JPS648700B2 - - Google Patents
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- JPS648700B2 JPS648700B2 JP58099797A JP9979783A JPS648700B2 JP S648700 B2 JPS648700 B2 JP S648700B2 JP 58099797 A JP58099797 A JP 58099797A JP 9979783 A JP9979783 A JP 9979783A JP S648700 B2 JPS648700 B2 JP S648700B2
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- clamp mechanism
- clamp
- lifting
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/02—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid
- B65G49/04—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction
- B65G49/0409—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length
- B65G49/0436—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath
- B65G49/044—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit
- B65G49/045—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed
- B65G49/0454—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed by means of containers -or workpieces- carriers
- B65G49/0463—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed by means of containers -or workpieces- carriers movement in a vertical direction is caused by lifting means or fixed or adjustable guiding means located at the bath area
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
- C23C2/34—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor characterised by the shape of the material to be treated
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0053—Arrangements for assisting the manual mounting of components, e.g. special tables or light spots indicating the place for mounting
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- Coating With Molten Metal (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、基板の表面処理装置、特にプリント
基板(以下基板という)のハンダ処理装置に関す
るものである。
基板(以下基板という)のハンダ処理装置に関す
るものである。
〔従来の技術とその課題〕
従来より、基板の溶融ハンダ浸漬の前工程であ
る洗浄用のフラツクス処理、後工程の洗浄処理を
含めて自動化した、いわゆるメリーゴーラウン型
の基板表面処理装置は広く知られており、更に、
基板のハンダ処理において、基板を溶融ハンダに
浸漬してこの基板表面の銅被膜部分にハンダ付け
をした後、基板のスルホール内のハンダの除去や
基板表面の過剰のハンダの除去、更にはハンダ被
膜厚さを均一化するための装置も、例えば特公昭
56―31918号公報で知られている。
る洗浄用のフラツクス処理、後工程の洗浄処理を
含めて自動化した、いわゆるメリーゴーラウン型
の基板表面処理装置は広く知られており、更に、
基板のハンダ処理において、基板を溶融ハンダに
浸漬してこの基板表面の銅被膜部分にハンダ付け
をした後、基板のスルホール内のハンダの除去や
基板表面の過剰のハンダの除去、更にはハンダ被
膜厚さを均一化するための装置も、例えば特公昭
56―31918号公報で知られている。
すなわち、前記メリーゴーラウン型の基板表面
処理装置の従来の一例を第5図で示す。同図は概
略平面図であるが、基板Pを挟持するクランプ1
を90゜等角配置し、各クランプ1をアーム2の先
端で吊設している。これら4個のクランプ1は同
時に昇降し90゜ずつ回転するようになつている。
処理装置の従来の一例を第5図で示す。同図は概
略平面図であるが、基板Pを挟持するクランプ1
を90゜等角配置し、各クランプ1をアーム2の先
端で吊設している。これら4個のクランプ1は同
時に昇降し90゜ずつ回転するようになつている。
さて、位置eにおいて、基板Pをクランプ1に
垂直に挟持し、90゜回転させて位置fに移す。こ
のとき、次の基板Pを取り付ける。この位置fの
基板Pはフラツクス槽3に所定時間浸漬させ、引
き上げ再びアーム2を90゜回転させ、位置gに移
す。このとき、位置eでは3枚目の基板Pをクラ
ンプ1に取り付ける。位置gの1枚目の基板Pは
ハンダ槽4内の溶融ハンダに、位置fの2枚目の
基板Pはフラツクス槽3のフラツクスに、それぞ
れアーム2を下降させて浸漬させる。位置gの基
板Pをハンダ槽4から引き上げるとき、スリツト
(図示せず)より熱風を噴出させ、基板Pの表面
およびそのスルーホール内の過剰ハンダを除去す
る。位置hにおいて洗浄処理を行い、基板Pの表
面の不要なフラツクスを除去する。最初の位置e
に戻つた1枚目のハンダ処理済の基板Pは取り外
され、5枚目の未処理の基板Pを取り付ける。
垂直に挟持し、90゜回転させて位置fに移す。こ
のとき、次の基板Pを取り付ける。この位置fの
基板Pはフラツクス槽3に所定時間浸漬させ、引
き上げ再びアーム2を90゜回転させ、位置gに移
す。このとき、位置eでは3枚目の基板Pをクラ
ンプ1に取り付ける。位置gの1枚目の基板Pは
ハンダ槽4内の溶融ハンダに、位置fの2枚目の
基板Pはフラツクス槽3のフラツクスに、それぞ
れアーム2を下降させて浸漬させる。位置gの基
板Pをハンダ槽4から引き上げるとき、スリツト
(図示せず)より熱風を噴出させ、基板Pの表面
およびそのスルーホール内の過剰ハンダを除去す
る。位置hにおいて洗浄処理を行い、基板Pの表
面の不要なフラツクスを除去する。最初の位置e
に戻つた1枚目のハンダ処理済の基板Pは取り外
され、5枚目の未処理の基板Pを取り付ける。
かかる基板表面処理装置の場合、クランプ1へ
基板Pを取り付け、および取り外しが同一位置(e)
で行うので、基板Pの搬送および挟持の自動化を
完全に行うことが困難であり、また同一作動のア
ーム2にクランプ1を付設しているため、各位置
での処理時間が同じとなり、各位置での処理をそ
の処理に必要な時間および引き上げ、下げの速度
を、それぞれ異なるように設定することができな
い。したがつて、やむをえず、最長時間を要する
処理に合せなければならず、生産性が低下しがち
となつている。
基板Pを取り付け、および取り外しが同一位置(e)
で行うので、基板Pの搬送および挟持の自動化を
完全に行うことが困難であり、また同一作動のア
ーム2にクランプ1を付設しているため、各位置
での処理時間が同じとなり、各位置での処理をそ
の処理に必要な時間および引き上げ、下げの速度
を、それぞれ異なるように設定することができな
い。したがつて、やむをえず、最長時間を要する
処理に合せなければならず、生産性が低下しがち
となつている。
そこで本発明は、前記のような不都合を解決す
るための基板の自動表面処理装置を提供し、特
に、複数個の表面処理装置を等角配置し、それぞ
れの所要の浸漬時間および引き上げ・下げ速度を
設定できる表面処理装置を提供しようとするもの
で、その要旨とするところは、基板を表面処理槽
へ垂直に浸漬する表面処理装置において、基板を
挟持するクランプ機構、クランプ機構を昇降案内
する垂直ガイド、垂直ガイドを複数個等角配置し
て旋回する枠、垂直ガイドにおける所定高さ位置
にてクランプ機構を保持するガイドプレート、ガ
イドプレートに形成された切欠部にてクランプ機
構を保持する昇降片、昇降片を昇降してクランプ
機構を昇降する昇降機構からなり、垂直ガイドの
旋回時にはガイドプレートに所定高さ位置を保持
した状態で垂直ガイドとともにクランプ機構が旋
回し、垂直ガイドの旋回停止時にはガイドプレー
トの切欠部にて昇降片を介して昇降機構によつて
クランプ機構が昇降するようにしたことを特徴と
する基板表面処理装置にある。
るための基板の自動表面処理装置を提供し、特
に、複数個の表面処理装置を等角配置し、それぞ
れの所要の浸漬時間および引き上げ・下げ速度を
設定できる表面処理装置を提供しようとするもの
で、その要旨とするところは、基板を表面処理槽
へ垂直に浸漬する表面処理装置において、基板を
挟持するクランプ機構、クランプ機構を昇降案内
する垂直ガイド、垂直ガイドを複数個等角配置し
て旋回する枠、垂直ガイドにおける所定高さ位置
にてクランプ機構を保持するガイドプレート、ガ
イドプレートに形成された切欠部にてクランプ機
構を保持する昇降片、昇降片を昇降してクランプ
機構を昇降する昇降機構からなり、垂直ガイドの
旋回時にはガイドプレートに所定高さ位置を保持
した状態で垂直ガイドとともにクランプ機構が旋
回し、垂直ガイドの旋回停止時にはガイドプレー
トの切欠部にて昇降片を介して昇降機構によつて
クランプ機構が昇降するようにしたことを特徴と
する基板表面処理装置にある。
以下、本発明の構成を添付図面に示す実施例に
もとづき詳細に説明する。
もとづき詳細に説明する。
第1図は本実施例の平面図、第2図は第1図の
X〜X断面図を示し、基板Pを挟持する手段、す
なわちクランプ機構23、このクランプ機構23
を昇降させる手段、すなわち昇降機構6および前
記クランプ機構23の昇降時の垂直ガイド7とか
ら大略構成された基板昇降装置を、例えば第1図
の位置a,b,cおよびdのように、複数個等角
位置し、クランプ機構23を所定角度(第1図で
は90゜)回転させるようにしている。したがつて、
第1図のa,b,cおよびdのそれぞれにおい
て、クランプ機構23をそれぞれの所要の距離ま
たは時間で昇降または停止させるような構成にし
ている。
X〜X断面図を示し、基板Pを挟持する手段、す
なわちクランプ機構23、このクランプ機構23
を昇降させる手段、すなわち昇降機構6および前
記クランプ機構23の昇降時の垂直ガイド7とか
ら大略構成された基板昇降装置を、例えば第1図
の位置a,b,cおよびdのように、複数個等角
位置し、クランプ機構23を所定角度(第1図で
は90゜)回転させるようにしている。したがつて、
第1図のa,b,cおよびdのそれぞれにおい
て、クランプ機構23をそれぞれの所要の距離ま
たは時間で昇降または停止させるような構成にし
ている。
クランプ機構23は、第2図および第3図のよ
うに、シリンダ24、ナーパースライダ26、ク
ランプ爪27とからなる機構であり、基板Pを例
えば第3図のように、シリンダ24を作動させ、
2個のクランプで挟持する。
うに、シリンダ24、ナーパースライダ26、ク
ランプ爪27とからなる機構であり、基板Pを例
えば第3図のように、シリンダ24を作動させ、
2個のクランプで挟持する。
昇降機構6の内部は、シリンダ40、チエーン
およびモータ、またはロツドレスシリンダ等の機
構を備え、昇降片9を昇降部30を介して昇降さ
せる。昇降の上級および下限のセンサーは所定の
位置に取り付けているが、図示していない。
およびモータ、またはロツドレスシリンダ等の機
構を備え、昇降片9を昇降部30を介して昇降さ
せる。昇降の上級および下限のセンサーは所定の
位置に取り付けているが、図示していない。
垂直ガイド7は、角形パイプ13の外面をクラ
ンプ機構23のアーム2に固設したフレーム11
に内設した複数のローラ12がこのパイプ13に
係合した機構で、クランプ機構23が揺れる左右
前後の位置ずれを防ぎ、このパイプ13に沿つて
垂直方向に昇降できる機構となつている。なお、
このパイプ13内の錘り14は、フレーム11と
チエーン15により連結され、スプロケツト16
を介して、クランプ機構23と錘り14とはバラ
ンスを保持している。
ンプ機構23のアーム2に固設したフレーム11
に内設した複数のローラ12がこのパイプ13に
係合した機構で、クランプ機構23が揺れる左右
前後の位置ずれを防ぎ、このパイプ13に沿つて
垂直方向に昇降できる機構となつている。なお、
このパイプ13内の錘り14は、フレーム11と
チエーン15により連結され、スプロケツト16
を介して、クランプ機構23と錘り14とはバラ
ンスを保持している。
フレーム11に突設した挟持ローラ10,10
は昇降片9を挟持し、昇降片9およびガイドプレ
ート8の上を挟持ローラ10,10が旋回し、フ
レーム11が上枠19および下枠20とともに、
軸17を中心に水平回転できる。
は昇降片9を挟持し、昇降片9およびガイドプレ
ート8の上を挟持ローラ10,10が旋回し、フ
レーム11が上枠19および下枠20とともに、
軸17を中心に水平回転できる。
ガイドレール部材の機能を果たすガイドプレー
ト8は、軸17または昇降機構6に固設され、こ
のプレート8の切欠部(必要処理工程の数だけ切
欠部)に昇降片9が昇降機構6の昇降部30に付
設されている。挟持ローラ10,10が昇降片9
の位置にきたとき、昇降片9の昇降によりフレー
ム11およびクランプ機構23は角形パイプ13
によつて昇降する。
ト8は、軸17または昇降機構6に固設され、こ
のプレート8の切欠部(必要処理工程の数だけ切
欠部)に昇降片9が昇降機構6の昇降部30に付
設されている。挟持ローラ10,10が昇降片9
の位置にきたとき、昇降片9の昇降によりフレー
ム11およびクランプ機構23は角形パイプ13
によつて昇降する。
下枠20に固設たスプロケツト21は、図示し
ない駆動モータによりチエーンを介して中心軸で
ある軸17を中心に回転される。
ない駆動モータによりチエーンを介して中心軸で
ある軸17を中心に回転される。
第1図のように、本実施例は基板昇降装置を4
個配置してあり、その4個所の各機能は、第4図
のフローチヤート図のようになる。すなわち、位
置aで基板Pをクランプ爪27に取り付け、位置
bでハンダ浸漬、位置cで基板Pの冷却およびク
ランプ爪27より基板Pの取り外し、位置dで
は、第2図の右部のように、クランプ爪27等に
付着したハンダ等の異物を除去するため、ブラツ
シ29でブラツシングする。
個配置してあり、その4個所の各機能は、第4図
のフローチヤート図のようになる。すなわち、位
置aで基板Pをクランプ爪27に取り付け、位置
bでハンダ浸漬、位置cで基板Pの冷却およびク
ランプ爪27より基板Pの取り外し、位置dで
は、第2図の右部のように、クランプ爪27等に
付着したハンダ等の異物を除去するため、ブラツ
シ29でブラツシングする。
他の実施例として、基板昇降装置を6個配置す
れば、第6図のようなフローチヤート図となる
が、この場合、フラツクス処理は、フラツクス槽
のフラツクス内に基板Pを浸漬させ、洗浄は湯水
に浸漬させる。必要により、超音波洗浄を行つて
もよい。またフラツクス処理および後洗浄処理は
垂直な状態で連続して処理される。
れば、第6図のようなフローチヤート図となる
が、この場合、フラツクス処理は、フラツクス槽
のフラツクス内に基板Pを浸漬させ、洗浄は湯水
に浸漬させる。必要により、超音波洗浄を行つて
もよい。またフラツクス処理および後洗浄処理は
垂直な状態で連続して処理される。
第1図から第4図にかけて示した実施例につい
て、その作動を説明する。
て、その作動を説明する。
本実施例の場合、ローダーより多数積層した基
板Pを1枚ずつ水平状態で供給し、フラツクス槽
にてフラツクス中に水平浸漬搬送し(図省略)、
位置aにおいて、水平に搬送された基板Pを垂直
方向に立てる(図省略)。
板Pを1枚ずつ水平状態で供給し、フラツクス槽
にてフラツクス中に水平浸漬搬送し(図省略)、
位置aにおいて、水平に搬送された基板Pを垂直
方向に立てる(図省略)。
次に、第1図において、クランプ機構23が位
置aにおいて下降し、所定の位置で停止し、垂直
方向に立てられた基板Pの上端をシリンダ24を
作動させてクランプ爪27で挟持する。昇降機構
6を作動させ、クランプ機構23で基板Pを挟持
しながら上限位置まで上昇させる。
置aにおいて下降し、所定の位置で停止し、垂直
方向に立てられた基板Pの上端をシリンダ24を
作動させてクランプ爪27で挟持する。昇降機構
6を作動させ、クランプ機構23で基板Pを挟持
しながら上限位置まで上昇させる。
次いで、図示しない駆動装置によりチエーンを
介してスプロケツト21を90゜回転させ、クラン
プ機構23に吊設された基板Pを位置aから位置
bに移す。このとき、位置aでは2枚目のフラツ
クスが処理された基板Pが搬送され、水平から垂
直に方向転換され、2番目のクランプ機構23が
下降し、クランプ爪27に挟持される。位置hで
は、1枚目の基板Pがハンダ槽4の溶融ハンダに
所定の時間、浸漬後、昇降機構6を作動させ、ノ
ズル50より熱風を噴出させながら、基板Pの表
面およびスルーホール内の過剰のハンダ除去をす
るとともに、基板Pの表面に付着したハンダを均
一な厚みにする。位置bでハンダ処理された1枚
目の基板が上限位置に、位置aでクランプ爪27
に挟持された基板Pが上限位置にそれぞれ上昇し
たところで、スプロケツト21が90゜回転する。
下枠20が回転するときは、挟持ローラ10,1
0は昇降片9からガイドプレート8に移り、次の
位置にある昇降片9まで回転して移動する。
介してスプロケツト21を90゜回転させ、クラン
プ機構23に吊設された基板Pを位置aから位置
bに移す。このとき、位置aでは2枚目のフラツ
クスが処理された基板Pが搬送され、水平から垂
直に方向転換され、2番目のクランプ機構23が
下降し、クランプ爪27に挟持される。位置hで
は、1枚目の基板Pがハンダ槽4の溶融ハンダに
所定の時間、浸漬後、昇降機構6を作動させ、ノ
ズル50より熱風を噴出させながら、基板Pの表
面およびスルーホール内の過剰のハンダ除去をす
るとともに、基板Pの表面に付着したハンダを均
一な厚みにする。位置bでハンダ処理された1枚
目の基板が上限位置に、位置aでクランプ爪27
に挟持された基板Pが上限位置にそれぞれ上昇し
たところで、スプロケツト21が90゜回転する。
下枠20が回転するときは、挟持ローラ10,1
0は昇降片9からガイドプレート8に移り、次の
位置にある昇降片9まで回転して移動する。
位置cにおいては、フアン32等により1枚目
の基板Pを強制冷却の後、クランプ機構23を下
降し、垂直・水平転換機構(図示せず)に基板P
を移す。この位置cで、水平方向に基板Pを倒し
て、第4図のように、洗浄槽にコンベアで移し、
残つたフラツクスを除去する。次いで、アンロー
ダで基板Pを積載集積する。
の基板Pを強制冷却の後、クランプ機構23を下
降し、垂直・水平転換機構(図示せず)に基板P
を移す。この位置cで、水平方向に基板Pを倒し
て、第4図のように、洗浄槽にコンベアで移し、
残つたフラツクスを除去する。次いで、アンロー
ダで基板Pを積載集積する。
位置dにおいては、クランプ爪27等に付着し
たハンダ等を除去するため、上限位置にてブラツ
シングする。
たハンダ等を除去するため、上限位置にてブラツ
シングする。
なお、本発明は、プリント基板のハンダ処理以
外の基板の表面処理に使用できることはいう迄も
ない。
外の基板の表面処理に使用できることはいう迄も
ない。
以上要するに本発明は、基板をクランプ機構で
保持し、クランプ機構を昇降案内する垂直ガイド
を、複数個等角配置して、旋回可能とし、クラン
プ機構を、旋回時にはガイドプレートで所定高さ
位置に保持し、昇降時には各クランプ機構ごとに
個別の昇降機構によつて昇降するようにした基板
表面処理装置であるから次の効果を有する。
保持し、クランプ機構を昇降案内する垂直ガイド
を、複数個等角配置して、旋回可能とし、クラン
プ機構を、旋回時にはガイドプレートで所定高さ
位置に保持し、昇降時には各クランプ機構ごとに
個別の昇降機構によつて昇降するようにした基板
表面処理装置であるから次の効果を有する。
基板の各種処理位置におけるクランプ機構の
処理の位置、処理時間、処理後の昇降速度は、
それぞれ所要のものに設定することができ、基
板に必要な適正な時間だけ、各種処理を行い、
かつ、基板の取り付け、取り外しも迅速に自動
的に行うことができるので、生産性が向上す
る。
処理の位置、処理時間、処理後の昇降速度は、
それぞれ所要のものに設定することができ、基
板に必要な適正な時間だけ、各種処理を行い、
かつ、基板の取り付け、取り外しも迅速に自動
的に行うことができるので、生産性が向上す
る。
ローダ、アンローダおよび基板の垂直・水平
方向の転換機構等を接続すれば、基板の連続自
動表面処理を行うことが可能となり、これま
た、生産性が向上する。
方向の転換機構等を接続すれば、基板の連続自
動表面処理を行うことが可能となり、これま
た、生産性が向上する。
所要時間内で処理されるので、基板の処理が
適正となつて品質を向上する。
適正となつて品質を向上する。
クランプ機構の昇降を垂直ガイドで案内して
いるので、基板の揺れがなく、表面処理が均一
にできるので、前記と相俟つて品質をより向
上する。
いるので、基板の揺れがなく、表面処理が均一
にできるので、前記と相俟つて品質をより向
上する。
第1図は本発明の実施例の平面図、第2図は第
1図のX〜X断面図、第3図は第1図のY〜Y矢
視拡大図、第4図は本発明の実施例のフローチヤ
ート図、第5図は従来例の概略平面図、第6図は
本発明の他の実施例の要部フローチヤート図を示
す。 6……昇降機構、7……垂直ガイド、8……ガ
イドプレート、9……昇降片、23……クランプ
機構、a,b,c,d……位置。
1図のX〜X断面図、第3図は第1図のY〜Y矢
視拡大図、第4図は本発明の実施例のフローチヤ
ート図、第5図は従来例の概略平面図、第6図は
本発明の他の実施例の要部フローチヤート図を示
す。 6……昇降機構、7……垂直ガイド、8……ガ
イドプレート、9……昇降片、23……クランプ
機構、a,b,c,d……位置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 基板を表面処理槽へ垂直に浸漬する表面処理
装置において、 基板を挟持するクランプ機構、 クランプ機構を昇降案内する垂直ガイド、 垂直ガイドを複数個等角配置して旋回する枠、 垂直ガイドにおける所定高さ位置にてクランプ
機構を保持するガイドプレート、 ガイドプレートに形成された切欠部にてクラン
プ機構を保持する昇降片、 昇降片を昇降してクランプ機構を昇降する昇降
機構からなり、 垂直ガイドの旋回時にはガイドプレートにて所
定高さ位置を保持した状態で垂直ガイドとともに
クランプ機構が旋回し、垂直ガイドの旋回停止時
にはガイドプレートの切欠部にて昇降片を介して
昇降機構によつてクランプ機構が昇降するように
したことを特徴とする基板表面処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58099797A JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1983-06-04 | 基板表面処理装置 |
US06/585,693 US4531474A (en) | 1983-06-04 | 1984-03-02 | Rotary board treating apparatus |
DE8417022U DE8417022U1 (de) | 1983-06-04 | 1984-06-04 | Drehtisch-Bearbeitungsvorrichtung |
DE19843420761 DE3420761A1 (de) | 1983-06-04 | 1984-06-04 | Drehtisch-bearbeitungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58099797A JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1983-06-04 | 基板表面処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59226167A JPS59226167A (ja) | 1984-12-19 |
JPS648700B2 true JPS648700B2 (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=14256893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58099797A Granted JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1983-06-04 | 基板表面処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
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JP (1) | JPS59226167A (ja) |
DE (2) | DE3420761A1 (ja) |
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- 1983-06-04 JP JP58099797A patent/JPS59226167A/ja active Granted
-
1984
- 1984-03-02 US US06/585,693 patent/US4531474A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-06-04 DE DE19843420761 patent/DE3420761A1/de not_active Ceased
- 1984-06-04 DE DE8417022U patent/DE8417022U1/de not_active Expired
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---|---|
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JPS59226167A (ja) | 1984-12-19 |
DE3420761A1 (de) | 1984-12-13 |
DE8417022U1 (de) | 1987-05-21 |
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