JPS63251927A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、録音、録画、コンピュータ等の分野で利用さ
れる磁気記録の高密度化に適した強磁性金属薄膜を磁気
記録層とした磁気記録媒体の製造方法に関する。

従来の技術 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、短
波長出力が大きいことから、今後、一層進展が予測され
る高密度磁気記録に不可欠の媒体として位置づけされ開
発が進められている〔外国論文誌：アイイーイーイー　
トランザクションズオン　マグネティクス（ＩＥＥＥ　
ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳＯＮ　　ＭＡＧＮＥＴＩＣ３
） Ｖｏｌ　　、ＭＡＧ−２１、Ｐ　、Ｐ、１２１７〜１２
２０　。

（１９８５）：）。一般に、かかる構成の磁気記録媒体
は、高分子フィルムを円筒キャンに沿わせて巻き取りな
がら、スパッタリング法、電界蒸着法。

イオンブレーティング法、電子ビーム蒸着法力どで、強
磁性金属薄膜を高分子フィルム上に形成することで磁気
記録層の形成が行われる〔特開昭５３−４２０１０．電
子通信学会、磁気記録研究会資料　ＭｎＢ２−２（１９
８１）、特開昭６１−１８６４７５号公報〕。

第２図は、磁気記録媒体の製造に用いられる蒸着装置の
一例の要部構成図である。第２図で１は電子ビーム発生
器、２は蒸発源容器、３は防着ユニット、４は円筒キャ
ン、６はフリーローラー系、６はグロー処理雪極ユニッ
ト、７はシャッター。

８は送り出し軸、９は巻取り軸である。

第２図の装置を用いて、８に装着されたポリエステルフ
ィルムは、円筒キャン４に沿って移動する過程で、グロ
ー放電処理（６により）され、限定された入射角のＣ□
　−Ｎｉ　、　Ｃ□　　Ｃｒ　　等の蒸気流で磁気記録
層の形成が行われるが、この過程で酸素ガスを導入する
こともある。

第２図の装置に限らず、スパッタリング蒸着を高分子フ
ィルム全巻取りながら磁気記録層形成のために行う場合
でも、用いられる高分子フィルムは、必要な長さのロー
ル状のものを、８の軸に装着してから必要な処理がなさ
れている。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記した構成でグロー放電処理等を強化し
ても、高分子フィルム上に直接磁気記録層を形成したも
のは、極短波長領域になると、雑音が大きくなり、十分
な信号対雑音比Ｃ以下Ｓハと記す）が得られないため改
善が強く望まれている。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、極短波長
域で十分なＳ／Ｎ　ｆ確保した磁気記録媒体を大量に得
ることの出来る製造方法を提供するものである。

問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、ポリエステルフィルムを延伸処理後、真向
に連続的に導入し、磁気記録層を真空蒸着法にて形成す
るものである。

作　　用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、吸着水による微視的な磁気特性のゆらぎが無視できる
ようになるので、極短波長域になると、雑音を下げるこ
とに有効に作用するのと、平担性が重要なポリエステル
表面が加工状態で得られたま＼磁気記録層の形成が行わ
れることも、極短波長域で、ポリエステルフィルムの走
行１巻取り性を改善するために行われる水溶性高分子の
塗膜の材料転写によるイレギュラリティーが引き起す、
信号欠落も最小にできることになる。又製造中に真空蒸
着の初期に放出ガスがでるがその量も最小にできるので
、記録再生特性改善て重要な磁気特性の改良もなされる
ことになる。

実施例 以下、図面を参照しながら、本発明の一実施例について
説明する。第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法の
実施に用いた磁気記録媒体製造装置の要部構成図である
。第１図で１０は真空槽で上室１１．下室１２．荷電ビ
ーム照射室１３に分割されている。１４はチタン箱、ス
テンレス箱などよりなるエンドレスベルトで、大気側と
、真空槽内部を回動するよう配設されるものである。１
６は高分子フィルムで１６は、高分子フィルムの製膜装
置で、押出し、延伸は勿論、必要に応じて。

水溶性高分子の塗布、乾燥装置も具備するものである。

１７は巻取り装置、１８は電子ビーム蒸発源、１９は蒸
気流、２０はガス導入ポート、２１はガス導入量調整弁
、２２は荷電ビーム発生源、２３は荷電ビームで、高分
子フィルムに照射して、高分子フィルムをエンドレスベ
ルトに静電吸着させて、熱ダメージを防止するものであ
る。２４゜２５．２６．２７はニップロールで真空槽１
０内へ、大気よりエンドレスベル）　、　高分子フィル
ムを導入、導出する際、大気との巻圧を保持するための
ものである。２８．２９は、高分子フィルムを蒸着完了
後、大気へ導出する際に用いるニップローラーである。

３０は冷却炉でエンドレスベルトを冷却し、高分子フィ
ルムを冷却するためのものである。３１はグロー放電処
理装置で、蒸着面と反対側の高分子フィルム表面を処理
し、巻取り時の静電引力を減少せしめるものである。３
２゜３３は真空排気系で１３の空間の排気系は図示して
ない。３４は冷却ローラで３６はフリーローラ、３６は
マスクを兼ねたかくへきて３７．３８も隔へきである。

３９はエンドレスベルトを張る表めのテンシ目ンローラ
でアル。

以下更に第１図を用いて、本発明の実施例により磁気記
録媒体を製造した例について説明する。

ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にブタジェ
ンゴムを塗布し、乾燥しながら、二軸延伸し、ミミズ状
の：隆起を両面に形成した後、直ちに連続して、真空槽
内へチタン箱（２６μｍ厚）からなるエンドレスベルト
に沿わせて厚み１０μの上記フィルムを導入し、３０Ｋ
ｅｖの電子線で３６μ凶で表面処理し、４Ｘ１０　　（
Ｔｏｒｒ）の酸素中で最小入射角２Ｑ度（ベルトの傾斜
角θは３５度とした）で、Ｃｏ　−Ｎｉ　（Ｎｉ　：　
２０ｗｔ％）を電子ビーム蒸着により、上記フィルム上
に０．１μｍの磁気記録層を形成し、フィルムの磁気記
録層を配した反対側の面を３０ｏＶ、ｏ、１Ａのグロー
放電処理を行い、大気中へ取り出して巻取った。（巻取
り速度２０ｏｍｙ＝　）その後パーフロロオクタン酸を
約４０人塗布し、８ミリ幅の磁気テープを製造した。幅
７０備、長さ１２０００ｍの原反から１巻１００ｍのテ
ープを任意抽出し、市販の８ミリビデオを改造し、記録
波長０．４５μｍを記録し再生Ｓ／Ｎを測定した。１６
０巻の値は±０．３　（ｄＢ　）と極めて安定したもの
であった。

一方、比較のために、同じ製法で得た厚み１０μｍのミ
ミズ状隆起を両面に配したポリエチレンテレフタレート
フィルム上に、第２図に示したタイプの蒸着装置で、直
径１ｍの円筒キャン全周い、３５０Ｖ、０．２Ａのグロ
ー放電前処理を行って、Ｃｏ　　Ｎｉ　（Ｎｉ　：　２
０　ｗｔ　％　）を電子ビーム蒸着により、　Ｉ　Ｘｌ
　０　’（Ｔａｒｒ）の酸素中で０．１　ｐｍの磁気記
録層を形成したのち（巻取速度６０ｍ／ｍｎ）パーフロ
ロオクタン酸を約４０人塗布し、８ミリ幅の磁気テープ
を得たものは、Ｓ／Ｎの平均値が、実施例のものより２
（ｄＢ）低く、−１，１（ｄＢ）から−４，９（ｄＢ　
）の間にバッノいたことより、本発明の有価値性が理解
される。尚本発明は、垂、直磁気記録用の磁気記録媒体
を得る時にも適用できるし、ポリエチレンテレフタレー
トフィルム以外のフィルムにも適用できる。

発明の効果 以上のように、本発明によれば、短波長記録で優れたＳ
／Ｎをもち、かつ均一性も良好な磁気記録媒体全高速で
得られるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に用いた蒸着装置の要部構成口、
第２図は従来用いられている蒸着装置の要部構成図であ
る。 １４・川・・エンドレスベルト、１６・・・・・・高分
子フィルム、１６・・・・・・製膜装置、１８・・・・
・・電子ビーム蒸発源、２３・・・・・・荷電ビーム。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名傅・
−Ｉ：／ドＣス１゛ル１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ポリエステルをフィルム化したのち真空内に連続的に導
   入し、磁気記録層を真空蒸着法にて形成することを特徴
   とする磁気記録媒体の製造方法。