JPS6026300B2 - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS6026300B2 JPS6026300B2 JP54165260A JP16526079A JPS6026300B2 JP S6026300 B2 JPS6026300 B2 JP S6026300B2 JP 54165260 A JP54165260 A JP 54165260A JP 16526079 A JP16526079 A JP 16526079A JP S6026300 B2 JPS6026300 B2 JP S6026300B2
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- Japan
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- wire
- clamper
- bonding
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- lever
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング装置、特にワイヤカット機
構に関するものである。
構に関するものである。
周知の如く、超音波ワイヤボンディング装置によるワイ
ヤボンディング方法は、第１図に示すように半導体部品
１のべレットＳ上のパッドＳｐの真上にホーン２の先端
に取付けられたツール３を位置させ、続いてツール３を
下降させてワイヤ４を第１ボンディング点であるパッド
Ｓｐに予め調整された微小圧で押圧し、ホーン２に超音
波を与えながらパッドＳｐにワイヤ４の先端をボンディ
ングする。
ヤボンディング方法は、第１図に示すように半導体部品
１のべレットＳ上のパッドＳｐの真上にホーン２の先端
に取付けられたツール３を位置させ、続いてツール３を
下降させてワイヤ４を第１ボンディング点であるパッド
Ｓｐに予め調整された微小圧で押圧し、ホーン２に超音
波を与えながらパッドＳｐにワイヤ４の先端をボンディ
ングする。
次にホーン２を上昇させると同時にクランパー５による
ワイヤ４のクランプ状態を解除し、ホーン２を移動させ
て第２ボンディング点であるリードフレームＬのリード
ポストＬｐの真上にツール３を位置させ、同様の動作で
ボンディングを行なう。そこで、クランパ−５は再びワ
イヤ４をクランプし、ツール３から遠ざかる方向に向け
てワイヤ４の挿通方向に沿って移動し、ワイヤ４にテン
ションを与えてツール先端下面の端部よりカットする。
このようにして一対の相互に接続される２つのボンディ
ング点がワイヤ４により接続される。さて、前記したワ
イヤカット作業は通常用いられる０．０５側程度の直径
ワイヤにおいては非常に容易で何んら問題がない。
ワイヤ４のクランプ状態を解除し、ホーン２を移動させ
て第２ボンディング点であるリードフレームＬのリード
ポストＬｐの真上にツール３を位置させ、同様の動作で
ボンディングを行なう。そこで、クランパ−５は再びワ
イヤ４をクランプし、ツール３から遠ざかる方向に向け
てワイヤ４の挿通方向に沿って移動し、ワイヤ４にテン
ションを与えてツール先端下面の端部よりカットする。
このようにして一対の相互に接続される２つのボンディ
ング点がワイヤ４により接続される。さて、前記したワ
イヤカット作業は通常用いられる０．０５側程度の直径
ワイヤにおいては非常に容易で何んら問題がない。
しかし、ワイヤの直径が０．１〜０．５肋（以下太線ワ
イヤという）になると、第２ボンディング時にワイヤを
必要以上の時間をかけて十分潰した後でなければカット
できない。しかしながら、このワイヤの潰れ状態はワイ
ヤの材質及び線径、ツールによって加える圧力及び超音
波発振の強さ等によって大きく変化するので、第２ボン
ディングにかける時間の管理が困難である。そこで従釆
は必要以上に第２ボンディングに時間をかける傾向にあ
り、そのため最良のボンディングが行なえない欠点があ
った。また、このためにギロチンとよばれるカット装置
を用いてカットすることも行なわれている。しかしなが
ら、ギロチンを用いると第２ボンディング点とカット部
分までの長さ、いわゆるテールが生じるのは避けられな
く、このテールの処理に多大の時間を必要とする欠点を
有する。本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、太線ワイヤを用いても容易にカットできるワイヤ
ボンディング装置を提供することを目的とする。
イヤという）になると、第２ボンディング時にワイヤを
必要以上の時間をかけて十分潰した後でなければカット
できない。しかしながら、このワイヤの潰れ状態はワイ
ヤの材質及び線径、ツールによって加える圧力及び超音
波発振の強さ等によって大きく変化するので、第２ボン
ディングにかける時間の管理が困難である。そこで従釆
は必要以上に第２ボンディングに時間をかける傾向にあ
り、そのため最良のボンディングが行なえない欠点があ
った。また、このためにギロチンとよばれるカット装置
を用いてカットすることも行なわれている。しかしなが
ら、ギロチンを用いると第２ボンディング点とカット部
分までの長さ、いわゆるテールが生じるのは避けられな
く、このテールの処理に多大の時間を必要とする欠点を
有する。本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、太線ワイヤを用いても容易にカットできるワイヤ
ボンディング装置を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明になるワイヤボンディング装置の一実施
例を示すワイヤクランパ作動機構図である。本実施例は
本願出願人に係る特関昭５２−８３１７１号公報に示す
機構に応用した例を示す。第２図において、１０は先端
にツール１１が取付けられたホーンで、ワイヤ４が挿通
されるスリット１０ａ（第３図参照）が設けられている
。前記ワイヤ４は図示しないワイヤスプールよりホーン
１０のスリット１０ａを通してツール１１の先端に案内
されている。１２はホーン１０に超音波振動を与える振
動源を持つボンディングヘッド、１３はボンディングヘ
ッド１２を支持して支軸１４を中心として上下に揺動可
能に設けられたボンディング支持アームである。
例を示すワイヤクランパ作動機構図である。本実施例は
本願出願人に係る特関昭５２−８３１７１号公報に示す
機構に応用した例を示す。第２図において、１０は先端
にツール１１が取付けられたホーンで、ワイヤ４が挿通
されるスリット１０ａ（第３図参照）が設けられている
。前記ワイヤ４は図示しないワイヤスプールよりホーン
１０のスリット１０ａを通してツール１１の先端に案内
されている。１２はホーン１０に超音波振動を与える振
動源を持つボンディングヘッド、１３はボンディングヘ
ッド１２を支持して支軸１４を中心として上下に揺動可
能に設けられたボンディング支持アームである。
なお、このボンディング支持アーム１３を駆動する機構
は本発明の構造と直接関係ないので図示省略したが、カ
ム軸１５に固定されたツール上下動カム（図示せず）に
よって揺動する揺動レバー（図示せず）によって揺動さ
せられる。２川まワイヤ４をクランプするワイヤクラン
パで、ツール１１の近傍に配設されている。
は本発明の構造と直接関係ないので図示省略したが、カ
ム軸１５に固定されたツール上下動カム（図示せず）に
よって揺動する揺動レバー（図示せず）によって揺動さ
せられる。２川まワイヤ４をクランプするワイヤクラン
パで、ツール１１の近傍に配設されている。
２１はボンディングヘッド１２に固定された案内部材２
２にワイヤ４の挿通方向に超動可能に支持されたクラン
パホルダで、下端には前記ワイヤクランパ２０がピン２
３で回動自在に取付けられている。
２にワイヤ４の挿通方向に超動可能に支持されたクラン
パホルダで、下端には前記ワイヤクランパ２０がピン２
３で回動自在に取付けられている。
２４はカム軸１５に固定されたワイヤカット用カム、２
５は支軸２６の周り‘こ揺動可能に設けられた第１ワイ
ヤカットレバーで、この第１ワイヤカットレバー２５に
取付けられたローラ２７はばね２８で前記ワイヤカット
用カム２４に圧接されている。
５は支軸２６の周り‘こ揺動可能に設けられた第１ワイ
ヤカットレバーで、この第１ワイヤカットレバー２５に
取付けられたローラ２７はばね２８で前記ワイヤカット
用カム２４に圧接されている。
２９はボンディングヘッド１２に設けられたプラケット
３０‘こ回動自在に支承された支軸３１に取付けられた
第２ワイヤカットレバーで、その一端２９ａはクランパ
ホルダ２１の一端２１ａに当接し、他端２９ｂは第１ワ
イヤカットレバー２５の織部に螺合したねじ３２に当綾
している。
３０‘こ回動自在に支承された支軸３１に取付けられた
第２ワイヤカットレバーで、その一端２９ａはクランパ
ホルダ２１の一端２１ａに当接し、他端２９ｂは第１ワ
イヤカットレバー２５の織部に螺合したねじ３２に当綾
している。
３３はボンディング支持アーム１３に螺合し第２ワイヤ
カットレバー２９の一部所２９ｃに当接する如く設けら
れた第１ストッパ、３４はボンディング支持アーム１３
と第２ワイヤカットレバー２９とに掛け合わされ第２ワ
イヤカットレバー２９を第１ストッパ３３との当綾方向
に付勢するばね、３５は第２ワイヤカットレバー２９の
一部所２９ｄにおいて必要に応じて第１ストッパ３３と
の当援位置よりも下で第２ワイヤカットレバー２９の揺
動を係止するボンディング支持アーム１３に超動可能に
支持された第２ストッパである。
カットレバー２９の一部所２９ｃに当接する如く設けら
れた第１ストッパ、３４はボンディング支持アーム１３
と第２ワイヤカットレバー２９とに掛け合わされ第２ワ
イヤカットレバー２９を第１ストッパ３３との当綾方向
に付勢するばね、３５は第２ワイヤカットレバー２９の
一部所２９ｄにおいて必要に応じて第１ストッパ３３と
の当援位置よりも下で第２ワイヤカットレバー２９の揺
動を係止するボンディング支持アーム１３に超動可能に
支持された第２ストッパである。
以上は特開昭５２一８３１７１号と殆んど同じ構造で、
異なる点はホーン１川こ設けられたワイヤ挿通用の穴は
スリット１０ａであること及びワイヤクランバ２０はピ
ン２３でクランパホルダ２１に回動自在に取付けられて
いることのみである。そこで、上記構造の作動は簡単に
説明することにする。本発明はワイヤをカットする際、
ワイヤ４をボンディング点で折曲げるワイヤ折曲げ機構
を設けたことを特徴とする。以下その構造について説明
する。４川まカム軸１５に固定されたワイヤ折曲げ用カ
ム、４１はボンディング支持アーム１３に設けられたプ
ラケット４２に回動自在に支承された支軸４３に取付け
られたワイヤクランパ揺動レバーで、その一端に設けら
れたローラ４４がワイヤ折曲げ用カム４川こ圧薮するよ
うにボンディング支持アーム１３とワイヤクランパ揺動
レバー４１に掛け合わされたばね４５で付勢されている
。
異なる点はホーン１川こ設けられたワイヤ挿通用の穴は
スリット１０ａであること及びワイヤクランバ２０はピ
ン２３でクランパホルダ２１に回動自在に取付けられて
いることのみである。そこで、上記構造の作動は簡単に
説明することにする。本発明はワイヤをカットする際、
ワイヤ４をボンディング点で折曲げるワイヤ折曲げ機構
を設けたことを特徴とする。以下その構造について説明
する。４川まカム軸１５に固定されたワイヤ折曲げ用カ
ム、４１はボンディング支持アーム１３に設けられたプ
ラケット４２に回動自在に支承された支軸４３に取付け
られたワイヤクランパ揺動レバーで、その一端に設けら
れたローラ４４がワイヤ折曲げ用カム４川こ圧薮するよ
うにボンディング支持アーム１３とワイヤクランパ揺動
レバー４１に掛け合わされたばね４５で付勢されている
。
またワイヤクランパ揺動レバー４１の他端にはクランパ
ホルダ２１の摺動方向と平行に長溝４１ａが形成され、
この長溝４１ａにワイヤクランパ２０に植設されたピン
４５が控動自在に俵合している。次にかかる構成よりな
るワイヤボンディング装置の作用について説明する。
ホルダ２１の摺動方向と平行に長溝４１ａが形成され、
この長溝４１ａにワイヤクランパ２０に植設されたピン
４５が控動自在に俵合している。次にかかる構成よりな
るワイヤボンディング装置の作用について説明する。
第４図に示すように第２ボンディング点Ｌｐにワイヤ４
をボンディングした後、又はボンディング途中にワイヤ
クランパ２０はワイヤ４をクランプし、カム軸１５と共
に回転するワイヤ折曲げ用カム４川こよってワイヤクラ
ンパ揺動レバー４１は支軸４３を中心として反時計方向
に一定角度回動する。これによりワイヤクランパ揺動レ
バー４１の最澄４１ａはピン４５に係合してワイヤクラ
ンパ２０をピン２３を中心として時計方向に回動させる
。この状態を第４図に２点鎖線で示す。この状態で第１
ワイヤカットレバー２５はワイヤカット用カム２４によ
って支軸２６を中心として反時計方向に回動し、第２ワ
イヤカットレバー２９が支軸３１を中心として時計方向
に回動する。これによりワイヤクランパ２０はワイヤ４
を把持したままツール１１から離反し、この結果ワイヤ
４はボンディング部でカットされる。このようにワイヤ
４をツ−ル１１の付根のところで折曲げてカットするの
で、ワイヤは容易にカットされる。このようにしてワイ
ヤ４のカットが完了すると、ボンディング支持アーム１
３が上昇し、次のボンディングに備えるワイヤ４のツー
ル１１下端への燥出しが行なわれる。まずワイヤクラン
パ揺動レバー４１がワイヤ折曲げ用カム４０のプロフィ
ルに沿って前記と逆に反時計方向に回動し、これによっ
てワイヤクランバ２０も反時計方向に一定角度回動する
。次に第１ワイヤカットレバー２５がワイヤカット用カ
ム２４のプロフイルに沿って前記と逆に時計方向に、第
２ワイヤカットレバー２９は反時計方向に移動し、これ
によりワイヤクラン／ぐ２０はクラン／ｆホルダ２１に
よつてツール１１の方向に移動させられ、ツール１１の
先端にワイヤ４を繰り出す。ここで、前記ワイヤのカッ
トと次の作業のためのワイヤの繰り出しとを行なうため
にその往動時と復動時の連続移動量に差異を与える必要
がある。
をボンディングした後、又はボンディング途中にワイヤ
クランパ２０はワイヤ４をクランプし、カム軸１５と共
に回転するワイヤ折曲げ用カム４川こよってワイヤクラ
ンパ揺動レバー４１は支軸４３を中心として反時計方向
に一定角度回動する。これによりワイヤクランパ揺動レ
バー４１の最澄４１ａはピン４５に係合してワイヤクラ
ンパ２０をピン２３を中心として時計方向に回動させる
。この状態を第４図に２点鎖線で示す。この状態で第１
ワイヤカットレバー２５はワイヤカット用カム２４によ
って支軸２６を中心として反時計方向に回動し、第２ワ
イヤカットレバー２９が支軸３１を中心として時計方向
に回動する。これによりワイヤクランパ２０はワイヤ４
を把持したままツール１１から離反し、この結果ワイヤ
４はボンディング部でカットされる。このようにワイヤ
４をツ−ル１１の付根のところで折曲げてカットするの
で、ワイヤは容易にカットされる。このようにしてワイ
ヤ４のカットが完了すると、ボンディング支持アーム１
３が上昇し、次のボンディングに備えるワイヤ４のツー
ル１１下端への燥出しが行なわれる。まずワイヤクラン
パ揺動レバー４１がワイヤ折曲げ用カム４０のプロフィ
ルに沿って前記と逆に反時計方向に回動し、これによっ
てワイヤクランバ２０も反時計方向に一定角度回動する
。次に第１ワイヤカットレバー２５がワイヤカット用カ
ム２４のプロフイルに沿って前記と逆に時計方向に、第
２ワイヤカットレバー２９は反時計方向に移動し、これ
によりワイヤクラン／ぐ２０はクラン／ｆホルダ２１に
よつてツール１１の方向に移動させられ、ツール１１の
先端にワイヤ４を繰り出す。ここで、前記ワイヤのカッ
トと次の作業のためのワイヤの繰り出しとを行なうため
にその往動時と復動時の連続移動量に差異を与える必要
がある。
この役副ま第２ストッパ３５がなす。この作用について
は既に特開昭５２−８３１７１号公報に開示されており
、また、その点は本願の要旨と直接関係がないので説明
を省略する。以上の説明から明らかな如く、本発明にな
るワイヤボンディング装置によれば、ワイヤをツールの
付根のところで折曲げてカットするので、太線ワイヤを
用いてもカットが容易に行なわれる。
は既に特開昭５２−８３１７１号公報に開示されており
、また、その点は本願の要旨と直接関係がないので説明
を省略する。以上の説明から明らかな如く、本発明にな
るワイヤボンディング装置によれば、ワイヤをツールの
付根のところで折曲げてカットするので、太線ワイヤを
用いてもカットが容易に行なわれる。
なお、上記実施例においてはワイヤを一度折曲げた後に
カットしたが、２度、３度と複数回折曲げを繰返した後
にカットするようにすると、一層カットは容易となる。
またワイヤクランパ２０をワイヤ折曲げ用カム４０とワ
イヤクランパ揺動レバー４１によって作動させたが、本
発明はこれに限定されるものではなく、例えばワイヤク
ランパ揺動しバ−４１をソレノィド等で作動させてもよ
い。
カットしたが、２度、３度と複数回折曲げを繰返した後
にカットするようにすると、一層カットは容易となる。
またワイヤクランパ２０をワイヤ折曲げ用カム４０とワ
イヤクランパ揺動レバー４１によって作動させたが、本
発明はこれに限定されるものではなく、例えばワイヤク
ランパ揺動しバ−４１をソレノィド等で作動させてもよ
い。
第１図は従来のワイヤボンディング装置の断面図、第２
図は本発明になるワイヤボンディング装置の一実施例を
示す正面図、第３図はホーンの平面図、第４図は作動説
明図である。 ４”””ワイヤ、１１””“ツール、２０……ワイヤク
ランパ、４０……ワイヤ折曲げ用カム、４１．．・．．
・ワイヤクランパ揺動レバー。 第３図 第ｌ図 第４図 図 Ｎ 船
図は本発明になるワイヤボンディング装置の一実施例を
示す正面図、第３図はホーンの平面図、第４図は作動説
明図である。 ４”””ワイヤ、１１””“ツール、２０……ワイヤク
ランパ、４０……ワイヤ折曲げ用カム、４１．．・．．
・ワイヤクランパ揺動レバー。 第３図 第ｌ図 第４図 図 Ｎ 船
Claims (1)
- １ ツールに挿通されたワイヤをボンデイング後にワイ
ヤクランパでクランプし、前記ワイヤクランパを前記ワ
イヤ挿通方向にワイヤカツト機構で移動させてワイヤを
カツトするワイヤボンデイング装置において、ワイヤを
前記ツールで半導体部品に押付けた状態で前記ワイヤを
ツールの付根のとこので折曲げるように前記ワイヤクラ
ンパを前記ワイヤカツト機構が作動する前に移動させる
ワイヤ折曲げ機構をを備えたワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54165260A JPS6026300B2 (ja) | 1979-12-18 | 1979-12-18 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54165260A JPS6026300B2 (ja) | 1979-12-18 | 1979-12-18 | ワイヤボンデイング装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59059366A Division JPS59181546A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5687335A JPS5687335A (en) | 1981-07-15 |
| JPS6026300B2 true JPS6026300B2 (ja) | 1985-06-22 |
Family
ID=15808937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54165260A Expired JPS6026300B2 (ja) | 1979-12-18 | 1979-12-18 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026300B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62117299U (ja) * | 1986-01-18 | 1987-07-25 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2575048B2 (ja) * | 1988-08-05 | 1997-01-22 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
| KR20220007247A (ko) * | 2020-07-10 | 2022-01-18 | 삼성전자주식회사 | 와이어 본딩 장치 |
| CN112050848B (zh) * | 2020-09-09 | 2022-07-26 | 合肥矽格玛应用材料有限公司 | 一种检测键合丝咬线的装置 |
-
1979
- 1979-12-18 JP JP54165260A patent/JPS6026300B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62117299U (ja) * | 1986-01-18 | 1987-07-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5687335A (en) | 1981-07-15 |
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