JPWO2006006522A1 - スパッタリングターゲット材 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- スパッタリングターゲット材のスパッタリングに使用される部分に、摩擦撹拌処理を行ったことを特徴するスパッタリングターゲット材。
- スパッタリングターゲット材は、アルミニウム系合金である請求項1に記載のスパッタリングターゲット材。
- アルミニウム系合金は、炭素を含有する請求項2に記載のスパッタリングターゲット材。
- ニッケル、コバルト、鉄のいずれか一種以上の元素を含む請求項2又は請求項3に記載のスパッタリングターゲット材。
- スパッタリングターゲット材が焼結材又は鋳造材である請求項1〜請求項4いずれかに記載のスパッタリングターゲット材。
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