記セラミック基板搬送方向の下流側の斜め下
方に屈曲させ、その後水平方向に向くように屈曲させる
円形の第２の分割用ローラと、該第２の分割用ローラを
上記セラミック基板搬送方向と直角な方向に付勢するた
めの押圧手段とを備えた。
による分割装置は、水平な載置面に多数の分割溝が平行
に形成されているセラミック基板を搭載して搬送するた
めの搬送用ベルトと、該搬送用ベルトの載置面に対向し
て一体的に駆動され、該搬送用ベルトの載置面上のセラ
ミック基板に圧接して挟持する押え用ベルトと、上記搬
送用ベルトに従動して回転自在な円形の第１の分割用ロ
ーラと、上記搬送用ベルトに従動して回転自在で、上記
第１の分割用ローラに対して上記搬送用ベルト、上記セ
ラミック基板及び上記押え用ベルトを間に挟み込んで対
峙し、さらに該第１の分割用ローラの軸心のセラミック
基板搬送方向の下流側の斜め上方に軸心を位置して配置
され、また、上記搬送用ベルトを上記セラミック基板の
分割時に上記セラミック基板搬送方向の下流側の斜め下
方に屈曲させ、その後水平方向に向くように屈曲させる
円形の第２の分割用ローラと、該第２の分割用ローラを
上記セラミック基板搬送方向と直角な方向に付勢するた
めの押圧手段とを備えた。
【０００８】
【作用】上記したように、第１の分割ローラと第２の分
割ローラは、搬送用ベルト、セラミック基板、押え用ベ
ルトを間に挟み込んで対峙して配置しているので、セラ
ミック基板に加わる上下方向の荷重位置をセラミック基
板の板面方向に対して近接して位置させることが可能と
なり、また、同時にセラミック基板搬送方向に対して異
なる位置に軸心が位置するように配置しているので、セ
ラミック基板の分割線を設けた部分に分割応力を集中さ
せやすく、よってバリ等の発生を少なくして確実にセラ
ミック基板を分割することが可能となる。
割ローラは、搬送用ベルト、セラミック基板、押え用ベ
ルトを間に挟み込んで対峙して配置しているので、セラ
ミック基板に加わる上下方向の荷重位置をセラミック基
板の板面方向に対して近接して位置させることが可能と
なり、また、同時にセラミック基板搬送方向に対して異
なる位置に軸心が位置するように配置しているので、セ
ラミック基板の分割線を設けた部分に分割応力を集中さ
せやすく、よってバリ等の発生を少なくして確実にセラ
ミック基板を分割することが可能となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１０】図１は実施例に係る分割装置の構成図であ
って、多数の分割溝が平行に形成されている短冊状セラ
ミック基板１をチップ状セラミック基板１ａに分割する
ための装置の概略を示している。
って、多数の分割溝が平行に形成されている短冊状セラ
ミック基板１をチップ状セラミック基板１ａに分割する
ための装置の概略を示している。
【００１１】同図において、符号２は複数の従動プーリ
３に支持されつつ駆動プーリ４に駆動されるニトリルゴ
ム製の搬送用ベルトで、この搬送用ベルト２の載置面上
に短冊状セラミック基板１を搭載して図示右方へと搬送
する。この搬送用ベルト２は金属製の回転自在な円形の
分割用ローラ５に圧接させてあり、図示せぬモータによ
り駆動プーリ４を矢印Ａ方向へ回転させると、搬送用ベ
ルト２が矢印Ｂ方向へ駆動され、搬送用ベルト２に従動
して各従動プーリ３および分割用ローラ５が矢印Ｃ方向
へ回転するようになっている。符号６は複数の従動プー
リ７に支持されつつ搬送用ベルト２に対向しているニト
リルゴム製の押え用ベルトで、この押え用ベルト６は搬
送用ベルト２と一体的に駆動される。そして、押え用ベ
ルト６は金属製の回転自在な円形の分割用ローラ８に圧
接させてあり、この分割用ローラ８はエアー圧力が任意
に設定可能な加圧シリンダ９に連結させてある。つま
り、加圧シリンダ９によって分割用ローラ８を下方へ加
圧すると、押え用ベルト６が搬送用ベルト２上の短冊状
セラミック基板１に圧接するので、該セラミック基板１
を介して押え用ベルト６が搬送用ベルト２に駆動される
ようになっており、搬送用ベルト２の矢印Ｂ方向への移
動に伴い押え用ベルト６は矢印Ｄ方向へ駆動され、この
押え用ベルト６に従動して分割用ローラ８は矢印Ｅ方向
へ回転する。また、分割用ローラ８の軸心８ａが分割用
ローラ５の軸心５ａよりも図示右側にずらしてあるの
で、つまり、図１に示すように、分割用ローラ５に搬送
用ベルト２、短冊状セラミック基板１、及び押え用ベル
ト６を介して当接し、この当接面（分割用ローラ８と分
割用ローラ５の間の搬送経路）を、搬送用ベルト２の載
置面（分割用ローラ５の上流側の搬送経路）に対して斜
めになるように配置させているので、セラミック基板１
が分割用ローラ５と分割用ローラ８との間の当接面に達
する（搬送経路が曲げられる）と、セラミック基板１
は、分割用ローラ５を支点として、分割用ローラ８によ
り分割用ローラ５側へ曲げ応力を順次加えられ、この
際、セラミック基板１は大きく傾こうとするが、押え用
ベルト６で抑えられてセラミック基板１は傾かず、更に
は円形の分割用ローラ（第１、第２の分割用ローラ）
５，８の当接面は、セラミック基板１の載置面に対して
斜めになるように分割用ローラ５を支点として、分割用
ローラ８の押圧力Ｆで短冊状セラミック 基板１に順次、
分割のための曲げ応力を集中的に加えることができる。
３に支持されつつ駆動プーリ４に駆動されるニトリルゴ
ム製の搬送用ベルトで、この搬送用ベルト２の載置面上
に短冊状セラミック基板１を搭載して図示右方へと搬送
する。この搬送用ベルト２は金属製の回転自在な円形の
分割用ローラ５に圧接させてあり、図示せぬモータによ
り駆動プーリ４を矢印Ａ方向へ回転させると、搬送用ベ
ルト２が矢印Ｂ方向へ駆動され、搬送用ベルト２に従動
して各従動プーリ３および分割用ローラ５が矢印Ｃ方向
へ回転するようになっている。符号６は複数の従動プー
リ７に支持されつつ搬送用ベルト２に対向しているニト
リルゴム製の押え用ベルトで、この押え用ベルト６は搬
送用ベルト２と一体的に駆動される。そして、押え用ベ
ルト６は金属製の回転自在な円形の分割用ローラ８に圧
接させてあり、この分割用ローラ８はエアー圧力が任意
に設定可能な加圧シリンダ９に連結させてある。つま
り、加圧シリンダ９によって分割用ローラ８を下方へ加
圧すると、押え用ベルト６が搬送用ベルト２上の短冊状
セラミック基板１に圧接するので、該セラミック基板１
を介して押え用ベルト６が搬送用ベルト２に駆動される
ようになっており、搬送用ベルト２の矢印Ｂ方向への移
動に伴い押え用ベルト６は矢印Ｄ方向へ駆動され、この
押え用ベルト６に従動して分割用ローラ８は矢印Ｅ方向
へ回転する。また、分割用ローラ８の軸心８ａが分割用
ローラ５の軸心５ａよりも図示右側にずらしてあるの
で、つまり、図１に示すように、分割用ローラ５に搬送
用ベルト２、短冊状セラミック基板１、及び押え用ベル
ト６を介して当接し、この当接面（分割用ローラ８と分
割用ローラ５の間の搬送経路）を、搬送用ベルト２の載
置面（分割用ローラ５の上流側の搬送経路）に対して斜
めになるように配置させているので、セラミック基板１
が分割用ローラ５と分割用ローラ８との間の当接面に達
する（搬送経路が曲げられる）と、セラミック基板１
は、分割用ローラ５を支点として、分割用ローラ８によ
り分割用ローラ５側へ曲げ応力を順次加えられ、この
際、セラミック基板１は大きく傾こうとするが、押え用
ベルト６で抑えられてセラミック基板１は傾かず、更に
は円形の分割用ローラ（第１、第２の分割用ローラ）
５，８の当接面は、セラミック基板１の載置面に対して
斜めになるように分割用ローラ５を支点として、分割用
ローラ８の押圧力Ｆで短冊状セラミック 基板１に順次、
分割のための曲げ応力を集中的に加えることができる。
【００１２】上記の如くに構成された分割装置は、短冊
状セラミック基板１を搭載した搬送用ベルト２を矢印Ｂ
方向へ駆動していくと、該セラミック基板１は搬送用ベ
ルト２と押え用ベルト６とに挟持されて図示右方へと搬
送されていき、両ベルト２，６に挟持されたまま一対の
分割用ローラ５，８間を通過する。そして、この通過時
に、分割用ローラ５に対する分割用ローラ８の押圧力Ｆ
によって短冊状セラミック基板１に曲げ応力が生じるた
め、該セラミック基板１は分割溝に沿ってチップ状に分
割され、こうして得たチップ状セラミック基板１ａは両
ベルト２，６に挟持されたまま図示右方へと搬送されて
いく。
状セラミック基板１を搭載した搬送用ベルト２を矢印Ｂ
方向へ駆動していくと、該セラミック基板１は搬送用ベ
ルト２と押え用ベルト６とに挟持されて図示右方へと搬
送されていき、両ベルト２，６に挟持されたまま一対の
分割用ローラ５，８間を通過する。そして、この通過時
に、分割用ローラ５に対する分割用ローラ８の押圧力Ｆ
によって短冊状セラミック基板１に曲げ応力が生じるた
め、該セラミック基板１は分割溝に沿ってチップ状に分
割され、こうして得たチップ状セラミック基板１ａは両
ベルト２，６に挟持されたまま図示右方へと搬送されて
いく。
【００１３】このように上記実施例は、搬送用ベルト２
上に搭載した短冊状セラミック基板１に押え用ベルト６
を押しつけたまま、該セラミック基板１を分割用ローラ
５，８によって分割するので、次々と搬送されてくる短
冊状セラミック基板１群に長尺の押え用ベルト６を順繰
りにむらなく圧接させることができ、よって押え用ベル
ト６は摩耗する領域が分散されるとともに摩耗を起こす
頻度が減り、長期間使用してもさほど摩耗しなくなる。
すなわち、図１に示す分割装置は、押え用ベルト６を長
期間交換しなくとも、分割不良を起こす虞のない良好な
運転状態を維持することができて、部品の交換周期が従
来の分割装置に比べて大幅に延びるという利点がある。
そして、交換周期が延びることに加えて、押え用ベルト
６の交換作業が容易で部品代も安く済むことから、分割
作業の加工コストが著しく低減できる。
上に搭載した短冊状セラミック基板１に押え用ベルト６
を押しつけたまま、該セラミック基板１を分割用ローラ
５，８によって分割するので、次々と搬送されてくる短
冊状セラミック基板１群に長尺の押え用ベルト６を順繰
りにむらなく圧接させることができ、よって押え用ベル
ト６は摩耗する領域が分散されるとともに摩耗を起こす
頻度が減り、長期間使用してもさほど摩耗しなくなる。
すなわち、図１に示す分割装置は、押え用ベルト６を長
期間交換しなくとも、分割不良を起こす虞のない良好な
運転状態を維持することができて、部品の交換周期が従
来の分割装置に比べて大幅に延びるという利点がある。
そして、交換周期が延びることに加えて、押え用ベルト
６の交換作業が容易で部品代も安く済むことから、分割
作業の加工コストが著しく低減できる。
【００１４】また、上記実施例は、短冊状セラミック基
板１を分割用ローラ５，８によってチップ状に分割した
後も、このチップ状セラミック基板１ａが搬送用ベルト
２と押え用ベルト６とで挟持されたままなので、分割し
て得られる各チップ状セラミック基板１ａを整列した状
態で搬送することができ、よって分割後の取扱い性が向
上するという利点がある。
板１を分割用ローラ５，８によってチップ状に分割した
後も、このチップ状セラミック基板１ａが搬送用ベルト
２と押え用ベルト６とで挟持されたままなので、分割し
て得られる各チップ状セラミック基板１ａを整列した状
態で搬送することができ、よって分割後の取扱い性が向
上するという利点がある。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１の分割ローラと第２の分割ローラは、搬送用ベル
ト、セラミック基板、押え用ベルトを間に挟み込んで対
峙して配置しているので、セラミック基板に加わる上下
方向の荷重位置をセラミック基板の板面方向に対して近
接して位置させることが可能となり、また、同時にセラ
ミック基板搬送方向に対して異なる位置に軸心が位置す
るように配置しているので、セラミック基板の分割線を
設けた部分に分割応力を集中させやすく、よってバリ等
の発生を少なくして確実にセラミック基板を分割するこ
とが可能となる。また、セラミック基板に圧接する押え
用ベルトが摩耗しにくいので、分割不良を回避するため
に必要な該押え用ベルトの交換周期が長く、しかも該押
え用ベルトの交換作業は容易で部品代も安く済むことか
ら、分割作業の加工コストが大幅に低減できるという顕
著な効果を奏し、また、セラミック基板はチップ状に分
割された後も搬送用ベルトと押え用ベルトとで挟持され
るので、チップ状セラミック基板を整列した状態で搬送
することができて分割後の取扱い性が向上するという効
果を奏する。
第１の分割ローラと第２の分割ローラは、搬送用ベル
ト、セラミック基板、押え用ベルトを間に挟み込んで対
峙して配置しているので、セラミック基板に加わる上下
方向の荷重位置をセラミック基板の板面方向に対して近
接して位置させることが可能となり、また、同時にセラ
ミック基板搬送方向に対して異なる位置に軸心が位置す
るように配置しているので、セラミック基板の分割線を
設けた部分に分割応力を集中させやすく、よってバリ等
の発生を少なくして確実にセラミック基板を分割するこ
とが可能となる。また、セラミック基板に圧接する押え
用ベルトが摩耗しにくいので、分割不良を回避するため
に必要な該押え用ベルトの交換周期が長く、しかも該押
え用ベルトの交換作業は容易で部品代も安く済むことか
ら、分割作業の加工コストが大幅に低減できるという顕
著な効果を奏し、また、セラミック基板はチップ状に分
割された後も搬送用ベルトと押え用ベルトとで挟持され
るので、チップ状セラミック基板を整列した状態で搬送
することができて分割後の取扱い性が向上するという効
果を奏する。
【図１】実施例に係る分割装置の概略構成図である。
１ 短冊状セラミック基板
１ａ チップ状セラミック基板
２ 搬送用ベルト
４ 駆動プーリ
５ 分割用ローラ（第１の分割用ローラ）
５ａ 軸心
６ 押え用ベルト
８ 分割用ローラ（第２の分割用ローラ）
８ａ 軸心
９ 加圧シリンダ（押圧手段）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 臼井 克文
東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アル
プス電気株式会社内
(56)参考文献 特開 昭53−148787（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−1638（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−109100（ＪＰ，Ａ)
実開 平１−89108（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 多数の分割溝が平行に形成されているセ
ラミック基板を水平な載置面に搭載して搬送する搬送用
ベルトと、該搬送用ベルトに対向して一体的に駆動され
る押え用ベルトとで上記セラミック基板を挟持しながら
搬送し、上記搬送用ベルトおよび上記押え用ベルトを介して上記
セラミック基板を、 上記搬送用ベルトに従動して回転す
る円形の第１の分割用ローラと、該第１の分割用ローラ
に対して上記搬送用ベルト、上記セラミック基板及び上
記押え用ベルトを間に挟み込んで対峙し、さらに該第１
の分割用ローラの軸心のセラミック基板搬送方向の下流
側の斜め上方に軸心を位置して配置され、上記押え用ベ
ルトに従動して回転する円形の第２の分割用ローラとで
挟み込んで、 上記セラミック基板の後端側を上記押え用ベルトで押え
つつ、上記第２の分割用ローラを下方へ圧接して上記セ
ラミック基板の先端側にセラミック基板搬送方向と直角
な方向の押圧力を加えて曲げ応力を生じさせ上記分割溝
に沿って分割し、 上記搬送用ベルトと上記押え用ベルトとで上記セラミッ
ク基板を挟持しながら、該搬送用ベルトと上記押え用ベ
ルトは、上記第２の分割用ローラによって上記セラミッ
ク基板の分割時に上記セラミック基板搬送方向の下流側
の斜め下方に屈曲させ、その後水平方向に向くように屈
曲されて、上記第１及び第２の分割用ローラの上流側、
下流側で水平な載置面を形成して上記セラミック基板を
移送 することを特徴とするセラミック基板の分割方法。 - 【請求項２】 水平な載置面に多数の分割溝が平行に形
成されているセラミック基板を搭載して搬送するための
搬送用ベルトと、 該搬送用ベルトの載置面に対向して一体的に駆動され、
該搬送用ベルトの載置面上のセラミック基板に圧接して
挟持する押え用ベルトと、 上記搬送用ベルトに従動して回転自在な円形の第１の分
割用ローラと、 上記搬送用ベルトに従動して回転自在で、上記第１の分
割用ローラに対して上記搬送用ベルト、上記セラミック
基板及び上記押え用ベルトを間に挟み込んで対峙し、さ
らに該第１の分割用ローラの軸心のセラミック基板搬送
方向の下流側の斜め上方に軸心を位置して配置され、ま
た、上記搬送用ベルトを上記セラミック 基板の分割時に
上記セラミック基板搬送方向の下流側の斜め下方に屈曲
させ、その後水平方向に向くように屈曲させる円形の第
２の分割用ローラと、 該第２の分割用ローラを上記セラミック基板搬送方向と
直角な方向に付勢するための押圧手段とを備えたことを
特徴とするセラミック基板の分割装置。
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