JPH05132763A - 全方向同時蒸着重合装置 - Google Patents
全方向同時蒸着重合装置Info
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- JPH05132763A JPH05132763A JP32380891A JP32380891A JPH05132763A JP H05132763 A JPH05132763 A JP H05132763A JP 32380891 A JP32380891 A JP 32380891A JP 32380891 A JP32380891 A JP 32380891A JP H05132763 A JPH05132763 A JP H05132763A
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- Japan
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- processing chamber
- vacuum processing
- vapor deposition
- heaters
- deposition polymerization
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Abstract
(57)【要約】
［構成］ 真空処理室１ａの両壁部１９ａ、１９ｂにフ
ランジ加熱ヒ−タ１４ａ、１４ｂを埋設し、これ以外の
各バレル１０面が対向する外周壁部１８には処理室加熱
ヒ−タ１３が埋設されている。また、真空排気系用配管
５１の壁部にも排気系加熱ヒ−タ１５が埋設されてお
り、更に蒸発源容器５ａ、５ｂのに接続されている導入
管６ａ、６ｂにも導入管加熱ヒ−タ１６ａ、１６ｂが埋
設されている。これら各加熱ヒ−タは各々独立して温度
制御が可能である。導入管加熱ヒ−タ１６ａ、１６ｂを
設けたことで導入管６ａ、６ｂにモノマが付着せず蒸発
速度の低下が防止でき、排気系加熱ヒータ１５を設けた
ことで真空排気系２の内壁にモノマが付着せず排気能力
の低下が防止でき、蒸発レ−トが不安定となる要因を取
り除くことができる。 ［効果］ 被蒸着物表面上に形成される高分子被膜の質
を良好にする。
ランジ加熱ヒ−タ１４ａ、１４ｂを埋設し、これ以外の
各バレル１０面が対向する外周壁部１８には処理室加熱
ヒ−タ１３が埋設されている。また、真空排気系用配管
５１の壁部にも排気系加熱ヒ−タ１５が埋設されてお
り、更に蒸発源容器５ａ、５ｂのに接続されている導入
管６ａ、６ｂにも導入管加熱ヒ−タ１６ａ、１６ｂが埋
設されている。これら各加熱ヒ−タは各々独立して温度
制御が可能である。導入管加熱ヒ−タ１６ａ、１６ｂを
設けたことで導入管６ａ、６ｂにモノマが付着せず蒸発
速度の低下が防止でき、排気系加熱ヒータ１５を設けた
ことで真空排気系２の内壁にモノマが付着せず排気能力
の低下が防止でき、蒸発レ−トが不安定となる要因を取
り除くことができる。 ［効果］ 被蒸着物表面上に形成される高分子被膜の質
を良好にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被蒸着材の表面に高分子
膜を形成させる際に用いる全方向同時蒸着重合装置に関
する。
膜を形成させる際に用いる全方向同時蒸着重合装置に関
する。
【０００２】従来では、半導体素子の絶縁膜、パッシベ
ーション膜、ソフトエラー防止膜及びコンデンサの誘電
導体膜等に用いられている各種高分子被膜の形成方法と
して湿式法、ポリマー蒸着法及びプラズマ重合法が知ら
れている。
ーション膜、ソフトエラー防止膜及びコンデンサの誘電
導体膜等に用いられている各種高分子被膜の形成方法と
して湿式法、ポリマー蒸着法及びプラズマ重合法が知ら
れている。
【０００３】湿式法は原料モノマを適当な溶媒に解かし
て重合させ、これを基板状に塗布する方法であり、ポリ
マー蒸着法はポリマー自体を基板状に蒸着させる方法で
あり、プラズマ重合法はモノマ蒸気をプラズマ状態にし
て重合させ、基板状で堆積させる方法である。しかしな
がら、これら従来法には各々不都合があり、湿式法では
極めて薄い膜が得られず、密着性も不充分であり、更に
不純物の混入が生じやすく、ポリマー蒸着法では蒸着時
に分解が起こりやすく、重合度が充分とならず、プラズ
マ重合法では重合時に分解が起こりやすく、高分子設計
が困難であった。
て重合させ、これを基板状に塗布する方法であり、ポリ
マー蒸着法はポリマー自体を基板状に蒸着させる方法で
あり、プラズマ重合法はモノマ蒸気をプラズマ状態にし
て重合させ、基板状で堆積させる方法である。しかしな
がら、これら従来法には各々不都合があり、湿式法では
極めて薄い膜が得られず、密着性も不充分であり、更に
不純物の混入が生じやすく、ポリマー蒸着法では蒸着時
に分解が起こりやすく、重合度が充分とならず、プラズ
マ重合法では重合時に分解が起こりやすく、高分子設計
が困難であった。
【０００４】そこで、本出願人は先に、これら従来法の
不都合を解消する高分子被膜形成方法として、真空中で
多種類のモノマを蒸発させ、基板状で重合させる蒸着重
合法（特開昭６１−７８４６３号公報）及びこの方法を
実施する装置として全方向同時蒸着装置（特願平２−２
９９００２号）を発明した。
不都合を解消する高分子被膜形成方法として、真空中で
多種類のモノマを蒸発させ、基板状で重合させる蒸着重
合法（特開昭６１−７８４６３号公報）及びこの方法を
実施する装置として全方向同時蒸着装置（特願平２−２
９９００２号）を発明した。
【０００５】以下、従来の全方向同時蒸着重合装置の構
成について図２及び図３を参照して説明する
成について図２及び図３を参照して説明する
【０００６】図において全方向同時蒸着重合装置１の真
空処理室１ａは真空排気系２を介して図示されてない排
気装置が接続され、排気バルブ１７は真空処理室１ａ真
空排気系２とを仕切っている。又、この真空処理室１ａ
には蒸発源容器５ａ、５ｂが導入管６ａ、６ｂを介して
接続されている。蒸発源容器５ａ、５ｂ内には高分子膜
の原料モノマ３、４が供給され、この蒸発源容器５ａ、
５ｂの周りには蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂが取り付け
られている。
空処理室１ａは真空排気系２を介して図示されてない排
気装置が接続され、排気バルブ１７は真空処理室１ａ真
空排気系２とを仕切っている。又、この真空処理室１ａ
には蒸発源容器５ａ、５ｂが導入管６ａ、６ｂを介して
接続されている。蒸発源容器５ａ、５ｂ内には高分子膜
の原料モノマ３、４が供給され、この蒸発源容器５ａ、
５ｂの周りには蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂが取り付け
られている。
【０００７】真空排気室１ａの内部は回転軸７を中心に
放射状に延びた支持部材８の各先端部９に断面形状が六
角形若しくは八角形のバレル１０を環状に配置させてい
る。
放射状に延びた支持部材８の各先端部９に断面形状が六
角形若しくは八角形のバレル１０を環状に配置させてい
る。
【０００８】従来の全方向同時蒸着重合装置１は、以上
のように構成されているが、例えば図４に示すような略
コ字形状の被蒸着材２０の表面全面に高分子膜を形成す
る場合は、バレル１０内に複数の被蒸着材２０を収容し
た後、各バレル１０をモータ１１の駆動で回転軸７を中
心に回転駆動させると共に、真空排気系２で真空処理室
１ａ内を所定圧に保持しながら、各導入管６ａ、６ｂか
ら真空処理室１ａ内に高分子膜の原料モノマ３、４の蒸
気を導入し、各蒸着材２０の表面全面にわたって、原料
モノマ３、４を蒸着させると共に重合させて高分子膜を
形成させている。
のように構成されているが、例えば図４に示すような略
コ字形状の被蒸着材２０の表面全面に高分子膜を形成す
る場合は、バレル１０内に複数の被蒸着材２０を収容し
た後、各バレル１０をモータ１１の駆動で回転軸７を中
心に回転駆動させると共に、真空排気系２で真空処理室
１ａ内を所定圧に保持しながら、各導入管６ａ、６ｂか
ら真空処理室１ａ内に高分子膜の原料モノマ３、４の蒸
気を導入し、各蒸着材２０の表面全面にわたって、原料
モノマ３、４を蒸着させると共に重合させて高分子膜を
形成させている。
【０００９】このような蒸着重合法によって被蒸着材２
０表面上に良質の高分子被膜を形成させるためには、蒸
発源原料モノマ３、４が被蒸着材２０表面上で化学量論
的に重合することが必要である。そのために従来の装置
では原料モノマ３、４の蒸発レートを常に一定化させる
ために蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂを所定温度にコント
ロールできるようにしている。
０表面上に良質の高分子被膜を形成させるためには、蒸
発源原料モノマ３、４が被蒸着材２０表面上で化学量論
的に重合することが必要である。そのために従来の装置
では原料モノマ３、４の蒸発レートを常に一定化させる
ために蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂを所定温度にコント
ロールできるようにしている。
【００１０】しかしながら、この方法で繰り返し蒸着を
行なっていると蒸発源から蒸発したモノマが配管・処理
室内壁全面に付着・堆積してしまいモノマの蒸発レート
も不安定となる。
行なっていると蒸発源から蒸発したモノマが配管・処理
室内壁全面に付着・堆積してしまいモノマの蒸発レート
も不安定となる。
【００１１】本発明は上記問題に鑑みてなされ蒸発源か
ら蒸発したモノマが配管処理室内壁全面に付着・堆積せ
ず、排気速度及び蒸発速度の低下・蒸発の不安定化・膜
厚分布の不良などの減少を防止でき、被蒸着材表面上に
形成される高分子被膜の質を良好にする全方向同時蒸着
重合装置を提供することを目的とする。
ら蒸発したモノマが配管処理室内壁全面に付着・堆積せ
ず、排気速度及び蒸発速度の低下・蒸発の不安定化・膜
厚分布の不良などの減少を防止でき、被蒸着材表面上に
形成される高分子被膜の質を良好にする全方向同時蒸着
重合装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】以上の目的は、真空処理
室内に、外部蒸発源からの高分子膜の原料モノマ蒸気を
導入する導入管と、高分子膜を表面に形成させる被蒸着
材を収容するバレルを配置した全方向同時蒸着重合装置
において、前記真空処理室の全壁部、前記導入管の全壁
部及び前記真空処理室に接続される真空排気系用配管の
全壁部に各々加熱ヒータを取りつけたことを特徴とする
全方向同時蒸着重合装置によって達成される。
室内に、外部蒸発源からの高分子膜の原料モノマ蒸気を
導入する導入管と、高分子膜を表面に形成させる被蒸着
材を収容するバレルを配置した全方向同時蒸着重合装置
において、前記真空処理室の全壁部、前記導入管の全壁
部及び前記真空処理室に接続される真空排気系用配管の
全壁部に各々加熱ヒータを取りつけたことを特徴とする
全方向同時蒸着重合装置によって達成される。
【００１３】
【作用】真空処理室の全壁部、真空排気系配管の全壁部
及び原料モノマ蒸気の導入管に各々加熱ヒータを設ける
ことによって、真空排気系用配管の内壁、真空処理室の
全壁部及び原料モノマ蒸気の導入口の全壁部への原料モ
ノマの付着・堆積が阻止できる。また、真空処理室の外
周壁部と両端壁部とに独立して制御する加熱ヒータを設
けることによって、被蒸着材の膜厚分布の改善が可能と
なる。
及び原料モノマ蒸気の導入管に各々加熱ヒータを設ける
ことによって、真空排気系用配管の内壁、真空処理室の
全壁部及び原料モノマ蒸気の導入口の全壁部への原料モ
ノマの付着・堆積が阻止できる。また、真空処理室の外
周壁部と両端壁部とに独立して制御する加熱ヒータを設
けることによって、被蒸着材の膜厚分布の改善が可能と
なる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例による全方向同時蒸着
重合装置について、図面を参照して説明する。なお、従
来例と同一の構成の部分については同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。
重合装置について、図面を参照して説明する。なお、従
来例と同一の構成の部分については同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。
【００１５】図１に示すように本実施例による全方向同
時蒸着重合装置１の真空処理室１ａは外周壁部１８と左
右両端壁部１９ａ、１９ｂとからなり、これらの接続部
は気密になるように接続されている。この真空処理室１
ａの両端壁部１９ａ、１９ｂにはフランジ加熱ヒータ１
４ａ、１４ｂを埋設し、これ以外の各バレル１０面が対
向する外周壁部１８には処理室加熱ヒータ１３が埋設さ
れている。また、真空処理室１ａの左端壁部１９ａには
真空排気系２が接続される開口５０が形成され、この開
口５０に接続されている配管５１の壁部にも排気系加熱
ヒータ１５が埋設されており、更にモノマ３、４の蒸気
を導入する蒸発源容器５ａ、５ｂのに接続されている導
入管６ａ、６ｂの壁部にも導入管加熱ヒータ１６ａ、１
６ｂが埋設されている。
時蒸着重合装置１の真空処理室１ａは外周壁部１８と左
右両端壁部１９ａ、１９ｂとからなり、これらの接続部
は気密になるように接続されている。この真空処理室１
ａの両端壁部１９ａ、１９ｂにはフランジ加熱ヒータ１
４ａ、１４ｂを埋設し、これ以外の各バレル１０面が対
向する外周壁部１８には処理室加熱ヒータ１３が埋設さ
れている。また、真空処理室１ａの左端壁部１９ａには
真空排気系２が接続される開口５０が形成され、この開
口５０に接続されている配管５１の壁部にも排気系加熱
ヒータ１５が埋設されており、更にモノマ３、４の蒸気
を導入する蒸発源容器５ａ、５ｂのに接続されている導
入管６ａ、６ｂの壁部にも導入管加熱ヒータ１６ａ、１
６ｂが埋設されている。
【００１６】処理室加熱ヒータ１３、フランジ加熱ヒー
タ１４ａ、１４ｂ、排気系の加熱ヒータ１５、及び導入
管の加熱ヒータ１６ａ、１６ｂの各加熱ヒータは真空処
理室１ａの外部に設けられている図示されていない温度
調節手段により、各々独立して温度制御が可能である。
また、蒸発源容器５ａ、５ｂの壁部に取り付けられてい
る蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂもモノマ３、４が所定の
モノマ比で蒸発するように別個に温度制御が可能と成っ
ている。
タ１４ａ、１４ｂ、排気系の加熱ヒータ１５、及び導入
管の加熱ヒータ１６ａ、１６ｂの各加熱ヒータは真空処
理室１ａの外部に設けられている図示されていない温度
調節手段により、各々独立して温度制御が可能である。
また、蒸発源容器５ａ、５ｂの壁部に取り付けられてい
る蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂもモノマ３、４が所定の
モノマ比で蒸発するように別個に温度制御が可能と成っ
ている。
【００１７】蒸発源容器５ａ、５ｂに供給されるモノマ
は、例えばポリミイドの蒸着重合法を例にあげれば、蒸
発源容器５ａ内には原料モノマ３としてピロメリト酸二
無水物を供給し、蒸発源容器５ｂ内には原料モノマ４と
して４、４’‐ジアミノジフェニルエーテルを供給す
る。
は、例えばポリミイドの蒸着重合法を例にあげれば、蒸
発源容器５ａ内には原料モノマ３としてピロメリト酸二
無水物を供給し、蒸発源容器５ｂ内には原料モノマ４と
して４、４’‐ジアミノジフェニルエーテルを供給す
る。
【００１８】本発明の実施例による全方向同時蒸着重合
装置１は以上のように構成されているが、次にこの作用
について説明する。
装置１は以上のように構成されているが、次にこの作用
について説明する。
【００１９】図示されていない排気手段により真空処理
室１ａ内が所望の圧力に減圧されると蒸発源ヒータ１２
ａ、１２ｂ、処理室加熱ヒータ１３、フランジ加熱ヒー
タ１４ａ、１４ｂ、排気系加熱ヒータ１５、及び導入管
加熱ヒータ１６ａ、１６ｂの各加熱ヒータは真空処理室
１ａの外部に設けられている図示されていない温度調節
手段から電源が供給されて各々のヒータが所定の温度に
制御される。蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂを除くこれら
のヒータの温度はモノマの蒸着中はモノマが付着・堆積
しない温度に制御されている。
室１ａ内が所望の圧力に減圧されると蒸発源ヒータ１２
ａ、１２ｂ、処理室加熱ヒータ１３、フランジ加熱ヒー
タ１４ａ、１４ｂ、排気系加熱ヒータ１５、及び導入管
加熱ヒータ１６ａ、１６ｂの各加熱ヒータは真空処理室
１ａの外部に設けられている図示されていない温度調節
手段から電源が供給されて各々のヒータが所定の温度に
制御される。蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂを除くこれら
のヒータの温度はモノマの蒸着中はモノマが付着・堆積
しない温度に制御されている。
【００２０】蒸発源ヒータ１２ａ、１２ｂは蒸発源容器
５ａ、５ｂ内の原料モノマ３、４が所定のモノマ比で蒸
発するように温度調節される。原料モノマ３、４は蒸発
源ヒータ１２ａ、１２ｂにより加熱されて蒸発すると、
導入管６ａ、６ｂを通過して真空処理室１ａ内に供給さ
れ、バレル１０内に収容されている被蒸着材２０に付着
・堆積する。導入管６ａ、６ｂには導入管加熱ヒータ１
６ａ、１６ｂが取り付けられているので、原料モノマ
３、４が導入管６ａ、６ｂの内壁に付着することはな
い。また、真空処理室１ａの外周壁部１８と両端壁部１
９ａ、１９ｂとには処理室加熱ヒータ１３とフランジ加
熱ヒータ１４ａ、１４ｂとがそれぞれ埋設されているの
で、それぞれ独立して温度調節ができ、これら内壁にモ
ノマが付着することなく、被蒸着材の膜厚分布改善が可
能と成る。
５ａ、５ｂ内の原料モノマ３、４が所定のモノマ比で蒸
発するように温度調節される。原料モノマ３、４は蒸発
源ヒータ１２ａ、１２ｂにより加熱されて蒸発すると、
導入管６ａ、６ｂを通過して真空処理室１ａ内に供給さ
れ、バレル１０内に収容されている被蒸着材２０に付着
・堆積する。導入管６ａ、６ｂには導入管加熱ヒータ１
６ａ、１６ｂが取り付けられているので、原料モノマ
３、４が導入管６ａ、６ｂの内壁に付着することはな
い。また、真空処理室１ａの外周壁部１８と両端壁部１
９ａ、１９ｂとには処理室加熱ヒータ１３とフランジ加
熱ヒータ１４ａ、１４ｂとがそれぞれ埋設されているの
で、それぞれ独立して温度調節ができ、これら内壁にモ
ノマが付着することなく、被蒸着材の膜厚分布改善が可
能と成る。
【００２１】被蒸着材２０に原料モノマ３、４が付着・
堆積する際に、真空処理室１ａ内には被蒸着材２０に付
着・堆積しない余分なモノマが残留するが、これら残留
モノマは真空処理室１ａの全壁部が処理室加熱ヒータ１
３とフランジ加熱ヒータ１４ａ、１４ｂとで加熱されて
いるので、真空処理室１ａ内壁には付着せず真空排気系
２により排気される。また、真空排気系２ではこの内壁
に排気系加熱ヒータ１５が設けられているので、真空排
気系２の内壁にも原料モノマ３、４は付着することはな
い。
堆積する際に、真空処理室１ａ内には被蒸着材２０に付
着・堆積しない余分なモノマが残留するが、これら残留
モノマは真空処理室１ａの全壁部が処理室加熱ヒータ１
３とフランジ加熱ヒータ１４ａ、１４ｂとで加熱されて
いるので、真空処理室１ａ内壁には付着せず真空排気系
２により排気される。また、真空排気系２ではこの内壁
に排気系加熱ヒータ１５が設けられているので、真空排
気系２の内壁にも原料モノマ３、４は付着することはな
い。
【００２２】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく本発明の
技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく本発明の
技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００２３】例えば、以上の実施例では処理室加熱ヒー
タ１３、フランジ加熱ヒータ１４ａ、１４ｂ、排気系加
熱ヒータ１５及び導入管加熱ヒータ１６ａ、１６ｂの各
加熱ヒータを壁部に埋設したが、これを内壁あるいは外
壁にヒータを設置しても良い。また、各加熱ヒータを各
々独立して温度制御するようにしたが、少なくとも導入
管加熱ヒータ１６ａ、１６ｂ以外は一括して温度制御し
てもよい。各加熱ヒータは抵抗加熱又は熱媒体加熱によ
る加熱方法を使用しても良い。
タ１３、フランジ加熱ヒータ１４ａ、１４ｂ、排気系加
熱ヒータ１５及び導入管加熱ヒータ１６ａ、１６ｂの各
加熱ヒータを壁部に埋設したが、これを内壁あるいは外
壁にヒータを設置しても良い。また、各加熱ヒータを各
々独立して温度制御するようにしたが、少なくとも導入
管加熱ヒータ１６ａ、１６ｂ以外は一括して温度制御し
てもよい。各加熱ヒータは抵抗加熱又は熱媒体加熱によ
る加熱方法を使用しても良い。
【００２４】また、以上の実施例ではポリミイドの蒸着
重合法を例としたが、モノマ・形成される高分子膜はそ
の種類を任意に代えることが可能である。
重合法を例としたが、モノマ・形成される高分子膜はそ
の種類を任意に代えることが可能である。
【００２５】
【発明の効果】真空排気系用配管の全壁部及び導入管の
全壁部に加熱ヒータを設けることによって、真空排気系
用配管の内壁及びモノマ蒸気導入管の内壁及び真空処理
室の内壁へのモノマの付着・堆積が阻止出来るので、真
空排気系の排気能力の低下が生じることもなくメンテナ
ンスフリーとなりモノマの蒸発速度の低下も防止するこ
とが出来る。
全壁部に加熱ヒータを設けることによって、真空排気系
用配管の内壁及びモノマ蒸気導入管の内壁及び真空処理
室の内壁へのモノマの付着・堆積が阻止出来るので、真
空排気系の排気能力の低下が生じることもなくメンテナ
ンスフリーとなりモノマの蒸発速度の低下も防止するこ
とが出来る。
【００２６】また、各壁部に独立して加熱ヒータを設け
ることによって、被蒸着材の膜圧分布の改善が可能と成
る。
ることによって、被蒸着材の膜圧分布の改善が可能と成
る。
【００２７】更に、蒸発レートが不安定と成る要因を取
除くことが出来るので、被蒸着材表面上に形成される高
分子被膜の質を良好なものにすることが出来る。
除くことが出来るので、被蒸着材表面上に形成される高
分子被膜の質を良好なものにすることが出来る。
【図１】図１は本発明の実施例による全方向同時蒸着重
合装置の概略正面図である。
合装置の概略正面図である。
【図２】図２は本発明の従来例による全方向同時蒸着重
合装置の概略正面図である。
合装置の概略正面図である。
【図３】図３は図における［３］−［３］線方向断面図
である。
である。
【図４】図４は同装置により蒸着被膜が形成される被蒸
着材の斜視図である。
着材の斜視図である。
なお、図において １ 全方向同時蒸着重合装置 １ａ 真空処理室 １３ 処理室加熱ヒータ １４ａ フランジ加熱ヒータ １４ｂ フランジ加熱ヒータ １５ 排気系加熱ヒータ １６ａ 導入管加熱ヒータ １６ｂ 導入管加熱ヒータ １８ 外周壁部 １９ａ 両端壁部 １９ｂ 両端壁部
フロントページの続き (72)発明者 飯島 正行 茨城県つくば市東光台５丁目９番地７ 日 本真空技術株式会社筑波超材料研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 真空処理室内に、外部蒸発源からの高分
子膜の原料モノマ蒸気を導入する導入管と、高分子膜を
表面に形成させる被蒸着材を収容するバレルを配置した
全方向同時蒸着重合装置において、前記真空処理室の全
壁部、前記導入管の全壁部及び前記真空処理室に接続さ
れる真空排気系用配管の全壁部に各々加熱ヒータを取り
つけたことを特徴とする全方向同時蒸着重合装置。 - 【請求項２】 前記真空処理室の全壁部、前記導入管の
全壁部及び前記真空処理室に接続される前記真空排気系
用配管の全壁部に取りつけられた前記加熱ヒータがそれ
ぞれ独立して加熱制御されることを特徴とする請求項１
に記載の全方向同時蒸着重合装置。 - 【請求項３】 前記真空処理室の全壁部は外周壁部と両
端壁部とからなり、これらに取り付けられている加熱ヒ
ータは独立して制御されることを特徴とする請求項１に
記載の全方向同時蒸着重合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32380891A JPH05132763A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 全方向同時蒸着重合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32380891A JPH05132763A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 全方向同時蒸着重合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05132763A true JPH05132763A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=18158840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32380891A Pending JPH05132763A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 全方向同時蒸着重合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05132763A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006251181A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Nitta Ind Corp | 光導波路の製造方法 |
| JP2009238756A (ja) * | 1997-11-17 | 2009-10-15 | Trustees Of Princeton Univ | 有機薄膜の低圧蒸着 |
| US10102817B2 (en) | 2014-03-11 | 2018-10-16 | Panasonic Liquid Crystal Display Co., Ltd. | Display device and driving method thereof |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP32380891A patent/JPH05132763A/ja active Pending
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