JPS635912B2 - - Google Patents

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JPS635912B2
JPS635912B2 JP11375783A JP11375783A JPS635912B2 JP S635912 B2 JPS635912 B2 JP S635912B2 JP 11375783 A JP11375783 A JP 11375783A JP 11375783 A JP11375783 A JP 11375783A JP S635912 B2 JPS635912 B2 JP S635912B2
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JP
Japan
Prior art keywords
resin
lead frame
outer lead
pellet
lead
Prior art date
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Expired
Application number
JP11375783A
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English (en)
Other versions
JPS607158A (ja
Inventor
Toshikazu Ideie
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication of JPS607158A publication Critical patent/JPS607158A/ja
Publication of JPS635912B2 publication Critical patent/JPS635912B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • H01L21/4814Conductive parts
    • H01L21/4821Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
    • H01L21/4842Mechanical treatment, e.g. punching, cutting, deforming, cold welding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、ハイブリツドICの回路基板に装
着する樹脂封止形半導体装置の製造方法に関する
もので、特にそのアウターリードのブラスト工程
に係る。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来、この種の半導体装置は、素子形成の終了
したベレツトをリードフレームのベツド上に固着
した後、ペレツト上のボンデイングパツドとリー
ドフレームとをワイヤボンデイングして電気的に
接続し、その後ペレツトおよびこのペレツトとリ
ードフレームとのボンデイング部を樹脂製の外囲
器で封止している。次に、上記樹脂封止工程にお
いてリードフレームのアウターリード側面に付着
した樹脂をブラスト等によつて除去した後、回路
基板への装着を容易化するために半田あるいは外
装メツキを施し、アウターリードを形成してい
る。
第1図aは、ペレツトとボンデイング部を外囲
器に封止した状態を示す斜視図で、図において、
11は樹脂製の外囲器、12はリードフレーム、
12a,12a、…はアウターリード、13,1
3…はアウターリード12a,12a…の側面に
付着した樹脂である。アウターリード12aのA
―A′線に沿つた断面図を第1図bに示す。上述
したように、次にアウターリード12a,12a
…の側面に付着した樹脂13,13…を除去する
ためにブラスト工程を行なつているが、完全に除
去することは困難である。このため、次の工程で
外装メツキを施すと、側面の樹脂13,13が除
去されたアウターリード12aは、第2図aに示
すようにメツキ14がアウターリード12aの全
周にわたつて施されるのに対し、側面に樹脂が付
着した状態では、第2図bに示すようにアウター
リード12aの上面および下面にしかメツキされ
ない。従つて、回路基板への装着時、上記第2図
aに示したアウターリード12aでは、第3図a
に示すように良好な接着状態が得られるのに対
し、上記第2図bに示したアウターリード12a
では、第3図bに示すように接着面積が小さく、
接着不良が発生し易くなる欠点がある。なお、1
5は回路基板、16はろう材である。
また、リードフレーム12としてプレス打抜き
加工により形成されたものを使用した場合、第4
図aに示すようにアウターリード12aにかえり
部12a′,12a′があると、メツキ14が全周に
施されても、第4図bに示すように、回路基板1
5への装着時においてろう材16のアウターリー
ド12a側面へのはい上りが阻害されて、アウタ
ーリード12aの接着状態が不完全となり易い欠
点がある。
〔発明の目的〕
この発明は上記のような事情に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、樹脂封止工程
においてアウターリード側面の樹脂を確実に除去
できるとともに、回路基板への装着時におけるア
ウターリードへのろう材のはい上りをも良好にで
き、確実な装着ができる信頼性の高い樹脂封止形
半導体装置の製造方法を提供することである。
〔発明の概要〕
すなわち、この発明において、素子形成の終了
したペレツトをリードフレームに形成されたベツ
ド上に固着した後、上記ペレツトのボンデイング
パツドとリードフレームとをワイヤボンデイング
によつて電気的に接続し、上記ペレツトおよびこ
のペレツトとリードフレームとのボンデイング部
とを樹脂製の外囲器に封止する。次に、リードフ
レームのアウターリードを所定の開口角を備えた
ポンチによつてその断面が鈍角をを有するように
塑性変形し、その後、上記樹脂封止時にアウター
リードの側面に付着した樹脂を除去するものであ
る。
このような製造工程によれば、アウターリード
の側面に付着した樹脂を剥離状態にしてから樹脂
の除去工程(ブラスト工程)を行なうので、リー
ド側面の樹脂を確実に除去できるとともに、ポン
チでアウターリードを塑性変形させるため、プレ
ス打抜き加工時に発生したかえりを潰すことがで
き、回路基板への装着を良好にできる。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例について図面を参照
して説明する。樹脂封止工程までは従来と同様で
あり、前記第1図a,bに示したように形成す
る。次に、第5図aに示すように、側面に樹脂1
3,13が付着したアウターリード12aを下金
型(アウターリード受け台)17上に載置し、こ
の上方から所定の開口角θを有するポンチ(上金
型)18をエアープレスによつて図示矢印方向に
加圧してアウターリード12aを圧潰する。これ
によつて、第5図bに示すように、アウターリー
ド12aの断面が鈍角を有するように塑性変形さ
れるとともに、このアウターリード12aの側面
に付着した樹脂13,13は剥離状態となる。次
に、ブラスト工程を行ないアウターリード12
a,12a…の側面に付着した樹脂を完全に除去
する。この状態での装置の外観を第6図に示す。
そして、次に回路基板への装着を容易化するため
半田あるいは外装メツキを施す。
このような製造方法によれば、アウターリード
12a,12a…の塑性変形加工を行ない側面の
樹脂13,13を剥離させた状態でブラスト工程
による樹脂13,13…の除去作業を行なうの
で、確実な除去が可能である。従つて、アウター
リード12a,12a…への半田あるいは外装め
つきが全周にわたつて施せるので、回路基板への
装着不良を低減でき、信頼性を格段に向上でき
る。なお、ブラスト工程後の残存樹脂による不良
発生率は、従来は第7図aの斜線部に示すように
約15〜30%発生していたが、この発明の製造工程
により第7図bに示すようにほぼ0%に低減でき
た。
また、この発明によれば、ブレス打抜き加工時
のアウターリードのかえりを潰すことができるの
で、第8図に示すように回路基板15への装着
時、ろう材16のアウターリード12aへのはい
上りを向上でき良好な装着状態が得られる。
〔発明の効果〕
以上説明したようにこの発明によれば、樹脂封
止工程において付着したアウターリード側面の樹
脂を確実に除去できるとともに、回路基板への装
着時におけるアウターリードへのろう材のはい上
りをも良好にでき、確実は装着ができる信頼性の
高い樹脂封止形半導体装置の製造方法が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図はそれぞれ従来の樹脂封止
形半導体装置の製造方法を説明するための図、第
5図はこの発明の一実施例に係る樹脂封止形半導
体装置の製造方法を説明するための図、第6図は
同実施例におけるブラスト工程後の外観斜視図、
第7図は従来およびこの発明の一実施例における
残存樹脂による不良発生率を示す図、第8図は上
記第6図のアウターリードにおける回路基板への
装着状態を示す図である。 11……樹脂製の外囲器、12……リードフレ
ーム、12a……アウターリード、13……樹
脂、18……ポンチ(上金型)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 素子形成の終了したペレツトをリードフレー
    ムに形成されたベツド上に固着する工程と、上記
    ペレツトのボンデイングパツドとリードフレーム
    とをワイヤボンデイングによつて電気的に接続す
    る工程と、上記ペレツトおよびこのペレツトとリ
    ードフレームとのボンデイング部を樹脂製の外囲
    器に封止する樹脂封止工程と、リードフレームの
    アウターリードを所定の開口角を備えたポンチに
    よつてその断面が鈍角を有するように塑性変形す
    る工程と、上記樹脂封止工程においてアウターリ
    ードの側面に付着した樹脂を除去する工程とを具
    備したことを特徴とする樹脂封止形半導体装置の
    製造方法。
JP11375783A 1983-06-24 1983-06-24 樹脂封止形半導体装置の製造方法 Granted JPS607158A (ja)

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JP11375783A JPS607158A (ja) 1983-06-24 1983-06-24 樹脂封止形半導体装置の製造方法

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JPS607158A JPS607158A (ja) 1985-01-14
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WO2012118787A2 (en) 2011-02-28 2012-09-07 Uqm Technologies Inc. Brushless pm machine construction enabling low coercivity magnets

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JPS607158A (ja) 1985-01-14

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