JPS59226167A - 基板表面処理装置 - Google Patents
基板表面処理装置Info
- Publication number
- JPS59226167A JPS59226167A JP58099797A JP9979783A JPS59226167A JP S59226167 A JPS59226167 A JP S59226167A JP 58099797 A JP58099797 A JP 58099797A JP 9979783 A JP9979783 A JP 9979783A JP S59226167 A JPS59226167 A JP S59226167A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- substrate
- lifting
- positions
- clamp
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/02—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid
- B65G49/04—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction
- B65G49/0409—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length
- B65G49/0436—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath
- B65G49/044—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit
- B65G49/045—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed
- B65G49/0454—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed by means of containers -or workpieces- carriers
- B65G49/0463—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed by means of containers -or workpieces- carriers movement in a vertical direction is caused by lifting means or fixed or adjustable guiding means located at the bath area
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
- C23C2/34—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor characterised by the shape of the material to be treated
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0053—Arrangements for assisting the manual mounting of components, e.g. special tables or light spots indicating the place for mounting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、基板の表面処理装置、特にプリント基板(以
下基板という)のハンダ処理装置に関する。
下基板という)のハンダ処理装置に関する。
従来より、基板の溶融ハンダ浸漬の前工程である洗浄用
のフラックス処理、後工程の洗浄処理を含めて自動化し
た、いわゆるメリーゴーラウン型の基板表面処理装置は
広く知られており、更に、基板のハンダ処理において、
基板を溶融ハンダに浸漬して該基板表面の銅被膜部分に
ハンダ付けをした後、基板のスルホール内のハンダの除
去や基板表面の過剰のハンダの除去、更にはハンダ被覆
厚さを均一化するための装置も、例えば特公昭56−3
1918号公報で知られている。
のフラックス処理、後工程の洗浄処理を含めて自動化し
た、いわゆるメリーゴーラウン型の基板表面処理装置は
広く知られており、更に、基板のハンダ処理において、
基板を溶融ハンダに浸漬して該基板表面の銅被膜部分に
ハンダ付けをした後、基板のスルホール内のハンダの除
去や基板表面の過剰のハンダの除去、更にはハンダ被覆
厚さを均一化するための装置も、例えば特公昭56−3
1918号公報で知られている。
すなわち、前記メリーゴーラウン型の基板表面処理装置
の従来の一例を第5図で示す。同図は概略平面図である
が、基板Pを挟持するクランプ1を90°等角配置し、
各クランプ1をアーム2の先端で吊設している。これら
4個のクランプ1は同時に昇降し90°ずつ回転するよ
うになっている。
の従来の一例を第5図で示す。同図は概略平面図である
が、基板Pを挟持するクランプ1を90°等角配置し、
各クランプ1をアーム2の先端で吊設している。これら
4個のクランプ1は同時に昇降し90°ずつ回転するよ
うになっている。
さて、位置eにおいて、基板Pをクランプ1に垂直に挾
持し、90°回転させて位置fに移す。このとき、位置
eにおいて、次の基板Pを取り付ける。該位置fの基板
Pはフラックス槽3に所定時間浸漬させ、引き上げ再び
アーム2を90°回転させ、位置gに移す。このとき、
位置eては3枚目の基板Pをクランプ1に取り付ける。
持し、90°回転させて位置fに移す。このとき、位置
eにおいて、次の基板Pを取り付ける。該位置fの基板
Pはフラックス槽3に所定時間浸漬させ、引き上げ再び
アーム2を90°回転させ、位置gに移す。このとき、
位置eては3枚目の基板Pをクランプ1に取り付ける。
位置gの1枚目の基板Pはハンダ槽4内の溶融ハンダに
、位置「の2枚目の基板Pはフラックス槽3のフラック
スに、それぞれアーム2を下降させて浸漬させる。位置
gの基板Pはハンダ槽4から引き上げるとき、スリット
(図示せず)より熱風を噴出させ、基板Pの表面及びそ
のスルホール内の過剰ノ・ンタを除去する。位置りにお
いて洗浄処理を行い、基板Pの表面の不要なフラツクス
を除去する。最初の位置Cに戻った1枚目のハンダ処理
済の基板Pは取り外され、5枚目の未処理の基板Pを取
り付ける。
、位置「の2枚目の基板Pはフラックス槽3のフラック
スに、それぞれアーム2を下降させて浸漬させる。位置
gの基板Pはハンダ槽4から引き上げるとき、スリット
(図示せず)より熱風を噴出させ、基板Pの表面及びそ
のスルホール内の過剰ノ・ンタを除去する。位置りにお
いて洗浄処理を行い、基板Pの表面の不要なフラツクス
を除去する。最初の位置Cに戻った1枚目のハンダ処理
済の基板Pは取り外され、5枚目の未処理の基板Pを取
り付ける。
かかる基板表面処理装置の場合、クランプ1へ基板Pを
取り付け、及び取り外しが同一位置(e)で行うので、
基板Pの搬送及び挟持の自動化を完全に行うことが困難
であり、又同一作動のアーム2にクランプ1を付設して
いるため、各位置での処理時間が同じとなり、各位置で
の処理を、その処理に必要な時間及び引き上げ・下げの
速度を、それぞれ異なるように設定することができなか
った。
取り付け、及び取り外しが同一位置(e)で行うので、
基板Pの搬送及び挟持の自動化を完全に行うことが困難
であり、又同一作動のアーム2にクランプ1を付設して
いるため、各位置での処理時間が同じとなり、各位置で
の処理を、その処理に必要な時間及び引き上げ・下げの
速度を、それぞれ異なるように設定することができなか
った。
したがって、やむをえず、最長時間を要する処理に合せ
なければならず、生産性が低下しがちとなっている。
なければならず、生産性が低下しがちとなっている。
そこで本発明は、前記のような不都合を解決するための
基板の自動表面処理装置を提供し、特に、複数個の表面
処理装置を等角装置し、それぞれの所要の浸漬時間及び
引き上げ・下げ速度を設定できる表面処理装置を提供し
ようとするものである。
基板の自動表面処理装置を提供し、特に、複数個の表面
処理装置を等角装置し、それぞれの所要の浸漬時間及び
引き上げ・下げ速度を設定できる表面処理装置を提供し
ようとするものである。
以下、本発明の構成を添付図面に示す実施例にもとづき
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図は本実施例の平面図、第2図は第1図のX、X断
面図を示し、基板Pを挾持する手段、すなわちクランプ
機構23、該クランプ機構23を昇降させる手段、すな
わち昇降機構6及び前記クランプ機構23の昇降時の垂
直ガイド7とから大略構成された基板昇降装置を、例え
ば第1図の位置a、b、c及びdのように、複数個等角
配置し、クランプ機構23を所定角度(第1図では9o
0)回転させるようになっている。したがって、第1図
の位置λ、b、c及びdのそれぞれにおいて、クランプ
機構23をそれぞれの所要の速度に所要の距離又は時間
で昇降又は停止さるような構成になっている。
面図を示し、基板Pを挾持する手段、すなわちクランプ
機構23、該クランプ機構23を昇降させる手段、すな
わち昇降機構6及び前記クランプ機構23の昇降時の垂
直ガイド7とから大略構成された基板昇降装置を、例え
ば第1図の位置a、b、c及びdのように、複数個等角
配置し、クランプ機構23を所定角度(第1図では9o
0)回転させるようになっている。したがって、第1図
の位置λ、b、c及びdのそれぞれにおいて、クランプ
機構23をそれぞれの所要の速度に所要の距離又は時間
で昇降又は停止さるような構成になっている。
クランプ機構23は、第2図及び第3図のように、シリ
ンダ24、テーパースライダ26、クランプ爪27とか
らなる機構であり、基板Pを例えば第3図のように、シ
リンダ24を作動させ、2個のクランプて挟持する。
ンダ24、テーパースライダ26、クランプ爪27とか
らなる機構であり、基板Pを例えば第3図のように、シ
リンダ24を作動させ、2個のクランプて挟持する。
昇降機構6の内部は、シリンダ40、チェーン及び七−
タ、又はロッドレスシリンダ等の機構を備え、昇降片9
を昇降部30を介して昇降させる。
タ、又はロッドレスシリンダ等の機構を備え、昇降片9
を昇降部30を介して昇降させる。
昇降の上限及び下限のセンサーは所定の位置に取り付け
ているが、図示していない。
ているが、図示していない。
垂直ガイド7は、角形パイプ13の外面をクランプ機構
23のアーム2に固設したフレーム11に内設した複数
のローラ12がパイプ13に係合した機構で、クランプ
機構23が揺れる左右前後の位置ずれを防き、パイプ1
3に沿って垂直方向に昇降できる機構となっている。な
お、パイプ13内の錘り14は、フレーム11とチェー
ン15により連結され、スプロケット16を介して、ク
ランプ機構23と錘り14とはバランスを保持している
。
23のアーム2に固設したフレーム11に内設した複数
のローラ12がパイプ13に係合した機構で、クランプ
機構23が揺れる左右前後の位置ずれを防き、パイプ1
3に沿って垂直方向に昇降できる機構となっている。な
お、パイプ13内の錘り14は、フレーム11とチェー
ン15により連結され、スプロケット16を介して、ク
ランプ機構23と錘り14とはバランスを保持している
。
フレーム11に突設した挾持ローラ10 、10は昇降
片9を挾持し、昇降片9及びガイドプレート8の上を挾
持ローラ10,10が旋回し、フレーム11が上枠19
及び下枠20とともに、軸17を中心に水平回転できる
。
片9を挾持し、昇降片9及びガイドプレート8の上を挾
持ローラ10,10が旋回し、フレーム11が上枠19
及び下枠20とともに、軸17を中心に水平回転できる
。
ガイドレール部材の機能を果すガイドプレート8は、軸
17又は昇降機構6に固設され、該プレート8の切欠部
(必要処理工程の数だけ切欠部)に昇降片9が昇降機構
6の昇降部30に付設されている。挾持ローラ10,1
0が昇降片9の位置にきたとき、昇降片9の昇降により
フレーム11及びクランプ機構23は角形パイプ13に
沿って昇降する。
17又は昇降機構6に固設され、該プレート8の切欠部
(必要処理工程の数だけ切欠部)に昇降片9が昇降機構
6の昇降部30に付設されている。挾持ローラ10,1
0が昇降片9の位置にきたとき、昇降片9の昇降により
フレーム11及びクランプ機構23は角形パイプ13に
沿って昇降する。
下枠20に固設したスプロケット21は、図示しない駆
動モータによりチェーンを介して中心軸である軸17を
中心に回転される。
動モータによりチェーンを介して中心軸である軸17を
中心に回転される。
第1図のように、本実施例は基板昇降装置を4個配置し
てあり、その4個所の各機能は、第4図のフローチャー
ト図のようになる。すなわち、位置3で基板Pをクラン
プ爪27に取り付け、位置すでハンダ浸漬、位置Cで基
板Pの冷却及びクランプ爪27より基板Pの取り外し、
位置dでは、第2図の右部のように、クランプ爪27等
に付着したハンダ等の異物を除去するため、ブラック2
9でブラッシングする。
てあり、その4個所の各機能は、第4図のフローチャー
ト図のようになる。すなわち、位置3で基板Pをクラン
プ爪27に取り付け、位置すでハンダ浸漬、位置Cで基
板Pの冷却及びクランプ爪27より基板Pの取り外し、
位置dでは、第2図の右部のように、クランプ爪27等
に付着したハンダ等の異物を除去するため、ブラック2
9でブラッシングする。
他の実施例として、基板昇降装置を6個配置ずれば、第
6図のようなフローチャート図となるが、この場合、フ
ラックス処理は、フラックス槽のフラックス内に基板P
を浸漬させ、洗浄は湯水に浸漬させる。必要により、超
音波洗浄を行ってもよい。又フラックス処理及び後洗浄
処理は垂直な状態で連続して処理される。
6図のようなフローチャート図となるが、この場合、フ
ラックス処理は、フラックス槽のフラックス内に基板P
を浸漬させ、洗浄は湯水に浸漬させる。必要により、超
音波洗浄を行ってもよい。又フラックス処理及び後洗浄
処理は垂直な状態で連続して処理される。
第1図から第4図にかけて示した実施例について、その
作動を説明する。
作動を説明する。
本実施例の場合、ローダーより多数積層した基板Pを1
枚ずつ水平状態で供給し、フラックス槽にてフラックス
中に水平浸漬搬送しく図省略)、位置aにおいて、水平
に搬送された基板Pを垂直方向に立てる(図省略)。
枚ずつ水平状態で供給し、フラックス槽にてフラックス
中に水平浸漬搬送しく図省略)、位置aにおいて、水平
に搬送された基板Pを垂直方向に立てる(図省略)。
次に、第1図において、クランプ機構23が位置1にお
いて下降し、所定の位置で停止し、垂直方向に立てられ
た基板Pの上端をシリンダ24を作動させてクランプ爪
27て挾持する。昇降機構6を作動させ。クランプ機構
23で基板Pを挟持しながら上限位置まで上昇させる。
いて下降し、所定の位置で停止し、垂直方向に立てられ
た基板Pの上端をシリンダ24を作動させてクランプ爪
27て挾持する。昇降機構6を作動させ。クランプ機構
23で基板Pを挟持しながら上限位置まで上昇させる。
次いで、図示しない駆動装置によりチェーンを介してス
プロケット21を90°回転させ、クランプ機構23に
吊設された基板Pを位置aから位置すに移す。このとき
、位置aでは2枚目のフラックスが処理された基板Pが
搬送され、水平から垂直に方向転換され、2番目のクラ
ンプ機構23が下降し、クランプ爪27に挾持される。
プロケット21を90°回転させ、クランプ機構23に
吊設された基板Pを位置aから位置すに移す。このとき
、位置aでは2枚目のフラックスが処理された基板Pが
搬送され、水平から垂直に方向転換され、2番目のクラ
ンプ機構23が下降し、クランプ爪27に挾持される。
位置りでは、1枚目の基板Pがハンダ槽4の溶融ハンダ
に所定の時間、浸漬後、昇降機構6を作動させ、ノズル
50より熱風を噴出させながら、基板Pの表面及びスル
ーポール内の過剰のハンダ除去をするとともに、基板P
の表面に付着したハンダを均一な厚みにする。位置1〕
でハンダ処理された1枚目の基板が上限位置に、位置3
でクランプ爪27に挾持された基板Pが上限位置にそれ
ぞれ上昇したところで、スプロケット21か90’ 回
転する。
に所定の時間、浸漬後、昇降機構6を作動させ、ノズル
50より熱風を噴出させながら、基板Pの表面及びスル
ーポール内の過剰のハンダ除去をするとともに、基板P
の表面に付着したハンダを均一な厚みにする。位置1〕
でハンダ処理された1枚目の基板が上限位置に、位置3
でクランプ爪27に挾持された基板Pが上限位置にそれ
ぞれ上昇したところで、スプロケット21か90’ 回
転する。
下枠20が回転するときは、挟持ローラ10,10は昇
降片9からガイドプレート8に移り、次の位置にある昇
降片9まで回転して移動する。
降片9からガイドプレート8に移り、次の位置にある昇
降片9まで回転して移動する。
位置Cにおいては、ファン32等により1枚目の基板P
を強制冷却の後、クランプ機構23を下降し、垂直・水
平転換機構(図示せず)に基板Pを移す。この位置Cで
、水平方向に基板Pを倒して、第4図のように、洗浄槽
にコンベアで移し、残ったフラックスを除去する。次い
で、アンローダで基板Pを積載集積する。
を強制冷却の後、クランプ機構23を下降し、垂直・水
平転換機構(図示せず)に基板Pを移す。この位置Cで
、水平方向に基板Pを倒して、第4図のように、洗浄槽
にコンベアで移し、残ったフラックスを除去する。次い
で、アンローダで基板Pを積載集積する。
位置dにおいて伊、クランプ爪27等に耐着したハンダ
等を除去するため、上限位置にてブラッシングする。
等を除去するため、上限位置にてブラッシングする。
なお、本発明は、プリント基板のハンダ処理以外の基板
の表面処理に使用できることはいう迄もない。
の表面処理に使用できることはいう迄もない。
以上要するに本発明は、基板を挾持するクラ5ンプ機構
、該クランプ機構を昇降させる昇降機構及び前記クラン
プ機構の昇降時の垂直ガイドとからなる基板昇降装置を
複数個旋回可能に配置し、各基板昇降装置の゛クランプ
機構の上下昇降を各個別に行うようにした基板表面処理
装置であるがら次の効果を有する。
、該クランプ機構を昇降させる昇降機構及び前記クラン
プ機構の昇降時の垂直ガイドとからなる基板昇降装置を
複数個旋回可能に配置し、各基板昇降装置の゛クランプ
機構の上下昇降を各個別に行うようにした基板表面処理
装置であるがら次の効果を有する。
■基板の各種処理位置におけるクランプ機構の処理の位
置、処理時間、処理後の昇降速度は、それぞれ所要のも
のに設定することができ、基板に必要な適正な時間たけ
、各種処理を行い、がっ、基板の取り付け、取り外しも
迅速に自動的に行うことができるので、生産性が向上す
る。
置、処理時間、処理後の昇降速度は、それぞれ所要のも
のに設定することができ、基板に必要な適正な時間たけ
、各種処理を行い、がっ、基板の取り付け、取り外しも
迅速に自動的に行うことができるので、生産性が向上す
る。
■ローダ、アンローダ及び基板の垂直・水平方向の転換
機構等を接続すれば、基板の連続自動表面処理を行うこ
とが可能となり、これ又、生産性が向上する。
機構等を接続すれば、基板の連続自動表面処理を行うこ
とが可能となり、これ又、生産性が向上する。
■所要時間内で処理されるので、基板の処理が適正とな
って品質を向上する。
って品質を向上する。
■クランプ機構の昇降を垂直ガイドで案内しているので
、基板の揺れがなく、表面処理が均一にできるので、前
記■と相まって品質をより向上する。
、基板の揺れがなく、表面処理が均一にできるので、前
記■と相まって品質をより向上する。
第1図は本発明の実施例の平面図、第2図は第1図のX
、X断面図、第3図は第1図のY、Y矢視拡大図、第4
図は本発明の実施例のフローチャート図、第5図は従来
例の概略平面図、第6図は本発明の他の実施例の要部フ
ローチャー1・図を示す。 6・・・昇降機構、7・・・垂直ガイド、8・・・ガイ
ドプレート、9・・・昇降片、23・・・クランプ機構
、a。 b、c、d・・・位置 代理人弁理士 岡 部 吉 彦
、X断面図、第3図は第1図のY、Y矢視拡大図、第4
図は本発明の実施例のフローチャート図、第5図は従来
例の概略平面図、第6図は本発明の他の実施例の要部フ
ローチャー1・図を示す。 6・・・昇降機構、7・・・垂直ガイド、8・・・ガイ
ドプレート、9・・・昇降片、23・・・クランプ機構
、a。 b、c、d・・・位置 代理人弁理士 岡 部 吉 彦
Claims (2)
- (1)基板を挾持するクランプ機構、該クランプ機構を
昇降させる昇降機構及び前記クランプ機構の昇降時の垂
直ガイドを備えた基板昇降装置を旋回可能に複数個配置
し、各基板昇降装置のクランプ機構の上下昇降を各個別
に制御するようにした基板表面処理装置 - (2)基板を挾持する複数個のクランプ機構を、水平旋
回させるためのがイドレール部材の一部に、前記必要処
理工程の数だけ切欠を設け、該切欠に前記クランプ機構
を昇降させる昇降片を設けた特許請求の範囲第(1)項
に記載の基板表面処理装置
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58099797A JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1983-06-04 | 基板表面処理装置 |
US06/585,693 US4531474A (en) | 1983-06-04 | 1984-03-02 | Rotary board treating apparatus |
DE8417022U DE8417022U1 (de) | 1983-06-04 | 1984-06-04 | Drehtisch-Bearbeitungsvorrichtung |
DE19843420761 DE3420761A1 (de) | 1983-06-04 | 1984-06-04 | Drehtisch-bearbeitungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58099797A JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1983-06-04 | 基板表面処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59226167A true JPS59226167A (ja) | 1984-12-19 |
JPS648700B2 JPS648700B2 (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=14256893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58099797A Granted JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1983-06-04 | 基板表面処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4531474A (ja) |
JP (1) | JPS59226167A (ja) |
DE (2) | DE3420761A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021054643A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | イズテック株式会社 | ワーク搬送装置 |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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