JPS6174143A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体の製造方法に関するものである
。

従来例の構成とその問題点 磁気記録媒体としては、従来記録媒体の表面と平行する
方向、つまり面内方向の磁化を用いる方式が実用になっ
ている。しかしこのように面内方向の磁化を用いる方式
では記録波長を短かくすると記録媒体内の減磁界が増加
するため、高密度記録にも自ずと限界がある。

そこで最近記録媒体表面と直交する方向の磁化を利用す
ることで短波長での媒体的減磁界を減少させる垂直磁気
記録方式が考えられている。

一方磁気記録はその利用度の大きさから、大量の磁気記
録媒体を必要とするため、新しい媒体といえどもその生
産性は、従来実用になっている、酸化鉄微粒子を結合剤
で基板上に固定した、゛いわゆる塗布型媒体と同等以上
であることが望まれる。

従って面内磁化、垂直磁化を問わず、有望視されている
のは、電子ビーム蒸着法である。

第１図は、電子ビーム蒸着により磁気記録媒体を製造す
る場合の装置の主要構成図である。

第１図で１は、高分子基板、２．３は円筒状キャン、４
，５は蒸発源容器、６，７は蒸着材料、８はマスク、９
．ｊＯはスリクト、１１は送り出し軸、１２は巻取り軸
である。１３はフリーローラーである。

第２図は、磁気記録媒体の一例である。第２図で１４は
高分子基板、１５は軟磁性層、１６は垂直磁化層で、１
７は保護層である。

かかる構成の媒体は、バッチ式で得た小面積のディスク
に於ては、高密度記録を確認しているが、大量生産規模
では未だそのレベルに達していない。

特に雑音か大きくなり、ロフト内でのバラツキロフト間
の再現性が実用水準にないのが実状である。

かかる媒体は、少量であれば、膜形成速度が極めて小さ
い、高周波スパッタリング法により製造してもよいが、
これでも巻取りながら（第１図で蒸発源をスパッタカソ
ードに置きかえたものを想定すればよい。）製造する時
、バッチ式で得られる高性能には到達してないなど、高
分子基板を巻取りながらの膜形成は課題が残されている
。

発明の目的 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、雑音の少い磁
気記録媒体の製造方法を提供するものである。

発明の構成 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、基板の幅を１ｍ以
上として、巻取り蒸着することを特徴とするもので、雑
音の少ない磁気記録媒体の製造に適するものである。

実施例の説明 以下、本発明の実施例について詳説する。

本発明の製造法の限定要件は、第１図で用いる高分子基
板の幅を１ｍ以上とすることである。

この幅の限定は、高分子基板の厚みと無関係ではないの
は勿論であるが、高密度記録の指向のひとつに体積記録
密度のかん点と、薄膜磁性層を磁気記録層とする磁気記
録媒体は、薄形化に向いていることから、高分子基板が
１５μｍ以上で設計されることはないとの前提にたって
いる。

又幅が１ｍ以上との臨界値の存在理由の最大のものは、
張力の影響からくる雑音の成分を極小におさえるための
もので、幅を広げることで張力は幅方向の単位長さ当り
に小さくできることが、基板の物性の不均一性を吸収で
きることにつながり結果的に、薄膜の応力むらを軽減し
、磁気的な均一性の保持に役立ち、雑音が小さくできる
ものと考えられるものでちるっ 第３図はその様子を示したものである。

磁歪の影響が無視できるようになるのに、線張力密度が
１ｏＯ〔ｆ／Ｃｎｔ〕になれば良いことが第３図より理
解できる。夫々の特性に幅があるのは、基板の厚みを変
化させ、且つ、磁性薄膜の種類もが得られることがわか
る。

本発明に用いることの出来る基板は、厚み１６μｍ以下
のポリエステル類、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポ
リイミド等で、磁性層は、Ｇｏ。

Ｇｏ−Ｎｉ　、　Ｇｏ−Ｏｒ　、　Ｇｏ−Ｔｉ　、　Ｇ
ｏ　−Ｖ　、　Ｇｏ−Ｍｏ　、　Ｇ。

−Ｍｎ　、Ｇｏ−Ｍｇ　、　Ｃｏ−３ｎ　、　Ｇｏ　−
Ｚｎ　−Ｐ　、Ｇｏ−Ｎｉ−Ｐ。

Ｇｏ　−０、Ｃｏ−Ｎｉ　−０、Ｇｏ−Ｍｇ−０等で磁
化容易軸の方向に無関係に用いることができる。

又、本発明は磁気テープに限らず、磁気ディスクの製造
に於ても適用できるのは勿論である。

以下、さらに具体的に一実施例について説明する。

〔実施例〕

厚みと幅の異なるポリエチレンテレフタレートを準備し
て、８０４Ｎ＝−２０％Ｆｅからなる軟磁性層を０．４
μｍ形成し、その上にＣｏ−０ｒ（Ｏｒ。

２０係）垂直磁化膜をｏ、１５μｍ形成し、８朋幅にス
リットして、磁気テープを得た。

このテープを夫々、リターンバスを有する薄膜磁気ヘッ
ドで記録再生し、信号対雑音化（Ｓ／１（）の長手、幅
の変化を調べた； 外観については、磁気テープとして不良となる原因につ
いて記した。

特性は、幅方向、長手方向について夫々任意に２０点サ
ンプリングして、変動で示した。

上表より明らかなように、特にパーマロイ薄膜を形成す
る過程で本発明の効果が大きいため、Ｓ／Ｎの均一性は
本発明以外のものは実用にならない。

尚、垂直磁化膜１層からなる媒体、面内磁化膜からなる
媒体についても、本発明の改良効果は確認した。

発明の効果 以上のように、本発明は、高分子基板の幅を１ｍ以上と
なし、単位幅長さ当りの張力を１００ｐ以下の状態で巻
取り蒸着することで、歪みによる雑音の発生を抑えて、
Ｓ／Ｎの改良された磁気記録媒体を大量に生産できるも
のでその実用的効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、磁気記録媒体の製造に利用される蒸着装置の
一例を示す図、第２図は、磁気記録媒体の一例を示す断
面図、第３図は、本発明の詳細な説明するための図であ
る。 １・・・・高分子基板、２，３・・・・・・円筒状キャ
ン、６．７・・・・・蒸着材料。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子基板の幅を１ｍ以上となし、該基板を円筒状キャ
   ンの周側面に沿わせて単位幅当りの張力が１００ｇ以下
   で巻取りながら磁気記録層を真空蒸着により形成するこ
   とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法