JPH0289367A - 固体撮像素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は固体撮像素子に関し、特にインクライン転送方
式のＣＣＤイメージセンサに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の固体撮像素子は、第２図に示すように、
光電変換素子（ｎ＋型ホトダイオード領域３として図示
）の上方に開口を有するアルミニウム遮光膜７と、これ
を覆うカバー絶縁膜８とを有している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の固体撮像素子は、アルミニウム遮光膜が
カバー絶縁膜で覆われているので、カバー絶縁膜を被着
するＣＶＤ工程やその後の熱処理において、３００℃以
上の熱履歴をうけると、マイグレーションが起こり、ピ
ンホールや厚さの不均一が生じ易く遮光が不完全になる
という欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の固体撮像素子は、光電変換素子の上方に開口を
有するアルミニウム遮光膜と前記アルミニウム遮光膜を
覆うカバー絶縁膜とを含む固体撮像素子において、前記
カバー絶縁膜上に他のアルミニウム遮光膜が重なってい
るというものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すセンサチップの断面図
である。

この実施例は、ｎ＋型ホトダイオード領域３の上方に開
口を有するアルミニウム遮光膜７とアルミニウム遮光膜
７を覆うＰＳＧ　（リンケイ酸ガラス）からなるカバー
絶縁膜８とを含む固体撮像素子において、カバー絶縁膜
８上に厚さ１μｍの他のアルミニウム遮光膜１１が重な
っているというものである。

従って、アルミニウム遮光膜７にピンホールや厚さの不
均一などの欠陥があっても他のアルミニウム遮光膜１１
があるので、遮光の不完全さは除去される。逆に、アル
ミニウム遮光膜７の厚さは従来より薄くできるので、エ
ツチングによる開口面積のばらつきも少なくなり、感度
むらを少なくすることができる。他のアルミニウム遮光
膜１１の開口面積の方をやや大きくしておけば、感度む
らはアルミニウム遮光膜７の開口で決定されるので一層
よい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、カバー絶縁膜の上下にア
ルミニウム遮光膜をそれぞれ一層づつ設けることにより
、−層めの膜に欠点が生じた場合でも、２層めの膜で遮
光を補足することができるので固体撮像素子の歩留りを
改善できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ一実施例及び従来例を示す
センサチップの断面図である。 １・・・ｎ型Ｓｉ基板、２・・・ｐウェル、３・・・ｎ
＋型ホトダイオード領域、４・・・ｎ型埋込チャネル、
５・・・酸化シリコン膜、６・・・転送電極、７・・・
アルミニウム遮光膜、８・・・カバー絶縁膜、９・・・
チャネルストッパ、１０・・・トランスファゲート、１
１・・・他のアルミニウム遮光膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　光電変換素子の上方に開口を有するアルミニウム遮光
   膜と前記アルミニウム遮光膜を覆うカバー絶縁膜とを含
   む固体撮像素子において、前記カバー絶縁膜上に他のア
   ルミニウム遮光膜が重なっていることを特徴とする固体
   撮像素子。