JPH04248126A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH04248126A JPH04248126A JP1272991A JP1272991A JPH04248126A JP H04248126 A JPH04248126 A JP H04248126A JP 1272991 A JP1272991 A JP 1272991A JP 1272991 A JP1272991 A JP 1272991A JP H04248126 A JPH04248126 A JP H04248126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- recording medium
- thin film
- ferromagnetic metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 8
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 3
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002441 CoNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018553 Ni—O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体の製造方法
に関する。更に詳細には、本発明は改良された薄膜型磁
性層を有する磁気記録媒体の製造方法に関する。
に関する。更に詳細には、本発明は改良された薄膜型磁
性層を有する磁気記録媒体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】強磁性体を真空蒸着法によって非磁性基
体上に形成する金属薄膜型の磁気記録媒体は、その磁性
層中に非磁性の結合剤が混入されていないので著しく高
い残留磁束密度を得ることができ、かつ、磁性層を極め
て薄く形成することができるために、高出力で短波長応
答性に優れているという利点を有する。この特徴により
、最近は薄膜型磁気記録媒体が磁気媒体の主流となりつ
つある。
体上に形成する金属薄膜型の磁気記録媒体は、その磁性
層中に非磁性の結合剤が混入されていないので著しく高
い残留磁束密度を得ることができ、かつ、磁性層を極め
て薄く形成することができるために、高出力で短波長応
答性に優れているという利点を有する。この特徴により
、最近は薄膜型磁気記録媒体が磁気媒体の主流となりつ
つある。
【０００３】真空蒸着法とは真空中で強磁性金属を加熱
して蒸発あるいは昇華させ、その蒸気を非磁性基体上に
付着凝縮させて薄膜を形成させる方法である。
して蒸発あるいは昇華させ、その蒸気を非磁性基体上に
付着凝縮させて薄膜を形成させる方法である。
【０００４】強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記
録媒体では、保磁力の向上を目的として、磁性層に酸化
物を含有させている。そのため、従来から、酸素ガスを
導入した酸化性雰囲気中で真空蒸着による薄膜形成が行
われている（例えば、特開昭５７−９８１３３号公報参
照）。
録媒体では、保磁力の向上を目的として、磁性層に酸化
物を含有させている。そのため、従来から、酸素ガスを
導入した酸化性雰囲気中で真空蒸着による薄膜形成が行
われている（例えば、特開昭５７−９８１３３号公報参
照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、酸素ガスを導
入することによって雰囲気中の圧力が上がり、蒸着粒子
の平均自由行程が短くなり、その結果、粒子の配向が乱
れ、角形比が低下するという欠点があった。
入することによって雰囲気中の圧力が上がり、蒸着粒子
の平均自由行程が短くなり、その結果、粒子の配向が乱
れ、角形比が低下するという欠点があった。
【０００６】従って、本発明の目的は、従来の薄膜型磁
気記録媒体が有していた、磁性薄膜の粒子の配向が乱れ
るという欠点を解決し、以て、角形比の向上された薄膜
型磁気記録媒体を提供することである。
気記録媒体が有していた、磁性薄膜の粒子の配向が乱れ
るという欠点を解決し、以て、角形比の向上された薄膜
型磁気記録媒体を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、Ｃｏを主体とする強磁性金属を真空蒸
着法により非磁性基体上に被着することによりＣｏ系磁
性薄膜層を形成することからなる磁気記録媒体の製造方
法において、ＮＯ２ を含むガスの雰囲気中で、Ｃｏを
主体とする強磁性金属を非磁性基体上に真空蒸着するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供する。
に、本発明では、Ｃｏを主体とする強磁性金属を真空蒸
着法により非磁性基体上に被着することによりＣｏ系磁
性薄膜層を形成することからなる磁気記録媒体の製造方
法において、ＮＯ２ を含むガスの雰囲気中で、Ｃｏを
主体とする強磁性金属を非磁性基体上に真空蒸着するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【０００８】
【作用】本発明者らが長年に渡り広範な実験と研究を続
けた結果、Ｃｏ系強磁性金属薄膜層を真空蒸着法によっ
て形成する際、酸化力の弱いＯ２ の代わりに、一層酸
化力の強いＮＯ２ を導入することによって、一層低圧
条件下でＯ２ と同等の酸化レベルでの蒸着を行うこと
ができることが発見された。
けた結果、Ｃｏ系強磁性金属薄膜層を真空蒸着法によっ
て形成する際、酸化力の弱いＯ２ の代わりに、一層酸
化力の強いＮＯ２ を導入することによって、一層低圧
条件下でＯ２ と同等の酸化レベルでの蒸着を行うこと
ができることが発見された。
【０００９】蒸着粒子が期待分枝と衝突しながら進む距
離の平均は平均自由行程（ｍｆｐ）で表される。ｍｆｐ
は圧力ｐの関数で、次式により定義される。 ｍｆｐ＝１０−２／ｐ（Ｔｏｒｒ）・ｃｍこのｍｆｐが
小さくなると、蒸着粒子の配向が乱れ、ひいては、角形
比の低下につながる。
離の平均は平均自由行程（ｍｆｐ）で表される。ｍｆｐ
は圧力ｐの関数で、次式により定義される。 ｍｆｐ＝１０−２／ｐ（Ｔｏｒｒ）・ｃｍこのｍｆｐが
小さくなると、蒸着粒子の配向が乱れ、ひいては、角形
比の低下につながる。
【００１０】本発明では、ＮＯ２ の導入によって、一
層低い圧力ｐでの蒸着が可能となるため、ｍｆｐは大き
くなり、蒸着粒子の配向性が向上し、角形比および出力
の向上につながる。
層低い圧力ｐでの蒸着が可能となるため、ｍｆｐは大き
くなり、蒸着粒子の配向性が向上し、角形比および出力
の向上につながる。
【００１１】蒸着雰囲気中に導入するＮＯ２ 含有ガス
は、ＮＯ２ の含有率が小さすぎると、所定の効果が得
られないため、少なくとも３０モル％以上であることが
好ましい。ＮＯ２ １００モル％のガスも使用できる。 混合される他のガスは、例えば、Ｏ２ 、空気、Ｎ２
などの各種の酸化性または非酸化性ガスを適宜使用する
ことができる。
は、ＮＯ２ の含有率が小さすぎると、所定の効果が得
られないため、少なくとも３０モル％以上であることが
好ましい。ＮＯ２ １００モル％のガスも使用できる。 混合される他のガスは、例えば、Ｏ２ 、空気、Ｎ２
などの各種の酸化性または非酸化性ガスを適宜使用する
ことができる。
【００１２】本明細書で使用されている“Ｃｏを主体と
する強磁性金属”という用語は、Ｃｏを５０ａｔ％より
も多く含む強磁性金属という意味であり、Ｃｏ単体の他
、Ｃｏ合金類などがある。Ｃｏ合金としては、例えば、
Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐ
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｆｅなどが挙げられる。
する強磁性金属”という用語は、Ｃｏを５０ａｔ％より
も多く含む強磁性金属という意味であり、Ｃｏ単体の他
、Ｃｏ合金類などがある。Ｃｏ合金としては、例えば、
Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐ
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｆｅなどが挙げられる。
【００１３】本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド，
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム，ガラ
ス類，セラミック，陽極酸化アルミ，黄銅などの金属板
，Ｓｉ単結晶板，表面を熱酸化処理したＳｉ単結晶板な
どがある。
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド，
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム，ガラ
ス類，セラミック，陽極酸化アルミ，黄銅などの金属板
，Ｓｉ単結晶板，表面を熱酸化処理したＳｉ単結晶板な
どがある。
【００１４】また、本発明の磁気記録媒体としては、ポ
リエステルフィルム、ポリイミドフ樹脂フィルムを基体
とする磁気テープや磁気ディスク、合成樹脂フィルム、
アルミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラム
を基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッ
ドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
リエステルフィルム、ポリイミドフ樹脂フィルムを基体
とする磁気テープや磁気ディスク、合成樹脂フィルム、
アルミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラム
を基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッ
ドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
【００１５】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
する。
【００１６】実施例１
図１に示す真空蒸着装置を使用し、厚さ１０μｍの
ポリエステルフィルム１を繰り出しロール２からキャン
ロール３に沿わせて巻き取りロール４に巻き取るように
セットした。次に、１０ｍ／ｍｉｎの速度でフィルムを
走行させながら、ガス導入管５からＮＯ２ ガスを１０
０ｓｃｃｍの流量で導入し、電子銃６によってＣｏ８０
Ｎｉ２０の合金７に電子ビームを照射し、フィルム１上
にＣｏ−Ｎｉ−Ｏからなる厚さ２０００Åの蒸着膜を形
成した。 この時の真空度は２×１０−５Ｔｏｒｒであった。その
後、所定の幅に裁断し、磁気テープを作製した。なお、
図１において、符号８および９はそれぞれ蒸着室および
巻取室を排気する排気系である。
ポリエステルフィルム１を繰り出しロール２からキャン
ロール３に沿わせて巻き取りロール４に巻き取るように
セットした。次に、１０ｍ／ｍｉｎの速度でフィルムを
走行させながら、ガス導入管５からＮＯ２ ガスを１０
０ｓｃｃｍの流量で導入し、電子銃６によってＣｏ８０
Ｎｉ２０の合金７に電子ビームを照射し、フィルム１上
にＣｏ−Ｎｉ−Ｏからなる厚さ２０００Åの蒸着膜を形
成した。 この時の真空度は２×１０−５Ｔｏｒｒであった。その
後、所定の幅に裁断し、磁気テープを作製した。なお、
図１において、符号８および９はそれぞれ蒸着室および
巻取室を排気する排気系である。
【００１７】比較例１
Ｃｏ８０Ｎｉ２０合金の蒸着時に導入されるＮＯ２
ガスの代わりに、Ｏ２ を３００ｓｃｃｍの流量で導入
し、真空度を３×１０−４Ｔｏｒｒにしたこと以外は実
施例１と同様な方法により磁気テープを作製した。
ガスの代わりに、Ｏ２ を３００ｓｃｃｍの流量で導入
し、真空度を３×１０−４Ｔｏｒｒにしたこと以外は実
施例１と同様な方法により磁気テープを作製した。
【００１８】比較例２
Ｃｏ８０Ｎｉ２０合金の蒸着時に導入されるＮＯ２
ガスの代わりに、ＮＯ２ ２０モル％、Ｏ２ ８０モル
％の混合ガスを２００ｓｃｃｍの流量でで導入し、真空
度を１．３×１０−４Ｔｏｒｒにしたこと以外は実施例
１と同様な方法により磁気テープを作製した。
ガスの代わりに、ＮＯ２ ２０モル％、Ｏ２ ８０モル
％の混合ガスを２００ｓｃｃｍの流量でで導入し、真空
度を１．３×１０−４Ｔｏｒｒにしたこと以外は実施例
１と同様な方法により磁気テープを作製した。
【００１９】実施例２
Ｃｏ８０Ｎｉ２０合金の蒸着時に導入されるＮＯ２
ガスの代わりに、ＮＯ２ ５０モル％、Ｏ２ ５０モル
％の混合ガスを１５０ｓｃｃｍの流量でで導入し、真空
度を６×１０−５Ｔｏｒｒにしたこと以外は実施例１と
同様な方法により磁気テープを作製した。
ガスの代わりに、ＮＯ２ ５０モル％、Ｏ２ ５０モル
％の混合ガスを１５０ｓｃｃｍの流量でで導入し、真空
度を６×１０−５Ｔｏｒｒにしたこと以外は実施例１と
同様な方法により磁気テープを作製した。
【００２０】前記の各実施例および比較例で得られた磁
気テープについて、酸素含有量と保磁力、角形比をそれ
ぞれ測定した。酸素含有量はオージェ電子分光法を用い
て測定した。保磁力は試料振動型磁力計により測定した
。結果を下記の表１に示す。
気テープについて、酸素含有量と保磁力、角形比をそれ
ぞれ測定した。酸素含有量はオージェ電子分光法を用い
て測定した。保磁力は試料振動型磁力計により測定した
。結果を下記の表１に示す。
【００２１】
【００２２】表１に示された結果から明かなように、実
施例１および実施例２の磁気テープは酸素含有量、保磁
力ともに、比較例１および比較例２の磁気テープとほぼ
同程度の酸化状態を示しながら、角形比においては、非
常に優れている。これらの結果から、真空蒸着時に導入
するＮＯ２ 含有率が少なすぎると、所定の角形比改善
効果が不十分になることが理解できる。
施例１および実施例２の磁気テープは酸素含有量、保磁
力ともに、比較例１および比較例２の磁気テープとほぼ
同程度の酸化状態を示しながら、角形比においては、非
常に優れている。これらの結果から、真空蒸着時に導入
するＮＯ２ 含有率が少なすぎると、所定の角形比改善
効果が不十分になることが理解できる。
【０００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、蒸着雰囲気中に、Ｏ２ の代わりに、一層酸化力
の強いＮＯ２ を３０モル％以上含むガスを導入するこ
とにより、優れた角形比を有する薄膜型磁気記録媒体を
得ることができる。
れば、蒸着雰囲気中に、Ｏ２ の代わりに、一層酸化力
の強いＮＯ２ を３０モル％以上含むガスを導入するこ
とにより、優れた角形比を有する薄膜型磁気記録媒体を
得ることができる。
【図１】本発明の製造方法の実施に使用される真空蒸着
装置の一例の概要図である。
装置の一例の概要図である。
１…ポリエステルフィルム
２…繰り出しロール
３…キャンロール
４…巻き取りロール
５…ガス導入管
６…電子銃
７…ＣｏＮｉ合金
８…蒸着室排気系
９…巻取室排気系
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｃｏを主体とする強磁性金属を真空蒸
着法により非磁性基体上に被着することによりＣｏ系磁
性薄膜層を形成することからなる磁気記録媒体の製造方
法において、ＮＯ２ を含むガスの雰囲気中で、Ｃｏを
主体とする強磁性金属を非磁性基体上に真空蒸着するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 前記ガス中のＮＯ２ のモル含有率は
３０％〜１００％の範囲内であることを特徴とする請求
項１の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1272991A JPH04248126A (ja) | 1991-01-09 | 1991-01-09 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1272991A JPH04248126A (ja) | 1991-01-09 | 1991-01-09 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04248126A true JPH04248126A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=11813530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1272991A Withdrawn JPH04248126A (ja) | 1991-01-09 | 1991-01-09 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04248126A (ja) |
-
1991
- 1991-01-09 JP JP1272991A patent/JPH04248126A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4990361A (en) | Method for producing magnetic recording medium | |
| JPH06150289A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0546013B2 (ja) | ||
| JPH04248126A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2579184B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2946748B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS60195737A (ja) | 磁気記録体及びその製造法 | |
| JP2605803B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2508711B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0311531B2 (ja) | ||
| JPS619823A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2970219B2 (ja) | 磁気記録媒体とその製造方法 | |
| JP2977618B2 (ja) | 磁気記録方法 | |
| JPH097172A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2001143236A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH05166184A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS62162222A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH07182644A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2006048840A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法、ならびに磁気記録媒体の記録再生方法 | |
| JPH1131317A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07122931B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH04283422A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH05342551A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH08129741A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH1064061A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |