JPS6378340A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6378340A JPS6378340A JP22316886A JP22316886A JPS6378340A JP S6378340 A JPS6378340 A JP S6378340A JP 22316886 A JP22316886 A JP 22316886A JP 22316886 A JP22316886 A JP 22316886A JP S6378340 A JPS6378340 A JP S6378340A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
近年、磁気記録の高密度化の要求の高まりと共に、高分
子フィルム上に斜め蒸着法により形成された部分酸化さ
れたＣ ｏ −Ｎ ｉ膜を磁気記録層とした磁気テープ
により、ビデオ信号の記録再生を０．８μｍの記録波長
で行い注目され以後各方面で開発が進められている〔電
子通信学会技術報告ＭＲｓ１．−５（１９８１））。
子フィルム上に斜め蒸着法により形成された部分酸化さ
れたＣ ｏ −Ｎ ｉ膜を磁気記録層とした磁気テープ
により、ビデオ信号の記録再生を０．８μｍの記録波長
で行い注目され以後各方面で開発が進められている〔電
子通信学会技術報告ＭＲｓ１．−５（１９８１））。
上記した磁気テープは、冷却された円筒キャンに沿って
、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子フィ
ルムを移動させながら、最大入射角（θｒｎａｘ＞ ｃ
通常積極的にθｍａ工を制限することはなく、接線入射
としている〕から最小入射角（０ｍ１ｎ）まで連続的に
入射角が変化する斜め蒸着を行うと共に、雰囲気を酸化
性とすΣことで、磁気特性を改良するようにして製造さ
れる。酸化性ガスとしては酸素ガスがよく用いられ、導
入方法に工夫がされ、θｍａ８部に導入する場合、θｍ
ｉｎに導入する場合の両者共にいくつかの提案がされて
いる〔例えば特開昭５８−４１４４２号、同５８−４１
４４３号の公報〕。
、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子フィ
ルムを移動させながら、最大入射角（θｒｎａｘ＞ ｃ
通常積極的にθｍａ工を制限することはなく、接線入射
としている〕から最小入射角（０ｍ１ｎ）まで連続的に
入射角が変化する斜め蒸着を行うと共に、雰囲気を酸化
性とすΣことで、磁気特性を改良するようにして製造さ
れる。酸化性ガスとしては酸素ガスがよく用いられ、導
入方法に工夫がされ、θｍａ８部に導入する場合、θｍ
ｉｎに導入する場合の両者共にいくつかの提案がされて
いる〔例えば特開昭５８−４１４４２号、同５８−４１
４４３号の公報〕。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記した構成では、飽和磁束密度を大きく
すると保磁力が小さくなる。面内磁化膜として、反磁界
の影響を出来る限り少なくするため、保磁力は、大きく
する必要があり、一定の磁気特性で信号対雑音比（以下
Ｃ／Ｎ と記す）を改良するには表面のより平滑化で
対応しようとすると耐久性の壁にぶつかるといった課題
があり、改善が望まれていた。本発明は上記した事情に
鑑みなされたもので、Ｃハを改良するため、保磁力と飽
和磁束密度の両方共を大きくできる磁気記録媒体の製造
方法を提供するものである。
すると保磁力が小さくなる。面内磁化膜として、反磁界
の影響を出来る限り少なくするため、保磁力は、大きく
する必要があり、一定の磁気特性で信号対雑音比（以下
Ｃ／Ｎ と記す）を改良するには表面のより平滑化で
対応しようとすると耐久性の壁にぶつかるといった課題
があり、改善が望まれていた。本発明は上記した事情に
鑑みなされたもので、Ｃハを改良するため、保磁力と飽
和磁束密度の両方共を大きくできる磁気記録媒体の製造
方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
の製造方法は、移動する高分子フィルムに斜め蒸着する
磁気記録媒体の製法において、高入射角（θｍａｘ）か
ら低入射角（θｍｉりへと連続的に蒸着する際、θｍｉ
ｎ近くに酸化性ガスを導入すると共にθｍａｘ近くに水
素ガスを導入するようにしたものである。
の製造方法は、移動する高分子フィルムに斜め蒸着する
磁気記録媒体の製法において、高入射角（θｍａｘ）か
ら低入射角（θｍｉりへと連続的に蒸着する際、θｍｉ
ｎ近くに酸化性ガスを導入すると共にθｍａｘ近くに水
素ガスを導入するようにしたものである。
作 用
本発明の磁気記録媒体の製法は上記した方法により、蒸
着速度の大きなθｍｉｎ近くでは、酸化性ガスが主体と
なり、蒸着速度の小さいθｍａ工近くでは酸化が水素ガ
スにより弱められるので、過剰に酸化が進まないように
できるので、飽和磁束密度を低下させずに十分高い保磁
力を与えることができるのである。
着速度の大きなθｍｉｎ近くでは、酸化性ガスが主体と
なり、蒸着速度の小さいθｍａ工近くでは酸化が水素ガ
スにより弱められるので、過剰に酸化が進まないように
できるので、飽和磁束密度を低下させずに十分高い保磁
力を与えることができるのである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実施例の磁気記録媒
体の製造方法について詳しく説明する。
体の製造方法について詳しく説明する。
図は、本発明の製造方法を実施するのに用いた蒸着装置
の要部構成図である。
の要部構成図である。
図で、１は電子ビーム加熱式の蒸発源で、２は限定され
た蒸気流を模式的に示したもので、３は高分子フィルム
、４は回転支持体、５は送り出し軸、６は巻取り軸、７
は、入射角（０ｍ１ｎ）を限定し、かつθｍｌユ近くに
酸化性ガスを吹き付けるガス導入機構付マスクで、８は
、θｍａｘ近くに水素ガスを導入するためのガス導入ボ
ート、９は真空槽、１０は真空排気系、１１．１２はガ
ス導入調節弁、１３はフリーローラーである。
た蒸気流を模式的に示したもので、３は高分子フィルム
、４は回転支持体、５は送り出し軸、６は巻取り軸、７
は、入射角（０ｍ１ｎ）を限定し、かつθｍｌユ近くに
酸化性ガスを吹き付けるガス導入機構付マスクで、８は
、θｍａｘ近くに水素ガスを導入するためのガス導入ボ
ート、９は真空槽、１０は真空排気系、１１．１２はガ
ス導入調節弁、１３はフリーローラーである。
図で回転支持体４の直径を６０ｃｒｎとし、θｍｉｎ位
置と７のガス導入位置の相対距離を１０ｃｒｎ。
置と７のガス導入位置の相対距離を１０ｃｒｎ。
θ’ｍａ工の位置と８のガス導入位置の相対距離を１０
備とし、蒸発源１を回転支持体４の直下３７６ｎに配置
し、本発明の実施例の製造方法により、磁気記録媒体を
製造した。
備とし、蒸発源１を回転支持体４の直下３７６ｎに配置
し、本発明の実施例の製造方法により、磁気記録媒体を
製造した。
厚み、１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
上に、ｃｏ を電子ビーム蒸着により０．１３μｍ蒸着
した。その際、酸化性ガスとして酸素を０．３１／ｍｉ
ｎ、水素ガスを０．１５１１／ｍｉｎ導入した。
上に、ｃｏ を電子ビーム蒸着により０．１３μｍ蒸着
した。その際、酸化性ガスとして酸素を０．３１／ｍｉ
ｎ、水素ガスを０．１５１１／ｍｉｎ導入した。
θｍａｘ ” ９０°、θ、。＝４００とシタモノヲＡ
１θ。６８吋９０°、θｍｉｎ＝３０°としたものをＢ
、比較例は、Ｃがθ・＝３０°、Ｄがθｍｉｎ ” ”
°で１ｎ 同じ保持力が得られるように酸素導入量を調節した。そ
れぞれを磁気テープとして、記録波長０．７μｍを記録
してＣハ を測定した。
１θ。６８吋９０°、θｍｉｎ＝３０°としたものをＢ
、比較例は、Ｃがθ・＝３０°、Ｄがθｍｉｎ ” ”
°で１ｎ 同じ保持力が得られるように酸素導入量を調節した。そ
れぞれを磁気テープとして、記録波長０．７μｍを記録
してＣハ を測定した。
テープＡの磁気特性は保磁力Ｈｃが１３００（０４）。
飽和磁束密度ＢＳが７５００（Ｇ） 、テープＢはＨｃ
＝＝ １１３０ （Ｏｏ）、 Ｂ ３ ＝ ８４６０
（Ｇ）、テープＣはＨｃ＝ １１６０ （Ｏｏ）、 Ｂ
３ ＝ ６０５０ 、テープＤはＨｃ＝１３３０ （
０，）、 ＢＳ ＝ ６００５ （Ｇ）であり、Ｃ／Ｎ
は？ −７’ Ａを０（ｄＢ）とすると、テープＢは−
０，７（ｄＢ）。
＝＝ １１３０ （Ｏｏ）、 Ｂ ３ ＝ ８４６０
（Ｇ）、テープＣはＨｃ＝ １１６０ （Ｏｏ）、 Ｂ
３ ＝ ６０５０ 、テープＤはＨｃ＝１３３０ （
０，）、 ＢＳ ＝ ６００５ （Ｇ）であり、Ｃ／Ｎ
は？ −７’ Ａを０（ｄＢ）とすると、テープＢは−
０，７（ｄＢ）。
テープＣは−２，５（ｄＢ）、テープＤは〜１．９（ｄ
Ｂ）であった。
Ｂ）であった。
又、８ミリビデオでカラー〇〇／Ｎ を比較したところ
、テープＡをｏ （ｄＢ）とするとテープＢは＋１．３
（ｄＢ）、テープＣは−２，３（ｄＢ）、テープＤは
−３，８（ｄＢ）であった。
、テープＡをｏ （ｄＢ）とするとテープＢは＋１．３
（ｄＢ）、テープＣは−２，３（ｄＢ）、テープＤは
−３，８（ｄＢ）であった。
又、本実施例のテープは、湿度の低い環境でのスチル特
性に於て、画面にノイズが発生するまでの耐久性が比較
例の２倍から４倍みられた。これは、水素ガスが結晶成
長の初期に関与して、結晶粒径をそろえるのに効果がで
ているためと思われるもので、この点も利点のひとつで
ある。
性に於て、画面にノイズが発生するまでの耐久性が比較
例の２倍から４倍みられた。これは、水素ガスが結晶成
長の初期に関与して、結晶粒径をそろえるのに効果がで
ているためと思われるもので、この点も利点のひとつで
ある。
本実施例に用いた高分子フィルムはポリエチレンテレフ
タレートとしたが他にポリフェニレンサルフフイド、ポ
リサルフォン、ポリカーボーネート、等でもよく、θ。
タレートとしたが他にポリフェニレンサルフフイド、ポ
リサルフォン、ポリカーボーネート、等でもよく、θ。
２工は９０’から７００の範囲で適宜選択すればよく、
θ工、ｎの選択は自由で、θｍｉｎに導入するガスは酸
素の他にオゾン、水を含む酸素２等でもよく、ガスを加
熱したり、イオン化するのも自由である。
θ工、ｎの選択は自由で、θｍｉｎに導入するガスは酸
素の他にオゾン、水を含む酸素２等でもよく、ガスを加
熱したり、イオン化するのも自由である。
磁気記録層形成に用いられる蒸着材料はＣｏの他に、Ｃ
ｏ −Ｆ ｅ 、 Ｃｏ −Ｎ ｉ 、 Ｃｏ −Ｔ
ｉ 、 Ｃｏ−Ｃｕ、 Ｃ。
ｏ −Ｆ ｅ 、 Ｃｏ −Ｎ ｉ 、 Ｃｏ −Ｔ
ｉ 、 Ｃｏ−Ｃｕ、 Ｃ。
−Ｍｇ、 Ｃｏ−Ｍｏ、 Ｃｏ−Ｐｂ、 Ｃｏ −Ｐ
ｔ 、 Ｃｏ −Ｗ、 Ｃｏ −Ｃｒ 、 Ｃｏ−Ｂ、
Ｃｏ−Ｐ等が適している。
ｔ 、 Ｃｏ −Ｗ、 Ｃｏ −Ｃｒ 、 Ｃｏ−Ｂ、
Ｃｏ−Ｐ等が適している。
発明の効果
以上のように本発明によれば、Ｃ／Ｎ の改良された高
密度磁気記録用の磁気記録媒体を大量に得ることができ
るといったすぐれた効果がある。 。
密度磁気記録用の磁気記録媒体を大量に得ることができ
るといったすぐれた効果がある。 。
図は本発明を実施するために用いた蒸着装置の一例の要
部構成図である。 １・・・・・・蒸発源、３・・・・・・高分子フィルム
、４・・・・・・回転支持体、７・・・・・・ガス導入
機構付マスク、８・・・・・・ガス導入ポート。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
−１℃発源 ３−一一島亦子フイル、乙、 ４−一一匣軟曳行ＩＴ＋ ７−−く力゛ス善）♂１壽Ａ寸 マスク ３−−一力゛ス再入ボート
部構成図である。 １・・・・・・蒸発源、３・・・・・・高分子フィルム
、４・・・・・・回転支持体、７・・・・・・ガス導入
機構付マスク、８・・・・・・ガス導入ポート。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
−１℃発源 ３−一一島亦子フイル、乙、 ４−一一匣軟曳行ＩＴ＋ ７−−く力゛ス善）♂１壽Ａ寸 マスク ３−−一力゛ス再入ボート
Claims (1)
- 移動する高分子フィルムに斜め蒸着する磁気記録媒体の
製法において、高入射角（θ＿ｍ＿ａ＿ｘ）から低入射
角（θ＿ｍ＿ｉ＿ｎ）へと連続的に蒸着する際、θ＿ｍ
＿ｉ＿ｎ近くに酸化性ガスを導入すると共にθ＿ｍ＿ａ
＿ｘ近くに水素ガスを導入することを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22316886A JPH0799580B2 (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22316886A JPH0799580B2 (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378340A true JPS6378340A (ja) | 1988-04-08 |
| JPH0799580B2 JPH0799580B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=16793865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22316886A Expired - Lifetime JPH0799580B2 (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0799580B2 (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP22316886A patent/JPH0799580B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0799580B2 (ja) | 1995-10-25 |
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