JPS6362869A - 合成樹脂被膜の形成方法 - Google Patents

合成樹脂被膜の形成方法

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JPS6362869A
JPS6362869A JP20676486A JP20676486A JPS6362869A JP S6362869 A JPS6362869 A JP S6362869A JP 20676486 A JP20676486 A JP 20676486A JP 20676486 A JP20676486 A JP 20676486A JP S6362869 A JPS6362869 A JP S6362869A
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Japan
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synthetic resin
temp
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JP20676486A
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Masayuki Iijima
正行 飯島
Yoshikazu Takahashi
善和 高橋
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Ulvac Inc
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Ulvac Inc
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  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、例えば半導体素子の絶縁膜、パッシベーショ
ン膜、ソフトエラー防止膜や液晶表示素子の液晶配向膜
、液体や気体の分離膜等の各種合成樹脂被膜の形成方法
に関する。
(従来の技術) 従来、この種の合成樹脂被膜の形成方法としては、合成
樹脂の原料モノマーを適当な溶媒に溶かしてこれを基体
上で重合させるいわゆる湿式法、合成樹脂ポリマー自体
を基体上に蒸着させるいわゆるポリマー蒸着法或いは合
成樹脂の原料モノマーをプラズマ状態にしてプラズマ中
の基体上で重合させるプラズマ重合法等が知られている
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、前記従来法は湿式法の場合は極めて薄い
膜が得られ難く、また基体に対する合成樹脂被膜の密着
性が不十分で、しかも溶媒の添加、除去、回収等の工程
が入るために不純物の混入が起りやすいという不都合を
有し、またポリマー蒸着法の場合は解重合と共に分解が
起ったりして重合度が十分でないという不都合を有し、
またプラズマ重合法の場合は原料モノマー自体が分解し
たりして合成樹脂の分子設計が困離で、しかも合成樹脂
が架橋構造を含むために比較的剛直な被膜しか得られな
いという不都合を有する。
かかる不都合を解消するものとして、真空処理室中で原
料モノマーを蒸発させて、これを基体上で重合するよう
にした合成樹脂被膜の形成方法が本出願による特開昭6
1−78463号において開示されておシ、かかる方法
によれば緻密で高純度且つ均一な膜厚の合成樹脂被膜を
基板に対する良好な密着性をもって、しかも極めて薄い
膜を始め所望膜厚に容易に形成でき、更に原料モノマー
の選択によって種々に分子設計された被膜の形成を行な
えるが、かかる方法において複雑な形状の基体に対して
もその全面に均一に被膜を形成できるようにすることが
望まれる。
(問題を解決するための手段) 本発明は前記要望を満たす合成樹脂被膜の形成方法を提
供することを目的とするもので、その発明は、真空処理
室中で原料モノマーを蒸発させて、これを基体上で重合
させることから成る合成樹脂被膜の形成方法において、
該真空処理室の真空度を1 ×10”’ Torr以下
に設定すると共に、該基体の温度を原料モノマーの蒸発
温度を超える温度に設定し且つ該真空処理室の室壁内面
温度t−該基体の温度を超える温度に設定した状態で該
原料モノマーを蒸発させることを特徴とする。
ここで、真空処理室の真空度を1×1O−2Torr以
下に設定するのは、真空度が1×1O−2Torrを越
えると、原料モノマーを真空処理室内に設けられた蒸発
用容器から蒸発させる場合は、該蒸発用容器の近傍の、
また原料モノマーを真空処理室の外部で蒸発させて、こ
れを導入管を介して該直空処理室内に導入する場合は、
該導入管の流出口近傍の真空処理室の室壁等に原料モノ
マーが付着してしまい、原料モノマーが真空処理室の全
空間に亘って均一に分散しないからであるが、製造速度
の観点から1×1O−6Torr程度までとするのが好
ましい。
基体の温度を原料モノマーの蒸発温度を超える温度にす
るのは、原料モノマー単独では基体上に付着し々いよう
にして、主として基体に衝突すると同時に該基体上で重
合する原料モノマーで順次均一な組成の合成樹脂被膜が
形成されるようにするためである。尚、原料モノマーが
2種以上の場合には、該基体の温度はこれら原料モノマ
ーの蒸発温度のうちの最高温度を越える温度に設定する
ことになる。
また、真空処理室の室壁内面温度を基体の温度を超える
温度に設定するのは、原料モノマー或いはその重合物が
該室壁内面よりも基体に付着しやすいようにするためで
ある。
(作用) 前記のような真空処理室の真空度と、基体並びに室壁内
面の温度設定によれば、蒸発した原料モノマーが、真空
処理室の全空間に亘って均一に分散することとなり、主
として基体に衝突した原料モノマーのうち衝突と同時に
重合する原料モノマーで基体の全面に順次均一な組成の
合成樹脂被膜が形成される。
(実施例) 次に、添付図面に従って本発明の実施例に付き説明する
第1図は本発明方法を実施する装置の1例を示すもので
、1はステンレm器から成る真空処理室を示し、該処理
室1内を外部の真空ポンプその他の真空排気系2に接続
すると共に、該処理室1の中央にステンレス裂の棒状体
の保持部材3で、たて、よこ、厚さが10cn1×10
CJnX 0.5 cmのアルミ類の基体4を保持する
と共に該基体4の上刃に、原料モノマーa、bを蒸発さ
せるための蒸発用容器5.5をその各蒸発口6を上向き
にして設けである。また、該真空処理室1の外周に加熱
用ヒータ7を巻回し、該真空処理室1の室壁8の加熱に
よって該真空処理室1内を所望温度に加熱できるよって
した。
ここで、当該装置による合成樹脂被膜の形成につき説明
する。
まず、真空処理室1を大気圧状態にして、蒸発用容器5
.5の一万に原料モノマーaとしてピロメリト酸二無水
物と、他方に原料モノマ−bとして4.4′−ジアミノ
ジフェニルエーテルとを各12づつ充填する。
次で、ヒータ7を150℃に加熱して、真空処理室1内
t150℃近くに昇温し、原料モノマーa、bと基体4
とを夫々150℃近くに加熱する。かかる温度設定によ
れば、真空処理室1内をI X 10−4Torrに排
気すると、原料モノマーa、bの昇華は開始するが、該
原料モノマーa1 b各奉独では、基体4上にはもとよ
り、室壁8の内面8aに付着しない。
次で、真空処理室1内を真空排気系2を介してI X 
10−’ Torrに設定すると共にヒータ7を200
℃に加熱して、該処理室1内を徐々に200℃近くに昇
温し、原料モノマーa、 bと基体4とを夫々徐々に2
00℃近くに加熱する。かくして、原料モノマーa、b
は昇華するが、原料モノマーa、b各単独では原料モノ
マーa%bの昇華温度以上となっている基体4や室壁8
の内面8aには付着しないので、該処理室1内に原料モ
ノマーa1 bが均一に分散することとなシ、しかも、
室壁8の内面8aはヒータ7によって直接加熱されて即
時に200℃に昇温し、基体4よりも常に高温状態とな
っており、原料モノマーa% b或いは、その重合物は
、室壁8の内面8aよりは基体4の方に付着しやすい状
態となっており、該原料モノマーa、bによって基体4
の全面に均一な膜厚でもって、しかも化学量論的な組成
比で、ポリイミドの合成樹脂被膜が形成された。
(発明の効果) このように、本発明の合成樹脂被膜の形成方法によれば
、真空処理室の真空度全1×1O−2Torr以下に設
定すると共に、基体の温度を原料モノマーの蒸発温度を
超える温度に設定し且つ該真空処理室の室壁内面温度を
該基体の温度を超える温度に設定した状態で該原料モノ
マーを蒸発させるようにしたので、原料モノマーが基体
の全周囲に亘って均一に分散することとなり、基体の形
状、大きさにかかわりなく、その全面に均一な合成樹脂
被膜を形成できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明合成樹脂被膜の形成方法を実施するための
装置の一例の載断面図でおる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 真空処理室中で原料モノマーを蒸発させて、これを基体
    上で重合させることから成る合成樹脂被膜の形成方法に
    おいて、該真空処理室の真空度を1×10^−^2To
    rr以下に設定すると共に、該基体の温度を原料モノマ
    ーの蒸発温度を超える温度に設定し且つ該真空処理室の
    室壁内面温度を該基体の温度を超える温度に設定した状
    態で該原料モノマーを蒸発させることを特徴とする合成
    樹脂被膜の形成方法。
JP61206764A 1986-09-04 1986-09-04 合成樹脂被膜の形成方法 Expired - Fee Related JPH0615710B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102560402A (zh) * 2012-02-10 2012-07-11 肇庆市振华金冠真空设备有限公司 车灯反光杯镀膜的方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS501980A (ja) * 1973-05-11 1975-01-10
JPS6178463A (ja) * 1984-09-25 1986-04-22 Ulvac Corp 合成樹脂被膜の形成方法

Patent Citations (2)

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JPS501980A (ja) * 1973-05-11 1975-01-10
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CN102560402A (zh) * 2012-02-10 2012-07-11 肇庆市振华金冠真空设备有限公司 车灯反光杯镀膜的方法

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