JPS6334290Y2 - - Google Patents
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- JPS6334290Y2 JPS6334290Y2 JP1980000999U JP99980U JPS6334290Y2 JP S6334290 Y2 JPS6334290 Y2 JP S6334290Y2 JP 1980000999 U JP1980000999 U JP 1980000999U JP 99980 U JP99980 U JP 99980U JP S6334290 Y2 JPS6334290 Y2 JP S6334290Y2
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Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はフイルタを搭載した固体撮像装置に関
するものである。
するものである。
従来この種の固体撮像装置では、フイルタと素
子の両方に位置合せパターンを設けている場合が
ある。その際固体撮像素子側の位置合せパターン
は、多結晶シリコンもしくはシリコン酸化膜の段
差または多結晶シリコンとシリコン酸化膜との段
差などを利用して形成され、ボンデイングパツド
の位置よりも内側、即ち感光領域に近い位置に設
けられる。その理由は、ボンデイングパツドから
引出されるリード線にフイルタが接触しない様
に、フイルタは固体撮像素子よりも小さく作られ
るからである。一方、フイルタ側の位置合せパタ
ーンには、固体撮像素子側の位置合せパターンが
見える様に光の透過する領域が含まれている。そ
の為、撮像時にはフイルタの位置合せパターンを
透過した光が更に固体撮像素子の位置合せパター
ンである多結晶シリコンやシリコン酸化膜を通つ
て、該固体撮像素子の内部でキヤリアを生成し、
このキヤリアが感光領域に拡散する為、画質を損
なうことがある。
子の両方に位置合せパターンを設けている場合が
ある。その際固体撮像素子側の位置合せパターン
は、多結晶シリコンもしくはシリコン酸化膜の段
差または多結晶シリコンとシリコン酸化膜との段
差などを利用して形成され、ボンデイングパツド
の位置よりも内側、即ち感光領域に近い位置に設
けられる。その理由は、ボンデイングパツドから
引出されるリード線にフイルタが接触しない様
に、フイルタは固体撮像素子よりも小さく作られ
るからである。一方、フイルタ側の位置合せパタ
ーンには、固体撮像素子側の位置合せパターンが
見える様に光の透過する領域が含まれている。そ
の為、撮像時にはフイルタの位置合せパターンを
透過した光が更に固体撮像素子の位置合せパター
ンである多結晶シリコンやシリコン酸化膜を通つ
て、該固体撮像素子の内部でキヤリアを生成し、
このキヤリアが感光領域に拡散する為、画質を損
なうことがある。
本考案の目的は、固体撮像素子側の位置合せパ
ターンにおける光の透過を防止することにより、
画質の優れた固体撮像装置を提供することであ
る。
ターンにおける光の透過を防止することにより、
画質の優れた固体撮像装置を提供することであ
る。
即ち、本考案はフイルタを搭載するために、段
差を利用した位置合せパターンが設けられた固体
撮像素子において、前記位置合せパターン上及び
その周辺上に遮光性薄膜を被覆したことを特徴と
するものである。
差を利用した位置合せパターンが設けられた固体
撮像素子において、前記位置合せパターン上及び
その周辺上に遮光性薄膜を被覆したことを特徴と
するものである。
以下、図面を参照して本考案を詳細に説明す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示す平面図で、１
は固体撮像素子、２０１〜２１４はボンデイング
パツド、３は感光領域、４は位置合せパターン、
５は該位置合せパターン上及びその周辺上を被覆
する遮光性薄膜である。
は固体撮像素子、２０１〜２１４はボンデイング
パツド、３は感光領域、４は位置合せパターン、
５は該位置合せパターン上及びその周辺上を被覆
する遮光性薄膜である。
前記位置合せパターン４は、例えばシリコン酸
化膜上に厚さ約2000〜6000Åの多結晶シリコンの
パターンを形成するか、またはシリコン酸化膜に
約5000〜9000Åの段差を形成することにより得ら
れる。また、前記遮光性薄膜５は、例えば厚さ約
１〜1.2μｍのAl膜を用いることができ、その場
合、該Al膜は素子のアルミ配線やボンデイング
パツドと同時に形成することができる。また、例
えばゲート電極にMpを使用する素子やアルミナ
を用いて二層配線を形成する素子の場合は、前記
遮光性薄膜としてそれぞれMpやアルミナを用い
てもよい。その他遮光性物質を適宜選んで用いる
ことができる。
化膜上に厚さ約2000〜6000Åの多結晶シリコンの
パターンを形成するか、またはシリコン酸化膜に
約5000〜9000Åの段差を形成することにより得ら
れる。また、前記遮光性薄膜５は、例えば厚さ約
１〜1.2μｍのAl膜を用いることができ、その場
合、該Al膜は素子のアルミ配線やボンデイング
パツドと同時に形成することができる。また、例
えばゲート電極にMpを使用する素子やアルミナ
を用いて二層配線を形成する素子の場合は、前記
遮光性薄膜としてそれぞれMpやアルミナを用い
てもよい。その他遮光性物質を適宜選んで用いる
ことができる。
第２図は第１図の前記位置合せパターン４及び
その周辺部の断面図であり、１１はシリコン基
板、１２はシリコン酸化膜、４は例えば多結晶シ
リコンで形成された位置合せパターン、５は例え
ばAlの遮光性薄膜である。
その周辺部の断面図であり、１１はシリコン基
板、１２はシリコン酸化膜、４は例えば多結晶シ
リコンで形成された位置合せパターン、５は例え
ばAlの遮光性薄膜である。
第３図はフイルタを示す図で、６はフイルタ、
７は感光領域３へ光の３原色のそれぞれを選択的
に照射する為のフイルタ領域、８は感光領域３と
ボンデイングパツド２０１〜２１４との間に光が
入射するのを防止する為、クロム等が塗布されて
いる遮光領域、９は位置合せパターン、１０は位
置合せパターン９と固体撮像素子の位置合せパタ
ーン４とを合せる際に前記位置合せパターン４が
見える様に透明にした光の透過領域である。
７は感光領域３へ光の３原色のそれぞれを選択的
に照射する為のフイルタ領域、８は感光領域３と
ボンデイングパツド２０１〜２１４との間に光が
入射するのを防止する為、クロム等が塗布されて
いる遮光領域、９は位置合せパターン、１０は位
置合せパターン９と固体撮像素子の位置合せパタ
ーン４とを合せる際に前記位置合せパターン４が
見える様に透明にした光の透過領域である。
前記した様にフイルタ６はボンデイングパツド
２０１〜２１４を覆う事のない様小さくなければ
ならない為、固体撮像素子１に設けられた位置合
せパターン４は感光領域３のごく近くに形成され
る。従つて、前記位置合せパターン４を覆う遮光
性薄膜５がない場合には、フイルタ６の光透過領
域１０を通つた光が位置合せパターン４及びその
周囲を透過して固体撮像素子１の内部でキヤリア
を形成し、このキヤリアが感光領域３へ拡散して
画質を損なつてしまう。一方本考案の様に位置合
せパターン４を遮光性薄膜で覆つてしまえば、フ
イルタの光透過領域を通つた光も該遮光性薄膜で
阻止され、上記の様な欠点は生じなくなる。
２０１〜２１４を覆う事のない様小さくなければ
ならない為、固体撮像素子１に設けられた位置合
せパターン４は感光領域３のごく近くに形成され
る。従つて、前記位置合せパターン４を覆う遮光
性薄膜５がない場合には、フイルタ６の光透過領
域１０を通つた光が位置合せパターン４及びその
周囲を透過して固体撮像素子１の内部でキヤリア
を形成し、このキヤリアが感光領域３へ拡散して
画質を損なつてしまう。一方本考案の様に位置合
せパターン４を遮光性薄膜で覆つてしまえば、フ
イルタの光透過領域を通つた光も該遮光性薄膜で
阻止され、上記の様な欠点は生じなくなる。
この様に本考案は、フイルタを搭載すべく位置
合せパターンが設けられた固体撮像素子にとつて
は、きわめて有用なものである。
合せパターンが設けられた固体撮像素子にとつて
は、きわめて有用なものである。
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は第１図Ａ−A′線で切断した部分断面図、第
３図はフイルタを示す平面図である。 １……固体撮像素子、２０１〜２１４……ボン
デイングパツド、３……感光領域、４……位置合
せパターン、５……遮光性薄膜、６……フイル
タ、７……フイルタ領域、８……遮光領域、９…
…位置合せパターン、１０……光の透過領域、１
１……シリコン基板、１２……シリコン酸化膜。
図は第１図Ａ−A′線で切断した部分断面図、第
３図はフイルタを示す平面図である。 １……固体撮像素子、２０１〜２１４……ボン
デイングパツド、３……感光領域、４……位置合
せパターン、５……遮光性薄膜、６……フイル
タ、７……フイルタ領域、８……遮光領域、９…
…位置合せパターン、１０……光の透過領域、１
１……シリコン基板、１２……シリコン酸化膜。
Claims (1)
- 感光領域の近傍に設けられた位置合せパターン
にのみ遮光性薄膜が被覆されかつ周辺部にボンデ
イングパツドを有する固体撮像素子に、フイルタ
領域の周囲に位置合せパターン領域を除いて遮光
領域が設けられかつ前記位置合せパターン領域に
前記素子の位置合せパターンに対応する位置合せ
パターンを有するフイルタを、前記両位置合せパ
ターンを合せかつ前記ボンデイングパツドより内
側に位置せしめて搭載したことを特徴とする固体
撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980000999U JPS6334290Y2 (ja) | 1980-01-09 | 1980-01-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980000999U JPS6334290Y2 (ja) | 1980-01-09 | 1980-01-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56104154U JPS56104154U (ja) | 1981-08-14 |
| JPS6334290Y2 true JPS6334290Y2 (ja) | 1988-09-12 |
Family
ID=29597857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980000999U Expired JPS6334290Y2 (ja) | 1980-01-09 | 1980-01-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334290Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144614U (ja) * | 1984-08-28 | 1986-03-25 | 富士写真光機株式会社 | 内視鏡 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4985979A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-08-17 | ||
| JPS5422122A (en) * | 1977-07-20 | 1979-02-19 | Fujitsu Ltd | Solid state pickup element |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499577U (ja) * | 1977-12-26 | 1979-07-13 |
-
1980
- 1980-01-09 JP JP1980000999U patent/JPS6334290Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4985979A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-08-17 | ||
| JPS5422122A (en) * | 1977-07-20 | 1979-02-19 | Fujitsu Ltd | Solid state pickup element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56104154U (ja) | 1981-08-14 |
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