JPS63104442A - ウエハブレ−ク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造工程においてウェハ状態の半導体素
子を素子単位に分離するウェハブレーク装置に関するも
のである。

〔従来の技術〕

一般に半導体製造工程においては、ウェハ上に多数の半
導体素子を同時に製造し、このウェハをウェハブレーク
装置で分離して半導体素子とじている。

第５図および第６図は例えば従来のウェハブレーク装置
の要部を示す正面図および側面図で、ウェハブレーク装
置１は、ウェハ２を固定した状態に支承するテープ３と
、このテープ３を支えるフレーム４と、このフレーム４
に対して進退自在かつ固定具５によって回転自在に支持
された鋭利な刃先を有する円板状の刃６などから構成さ
れている。

次にこのウェハブレーク装置１によるウェハブレーク工
程について説明すると、先ず、ブレークしたいラインと
刃６の進行方向および位置を合わせ、この状態に固定具
５を位置決めする。このとき刃６はテープ３を僅かに突
き上げる高さにする。

次いで、フレーム４と固定具５とを相対的に移動させ、
刃６を第７図に示す状態にまで移動させる。

この移動の際、テープ３と共にウェハ２の一部カ押し上
げられ、この部分のラインがブレークされる。そして、
この状態においてさらに新しくブレークしたいラインに
刃６の位置を合わせ、上述した動作を繰り返すのである
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、この種従来のウェハブレーク装置におい
ては、刃の進行方向とブレークされるラインの方向とが
必ずしも一致しないことがあった。

すなわち、ブレークしたいラインと直角方向のラインも
ブレークされてしまう場合があり、この予定外のブレー
クは正確な位置合わせが行われてないため、ブレークさ
れる位置がずれ、素子裏面の欠けやくずれが発生する問
題があった。

また、ブレーク時にフレームと固定具とを相対的に移動
させるストロークがウェハ直径以上となり長くなるため
に、ブレークに要する時間が長くなる問題もあった。

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は、正確なブレークが行えると共に、ブレークに要す
る時間が短縮できるウェハブレーク装置を提供するもの
である。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係るウェハブレーク装置は、ウェハ直径よりも
長い刃先を有するブレークピンと、このビンをウェハの
ブレーク部分に相対的に移動させる移動装置と、ブレー
クピンをウェハに対して進退させる押当て装置とを備え
たものである。

〔作用〕

本発明においては、ブレークピンの刃先がウェハの１本
のブレークライン全体に当接し、この状態でブレークピ
ンが前進すると、刃先と直交する方向に曲げ応力が生じ
るため、刃先に合わせられたブレークラインのみが一度
にブレークされる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により詳細に説明する。第
１図は本発明に係るウェハブレーク装置を示す縦断面図
、第２図は同じく横断面図で、これらの図において符号
１１で示すウェハブレーク装置は、従来のものと同様に
ウェハ２を固定した状態に支承するテープ３と、このテ
ープ３を支えるフレーム４とを備えている。フレーム４
は円形環状に形成されている。

前記フレーム４は円筒状に形成された取付プロツク１２
の内側に保持されている。１３はこの取付ブロック１２
を回転自在に支持する筒部１３ａを有するテーブルであ
る。このテーブル１３は平行に架は渡された一対の支柱
１４．トに移動自在に支承されており、ボールねじ１５
の回転によって支柱１４上を移動する。

１６はテーブル１３の筒部１３ａの下側に配設されたブ
レークピンである。このブレークピン１６は前記ウェハ
２の直径よりも長くかつ鋭利な刃先を有しており、正面
視略帯板状を呈している。

１７はブレークピン１６をウェハ２に対して進退させる
押当て装置としてのシリンダ装置であり、ロッド１７ａ
の先端部に固定具１８を介してブレークピン１６を支持
している。

２１はテーブル１３に取付けられたモータである。この
モータ２１は出力軸にプーリ２２が軸装されており、こ
のプーリ２２と前記取付ブロック１２の外周面に設けら
れたベルト溝１２ａとの間にはベルト２３が掛は渡され
ている。したがって、モータ２１でプーリ２２を回転さ
せるとウェハ２は回転し、ボールねじ１５を回転させる
とウェハ２は支柱１４と平行に移動する。すなわち、こ
れらモータ２１、ボールねじ１５、ベルト２３、取付ブ
ロック１２、テーブル１３は、ブレークピン１６をウェ
ハ２のブレーク部分に相対的に移動させる移動装置を構
成している。

次にこのように構成されたウェハブレーク装置１１を使
用したブレーク工程について説明する。

先ず、ブレークピン１６をテープ３から離した状態で、
ブレークしたいラインの位置へ相対的に移動させ、ブレ
ークピン１６の長さ方向とブレークラインの方向とを合
わせる。これは、ボールねじ１５の回転およびモータ２
１の駆動によって行う。

次いで、シリンダ装置１７のロッド１７ａをウェハ２に
対して前進させ、ブレークピン１６の刃先をテープ３を
介してウェハ２の裏面に押当てる。

このとき、ブレークピン１６はウェハ２の直径よりも長
く形成されているので、刃先がウェハ２の１本のブレー
クライン全体に当接する。

そして、さらにロッド１７ａを前進させ、第３図および
第４図に示す状態にまでブレークピン１６でウェハ２を
押上げる。このとき、ウェハ２は、ブレークピン１６の
刃先との接触点において、押上げ量が最大となる。その
ため、この接触点を支点とし、刃先と直交する方向に曲
げ応力が発生する。その結果、刃先に合わせられたブレ
ークラインのみが一度にブレークされる。

その後、ブレークピン１６をテープ３から離間するまで
後退させた後、ブレークピン１６を新たなブレークライ
ンにまで、相対的に移動させて、上述した動作を繰返し
行う。

なお、移動装置としては、上述したようにテーブル１３
を回転自在かつ一方向へ移動自在とすることによって構
成されたものに限定されるものではなく、例えば、ブレ
ークピン１６を移動自在で回転自在なテーブル上に設け
るようにしてもよく、適宜変更することができる。また
、押当て装置についても同様で、上述したシリンダ装置
１７のほか、例えばモータとポールねじを組合わせるな
ど適宜変更することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ウェハ直径よりも
長い刃先を有するブレークピンと、このピンをウェハの
ブレーク部分に相対的に移動させる移動装置と、ブレー
クピンをウェハに対して進退させる押当て装置とを備え
たから、ブレークピンを１本のブレークライン全体に当
接させた状態で、前進させることができるので、刃先と
直交する方向に曲げ応力を生しさせることができる。

したがって、刃先に合わせられたブレークラインのみを
一度にブレークすることができるから、正確なブレーク
を行うことができる。その結果、素子裏面の欠けやくず
れが発生するおそれがない。

また、ブレークピンをウェハに対して進退させることに
よって、刃をウェハの直径以上のストロークで移動させ
る従来のものに比較して、ブレークピンのストロークを
短くすることができるから、ブレークに要する時間が短
縮できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェハブレーク装置を示す縦断面
図、第２図は同じく横断面図、第３図および第４図はブ
レーク工程について説明するための要部の正面図および
側面図、第５図および第６図は従来のウェハブレーク装
置の要部を示す正面図および側面図、第７図は同しくブ
レーク工程について説明するための要部の正面図である
。 ２・・・・ウェハ、１２・・・・取付ブロック、１３．
。 、・テーブル、１６・・・・ブレークピン、１７・・・
・シリンダ装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　テープ上に支承されたウェハを素子単位に分離するウ
   ェハブレーク装置において、ウェハ直径よりも長くかつ
   鋭利な刃先を有するブレークピンと、このブレークピン
   をウェハのブレーク部分に相対的に移動させる移動装置
   と、前記ブレークピンをウェハに対して進退させる押当
   て装置とを備えたことを特徴とするウェハブレーク装置
   。