KR20080011702A - 취성재료 기판 절단장치 및 절단방법 - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 취성재료 기판을 연속적으로 절단하는 브레이크 공정에 있어서, 절단 후의 절단면의 접촉을 방지하여 상기 접촉에 기인한 취성재료기판의 손상 및 오염을 방지할 수 있는 취성재료기판 절단방법 및 절단장치를 제공한다.
이를 위하여, 기판G에 형성된 스크라이브 라인S의 근방에 가압력을 부가하여 가압한 부분의 기판G를 절단하는 절단수단(112, 122)과, 절단수단을 지지하여 상기 스크라이브 라인S와 대략 평행하게 이동하는 지지부를 구비하고, 기판G를 스크라이브 라인S를 따라 연속적으로 절단하는 취성재료 기판 절단장치에 있어서, 지지부에 설치되고 절단된 기판G의 적어도 한 부분을 사이에 두고 가압하며, 기판G의 주면에 대략 평행하고 절단되어 발생한 서로 대향하는 절단면이 서로 멀어지는 방향으로 기판G를 이동시키는 절단면 분리수단(113, 123)을 구비하는 취성재료 기판 절단장치

Description

취성재료 기판 절단장치 및 절단방법{DEVICE AND METHOD FOR CUTTING OFF SUBSTRATE OF FRAGILE MATERIAL}
본 발명은, 글라스, 반도체, 세라믹 등의 취성재료 기판(脆性材料 基板)의 절단장치 및 절단방법에 관한 것으로서, 특히, 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 취성재료 기판에 스크라이브 라인을 따라 응력(應力)을 가함으로써 취성재료 기판을 절단하는 취성재료 기판 절단장치 및 취성재료 기판 절단방법에 관한 것이다.
취성재료 기판은, 일반적으로 이하와 같은 방법으로 절단된다. 우선, 원하는 절단 예정라인을 따라 소결 다이아몬드제(燒結 diamond製)의 커터휠(cutter wheel), 레이저 조사 장치(laser 照射裝置) 등을 사용하여 취성재료 기판의 일방의 표면에 수직한 크랙(이하, 수직크랙이라고 한다)을 동반하는 스크라이브 라인을 형성한다(이하, 스크라이브 공정이라고 한다). 그 후에 스크라이브 라인을 따라 취성재료 기판에 압력을 가함으로써 또는 스크라이브 라인을 따라 취성재료 기판을 구부림으로써, 스크라이브 라인의 양측에 위치 하는 기판 부분에 인장력을 작용시켜서, 상기 수직크랙(垂直 crack)을 취성재료 기판의 두께 방향으로 확산시켜서, 기판G의 타방의 표면(이하, 이면(裏面)이라고 한다)까지 도달시킨다. 이에 따라 스크라이브 라인을 따라 취성재료 기판이 절단된다(이하, 브레이크 공정이라고 한다).
상기 브레이크 공정을 실행하는 종래의 절단장치가 특허문헌1에 개시되어 있다. 도14 및 도15를 참조하여 상기 브레이크 공정을 실행하는 종래의 절단장치에 대하여 설명한다. 도14에 나타내는 절단장치6은, 스크라이브 라인이 형성된 기판G가 지지되는 테이블630(도15 참조)과, 상기 테이블630을 사이에 두고 상하로 대향하도록 배치된 제1보조롤러611 및 제2보조롤러621과, 마찬가지로 기판G를 사이에 두고 상하로 대향하여 배치된 기판 지지 브레이크 롤러612 및 가압 브레이크 롤러622와, 마찬가지로 기판G를 사이에 두고 상하로 대향하도록 배치된 제3 보조롤러613 및 제4 보조롤러623을 구비한다.
제1보조롤러611과 제2보조롤러621, 기판 지지 브레이크 롤러612와 가압 브레이크 롤러622 및 제3 보조롤러613과 제4 보조롤러623은, 각각의 축방향의 중앙부가 대략 일직선으로 늘어서도록 배치되어 있다.
절단장치6이 브레이크 공정을 실행하는 때에는, 도15에 나타나 있는 바와 같이 상기 각 롤러611∼613, 621∼623의 축방향의 중앙부와 기판G에 형성된 스크라이브 라인S가 대략 일치하도록, 기판G가 테이블630에 재치(載置)된다. 계속하여 제1보조롤러611 및 제2보조롤러621과, 제3 보조롤러613 및 제4 보조롤러623이, 각각 에어 실린더(air cylinder)에 의하여 기판G와 접촉하는 위치까지 이동되어 지지된다. 또한 기판 지지 브레이크 롤러612 및 가압 브레이크 롤러622는, 모터M에 의하여 소정의 압력으로 기판G에 압접(壓接)되는 위치까지 이동되어 지지된다. 그리고 상기 각 롤러611∼613, 621∼623이 스크라이브 라인S를 따라 이동하도록 전체가 이동방향+X로 이동됨으로써, 제1보조롤러611 및 제2보조롤러621, 기판 지지 브레이크 롤러612 및 가압 브레이크 롤러622, 제3 보조롤러613 및 제4 보조롤러623이, 순서대로 각각 스크라이브 라인S를 따라 기판G의 표면(表面) 및 이면(裏面)을 롤링(rolling)한다.
도15를 참조하여 절단장치6이 브레이크 공정을 실행하여 취성재료 기판을 절단하는 동작에 대해서 상세하게 설명한다. 도15는, 절단장치6에 구비되는 각 롤러611∼613, 621∼623의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
기판G의 하방에 배치된 가압 브레이크 롤러622는, 기판G의 이면에 있어서의 스크라이브 라인S에 대응하는 부분을 상방으로 가압하고, 가압 브레이크 롤러622와 대향하도록 배치된 기판 지지 브레이크 롤러612는, 기판G의 표면에 있어서의 스크라이브 라인S의 양측부분을 하방으로 가압한다. 이 경우에, 기판 지지 브레이크 롤러612가 가압하는 스크라이브 라인S의 양측부분은, 가압 브레이크 롤러622가 기판G를 밀어 올리는 스크라이브 라인S에 대응하는 부분의 양측부분이 되므로, 가압 브레이크 롤러622에 의하여 스크라이브 라인이 형성된 기판G부분을 밀어 올림과 아울러 그 양측부분이 기판 지 지 브레이크 롤러612에 의하여 밀어 내려진다. 이러한 상태에서, 기판 지지 브레이크 롤러612와 가압 브레이크 롤러622가, 기판G의 표면 및 이면을 스크라이브 라인S를 따라 각각 롤링한다.
이에 따라, 스크라이브 라인S를 구성하는 수직크랙이 기판G의 표면 측에서 순차적으로 폭이 넓어져서, 수직크랙이 기판G의 두께 방향으로 확산하여 기판G의 이면에 도달함으로써, 기판G가 절단된다.
제1보조롤러611 및 제2보조롤러621과, 제3 보조롤러613 및 제4 보조롤러623은, 각각 일정한 지름의 외주면(外周面)을 구비하는 원기둥 모양의 롤러이다. 제1보조롤러611 및 제2보조롤러621은, 기판G가 절단되기 전에 있어서의 기판G의 휘어짐을 제한하여 수직크랙이 수직방향 이외의 방향으로 확산되는 것을 방지한다. 제3 보조롤러613 및 제4 보조롤러623은, 기판G가 절단된 후의 기판G의 휘어짐을 제한하여 기판G가 절단됨으로써 새롭게 형성된 기판 부분의 각각의 절단면B1 및 B2 상호간이 경사진 상태로 접촉하는 것을 방지한다.
특허문헌1 : WO2004/096721
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
그러나 종래의 절단장치6에 의하여 절단된 각 기판 부분의 각각의 절단면B1 및 B2의 위치는 전혀 제한되어 있지 않기 때문에, 당연히 각 절단면B1 및 B2 사이는 서로 접촉된다. 이 때문에 절단면B1 및 B2 상호간의 가압, 마찰 등에 의하여 각 절단면B1 및 B2에 흠집, 깨짐 등의 표면결함이 발생하여, 기판재료의 분진, 조각 등이 발생하는 경우가 있다.
또한 예를 들면 기판G의 일방의 가장자리부를 절단하여, 불필요한 부분인 가장자리부를 제거함으로써 제품화되는 기판을 제조하는 경우에 대하여 생각하면, 분리되는 가장자리부의 폭이 작을 경우에는 분리된 가장자리부를 상기한 테이블 등으로 지지하기는 어렵다. 이러한 경우에는, 제품이 되는 기판 부분은 흡착 테이블 등으로 지지되지만 분리되는 가장자리부는 전혀 지지되지 않는 것이 되어, 이하에 설명하는 것 같은 불량이 발생한다.
도16(a)∼(c)는, 절단장치6의 브레이크 공정에 있어서의 각 롤러의 통과 후의 기판G의 한 단면을 도16(a), 도16(b), 도16(c)의 순차적으로 시간의 경과에 따라 나타낸 것이다. 또한, 도16(a)∼(c)의 각각에 나타내는 기판 부분P는, 절단 후에 있어서 테이블630에 의하여 지지되어 있는 제품기판이고, 가장자리부T는, 절단 후에 있어서 테이블 등에 의하여 지지되어 있지 않은 기판 부분(불필요부)이다. 절단 후의 가장자리부T는, 상기한 각 롤러가 이동하여 멀어진 만큼 자체 중량에 의하여 하방으로 늘어진다. 이 때문에, 도16(a) 및 도16(b)에 나타낸 각 절단면B1 및 B2 상호간이 접촉하고 있는 부분C1에서는, 가장자리부T의 절단면B1이 지지된 기판 부분P의 절단면B2에 스치면서 하방으로 이동하기 때문에, 양쪽 분단면B1 및 B2에 마찰에 의한 흠집이 발생할 우려가 있다.
또한 도16(c)에 나타낸 점C2는, 가장자리부T의 절단면B1의 표면의 모서리부와 기판 부분P의 절단면B2의 이면의 모서리부가 접촉하고 있는 점으로서, 상기 점C2에서는 압력이 집중되기 쉬워서 기판 부분P에 있어서의 절단면B2의 이면에 흠집이 발생할 우려가 있다. 상기 압력이 집중되는 점C2의 위치는 각 롤러가 이동함에 따라 변화하게 되어서, 기판 부분P에 있어서의 절단면B2의 대략 전역에 걸쳐 절단면B2의 이면의 모서리부에 깨짐 등이 발생할 우려가 있다. 이와 같이 절단에 의하여 분리되는 기판 부분의 일방이 테이블 등에 의하여 지지되어 있지 않은 경우에는, 테이블 등에 의하여 지지되어 있는 기판 부분의 절단면에 흠집, 깨짐 등의 표면결함이 발생할 우려가 있고 또한 기판재료의 분진, 조각 등에 의하여 기판 부분이 오염될 우려도 있어서, 이러한 문제가 보다 현저하게 나타난다.
이와 같이 브레이크 공정에 있어서의 각 절단면B1 및 B2 상호간의 접촉은, 제품화되는 기판의 품질을 손상시키고 또한 기판재료의 분진, 조각이 발생하여 기판이 오염되는 원인이 된다. 이 결과, 제품의 수율이 저하되어 제조비용이 증가하는 원인이 되고 또한 기판 세정장치 등의 여분의 설비를 필요로 하기 때문에 설비비용이 증가하는 요인이 된다.
본 발명은, 취성재료 기판을 스크라이브 라인을 따라 연속적으로 절단하는 브레이크 공정에 있어서의 절단 후의 절단면의 접촉을 방지하여 절단면의 흠집, 깨짐 등의 표면결함 및 취성재료의 분진, 조각에 의한 취성재료 기판의 오염을 방지할 수 있는 취성재료 기판 절단방법 및 그 취성재료 기판 절단방법의 실시에 사용되는 취성재료 기판 절단장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
[발명의 구성]
본 발명의 취성재료 기판 절단장치는, 수직크랙에 의한 스크라이브 라인이 표면에 미리 형성된 취성재료 기판의 상기 스크라이브 라인 근방부분에, 상기 스크라이브 라인을 따라 상대적으로 이동 가능하고 압력을 부가하여 상기 수직크랙을 상기 취성재료 기판의 이면까지 확산시킴으로써 상기 취성재료 기판을 제1기판 부분 및 제2기판 부분으로 절단하는 절단수단과, 상기 제1기판 부분의 표면 및 이면에 접촉하고, 상기 제1기판 부분의 절단면이 상기 제2기판 부분의 절단면에서 멀어지는 방향으로 상기 제1기판 부분을 이동시키는 절단면 분리수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 절단면 분리수단은, 상기 제1기판 부분의 표면에 압접됨으로써 탄성변형하여 상기 제1기판 부분의 표면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1롤러와, 상기 제1기판 부분을 사이에 두고 상기 제1롤러와 대향하여 배치되고, 상기 제1기판 부분의 이면에 압접됨으로써 탄성변형하여 상기 제1기판 부분의 이면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2롤러를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 제1롤러 및 상기 제2롤러는, 각각의 지름이 축방향의 일방측에서 타방측에 걸쳐서 순차적으로 증가되어 있고, 각각의 지름이 작아진 부분이 상기 절단면에 근접하게 배치되는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 절단면 분리수단은, 회전축과 직교하는 방향이, 압력의 이동방향의 전방측에 있어서 상기 스크라이브 라인에 대하여 예각으로 교차하도록 배치되어 있고, 상기 제1기판 부분의 표면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1롤러와, 상기 제1기판 부분을 사이에 두고 상기 제1롤러와 대향하는 동시에 상기 제1롤러에 평행하도록 배치되어 있고, 상기 제1기판 부분의 이면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2롤러를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 절단면 분리수단은, 각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 벨트의 두께가 폭방향의 일방의 테두리로부터 타방의 테두리에 걸쳐서 순차적으로 두터워짐과 아울러, 얇은 쪽의 테두리가 상기 절단면에 근접하게 배치되어 상기 제1기판 부분의 표면에 압접됨으로써 상기 벨트가 탄성변형하며, 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1 벨트컨베이어 기구와, 각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 벨트의 두께가 폭방향의 일방의 테두리로부터 타방의 테두리에 걸쳐서 순차적으로 두꺼워짐과 아울러, 얇은 쪽의 테두리가 상기 절단면에 근접하게 배치되어 상기 제1기판 부분의 이면에 압접됨으로써 상기 벨트가 탄성변형하며, 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2 벨트컨베이어 기구를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 절단면 분리수단은, 각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 각 회전축과 직교하는 방향이, 압력의 이동방향의 전방측에 있어서 상기 스크라이브 라인에 대하여 예각으로 교차하도록 배치되고, 상기 제1기판 부분의 표면에 압접된 상태에서 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1 벨트컨베이어 기구와, 각각의 회전축이 평행하게 된 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 제1 벨트컨베이어 기구에 상기 제1기판 부분을 사이에 두고 대향하여 배치되고, 상기 제1기판 부분의 이면에 압접된 상태에서 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2 벨트컨베이어 기구를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 절단면 분리수단은, 상기 제2기판의 표면 및 이면에 접촉하고, 상기 제2기판 부분의 절단면이 상기 제1기판 부분의 절단면에서 멀어지는 방향으로 상기 제2기판 부분을 이동시키는 것이 가능한 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 절단면 분리수단은, 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분의 표면에 압접됨으로써 탄성변형하고, 그 회전에 의하여 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분을 서로 분리시키는 힘이 발생하는 제1롤러와, 상기 제1롤러가 압접되는 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분의 표면에 대응하는 이면부분에 압접됨으로써 탄성변형하고, 그 회전에 의하여 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분을 서로 분리시키는 힘이 발생하는 제2롤러를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 절단면 분리수단은, 상기 제1기판 부분의 표면에 압접되어서 롤링하는 제1롤러와, 상기 제1기판 부분을 사이에 두고 상기 제1롤러와 대향함과 아울러 상기 제1기판 부분의 상기 절단면과 대향하도록 배치되고, 외주면과 상기 제1기판 부분의 간격이 상기 절단면 측에서 상기 제1기판 측에 걸쳐서 순차적으로 커지는 제2롤러를 구비하고 있어도 좋다.
상기 제2롤러는, 상기 외주면의 지름이 상기 절단면 측에서 상기 제1기판 측에 걸쳐서 순차적으로 작아져도 좋다.
상기 제2롤러는, 상기 외주면의 지름이 일정하고, 상기 외주면과 상기 제1기판 부분의 간격이 상기 절단면 측에서 상기 제1기판 측에 걸쳐서 순차적으로 커지게 되도록 배치되어 있어도 좋다.
상기 제2롤러가, 상기 제1롤러에 대하여 압력의 이동방향의 후방측으로 벗어나서 배치되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 제2 벨트컨베이어 기구가, 상기 제1 벨트컨베이어 기구에 대하여 압력의 이동방향의 후방측으로 벗어나서 배치되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다.
상기 취성재료 기판을 지지하는 기판 지지수단을 더 구비하고 있어도 좋다.
상기 기판 지지수단은, 상기 절단면 분리수단이 상기 취성재료 기판을 이동시키는 방향으로 이동할 수 있도록 설치되는 것을 특징으로 하여도 좋다.
본 발명의 취성재료 기판 절단방법은, 수직크랙에 의한 스크라이브 라인이 표면에 미리 형성된 취성재료 기판의 상기 스크라이브 라인 근방부분에, 상기 스크라이브 라인을 따라 상대적으로 이동 가능하게 되는 압력을 부가하여, 상기 수직크랙을 상기 취성재료 기판의 이면까지 확산시킴으로써 상기 취성재료 기판을 제1기판 부분 및 제2기판 부분으로 절단하는 절단공정과, 상기 제1기판 부분의 표면 및 이면에 접촉하고, 상기 제1기판 부분의 절단면이 상기 제2기판 부분의 절단면에서 멀어지는 방향으로 상기 제1기판 부분을 이동시키는 절단면 분리 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 절단면 분리 공정에 있어서, 상기 제1기판 부분이 하방으로 이동되는 것을 특징으로 하여도 좋다.
[발명의 효과]
본 발명에 관한 취성재료 기판 절단장치는, 취성재료 기판에 미리 형성된 스크라이브 라인을 따라 가압하는 부분을 이동시키면서 연속적으로 취성재료 기판을 절단하는 취성재료 기판 절단장치에 있어서, 절단에 의하여 새롭게 형성된 2개의 기판 부분의 각 절단면을 분리시키는 절단면 분리수단을 구비한다. 이 때문에 각 절단면 상호간의 접촉을 방지하여서, 절단면에 흠집이나 깨짐 등의 표면결함이 발생하는 것을 방지할 수 있음과 아울러, 취성재료의 분진이나 조각 등에 의한 취성재료 제품의 오염을 방지할 수 있다.
또한 상기 절단면 분리수단은, 각 절단면 상호간을 분리시킨 채로 절단된 일방의 기판 부분을 상하 중의 어느 하나의 방향으로 이동시킴으로써, 각 절단면 상호간을 분리시킨 후에 다시 절단면 상호간이 접촉하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
도1은, 본 발명의 제1의 실시예에 관한 절단장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도2는, 도1에 나타낸 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 한 예인 분리롤러의 단면도이다.
도3은, 도1에 나타낸 절단장치에 구비되는 제1보조롤러의 단면도이다.
도4는, 도1에 나타낸 절단장치에 구비되는 기판 지지 브레이크 롤러 및 가압 브레이크 롤러의 단면도이다.
도5는, 도1에 나타낸 절단장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도6은, 도2에 나타낸 제1분리롤러 및 제2분리롤러의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도7은, 도1에 나타낸 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도8은, 도1에 나타낸 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도9는, 도1에 나타낸 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도10은, 본 발명의 제2의 실시예에 관한 절단장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도11은, 본 발명의 제3의 실시예에 관한 절단장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도12는, 도11에 나타낸 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 한 예인 가압롤러 및 테이퍼 롤러의 단면도이다.
도13은, 도11에 나타낸 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 배치 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도14는, 종래의 절단장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도15는, 도14에 나타낸 종래의 절단장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도16은, 도14에 나타낸 종래의 절단장치에 의하여 절단된 후의 기판의 거동을 설명하기 위한 도면이다.
(제1의 실시예)
도1을 참조하여 본 발명의 제1의 실시예에 관한 절단장치에 대하여 설명한다. 도1에 나타낸 절단장치1은, 스크라이브 라인이 형성된 기판G를 절단하기 위한 브레이크 공정을 실행하는 것으로서, 상부 롤러 지지부110과 상기 상부 롤러 지지부110의 하방에 배치된 하부 롤러 지지부120을 구비하고 있다. 기판G는, 예를 들면 글라스 기판 등의 취성재료 기판으로서 테이블130(도5 참조)에 재치(載置)되어 있다. 또한, 도5에 나타낸 테이블130은, 복수의 테이블 구성부재130a로 구성되어 있고, 각 테이블 구성부재130a에 예를 들면 진공흡착에 의하여 기판G를 지지하는 기구가 각각 설치된 기판 지지수단으로서 기능하는 진공흡착 테이블(眞空吸着 table)이다. 테이블130은, 하부 롤러 지지부120이 통과할 수 있도록 기판G의 각 측부 만을 지지하도록 되어 있다.
상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120은, 예를 들면 모터 등의 이동수단(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 도1에 나타낸 +X방향 및 -X방향을 따라 왕복이동 가능하게 가대(架臺 : 도면에는 나타내지 않는다) 등에 설치되어 있고, 기판G를 절단하는 경우에는, 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120은, +X방향으로 일체가 되어서 동시에 이동된다.
상부 롤러 지지부110에는, 절단시에 있어서의 이동방향인 +X방향의 하류측(下流側)으로부터 순서대로 제1보조롤러111, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 제1분리롤러113이, +X방향을 따라 일직선으로 늘어서서 배치되어 있고, 각각 가압 지지수단111a, 112a 및 113a에 의하여 하방으로 가압된 상태에서 회전 가능하게 지지되어 있다. 제1보조롤러111 및 제1분리롤러113을 가압하여 지지하는 각 가압 지지수단111a 및 113a는, 각각 상부 롤러 지지부110에 고정된 에어 실린더를 구비하고 있어서, 제1보조롤러111 및 제1분리롤러113의 하방으로의 가압력, 즉 기판G에 대한 압력을 각각 조정할 수 있게 되어 있다. 또한 기판 지지 브레이크 롤러112를 가압하여 지지하는 가압 지지수단112a는, 상부 롤러 지지부110에 고정된 모터M을 구비하고 있어서, 기판 지지 브레이크 롤러112의 하방으로의 가압력, 즉 기판G에 대한 압력을 조정할 수 있게 되어 있다.
하부 롤러 지지부120에는, 제1보조롤러111, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 제1분리롤러113의 각각의 하방에 있어서, 각각과 대향하여 제2보조롤러121, 가압 브레이크 롤러122 및 제2분리롤러123이 설치되어 있고, 각각 가압 지지수단121a, 122a 및 123a에 의하여 상방으로 가압된 상태에서 각각 회전 가능하게 지지되어 있다. 제2보조롤러121 및 제2분리롤러123을 가압하여 지지하는 각 가압 지지수단121a 및 123a는, 각각 하부 롤러 지지부120에 고정된 에어 실린더를 구비하고 있어서, 제2보조롤러121 및 제2분리롤러123 의 상방으로의 가압력, 즉 기판G에 대한 압력을 각각 조정할 수 있게 되어 있다. 또한 가압 브레이크 롤러122를 가압하여 지지하는 가압 지지수단122a는, 하부 롤러 지지부120에 고정된 모터를 구비하고 있어서, 가압 브레이크 롤러122의 상방으로의 가압력, 즉 기판G에 대한 압력을 조정할 수 있게 되어 있다.
상기한 바와 같이 브레이크 공정에 있어서, 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120은 일체가 되어 +X방향으로 이동한다. 이에 따라 상기한 각 롤러111∼113 및 121∼123과, 이들의 가압 지지수단111a∼113a, 121a∼123a는, 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120의 이동에 따라 일체가 되어 이동하고, 기판G에 형성된 스크라이브 라인S를 따라 제1보조롤러111 및 제2보조롤러121과, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122와, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123이, 상기 순서대로 기판G의 표면 및 이면을 각각 롤링한다.
제1보조롤러111과 제2보조롤러121은 동일한 형상으로 되어 있고, 도3에 나타나 있는 바와 같이 제1보조롤러111은, 기판G에 형성된 스크라이브 라인 및 스크라이브 라인의 양측에 위치하는 기판 부분을 롤링하도록 외주면이 일정한 외경(外徑)으로 구성되어 있고, 또한 제2보조롤러121은, 제1보조롤러111이 롤링하는 기판G의 표면에 대응하는 이면부분을 롤링하도록 제1보조롤러111과 같이 외주면이 일정한 외경으로 되어 있다. 제1보조롤러111 및 제2보조롤러121은, 우레탄 등의 경질고무, 폴리에테르에테르케톤 수 지(poly ether ether ketone 樹脂) 등의 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)과 같이 비교적 경질(硬質)의 재질로 구성되어 있다. 제1보조롤러111 및 제2보조롤러121은, 각각 가압 지지수단111a 및 121a의 하부에 수평으로 설치된 지지축(도면에는 나타내지 않는다)에 대하여 베어링에 의하여 회전 가능하게 부착되어 있다.
도4(a)에는, 기판 지지 브레이크 롤러112의 단면형상이 나타나 있다. 기판 지지 브레이크 롤러112는, 가압 지지수단112a의 하부에 수평으로 설치된 지지축(도면에는 나타내지 않는다)에 대하여 베어링에 의하여 회전 가능하게 부착되어 있다. 기판 지지 브레이크 롤러112의 외주면에는 단면이 V자 모양인 홈부가 형성되어 있고, 양측의 가장자리부가, 스크라이브 라인S의 양측에 있어서 스크라이브 라인S에 대하여 소정의 간격을 구비하는 기판 부분을 롤링하도록 일정한 외경으로 되어 있다.
도4(b)에는, 가압 브레이크 롤러122의 단면형상이 나타나 있다. 가압 브레이크 롤러122는, 가압 지지수단122a의 하부에 수평으로 설치된 지지축(도면에는 나타내지 않는다)에 대하여 베어링에 의하여 회전 가능하게 부착되어 있다. 가압 브레이크 롤러122의 축방향의 중앙부에는 U자 모양의 홈부가 형성되어 있고, 홈부의 양측의 외주면은 원호 모양으로 돌출된 상태로 되어 있다. 가압 브레이크 롤러122는, U자모양의 홈부의 양측부분이, 스크라이브 라인S가 형성된 기판G의 표면과는 반대측의 이면에 있어서의 스크라이브 라인S에 대응하는 부분에 근접한 부분, 즉 상방에 위치하는 가압 브레이크 롤러122의 각 가장자리부가 롤링하는 기판G의 표면부분보다 스크라이브 라인S에 근접한 부분에 대응하는 이면부분을 롤링한다. 가압 브레이크 롤러122도, 예를 들면 우레탄 등의 경질고무, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 엔지니어링 플라스틱과 같이 비교적 경질의 재질로 구성되어 있다.
기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122에 대하여 +X방향과는 반대측에 위치하는 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은 동일한 형상으로 구성되어 있으며, 도2에는 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 단면형상이 나타나 있다. 또한 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 각각 가압 지지수단113a 및 123a의 하부에 수평으로 설치된 지지축(도면에는 나타내지 않는다)에 대하여 베어링에 의하여 회전 가능하게 부착되어 있다.
제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 외주면에는 V자 모양의 홈부가 형성되어 있고, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 축방향의 중앙부에 있어서의 지름이 최소로서 축방향의 양측으로 감에 따라 지름이 순차적으로 증가하여, 양측의 각 측면에 있어서 지름이 최대로 되어 있다. 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 축방향의 각 측부에 있어서의 경사상태가 되는 외주면의 단면형상은, 각각 원호 모양으로 돌출된 형상으로 되어 있다. 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 탄성변형이 가능하며 기판G의 표면에 대하여 소정의 마찰계수를 구비하는 재질인, 예를 들면 우레탄 고무에 의하여 일체적으로 구성되어 있다.
제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 축방향의 각 측부(側部)는, 기판 G의 표면에 형성되는 스크라이브 라인의 양쪽 부분에 각각 압접되면, 각각의 외주부분(外周部分)이 서로 멀어지도록 탄성변형하여 기판G표면과의 마찰에 의해서 스크라이브 라인S의 양측에 위치하는 기판 부분이 서로 분리되도록 힘을 작용시킨다.
또한, 도2에 나타낸 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 축방향의 각 측부에 있어서의 경사상태가 되는 외주면의 단면형상이 원호 모양으로 돌출된 형상으로 되어 있지만, 원호 모양으로 우묵하게 들어간 형상 혹은 직선 모양으로 경사진 형상이어도 좋다. 또한 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 각각을, 축방향의 일방의 측면으로부터 다른 측면에 걸쳐서 지름이 점차로 짧아지도록 구성된 한 쌍의 롤러로 구성하여, 각 롤러에 있어서 각각의 지름이 짧은 측면 상호간을 밀착시켜도 좋다.
제1분리롤러113 및 제2분리롤러123과 가압 지지수단113a 및 가압 지지수단123a는, 기판G를 절단할 때에 기판G를 가압하여 절단 후의 기판 부분G1 및 G2의 각각의 절단면B1 및 B2 상호간을 서로 분리시키는 절단면 분리수단의 한 예이며, 절단면 분리수단의 다른 예에 대하여는 후술한다.
또한 본 실시예에서는, 브레이크 공정에 있어서 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120을 +X방향으로 이동시키는 구성으로 하였지만, 이에　대신하여, 테이블130을 -X방향으로 이동시킴으로써 기판G를 -X방향으로 이동시키는 구성으로 하여도 좋다. 또한 모터 등의 이동수단에 의하여 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120을 일체적으로 이동하는 구성에 대신 하여, 각 롤러111∼113 및 121∼123을 각각 회전시키는 회전 구동수단을 설치하고, 회전 구동수단에 의한 각각의 롤러의 회전에 의하여 기판을 -X방향 또는 +X방향으로 이동시키도록 하여도 좋다.
도5는, 절단장치가 브레이크 공정을 실시하는 동작을 설명하기 위한 모식도이다. 절단장치1이 브레이크 공정을 실시할 때의 동작의 개략적인 설명은 아래와 같다. 우선, 상기 각 롤러111∼113 및 121∼123의 축방향의 중앙위치와 기판G에 형성된 스크라이브 라인S가 대략 일치하도록 기판G가 테이블130에 재치된다. 테이블130은, 예를 들면 진공흡착 등의 방법으로 기판G를 흡착하여 지지한다. 계속하여 제1보조롤러111 및 제2보조롤러121이 각각 가압수단111a 및 가압수단121a에 의하여 기판G의 각 표면에 접촉하는 위치가 되어 지지한다. 또한 기판 지지 브레이크 롤러112 및 제1분리롤러113은, 각각 가압 지지수단112a 및 113a에 의하여 기판G의 표면에 소정의 압력으로 압접되는 위치를 지지하고, 가압 브레이크 롤러122 및 제2분리롤러123은, 각각 가압 지지수단122a 및 123a에 의하여 기판G의 이면에 소정의 압력으로 압접되는 위치를 지지한다.
이러한 상태가 되면, 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120이 일체가 되어 +X방향을 따라 이동한다. 이에 따라 우선, 제1보조롤러111이 기판G의 표면에 있어서의 스크라이브 라인S 상에 접촉함과 아울러, 제2보조롤러121이 기판G의 이면에 있어서의 스크라이브 라인S에 대응하는 부분과 접촉한다. 그리고 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120의 이동에 따 라 제1보조롤러111 및 제2보조롤러121이 기판G의 표면 및 이면을 롤링하면, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122가 기판G의 표면 및 이면을 각각 소정의 압력으로 롤링한다. 이에 따라, 이하에 설명한 바와 같이 기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122에 의하여, 스크라이브 라인S을 따라 형성되어 있는 수직크랙이 하방으로 확산하여 기판G의 이면까지 도달함으로써, 기판G는 스크라이브 라인S의 양측의 기판 부분G1 및 G2로 절단된다. 그 후에 제1분리롤러113이 스크라이브 라인S를 따라 기판G의 표면을 롤링함과 아울러 제2분리롤러123이 기판G의 이면을 롤링하여서, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123에 의하여 기판 부분G1 및 G2의 각각의 절단면B1 및 B2 상호간이 확실하게 분리된다.
다음에 절단장치1이 브레이크 공정을 실시할 때의 각 롤러의 동작에 대하여 상세하게 설명한다. 또한 상기한 바와 같이, 스크라이브 라인S로 구획된 기판G의 일방의 부분을 기판 부분G1이라고 하고 타방의 부분을 기판 부분G2라고 한다. 기판 부분G1과 기판 부분G2는, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122의 이동에 따라 순차적으로 절단된다.
기판 지지 브레이크 롤러112와 가압 브레이크 롤러122는, 서로 대향하여 기판G의 표면 및 이면을 각각 소정의 압력으로 가압한 상태에서, 기판G에 형성된 스크라이브 라인S를 따라 기판G의 표면을 롤링한다. 이 경우에, 기판 지지 브레이크 롤러112는, 기판G의 표면에 있어서의 스크라이브 라인S에 대하여 소정의 간격을 구비하는 양측부분을 가압하는 것에 비하여, 가압 브레이크 롤러122는, 기판 지지 브레이크 롤러112가 압접된 부분보다 스크라이브 라인S에 근접한 부분에 대응하는 이면부분을 가압한다. 이에 따라 가압 브레이크 롤러122는, 스크라이브 라인에 근접한 양측부분을 상방으로 밀어 올림과 아울러 기판 지지 브레이크 롤러112는, 밀어 올려진 스크라이브 라인S에 근접한 양측부분보다도 외측의 양측부분을 밀어 내리게 되고, 그 결과 스크라이브 라인S를 구성하는 수직크랙이 기판G의 두께 방향으로 확산된다. 그리고 수직크랙이 기판G의 이면까지 도달함으로써 기판G는 기판 부분G1 및 G2로 절단된다.
제1보조롤러111 및 제2보조롤러121은, 절단 전에 있어서의 기판G의 휘어짐을 제한하여 수직크랙이 수직방향이외로 확산되는 것을 방지한다.
수직크랙에 의하여 기판G가 기판 부분G1 및 G2로 절단되면, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 절단된 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 서로 분리되는 방향으로 이동시킴으로써, 기판 부분G1 및 기판 부분G2의 각각의 절단면B1 및 B2 상호간을 서로 분리시킨다.
도6을 참조하여 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123이 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 서로 분리되는 방향으로 이동시키는 동작을 더 상세하게 설명한다. 도6은, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 이동방향 상류측에서의 단면도로서, 각각의 가압 지지수단113 및 가압 지지수단123에 의하여 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123에 각각 주어진 압력Fp 및 Fp'와, 제1분리롤러113 및 분리롤러123에 의하여 기판 부분G1과 기판 부분G2를 서로 분리시 키는 각각의 힘Fd 및 Fd'가 화살표로 모식적으로 나타나 있다. 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 축방향의 중앙부에서 양측의 가장자리부에 걸쳐 순차적으로 외경이 커지도록 형성되어 있고 또한 탄성변형이 가능하기 때문에, 압력Fp 및 Fp'에 의하여 각각 기판 부분G1 및 G2의 표면 및 이면에 압접되면 각각의 압접부분인 외주측의 가장자리부가 서로 멀어지는 방향으로 탄성변형된다. 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 각각의 양측의 가장자리부의 압접부분이 서로 멀어지는 방향으로 탄성변형함으로써, 기판 부분G1 및 G2에 대하여 서로 멀어지는 방향으로 힘Fd 및 Fd'이 각각 작용한다. 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은 기판G의 표면 및 이면에 대하여 소정의 마찰계수을 가지기 때문에, 이러한 힘Fd 및 Fd'에 의하여, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123이 각각 압접된 기판 부분G1 및 기판 부분G2는, 각각의 절단면B1 및 B2가 서로 분리되도록 이동한다.
이와 같이 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 각각의 가압 지지수단113a 및 123a로부터 주어지는 각각의 압력Fp 및 Fp'에 의거하여, 각각의 절단면B1 및 B2를 서로 분리시키는 방향의 힘Fd 및 Fd'을 기판 부분G1 및 기판 부분G2에 각각 작용시킬 수 있도록 되어 있다. 또한, 각 압력Fp 및 Fp'의 크기는, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123이 변형하여 각각의 절단면B1 및 B2가 서로 분리되도록, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 재질, 절단되는 기판G의 재질 등에 따라 적당하게 설정된다.
이 때에 테이블130은, 기판 부분G1 및 기판 부분G2가 분리되는 움직 임을 저지하지 않도록, 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부분이 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 테이블130에 있어서의 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부분을, 재치된 기판G의 표면과 평행하면서 스크라이브 라인과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 설치하고, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123에 의해 기판 부분G1 및 기판 부분G2에 작용하는 힘Fd 및 Fd'에 의하여 기판 부분G1 및 기판 부분G2와 함께 이동하도록 구성하면 좋다. 이 경우에, 테이블130에 있어서의 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부분은, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123이 통과할 때 까지는 소정의 위치에 정지하고, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 통과시에 기판 부분G1 및 기판 부분G2와 함께 각각 이동시키는 것이 바람직하다. 이 때문에, 테이블130은, 예를 들면 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123이 통과할 때 까지는, 탄성체, 에어 실린더 등의 가압수단에 의하여 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123에 의해 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 이동시키는 힘(도6에 있어서의 힘Fd 및 Fd')보다 작은 힘으로 가압한 상태에서 소정의 위치에 지지부재 등에 의하여 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부분을 지지하고, 도6에 있어서의 힘Fd 및 Fd'이 가해짐으로써 지지부재 등에 의한 지지를 해제하여 소정방향으로 이동시키도록 구성된다. 또한, 가압수단으로서는 전기적인 구동수단을 사용하여도 좋다.
또한 테이블130에 있어서 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부 분을 이동시키는 에어 실린더 등의 이동수단을 설치하고, 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120의 이동에 동기시켜 이동수단을 제어함으로써, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 통과 전에는 테이블130에 있어서의 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부분을 소정의 위치에 지지하고, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 통과 후에는 테이블130에 있어서의 기판 부분G1 및 기판 부분G2를 지지하는 부분을 각각의 절단면B1 및 B2가 멀어지는 방향으로 이동 시키도록 구성하여도 좋다. 이 경우에, 예를 들면 상부 롤러 지지부110, 하부 롤러 지지부120 등의 위치를 검출하고 그 검출 결과에 의거하여 에어 실린더 등의 이동수단을 제어하는 구성, 예를 들면 이동수단이 에어 실린더의 경우에는 에어 실린더에 공급하는 압축공기의 공급 및 정지를 전자밸브 등으로 전환하도록 제어하면 좋다.
상기한 바와 같이 본　실시예에　관한 절단장치1이 구비하는 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122의 이동방향의 후방에 배치되어 있고, 절단된 기판 부분G1 및 G2를 가압하여 양측의 가장자리부가 축방향의 중앙으로부터 양측의 외측을 향하여 변형됨으로써, 기판 부분G1 및 G2를 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 축방향의 중앙으로부터 양측의 외측으로 각각 이동시키도록 되어 있다. 이 때문에 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123은, 기판 지지 브레이크 롤러112 및 가압 브레이크 롤러122와 함께 기판G에 대하여 가압된 상태에서 기판G 상을 롤링 함으로써, 절단된 직후의 기판 부분G1 및 G2를 서로 멀어지는 방향으로 이동시켜서, 각각의 절단면B1 및 B2를 서로 분리시킬 수 있다.
따라서, 브레이크 공정에 있어서 절단된 취성재료 기판의 절단면B1 및 B2가 서로 접촉하는 것이 방지되어서, 각각의 절단면B1 및 B2 상호간의 접촉에 기인하는 취성재료 기판의 절단면B1 및 B2 및 표면의 파손 및 오염을 방지할 수 있다.
또한 본 실시예에 있어서 절단면 분리수단은, 축방향의 중앙부로부터 양측의 각 측면에 걸쳐서 지름이 점차로 커지도록 소정의 재질로 일체적으로 각각 형성된 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123(도2 참조)을 구비하는 것이라고 했지만, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123의 각각을 축방향의 일방의 측면으로부터 다른 측면에 걸쳐서 지름이 점차로 작아지도록 구성하여도 좋다.
도7은, 이러한 구성의 제1분리롤러113D 및 제2분리롤러123D의 단면도이다. 제1분리롤러113D 및 제2분리롤러123D는, 구체적으로는, 도2에 나타낸 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123을 각각 축방향의 중앙에서 2개로 분할한 형상으로 되어 있다.
제1분리롤러113D 및 제2분리롤러123D는, 지름이 작아진 일방의 측면을 스크라이브 라인S에 각각 근접시킨 상태에서, 기판G를 사이에 두고 서로 대향하도록 각각 배치된다. 그리고 한 쌍의 제1분리롤러113D 및 제2분리롤러123D를 기판에 가압하여 스크라이브 라인S를 따라 이동시킴으로써, 한 쌍의 제1분리롤러113D 및 제2분리롤러123D가 각각 가압하는 일방의 기판 부분 G1을 타방의 기판 부분G2로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우에, 한 쌍의 제1분리롤러113D 및 제2분리롤러123D에 의하여 가압되어 있지 않은 타방의 기판 부분G2는, 테이블 등에 의하여 이동되지 않도록 지지하는 것이 바람직하다.
또한 본　실시예에　관한 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단의 다른예로서, 제1분리롤러 및 제2분리롤러를 각각 상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120이 이동하는 방향(+X방향)에 대하여 축방향이 소정의 각도로 경사진 경사롤러(傾斜 roller)에 의하여 각각 구성하여도 좋다.
도8을 참조하여, 제1분리롤러 및 제2분리롤러로서 이동방향에 대하여 회전축이 소정의 각도로 경사진 경사롤러를 구비하는 절단면 분리수단에 관하여 설명한다. 도8은, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 사용되는 경사롤러114의 이동방향과 회전축과의 위치관계를 나타내는 평면 모식도이다. 도8에 나타낸 경사롤러114에서는, 그 회전축이, 브레이크 공정에 있어서의 경사롤러114의 이동방향(상부 롤러 지지부110 및 하부 롤러 지지부120이 이동하는 +X방향) 즉 스크라이브 라인S와는 직교하지 않고, 경사롤러114의 회전축A와 직교하는 방향이, 브레이크 공정에 있어서의 경사롤러114의 이동방향의 전방측에 있어서 스크라이브 라인S와 예각으로 교차하도록 배치되어 있다.
제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 경사롤러114를 각각 사용하는 구성에서는, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123인 경사롤러114를 기판G의 표 면 및 이면에 있어서의 스크라이브 라인S에 근접한 부분에 각각 압접시키고 스크라이브 라인S를 따라 이동시킴으로써, 각 경사롤러114가 압접된 기판 부분G1이 타방의 기판 부분G2에 대하여 멀어지는 방향으로 이동된다.
또한 절단면 분리수단은, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 각각 하나의 경사롤러114를 사용하는 구성에 한하지 않고, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 각각 한 쌍의 경사롤러114를 사용하는 구성으로 하여도 좋다. 이 경우에는, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 각각 사용되는 한 쌍의 경사롤러114는, 스크라이브 라인S에 대하여 대칭이 되도록 각각 스크라이브 라인S에 대하여 경사진 상태로 배치된다. 또한 스크라이브 라인S에 대하여 대칭이 되도록 한 쌍의 경사롤러114를 배치하는 구성에 대신하여, 경사롤러114와 도7에 나타내는 단면형상의 분리롤러113D에 의하여 한 쌍의 분리롤러를 구성하여도 좋다.
이와 같이 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 이동방향에 대하여 회전축이 직교하지 않고 롤링방향이 경사져 있는 경사롤러114를 사용함에 의해서도, 경사롤러114가 압접된 기판 부분G1을 타방의 기판 부분G2로부터 분리시킬 수 있다.
또한, 경사롤러114의 회전축A와 스크라이브 라인S의 경사각도는, 경사롤러114가 압접된 기판 부분G1을 타방의 기판 부분G2로부터 분리할 수 있게 이동시키는 힘이 얻어지도록 설정되며, 기판G의 재질 등에 의하여 적당하게 변경된다.
또한 경사롤러114의 재질은, 기판G에 압접되었을 때에 압접된 기판 부분G1이 타방의 기판 부분G2로부터 분리되게 하는 힘이 얻어지도록 하는 기판G에 대한 마찰계수를 구비하고 있을 것이 필요하므로, 예를 들면 우레탄고무 등의 경질고무가 사용된다. 또한 경사롤러114가 기판G에 접촉하는 외주면은, 외경이 일정하게 되는 상태 또는 외경이 축방향으로 변화되는 상태의 어느 쪽이라도 무방하여서, 예를 들면 도7에 나타내는 분리롤러113D의 외주면과 동일한 형상이어도 좋다. 이 경우에는, 경사롤러114가 기판 부분G1에 압접됨으로써 탄성변형하게 되어서, 경사롤러114가 압접된 기판 부분G1을 더 확실하게 이동시킬 수 있다.
또한 본　실시예에　관한 절단장치의 절단면 분리수단의 다른 예로서, 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123에 대신하여 도9에 나타나 있는 바와 같이 복수의 바퀴115a에 고리 모양의 벨트115b가 감긴 벨트 컨베이어 기구115를 각각 사용하는 구성으로 하여도 좋다.
도9를 참조하여 절단면 분리수단에 사용되는 벨트 컨베이어 기구115에 대하여 설명한다. 상기 벨트 컨베이어 기구115는, 예를 들면 구동장치가 설치되지 않고 각 바퀴115a가 자유롭게 회전하는 구성으로 되어 있다. 벨트 컨베이어 기구115는, 예를 들면 탄성변형이 가능하고 기판G에 대하여 소정의 마찰계수를 구비하는 벨트115b를 사용하여, 벨트115b의 단면형상이 벨트115b의 폭방향의 중앙부가 얇고 양측의 가장자리부가 됨에 따라서 두꺼워지도록 각각 구성된 한 쌍을, 기판G를 사이에 두고 대향시킴과 아울러 각각의 벨트의 폭방향의 중앙부가 기판G의 스크라이브 라인S를 따르도록 배치한다. 이에 따라 한 쌍의 벨트 컨베이어 기구115에 있어서의 각 벨트의 각각의 가장자리부가 기판G의 표면 및 이면에 압접됨으로써 탄성변형되고, 그러한 상태에서 각 벨트115b가 기판G의 표면 및 이면에 접촉하여 주회(周回) 이동함으로써, 상하로 대향하는 각 벨트115b의 가장자리부가 각각 압접된 기판 부분G1 및 G2가 서로 멀어지도록 이동된다.
또는, 탄성변형 가능하고 기판G에 대하여 소정의 마찰계수를 구비하는 벨트115b를 사용하여, 벨트115b의 단면형상이 벨트115b의 일방의 가장자리부에 있어서의 두께가 타방의 가장자리부에 걸쳐서 순차적으로 두꺼워지도록 각각 구성된 한 쌍을, 기판G를 사이에 두고 대향시킴과 아울러 각각의 벨트115b가 얇아진 일방의 가장자리부가 기판G의 스크라이브 라인S를 따르도록 배치하여도 좋다. 이 경우에도, 한 쌍의 벨트 컨베이어 기구115에 있어서의 각 벨트115b의 가장자리부가 기판G의 표면 및 이면에 각각 압접됨으로써 탄성변형되고, 그러한 상태에서 각 벨트115b가 기판G의 표면 및 이면에 접촉하여 주회 이동함으로써, 상하로 대향하는 각 벨트115b의 가장자리부가 압접된 기판 부분G1이 타방의 기판 부분G2로부터 분리되도록 이동된다.
또한 상하 한 쌍의 벨트 컨베이어 기구115에 있어서의 각각의 벨트115b가 감겨진 각 바퀴115a의 회전축을 스크라이브 라인S에 대하여 경사지게 하여, 각 회전축에 직교하는 방향이 브레이크 공정에 있어서의 이동방 향의 전방측에 있어서 스크라이브 라인S와 예각으로 교차하도록, 스크라이브 라인S에 대하여 경사지게 하여 배치하여도 좋다. 이에 따라 각 벨트115b가 기판G의 표면 및 이면에 압접된 상태에서 주회 이동함으로써, 각 벨트115b가 압접된 기판 부분G1이 타방의 기판 부분G2로부터 분리되도록 이동된다.
이 경우에, 타방의 기판 부분G2의 표면 및 이면에 벨트115b가 각각 압접되는 한 쌍의 벨트 컨베이어 기구115를 더 설치하는 구성으로 하여도 좋고, 타방의 기판 부분G2의 표면 및 이면에 도7에 나타낸 단면형상의 분리롤러113D를 각각 압접시키는 구성 또는 타방의 기판 부분의 표면 및 이면에 도8에 나타내는 경사롤러114를 각각 압접시키는 구성으로 하여도 좋다.
(제2의 실시예)
상기한 본 발명의 제1의 실시예에 관한 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단은, 브레이크 공정에 있어서 절단된 기판을 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 것이라고 했지만, 본　실시예에　관한 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단은, 이에 부가하여 절단 후의 일방의 기판 부분을 그 상하방향으로도 이동시키는 것을 특징으로 한다.
도10에 나타낸 본　실시예에　관한 절단장치2는, 도1에 나타낸 제1의 실시예의 절단장치에 있어서의 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123으로서 도7에 나타내는 단면형상의 분리롤러113D가 각각 사용 되어 있고, 기판G의 상방에 배치된 제1분리롤러113D 및 기판G의 하방에 배치된 제2분리롤러113D는, 스크라이브 라인S에 대하여 동일한 쪽의 측방(도10에 있어서 지면(紙面) 전방측의 기판 부분G1에 해당)에 배치되어 있고, 제1분리롤러113D는 제2의 분리롤러113D보다 절단장치1의 이동방향의 후방에 위치하고 있다. 구체적으로는, 가압수단113a를 통하여 상부 롤러 지지부110에 지지되는 제1분리롤러113D의 회전축의 위치가, 제2분리롤러113D의 회전축의 위치보다 그 이동방향의 후방(-X방향)으로 각 분리롤러113D의 지름 미만의 거리만큼 떨어져서 배치되어 있다. 또한 절단장치2의 다른 구성은 절단장치1과 같으므로, 동일한 참조부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
기판G의 상방에 배치된 제1분리롤러113D의 회전축의 위치가 기판G의 하방에 배치된 제2분리롤러113D의 회전축의 위치보다 이동방향의 후방에 배치되어 있기 때문에, 기판 부분G1에 있어서의 양쪽 분리롤러113D의 사이에 위치하는 부분은 제1분리롤러113D에 의하여 하방으로 가압되어서, 제1 및 제2의 분리롤러113D가 각각 접촉하는 장소의 중간위치보다 후방에 위치하는 기판은 그 중간위치보다 하방에 위치하게 되므로, 그 중간위치보다 후방부분이 경사진 상태가 된다. 이 때문에 양쪽 분리롤러113D에 의하여 각각 가압된 절단 후의 기판 부분G1은, 그 절단면B1이 타방의 기판 부분G2의 절단면B2로부터 멀어지는 방향으로 이동됨과 동시에 타방의 기판 부분G2보다 하방을 향하여 경사지도록 이동된다.
또한 본 실시예에 있어서 테이블130(도5 참조)은 기판 부분G2 만을 흡착하여 지지하는 것이 바람직하다. 이 경우에 기판 부분G1은, 제1분리롤러113D에 의하여 하방으로 이동되고 분리된 후에는 그대로 하방으로 낙하하는 구성으로 한다.
또한 기판 부분G1도 테이블130에 의하여 흡착하여 지지하는 구성으로 하여도 좋다. 이 경우에 기판 부분G1을 지지하는 테이블130은, 기판G의 표면에 따르는 방향 뿐만 아니라 아래방향으로도 이동이 가능하도록 구성하는 것이 바람직하다. 이러한 구성의 테이블이라면, 기판 부분G1을 타방의 기판 부분G2로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 때에 기판 부분G1이 하방을 향하여 이동하는 것이 방해될 우려가 없다.
상기한 바와 같이 본　실시예에　관한 절단장치2에 의하면, 제1 및 제2의 분리롤러113D에 의하여 각 기판 부분G1 및 G2의 절단면B1 및 B2 상호간이 서로 분리되도록 이동되어 있는 동안에, 절단 후의 각 기판 부분G1 및 G2의 상하방향의 위치가 어긋나게 되므로, 각 기판 부분G1 및 G2의 절단면B1 및 B2 상호간이 접촉하는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 또한 만약 제1분리롤러113D가 통과한 후에 있어서 기판 부분G1이 기판 부분G2에 접근하는 방향으로 이동하여도, 각각의 절단면B1 및 B2 상호간이 상하방향으로 어긋난 상태로 되어 있음으로써 절단면B1 및 B2 상호간이 접촉하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
또한 상기한 본　실시예에　관한 절단장치2에, 기판 부분G2를 가압하여 상하방향으로 이동시키지 않고 타방의 기판 부분G1의 절단면에서 분리되는 방향으로만 이동시키도록, 새로운 분리롤러를 추가하여 배치하여도 좋다.
또한 본 실시예에 있어서의 절단면 분리수단은, 도7에 나타낸 단면형상의 한 쌍의 제1 및 제2분리롤러113D를 사용하는 구성으로 하였지만, 이에　대신하여 도8에 나타낸 형상의 한 쌍의 경사롤러114를 사용하는 구성으로 하여도 좋다. 또한 도9에 나타낸 형상의 한 쌍의 벨트 컨베이어 기구115를 사용하는 구성으로 하여도 좋다. 또한 도7에 나타낸 단면형상의 분리롤러113D와, 도8에 나타낸 형상의 경사롤러114와, 도9에 나타낸 형상의 벨트 컨베이어 기구115로부터 선택되는 한 쌍을 사용하도록 하여도 좋다.
(제3의 실시예)
상기한 본 발명의 제1 및 제2의 실시예에 관한 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단은, 기판에 접촉하는 롤러 또는 벨트가 변형됨으로써 또는 회전축이 이동방향에 대하여 경사져서 설치됨으로써 브레이크 공정에 있어서 절단된 기판 상호간을 서로 분리시키는 구성으로 하였지만, 이에　대신하여 본　실시예에　관한 절단장치에 구비되는 절단면 분리수단은, 기판G의 표면을 가압하는 롤러와 외경이 축방향을 따라 순차적으로 작아짐에 의해 외주면이 경사진 롤러에 의하여, 절단된 일방의 기판 부분을 사이에 두고 그 위치를 제한함으로써 절단된 기판 부분을 각각 이동시키는 것을 특징으로 한다.
도11에 나타낸 본　실시예에　관한 절단장치3은, 도1에 나타낸 제1의 실시예의 절단장치1에 있어서의 제1분리롤러113 및 제2분리롤러123을, 각각 도12(a)에 나타낸 가압롤러313 및 도12(b)에 나타낸 테이퍼 롤러323으로 변경한 것이다. 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323은 일방의 기판 부분G1을 사이에 두고 대향하도록 상하로 배치된다. 또한 절단장치3의 다른 구성은 절단장치1과 같기 때문에 동일한 참조 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
도12(a)에 나타낸 가압롤러313은, 외경이 축방향으로 일정하며 외주면이 회전축과 평행한 평탄면(平坦面)으로 형성되어 있다. 또한 가압롤러313은, 이러한 형상에 한정되는 것이 아니라 기판 부분G1의 표면에 압접됨으로써 하방으로 가압하는 것이 가능한 형상이면 어떤 형상이어도 좋다. 가압롤러313은, 예를 들면, 우레탄 등의 경질고무, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 엔지니어링 플라스틱, 금속 등의 재료로 구성된다.
도12(b)에 나타낸 테이퍼 롤러323은, 그 일방의 측면으로부터 타방의 측면에 걸쳐서 지름이 점차로 작아지도록, 즉 외주면의 단면형상이 테이퍼 모양이 되도록 형성된 롤러다. 또한, 지름이 타방의 측면에 비하여 길어진 일방의 측면을 대경면(大徑面)323L이라고 하고 타방의 측면을 소경면(小徑面)323S이라고 부르는 것으로 한다. 테이퍼 롤러323은, 예를 들면, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 엔지니어링 플라스틱, 금속 등의 재료로 구성된다. 또한 도12(a) 및 (b)에는, 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323이 회전할 수 있도록 축으로 지지하기 위하여 사용되는 베어링도 기재되어 있다.
다음에 도13을 참조하여 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323의 배치 및 브레이크 공정에 있어서 기판 부분G1과 기판 부분G2의 절단면B1 및 B2 상호 간을 서로 분리시키기 위하여 기판 부분G1을 이동시키는 동작을 설명한다. 도13은, 브레이크 공정에 있어서의 가압롤러313의 이동방향에서 본 단면도이다. 도13에는 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323의 위치가 나타내어져 있으며, 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323에 의하여 기판 부분G1 및 기판 부분G2의 각각의 절단면B1 및 B2가 분리된 상태로 되어 있다.
테이퍼 롤러323은, 일방의 기판 부분G1의 절단면B1의 하방에 그 외주면이 위치하고, 소경면323S보다 대경면323L이 타방의 기판 부분G2에 근접하도록 배치되어 있다. 더 구체적으로는, 테이퍼 롤러323은, 대경면323L은 타방의 기판 부분G2의 하방에 위치하고 소경면323S가 일방의 기판 부분G1의 하방에 위치하도록 배치된다. 이렇게 배치함으로써, 가압롤러313에 의하여 하방으로 가압된 일방의 기판 부분G1의 절단면B2에 있어서의 하단부가 확실하게 테이퍼 롤러323의 외주면에 접촉한다.
가압롤러313은, 그 외주면이, 일방의 기판 부분G1의 표면에 접촉하고 타방의 기판 부분G2에는 접촉하지 않도록, 스크라이브 라인S에 근접한 상태로 배치되는 것이 바람직하다. 테이퍼 롤러323의 대경면323L은 타방의 기판 부분G2의 하방에 위치되어 있기 때문에, 타방의 기판 부분G2의 절단면B2의 바로 아래에 있어서의 테이퍼 롤러323의 외주면과 가압롤러313에 있어서의 스크라이브 라인S에 근접한 측면의 하단과의 상하방향의 간격은, 기판G의 두께t보다 작은 간격L1로 되어 있다.
이와 같이 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323을 배치함으로써, 이러한 가압롤러313 및 테이퍼 롤러323 사이에 놓인 일방의 기판 부분G1은, 가압롤러313에 의하여 하방으로 밀려서 테이퍼 롤러323의 외주면을 누른다. 이 경우에, 일방의 기판 부분G1의 절단면B1에 있어서의 하단부의 모서리부가 테이퍼 롤러323의 외주면을 누르면, 모서리부가 누르는 테이퍼 롤러323의 당초의 외주면의 위치와 가압롤러313의 상하방향의 간격이 기판G의 두께t보다도 작은 간격L1이기 때문에, 눌려진 모서리부가 테이퍼 롤러323의 소경면323S 측으로 슬라이드 하여 가압롤러313과의 상하방향의 간격이 기판G의 두께t인 테이퍼 롤러323의 외주면 위치까지 이동된다.
이 결과, 일방의 기판 부분G1의 절단면B1은 타방의 기판 부분G2의 절단면B2로부터 분리되고, 일방의 기판 부분G1의 절단면B1과 타방의 기판 부분G2의 절단면B2의 분리간격D는, 일방의 기판 부분G1의 경사 등에 의하여 다소의 변동은 있지만, 테이퍼 롤러323의 외주면의 경사각도θ, 일방의 기판 부분G1의 두께t 및 양쪽 롤러의 간격L1로부터 이하의 식(1)에 의하여 규정된다.
D=(t-L1)tanθ …(1)
이 때문에 본　실시예에　관한 절단장치3의 절단면 분리수단에 의하면, 일방의 기판 부분G1과 타방의 기판 부분G2의 분리간격D를 가압롤러313 및 테이퍼 롤러의 형상 및 배치에 의하여 규정하는 것이 가능하기 때문에, 절단된 기판 부분G1 및 G2의 각각의 절단면B1 및 B2 상호간을 더 확실하게 서로 분리시킬 수 있다.
또한 본 실시예에서는, 기판 부분G2는 상하방향 및 수평방향으로 이동하지 않도록 고정적으로 지지하는 것이 바람직하다. 이 때문에 기판 부분G2를 테이블(도면에는 나타내지 않는다) 등에 흡착하여 지지하는 것으로 하여도 좋다. 또한 테이퍼 롤러323의 대경면323L의 외주부분(外周部分)의 상방에 다른 롤러를 추가하여 배치하여서, 테이퍼 롤러323의 대경면323L의 외주부분과 그 상방에 배치한 다른 롤러에 의하여 기판 부분G2를 사이에 두고 그 위치를 제한하는 것으로 하여도 좋다. 이에 의하여 절단된 기판 부분G1 및 G2의 각각의 절단면B1 및 B2 상호간을 더 확실하게 분리시킬 수 있다.
또한, 테이퍼 롤러323을 구성하는 부재로서 엔지니어링 플라스틱, 금속 등을 예시하였지만, 테이퍼 롤러323에 접촉하는 일방의 기판 부분G1이 불필요한 단부(端部) 등인 경우에는 기판 부분G1이 손상되어도 문제가 없기 때문에, 테이퍼 롤러323의 내구성을 우선시키기 위하여 예를 들면 스테인리스 스틸(stainless steel) 등의 금속으로 구성하는 것이 바람직하다. 이 경우에, 대경면323L의 외주부분이 타방의 기판 부분G2와 접촉하여 손상시키는 것을 방지하기 위하여, 대경면323L의 외주측 부분을 따라서 타방의 기판 부분G2를 손상시키지 않도록 하는 예를 들면 고무나 엔지니어링 플라스틱 등의 부재를 설치하는 것으로 하여도 좋다.
또한 테이퍼 롤러323에 접촉하는 일방의 기판 부분G1을 제품으로서 사용하는 경우에는, 상기 기판 부분G1의 단면의 손상을 방지하기 위하여, 테 이퍼 롤러323으로서 엔지니어링 플라스틱 등의 비교적 부드러운 부재를 사용하는 쪽이 바람직하다. 또한 어느 쪽의 재료라도 그 표면에 도금, 코팅 등을 실시함으로써, 원하는 단단함 및 내구성을 구비하게 하여도 좋다.
또한 상기한 테이퍼 롤러323에 대신하여, 회전축에 대하여 평행한 외주면을 구비하는 롤러를 기판G의 표면에 대하여 경사지게 하여 설치하는 구성으로 하여도 좋다.
본 발명에 관한 절단장치는, 예를 들면 플랫 디스플레이 패널의 일종인 액정패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기EL 패널, 무기EL 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판의 절단에 적용 가능하다.
또한 본 발명에 관한 절단장치는, 예를 들면 한 장의 기판(예를 들면 글라스 기판, 석영기판, 사파이어 기판, 반도체 웨이퍼, 세라믹스 기판, 태양전지 기판, 액정표시 패널, 유기EL 패널, 무기EL 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판)의 절단에도 적용 가능하다. 또한 복수의 기판을 접합시킨 접합기판의 절단에도 효과적으로 적용할 수 있다.
본 발명에 관한 절단장치는, 스크라이브 라인이 형성된 취성재료 기판을 연속적으로 절단하는 브레이크 공정에 있어서, 연속적으로 발생한 절단면 상호간이 접촉하지 않도록 분리시킨다. 이 때문에 취성재료 기판을 절단할 때에 절단된 기판의 절단면 상호간이 접촉함으로 인한 절단면의 흠 집이나 깨짐 등의 품질불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Claims (17)

  1. 수직크랙(垂直 crack)에 의한 스크라이브 라인(scribe line)이 표면에 미리 형성된 취성재료 기판(脆性材料 基板)의 상기 스크라이브 라인 근방부분에, 상기 스크라이브 라인을 따라 상대적으로 이동 가능하고 압력을 부가하여 상기 수직크랙을 상기 취성재료 기판의 이면까지 확산시킴으로써 상기 취성재료 기판을 제1기판 부분 및 제2기판 부분으로 절단하는 절단수단과,
    상기 제1기판 부분의 표면(表面) 및 이면(裏面)에 접촉하고, 상기 제1기판 부분의 절단면이 상기 제2기판 부분의 절단면에서 멀어지는 방향으로 상기 제1기판 부분을 이동시키는 절단면 분리수단을
    구비하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은,
    상기 제1기판 부분의 표면에 압접(壓接)됨으로써 탄성변형하여 상기 제1기판 부분의 표면을 롤링(rolling)함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1롤러와,
    상기 제1기판 부분을 사이에 두고 상기 제1롤러와 대향하여 배치되고, 상기 제1기판 부분의 이면에 압접됨으로써 탄성변형하여 상기 제1기판 부분의 이면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2롤러를
    구비하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1롤러 및 상기 제2롤러는, 각각의 지름이 축방향의 일방측에서 타방측에 걸쳐서 순차적으로 증가되어 있고, 각각의 지름이 작아진 부분이 상기 절단면에 근접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은,
    회전축과 직교하는 방향이, 압력의 이동방향의 전방측에 있어서 상기 스크라이브 라인에 대하여 예각(銳角)으로 교차하도록 배치되어 있고, 상기 제1기판 부분의 표면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1롤러와,
    상기 제1기판 부분을 사이에 두고 상기 제1롤러와 대향하는 동시에 상기 제1롤러에 평행하도록 배치되어 있고, 상기 제1기판 부분의 이면을 롤링함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2롤러를
    구비하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은,
    각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 벨트의 두께가 폭방향의 일방의 테두리로부터 타방의 테두리에 걸쳐서 순차적으로 두꺼워짐과 아울러, 얇은 쪽의 테두리가 상기 절단면에 근접하게 배치되어 상기 제1기판 부분의 표면에 압접됨으로써 상기 벨트가 탄성변형하며, 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1 벨트컨베이어 기구와,
    각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 벨트의 두께가 폭방향의 일방의 테두리로부터 타방의 테두리에 걸쳐서 순차적으로 두꺼워짐과 아울러, 얇은 쪽의 테두리가 상기 절단면에 근접하게 배치되어 상기 제1기판 부분의 이면에 압접됨으로써 상기 벨트가 탄성변형하며, 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2 벨트컨 베이어 기구를
    구비하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은,
    각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 각 회전축과 직교하는 방향이, 압력의 이동방향의 전방측에 있어서 상기 스크라이브 라인에 대하여 예각으로 교차하도록 배치되고, 상기 제1기판 부분의 표면에 압접된 상태에서 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제1 벨트컨베이어 기구와,
    각각의 회전축이 평행하게 되어 있는 복수의 바퀴에 고리 모양의 벨트가 감기고, 상기 제1 벨트컨베이어 기구에 상기 제1기판 부분을 사이에 두고 대향하여 배치되고, 상기 제1기판 부분의 이면에 압접된 상태에서 상기 벨트가 주회 이동함으로써 상기 제1기판 부분을 상기 제2기판 부분으로부터 분리시키는 힘을 생기게 하는 제2 벨트컨베이어 기구를
    구비하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  7. 제1항 내지 제6항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은, 상기 제2기판의 표면 및 이면에 접촉하고, 상기 제2기판 부분의 절단면이 상기 제1기판 부분의 절단면에서 멀어지는 방향으로 상기 제2기판 부분을 이동시키는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은,
    상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분의 표면에 압접됨으로써 탄성변형하고, 그 회전에 의하여 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분을 서로 분리시키는 힘이 발생하는 제1롤러와,
    상기 제1롤러가 압접되는 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분의 표면에 대응하는 이면부분에 압접됨으로써 탄성변형하고, 그 회전에 의하여 상기 제1기판 부분 및 상기 제2기판 부분을 서로 분리시키는 힘이 발생하는 제2롤러를
    구비하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 절단면 분리수단은,
    상기 제1기판 부분의 표면에 압접되어서 롤링하는 제1롤러와,
    상기 제1기판 부분을 사이에 두고 상기 제1롤러와 대향함과 아울러 상기 제1기판 부분의 상기 절단면과 대향하도록 배치되고, 외주면과 상기 제1기판 부분의 간격이 상기 절단면 측에서 상기 제1기판 측에 걸쳐서 순차적으로 커지는 제2롤러를 구비하는 취성재료 기판 절단장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2롤러는, 상기 외주면의 지름이 상기 절단면 측에서 상기 제1기판 측에 걸쳐서 순차적으로 작아지는 취성재료 기판 절단장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제2롤러는, 상기 외주면의 지름이 일정하고, 상기 외주면과 상기 제1기판 부분과의 간격이 상기 절단면 측에서 상기 제1기판 측에 걸쳐서 순차적으로 커지게 되도록 배치되어 있는 취성재료 기판 절단장치.
  12. 제2항 또는 제4항 또는 제8항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2롤러가, 상기 제1롤러에 대하여 압력의 이동방향의 후방측으로 벗어나서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  13. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제2 벨트컨베이어 기구가, 상기 제1 벨트컨베이어 기구에 대하여 압력의 이동방향의 후방측으로 벗어나서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 취성재료 기판을 지지하는 기판 지지수단을 더 구비하는 취성재료 기판 절단장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 기판 지지수단은, 상기 절단면 분리수단이 상기 취성재료 기판을 이동시키는 방향으로 이동할 수 있도록 설치되는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단장치.
  16. 수직크랙에 의한 스크라이브 라인이 표면에 미리 형성된 취성재료 기판의 상기 스크라이브 라인 근방부분에, 상기 스크라이브 라인을 따라 상대적으로 이동 가능하게 되는 압력을 부가하여, 상기 수직크랙을 상기 취성재료 기판의 이면까지 확산시킴으로써 상기 취성재료 기판을 제1기판 부분 및 제2기판 부분으로 절단하는 절단공정과,
    상기 제1기판 부분의 표면 및 이면에 접촉하고, 상기 제1기판 부분의 절단면이 상기 제2기판 부분의 절단면에서 멀어지는 방향으로 상기 제1기판 부분을 이동시키는 절단면 분리 공정을
    포함하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판 절단방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 절단면 분리 공정에 있어서, 상기 제1기판 부분이 하방으로 이동되는 것을 특징으로 하는 취성재료 절단방법.
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