JPH0668151B2 - 真空用部材内部の真空接触面処理方法 - Google Patents
真空用部材内部の真空接触面処理方法Info
- Publication number
- JPH0668151B2 JPH0668151B2 JP63160661A JP16066188A JPH0668151B2 JP H0668151 B2 JPH0668151 B2 JP H0668151B2 JP 63160661 A JP63160661 A JP 63160661A JP 16066188 A JP16066188 A JP 16066188A JP H0668151 B2 JPH0668151 B2 JP H0668151B2
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- Japan
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- vacuum
- contact surface
- raw material
- synthetic resin
- vacuum contact
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばＣＶＤ装置等に使用される真空用配
管、真空用部品等の真空用部材の内部の真空接触面に耐
酸耐熱性を付与するための処理方法に関する。
管、真空用部品等の真空用部材の内部の真空接触面に耐
酸耐熱性を付与するための処理方法に関する。
（従来の技術） 従来、この種の真空用部材は、ステンレス鋼、鉄、ニッ
ケルをメッキした鉄、銅、アルミ合金、塩化ビニル等の
材料で構成されている。これらの材料で製作された真空
用部材をＣＶＤ装置等の高温酸性雰囲気中で使用すると
腐蝕するという不都合があった。こうした不都合は、真
空用部材の真空接触面にポリイミド等の耐酸耐熱性の合
成樹脂の膜を形成すれば解決できると考えられる。この
種の膜を形成するには、合成樹脂の原料モノマーを適当
な溶媒に溶かして塗布する湿式法、合成樹脂ポリマー自
体を蒸発させて該真空接触面に蒸着させる蒸着法、更に
は、米国特許第4104428号に見られるように、合成樹脂
の複数の原料モノマーを不活性ガス中で蒸発させ、これ
を不活性ガスと共にプラズマ中に導いてその中に置かれ
た成膜されるべき部材の表面で重合させるプラズマ重合
法が知られている。
ケルをメッキした鉄、銅、アルミ合金、塩化ビニル等の
材料で構成されている。これらの材料で製作された真空
用部材をＣＶＤ装置等の高温酸性雰囲気中で使用すると
腐蝕するという不都合があった。こうした不都合は、真
空用部材の真空接触面にポリイミド等の耐酸耐熱性の合
成樹脂の膜を形成すれば解決できると考えられる。この
種の膜を形成するには、合成樹脂の原料モノマーを適当
な溶媒に溶かして塗布する湿式法、合成樹脂ポリマー自
体を蒸発させて該真空接触面に蒸着させる蒸着法、更に
は、米国特許第4104428号に見られるように、合成樹脂
の複数の原料モノマーを不活性ガス中で蒸発させ、これ
を不活性ガスと共にプラズマ中に導いてその中に置かれ
た成膜されるべき部材の表面で重合させるプラズマ重合
法が知られている。
本願出願人は、先に、複雑な形状の基板に均一な厚さの
合成樹脂被膜を簡単に形成する方法として、該合成樹脂
被膜となる複数の原料モノマーを個別に真空中で蒸発さ
せ、該真空中に用意した基板の温度を該原料モノマーの
蒸発温度を超える温度に制御し、各原料モノマーの蒸気
を均一に真空中に分散させると共に基板の表面に於いて
原料モノマー単独で存在させず反応して合成樹脂となっ
たもののみを存在させるようにした方法を提案した（特
開昭６３−６２８６９号公報）。
合成樹脂被膜を簡単に形成する方法として、該合成樹脂
被膜となる複数の原料モノマーを個別に真空中で蒸発さ
せ、該真空中に用意した基板の温度を該原料モノマーの
蒸発温度を超える温度に制御し、各原料モノマーの蒸気
を均一に真空中に分散させると共に基板の表面に於いて
原料モノマー単独で存在させず反応して合成樹脂となっ
たもののみを存在させるようにした方法を提案した（特
開昭６３−６２８６９号公報）。
（発明が解決しようとする問題点） 上記湿式法では、極めて薄い被膜を形成することが難し
く、成膜されるべき部材と被膜との密着性が不十分で、
溶媒の添加、除去、回収等の工程が入るため不純物の混
入が生じやすい欠点がある。また、上記蒸着法では、解
重合と共に分解が起る場合があって、重合度が十分でな
い欠点があり、更にプラズマ重合法の場合には不活性ガ
スの導入系が複雑でその制御操作が容易でなく、原料モ
ノマー自体が分解することもあって分子設計が難しく、
比較的剛直な被膜しか得られない欠点があった。そし
て、例えば比較的簡単な形状の真空用配管のように、内
部の中空部の壁面が真空接触面であってこれに耐酸耐熱
性合成樹脂被膜を形成する場合を考えて見るに、湿式法
では均一な厚さでその全面に樹脂を塗布することが困難
であり、蒸着法でも蒸発源から蒸気を中空部内へ誘導す
ることは難しく、プラズマ重合法でも狭い中空部内でプ
ラズマを発生させることは困難であり、従ってこれらの
方法では中空部内面の全体に均一な厚さで被膜を形成す
ることは難しく、上記出願人の提案した方法を利用する
ことが有利であると判断される。
く、成膜されるべき部材と被膜との密着性が不十分で、
溶媒の添加、除去、回収等の工程が入るため不純物の混
入が生じやすい欠点がある。また、上記蒸着法では、解
重合と共に分解が起る場合があって、重合度が十分でな
い欠点があり、更にプラズマ重合法の場合には不活性ガ
スの導入系が複雑でその制御操作が容易でなく、原料モ
ノマー自体が分解することもあって分子設計が難しく、
比較的剛直な被膜しか得られない欠点があった。そし
て、例えば比較的簡単な形状の真空用配管のように、内
部の中空部の壁面が真空接触面であってこれに耐酸耐熱
性合成樹脂被膜を形成する場合を考えて見るに、湿式法
では均一な厚さでその全面に樹脂を塗布することが困難
であり、蒸着法でも蒸発源から蒸気を中空部内へ誘導す
ることは難しく、プラズマ重合法でも狭い中空部内でプ
ラズマを発生させることは困難であり、従ってこれらの
方法では中空部内面の全体に均一な厚さで被膜を形成す
ることは難しく、上記出願人の提案した方法を利用する
ことが有利であると判断される。
本発明は、真空用部材の内部の真空接触面の全面に均一
な厚さで合成樹脂被膜を形成して耐酸耐熱性を付与する
に適した真空接触面処理方法を提供することを目的とす
るものである。
な厚さで合成樹脂被膜を形成して耐酸耐熱性を付与する
に適した真空接触面処理方法を提供することを目的とす
るものである。
（課題を解決するための手段） 本発明では、真空用部材の内部の真空接触面に耐酸耐熱
性合成樹脂被膜を形成する方法に於いて、該真空接触面
が面する真空用部材の中空部を、配管を介して接続した
真空排気系により真空に排気すると共に該真空接触面を
該耐酸耐熱性合成樹脂の２種類の原料モノマーの蒸発温
度を超える温度に加熱し、該配管に該耐酸耐熱性合成樹
脂の２種類の原料モノマーをそれぞれ収容した蒸発容器
を接続し、各蒸発容器からの各原料モノマーの蒸気を該
中空部に導いて該真空接触面で各原料モノマーを重合さ
せて耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形成することにより、上
記の目的を達成するようにした。
性合成樹脂被膜を形成する方法に於いて、該真空接触面
が面する真空用部材の中空部を、配管を介して接続した
真空排気系により真空に排気すると共に該真空接触面を
該耐酸耐熱性合成樹脂の２種類の原料モノマーの蒸発温
度を超える温度に加熱し、該配管に該耐酸耐熱性合成樹
脂の２種類の原料モノマーをそれぞれ収容した蒸発容器
を接続し、各蒸発容器からの各原料モノマーの蒸気を該
中空部に導いて該真空接触面で各原料モノマーを重合さ
せて耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形成することにより、上
記の目的を達成するようにした。
（作用） 真空用部材の内部の真空接触面にポリイミド、ポリアミ
ド、ポリイミドアミド等の耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形
成する場合、該真空接触面が面する中空部を配管に接続
した真空排気系により１０-3〜１０-1Torrの真空に排気
し、該真空接触面を加熱しておく。該中空部は真空であ
り、各蒸発容器から蒸発する各原料モノマーの蒸気が均
一に分散する。各原料モノマーの蒸気は、真空接触面に
接触したとき重合してそこに耐酸耐熱性合成樹脂被膜と
して堆積し、該真空接触面の全面が均一な厚さの被膜で
覆われる。該真空接触面は原料モノマーの蒸発温度を超
える温度、例えば80〜200℃程度に加熱される。この被
膜は、真空接触面に凹凸があったり継目があっても均一
な厚さで覆うことができ、必要な場合には被膜形成後に
更に温度を変えて加熱することにより例えばイミド化出
来る。
ド、ポリイミドアミド等の耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形
成する場合、該真空接触面が面する中空部を配管に接続
した真空排気系により１０-3〜１０-1Torrの真空に排気
し、該真空接触面を加熱しておく。該中空部は真空であ
り、各蒸発容器から蒸発する各原料モノマーの蒸気が均
一に分散する。各原料モノマーの蒸気は、真空接触面に
接触したとき重合してそこに耐酸耐熱性合成樹脂被膜と
して堆積し、該真空接触面の全面が均一な厚さの被膜で
覆われる。該真空接触面は原料モノマーの蒸発温度を超
える温度、例えば80〜200℃程度に加熱される。この被
膜は、真空接触面に凹凸があったり継目があっても均一
な厚さで覆うことができ、必要な場合には被膜形成後に
更に温度を変えて加熱することにより例えばイミド化出
来る。
（実施例） 以下、添付図面にしたがって本発明の真空用部材の真空
接触面処理方法につき説明する。
接触面処理方法につき説明する。
図示の装置は、本発明の方法を実施するための装置であ
って、その符号１は被処理物であるステンレス鋼製の真
空配管から成る真空用部材を示し、その両端開口２、２
には配管３、３を介して真空排気系４が接続されてお
り、更に該各開口２の近傍において、各配管３にモノマ
ー導入用バルブ５を介して蒸発容器６が接続されてい
る。尚、符号７は、真空用部材１、配管３、バルブ５及
び蒸発容器６を加熱する加熱用ヒータ、８は真空用部材
１の支持ホルダを示す。
って、その符号１は被処理物であるステンレス鋼製の真
空配管から成る真空用部材を示し、その両端開口２、２
には配管３、３を介して真空排気系４が接続されてお
り、更に該各開口２の近傍において、各配管３にモノマ
ー導入用バルブ５を介して蒸発容器６が接続されてい
る。尚、符号７は、真空用部材１、配管３、バルブ５及
び蒸発容器６を加熱する加熱用ヒータ、８は真空用部材
１の支持ホルダを示す。
該真空配管はその内部の通孔が使用時に真空接触面とな
るもので、前記装置を用いて真空用部材１である真空配
管の内部の真空接触面にポリイミドの耐酸耐蝕性合成樹
脂被膜を形成する処理を行なう方法につき説明すれば、
まず、一方の蒸発容器６内にポリイミドの原料モノマー
ａであるピロメリット酸二無水物10ｇと、他方の蒸発容
器６内に同じくポリイミドの原料モノマーｂである４，
４−ジアミノジフェニルエーテル10ｇとを充填する。次
いで、加熱用ヒータ７によって真空用部材１を180℃近
くに加熱してその内部の真空接触面を加熱するととも
に、原料モノマーａ、ｂを夫々180℃と170℃近くに加熱
する。かかる温度設定下で、真空排気系４を介して該真
空用部材１の真空接触面が面する中空部内を１×１０-2
Torrに設定して原料モノマーａ、ｂを昇華させる。
るもので、前記装置を用いて真空用部材１である真空配
管の内部の真空接触面にポリイミドの耐酸耐蝕性合成樹
脂被膜を形成する処理を行なう方法につき説明すれば、
まず、一方の蒸発容器６内にポリイミドの原料モノマー
ａであるピロメリット酸二無水物10ｇと、他方の蒸発容
器６内に同じくポリイミドの原料モノマーｂである４，
４−ジアミノジフェニルエーテル10ｇとを充填する。次
いで、加熱用ヒータ７によって真空用部材１を180℃近
くに加熱してその内部の真空接触面を加熱するととも
に、原料モノマーａ、ｂを夫々180℃と170℃近くに加熱
する。かかる温度設定下で、真空排気系４を介して該真
空用部材１の真空接触面が面する中空部内を１×１０-2
Torrに設定して原料モノマーａ、ｂを昇華させる。
かくすることにより、該真空用部材１の中空部内の真空
接触面の温度が原料モノマーａ、ｂの蒸発温度以上であ
るので、各蒸発容器６から蒸発する原料モノマーａ、ｂ
は、単独では該真空接触面上には付着せず、そのためそ
の蒸気は該中空部内に均一に分散することになり、該原
料モノマーａ、ｂの蒸気同士が該真空接触面上に於いて
反応した場合にだけそこに化学量論的な組成比でもって
ポリアミド酸の合成樹脂被膜が形成され、次第に露出し
た該真空接触面が該被膜で覆われ、均一な厚さの被膜が
形成される。ポリアミド酸の合成樹脂被膜が所定の膜厚
に達したならば、モノマー導入用バルブ５、５を閉じる
とともに真空用部材１の中空部内を大気圧に戻し、真空
用部材１を支持ホルダ８、８から外し、大気中の図示し
ない加熱炉で300℃近くまで加熱してイミド化処理を施
し、ポリイミド合成樹脂被膜を得る。尚、真空用部材１
を加熱用ヒータ７で直接加熱することによって行なうよ
うにしてもよい。原料モノマーを代えるとポリアミド、
或いはポリイミドアミドの耐酸耐熱性合成樹脂被膜を作
成できる。
接触面の温度が原料モノマーａ、ｂの蒸発温度以上であ
るので、各蒸発容器６から蒸発する原料モノマーａ、ｂ
は、単独では該真空接触面上には付着せず、そのためそ
の蒸気は該中空部内に均一に分散することになり、該原
料モノマーａ、ｂの蒸気同士が該真空接触面上に於いて
反応した場合にだけそこに化学量論的な組成比でもって
ポリアミド酸の合成樹脂被膜が形成され、次第に露出し
た該真空接触面が該被膜で覆われ、均一な厚さの被膜が
形成される。ポリアミド酸の合成樹脂被膜が所定の膜厚
に達したならば、モノマー導入用バルブ５、５を閉じる
とともに真空用部材１の中空部内を大気圧に戻し、真空
用部材１を支持ホルダ８、８から外し、大気中の図示し
ない加熱炉で300℃近くまで加熱してイミド化処理を施
し、ポリイミド合成樹脂被膜を得る。尚、真空用部材１
を加熱用ヒータ７で直接加熱することによって行なうよ
うにしてもよい。原料モノマーを代えるとポリアミド、
或いはポリイミドアミドの耐酸耐熱性合成樹脂被膜を作
成できる。
（発明の効果） このように、本発明の真空用部材内部の真空接触面処理
方法によれば、真空用部材の内部の中空部を真空排気す
ると共に該中空部に面した真空接触面を耐酸耐熱性合成
樹脂の２種類の原料モノマーの蒸発温度を超える温度に
加熱し、配管を介して該合成樹脂の各原料モノマーの蒸
気を該中空部へ導いて該真空接触面で各原料モノマーを
重合させて耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形成するので、真
空用部材の内部の真空接触面の全面に均一な厚さ均一な
組成で該被膜を複雑な制御を行なわずに簡単に形成で
き、組立てられた真空用部材でもその継目や凹凸部にま
で均一な被膜を能率良く形成し得る等の効果がある。
方法によれば、真空用部材の内部の中空部を真空排気す
ると共に該中空部に面した真空接触面を耐酸耐熱性合成
樹脂の２種類の原料モノマーの蒸発温度を超える温度に
加熱し、配管を介して該合成樹脂の各原料モノマーの蒸
気を該中空部へ導いて該真空接触面で各原料モノマーを
重合させて耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形成するので、真
空用部材の内部の真空接触面の全面に均一な厚さ均一な
組成で該被膜を複雑な制御を行なわずに簡単に形成で
き、組立てられた真空用部材でもその継目や凹凸部にま
で均一な被膜を能率良く形成し得る等の効果がある。
図面は本発明の真空用部材内部の真空接触面処理方法の
一実施例を示すための説明線図である。 １……真空用部材、４……真空排気系、６……蒸発容器 ７……加熱用ヒータ、ａ、ｂ……原料モノマー
一実施例を示すための説明線図である。 １……真空用部材、４……真空排気系、６……蒸発容器 ７……加熱用ヒータ、ａ、ｂ……原料モノマー
Claims (1)
- 【請求項１】真空用部材の内部の真空接触面に耐酸耐熱
性合成樹脂被膜を形成する方法に於いて、該真空接触面
が面する真空用部材の中空部を、配管を介して接続した
真空排気系により真空に排気すると共に該真空接触面を
該耐酸耐熱性合成樹脂の２種類の原料モノマーの蒸発温
度を超える温度に加熱し、該配管に該耐酸耐熱性合成樹
脂の２種類の原料モノマーをそれぞれ収容した蒸発容器
を接続し、各蒸発容器からの各原料モノマーの蒸気を該
中空部に導いて該真空接触面で各原料モノマーを重合さ
せて耐酸耐熱性合成樹脂被膜を形成することを特徴とす
る真空用部材内部の真空接触面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160661A JPH0668151B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 真空用部材内部の真空接触面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160661A JPH0668151B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 真空用部材内部の真空接触面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211768A JPH0211768A (ja) | 1990-01-16 |
| JPH0668151B2 true JPH0668151B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=15719760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63160661A Expired - Lifetime JPH0668151B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 真空用部材内部の真空接触面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668151B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100949298B1 (ko) * | 2005-03-24 | 2010-03-23 | 가부시키가이샤 알박 | 진공부품의 제조방법, 수지 피막 형성장치 및 진공성막시스템 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0637635U (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-20 | 日清紡績株式会社 | ドラムブレーキの間隙調整停止装置 |
| JP4593945B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2010-12-08 | 株式会社アルバック | 真空処理室用表面構造 |
| JP5028755B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2012-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体処理装置の表面処理方法 |
| JP7058545B2 (ja) * | 2018-04-25 | 2022-04-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給管のクリーニング方法および処理システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148569A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-10 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | プラズマｃｖｄ装置 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63160661A patent/JPH0668151B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148569A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-10 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | プラズマｃｖｄ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100949298B1 (ko) * | 2005-03-24 | 2010-03-23 | 가부시키가이샤 알박 | 진공부품의 제조방법, 수지 피막 형성장치 및 진공성막시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0211768A (ja) | 1990-01-16 |
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| JPH0521214B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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