JPH01319669A - 真空蒸着方法 - Google Patents
真空蒸着方法Info
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- JPH01319669A JPH01319669A JP88152588A JP15258888A JPH01319669A JP H01319669 A JPH01319669 A JP H01319669A JP 88152588 A JP88152588 A JP 88152588A JP 15258888 A JP15258888 A JP 15258888A JP H01319669 A JPH01319669 A JP H01319669A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ポリフェニレンスルフィドフィルムの真空蒸
着方法に関するものである。
着方法に関するものである。
［従来の技術］
従来、特開昭６０−２５５９７８などに、ポリフェニレ
ンスルフィドフィルムにアルミニウムなどを真空蒸着じ
−で金属化フィルムとすること、およびその金属化フィ
ルムをコンデンサなどの用途に用いることが開示されて
いる。また、金属化フィルムの製造に巻取式真空蒸着機
を用いることも広く知られている。
ンスルフィドフィルムにアルミニウムなどを真空蒸着じ
−で金属化フィルムとすること、およびその金属化フィ
ルムをコンデンサなどの用途に用いることが開示されて
いる。また、金属化フィルムの製造に巻取式真空蒸着機
を用いることも広く知られている。
［発明か解決しようとする課題］
しかし従来、ポリフェニレンスルフィドフィルムに、巻
取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時、蒸着機の冷却キ
ャン上でフィルムにしわが生じやすく、蒸発金属の潜熱
でしわか固定されて、金属化フィルムにしわか残って平
面性か悪くなる現象（以下「熱負り」ということかある
〉が起こりやすいという欠点かあった。この「熱負け」
が発生した金属化フィルムを、切断してコンデンザ用デ
ーブなどを製造しようとすると、司法精度が悪くなり、
例えばマージン部（非蒸着部）の幅が変動して、コンデ
ンサの不良の原因となるなどの悪影響かある。
取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時、蒸着機の冷却キ
ャン上でフィルムにしわが生じやすく、蒸発金属の潜熱
でしわか固定されて、金属化フィルムにしわか残って平
面性か悪くなる現象（以下「熱負り」ということかある
〉が起こりやすいという欠点かあった。この「熱負け」
が発生した金属化フィルムを、切断してコンデンザ用デ
ーブなどを製造しようとすると、司法精度が悪くなり、
例えばマージン部（非蒸着部）の幅が変動して、コンデ
ンサの不良の原因となるなどの悪影響かある。
本発明の目的は、−Ｖ記の様な従来のポリフェニレンス
ルフィドフィルムの真空蒸着時に生じる欠点を解消し、
巻取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時に「熱価け」を
生じｉｔいポリフェニレンスルフィドフィルムの蒸着方
法を提供することに必る。。
ルフィドフィルムの真空蒸着時に生じる欠点を解消し、
巻取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時に「熱価け」を
生じｉｔいポリフェニレンスルフィドフィルムの蒸着方
法を提供することに必る。。
［課題を解決するための手段］
本発明は上記の目的を達成するため、巻取式真空蒸着機
にＪζつで、ポリフェニレンスルフィドフィルムの少な
くとも片面に、金属を真空蒸着する方法において、該フ
ィルムとして、フィルム長手方向に断面積１平方ミリメ
ートル当たり３ｋｇの張力を加えつつ２５℃から７０℃
まで１０’○／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸
びが○、／１％以下であるポリフェニレンスルフィドフ
ィルムを用い、かつ蒸着機の冷却キレン上でのフィルム
の長手方向平均張力を、フィルムの断面積１平方ミリメ
ートル当たり０，５〜３ｋＱとすることを特徴とするポ
リフェニレンスルフィドフィルムの真空蒸着方法である
。
にＪζつで、ポリフェニレンスルフィドフィルムの少な
くとも片面に、金属を真空蒸着する方法において、該フ
ィルムとして、フィルム長手方向に断面積１平方ミリメ
ートル当たり３ｋｇの張力を加えつつ２５℃から７０℃
まで１０’○／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸
びが○、／１％以下であるポリフェニレンスルフィドフ
ィルムを用い、かつ蒸着機の冷却キレン上でのフィルム
の長手方向平均張力を、フィルムの断面積１平方ミリメ
ートル当たり０，５〜３ｋＱとすることを特徴とするポ
リフェニレンスルフィドフィルムの真空蒸着方法である
。
本発明におい一′（、ボリフＪニレンスルーノイドフィ
ルム（以下、Ｉ） ｌ） Ｓフィルムと略称することか
ある）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィトを主成分
とする樹脂組成物の二軸配向−フィルムである。該フィ
ルムの厚さは、０．４〜２５μｍの範囲であるか、０．
４〜１０μｍの範囲が効果が大きい。該フィルムの平均
表面粗さＲａは、巻回時の作業゛ｔｉ ｄ３よび巻回後
の加熱ブ１ノス時の密着性の点から、０．０３〜０．１
０の範囲か好ましい。
ルム（以下、Ｉ） ｌ） Ｓフィルムと略称することか
ある）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィトを主成分
とする樹脂組成物の二軸配向−フィルムである。該フィ
ルムの厚さは、０．４〜２５μｍの範囲であるか、０．
４〜１０μｍの範囲が効果が大きい。該フィルムの平均
表面粗さＲａは、巻回時の作業゛ｔｉ ｄ３よび巻回後
の加熱ブ１ノス時の密着性の点から、０．０３〜０．１
０の範囲か好ましい。
またＸ線回折法による結晶化度２５％〜４５％の結晶化
フィルムであることか好ましい。さらに、広角Ｘ線回折
で２０−２０〜２］℃の結晶ピークについて求めた配向
度Ｏ「かＥ ｎ ｄ方向および「ｄｇｅ方向で０．０７
＝０．５、丁ｈｒｏｕｇｈ方向−’（０，６〜１．０の
範囲に必る二軸配向フィルムで必ることか好ましい。
フィルムであることか好ましい。さらに、広角Ｘ線回折
で２０−２０〜２］℃の結晶ピークについて求めた配向
度Ｏ「かＥ ｎ ｄ方向および「ｄｇｅ方向で０．０７
＝０．５、丁ｈｒｏｕｇｈ方向−’（０，６〜１．０の
範囲に必る二軸配向フィルムで必ることか好ましい。
ここでポリ−ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする
樹脂組成物（以下、Ｐ Ｆ−’ Ｓ系組成物と略称り−
ることかある）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィト
を７０重量％以上含む組成物を言う。
樹脂組成物（以下、Ｐ Ｆ−’ Ｓ系組成物と略称り−
ることかある）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィト
を７０重量％以上含む組成物を言う。
ポリ−ｐ−フェニレンスルフィトの含有量か７０重量％
未満では、組成物としての結晶性、熱転移温度等が低く
なり、該組成物からなるフィルムの特長である耐熱性、
寸法安定性、機械的特性等を損なう。該組成物中の残り
の３０重量％未満はポリ−ｐ−フェニレンスルノイド以
外のポリマ、無機または有機のフィラー、滑剤、着色剤
、紫外線吸収剤などの添加物を含むことも差し支えない
。
未満では、組成物としての結晶性、熱転移温度等が低く
なり、該組成物からなるフィルムの特長である耐熱性、
寸法安定性、機械的特性等を損なう。該組成物中の残り
の３０重量％未満はポリ−ｐ−フェニレンスルノイド以
外のポリマ、無機または有機のフィラー、滑剤、着色剤
、紫外線吸収剤などの添加物を含むことも差し支えない
。
該樹脂組成物の溶融粘度は、温度３００′Ｃ１ぜ／υ断
速度２００１／ＳｅＣのもとで、５００〜１２０００ポ
イズ（より好ましくは７００〜１００００ポイズ）の範
囲がフィルムの成形性の点て好ましい。
速度２００１／ＳｅＣのもとで、５００〜１２０００ポ
イズ（より好ましくは７００〜１００００ポイズ）の範
囲がフィルムの成形性の点て好ましい。
該樹脂組成物の溶融粘度は、最終的に得られるポリフェ
ニレンスルフィドフィルムの、溶融粘度に等しい。
ニレンスルフィドフィルムの、溶融粘度に等しい。
本発明においてポリ−ｐ−フェニレンスルフィト（以下
、ＰＰＳと略称することがある）とは、繰り返し単位の
７０モル％以上（好ましくは８５モル％以上〉が構造弐
十〇−８±で示される構成単位からなる重合体をいう。
、ＰＰＳと略称することがある）とは、繰り返し単位の
７０モル％以上（好ましくは８５モル％以上〉が構造弐
十〇−８±で示される構成単位からなる重合体をいう。
係る成分が７０モル％未満ではポリマの結晶性、熱転移
温度等が低くなりＰＰＳを主成分と覆る樹脂組成物から
なるフィルムの特長である耐熱性、寸法安定性、機械的
特性等を損なう。
温度等が低くなりＰＰＳを主成分と覆る樹脂組成物から
なるフィルムの特長である耐熱性、寸法安定性、機械的
特性等を損なう。
繰り返し単位の３０モル％未満、好ましくは１５モル％
未満であれば共重合可能なスルフィト結合を含有する単
位が含まれていても差し支えない。
未満であれば共重合可能なスルフィト結合を含有する単
位が含まれていても差し支えない。
また本発明のフィルム中に、表面粗さを整える目的など
のために、無機の微粒子を含有することは好ましい。
のために、無機の微粒子を含有することは好ましい。
本発明においては、フィルムの長手り向に断面積１平方
ミリメートル当たり３ｋｇの張力を加えつつ２５℃から
７０’Ｃまで１０’○／分の速さて昇温じた時の、長手
方向の伸びか０．４％以下であるポリフェニレンスルフ
ィドフィルムを用いる必要がある。係る伸びが０．４％
を超えると、真空蒸着時に上）小の「熱価り］が発生し
やすくなり、本発明の目的を達成し得ない。係る伸びの
大ぎさは、０．３％以下であることが好ましい。また同
様の条件で！：）Ｏ’Ｃまで昇温した時の伸びが０．１
−６ ＝ ５％以下て必れば好ましい。ざらに、同様の条件で８０
℃まて昇温した時の伸びが０．４％以下であればより好
ましい。
ミリメートル当たり３ｋｇの張力を加えつつ２５℃から
７０’Ｃまで１０’○／分の速さて昇温じた時の、長手
方向の伸びか０．４％以下であるポリフェニレンスルフ
ィドフィルムを用いる必要がある。係る伸びが０．４％
を超えると、真空蒸着時に上）小の「熱価り］が発生し
やすくなり、本発明の目的を達成し得ない。係る伸びの
大ぎさは、０．３％以下であることが好ましい。また同
様の条件で！：）Ｏ’Ｃまで昇温した時の伸びが０．１
−６ ＝ ５％以下て必れば好ましい。ざらに、同様の条件で８０
℃まて昇温した時の伸びが０．４％以下であればより好
ましい。
ポリフェニレンスルフィドフィルムの係る伸びを下記の
範囲とする方法は特に問わないが、例えば、特開昭５５
−１１１２３！：）等に記載された周知の方法でポリ−
ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成物を
、押出機などに供給して溶融し、丁ダーイから冷却ドラ
ム上に押し出して無配向シー１〜とし、該シー１〜を９
５〜１１５℃の温度で縦、横に同時、もしくは逐次２輔
延伸し、さらに２００℃以上、融点以下の温度で熱処理
して、中間体を得、次に該中間体を、３０〜１２０℃（
好ましくは３０〜７０℃）で５秒〜１０日間熱処理する
方法が挙げられる。該熱処理の時間は、温度によって適
宜選定することができる。一般に低温では長時間を要し
、高温では短時間になる。
範囲とする方法は特に問わないが、例えば、特開昭５５
−１１１２３！：）等に記載された周知の方法でポリ−
ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成物を
、押出機などに供給して溶融し、丁ダーイから冷却ドラ
ム上に押し出して無配向シー１〜とし、該シー１〜を９
５〜１１５℃の温度で縦、横に同時、もしくは逐次２輔
延伸し、さらに２００℃以上、融点以下の温度で熱処理
して、中間体を得、次に該中間体を、３０〜１２０℃（
好ましくは３０〜７０℃）で５秒〜１０日間熱処理する
方法が挙げられる。該熱処理の時間は、温度によって適
宜選定することができる。一般に低温では長時間を要し
、高温では短時間になる。
該熱処理は、フィルム製造ラインで中間体の製造と連続
して行なうこともできるし、いったん巻取ってから、行
なうこともできる。後者では、フィルムを巻きだしなが
ら連続的に行なうこともてぎるし、Ｉ」−ル状て熱風オ
ーブン中などに入れて行なうこともてきる。また、該熱
処理を、異なる温度で二段階以十にわたって行なうこと
もできる。
して行なうこともできるし、いったん巻取ってから、行
なうこともできる。後者では、フィルムを巻きだしなが
ら連続的に行なうこともてぎるし、Ｉ」−ル状て熱風オ
ーブン中などに入れて行なうこともてきる。また、該熱
処理を、異なる温度で二段階以十にわたって行なうこと
もできる。
該フィルムに連続巻取式蒸着機によって、その少なくと
も片面（ご、金属を真空蒸着する。この際、蒸着機の冷
却キャン上でのフィルムの長手方向平均張力を、フィル
ムの断面積１平方ミリメートル当たり０．５へ一３ｋｇ
とする必要かある。該張力か但過ぎでも高過ぎ゛ても熱
価（ブか発生し易くなる。
も片面（ご、金属を真空蒸着する。この際、蒸着機の冷
却キャン上でのフィルムの長手方向平均張力を、フィル
ムの断面積１平方ミリメートル当たり０．５へ一３ｋｇ
とする必要かある。該張力か但過ぎでも高過ぎ゛ても熱
価（ブか発生し易くなる。
ここで、冷却キレン上でのフィルムの長手方向平均張力
とは、フィルムが冷却ギ【・ンに接触する直前の長手方
向張力と、冷却キャンを離れた直後の長手方向張力との
算術平均値を古う。フィルムの両面を連続して蒸着部る
ため２個の冷却キャンを爾えた蒸着機（−は、各冷却キ
ャン毎に、下記の張力条件を）箇だす必要がある。
とは、フィルムが冷却ギ【・ンに接触する直前の長手方
向張力と、冷却キャンを離れた直後の長手方向張力との
算術平均値を古う。フィルムの両面を連続して蒸着部る
ため２個の冷却キャンを爾えた蒸着機（−は、各冷却キ
ャン毎に、下記の張力条件を）箇だす必要がある。
冷却キャン内を循環覆る冷媒の温度は、−１５℃以下に
することか、熱価けをより少なくする上で好ましい。
することか、熱価けをより少なくする上で好ましい。
真空蒸着する金属については、その種類を問わないが、
アルミニウム、亜鉛、錫、銅、金、銀などを例示できる
。また、真空蒸着する金属を加熱する方法も、抵抗加熱
法、電子ビーム加熱法など特に問わない。
アルミニウム、亜鉛、錫、銅、金、銀などを例示できる
。また、真空蒸着する金属を加熱する方法も、抵抗加熱
法、電子ビーム加熱法など特に問わない。
［特性の測定方法および評価方法］
（１）伸び ５７ｏ（もしくは５５０− ｓ８ｏ＞本発
明にあける、フィルムの長手方向に断面積１平方ミリメ
ートル当たり３ｋｇの張力を加えつつ２５℃から７０℃
（もしくは５０’Ｃもしくは８０℃）まで１０℃／分の
速さで昇温した時の、長手方向の伸びを測定するには、
フィルム長手方向に長さ１１０Ｑｍｍ、幅１０ｍｍの試
験片を切り出し、該試験片の断面積１平方ｍｍ当たり３
ｋｇに相当する荷重を下端に付（プで、温度を２５℃に
保った熱風オーブンのなかに吊し、約１０００ｍｍの間
隔てフィルムの両端付近に付（ブた標線の間隔「。を２
台の光学式位置検出機（ライン廿ンザー）で読み取り、
熱風オーブンの温度を１０℃／分の速ざて昇温して７０
℃（もしくは５０℃もし−〇 −−〇 − ＜ ｔａ： ａ○℃）に達した瞬間の標線の間隔「を再
び読み取って、１００Ｘ （Ｌ−１゜＞／Ｌｏ （単位
％）として、伸び５７ｏ（もしくはｓ５０もしくは５８
０）を算出づる。
明にあける、フィルムの長手方向に断面積１平方ミリメ
ートル当たり３ｋｇの張力を加えつつ２５℃から７０℃
（もしくは５０’Ｃもしくは８０℃）まで１０℃／分の
速さで昇温した時の、長手方向の伸びを測定するには、
フィルム長手方向に長さ１１０Ｑｍｍ、幅１０ｍｍの試
験片を切り出し、該試験片の断面積１平方ｍｍ当たり３
ｋｇに相当する荷重を下端に付（プで、温度を２５℃に
保った熱風オーブンのなかに吊し、約１０００ｍｍの間
隔てフィルムの両端付近に付（ブた標線の間隔「。を２
台の光学式位置検出機（ライン廿ンザー）で読み取り、
熱風オーブンの温度を１０℃／分の速ざて昇温して７０
℃（もしくは５０℃もし−〇 −−〇 − ＜ ｔａ： ａ○℃）に達した瞬間の標線の間隔「を再
び読み取って、１００Ｘ （Ｌ−１゜＞／Ｌｏ （単位
％）として、伸び５７ｏ（もしくはｓ５０もしくは５８
０）を算出づる。
（２）蒸着時の「熱価（プ」の程度
日本真空技研銖製の連続巻取式蒸着機＠機を用いて、幅
５００ＩＴＩ ｍのフィルム試別にアルミニウムを蒸着
した。この時、冷却子Ｘ７ン内循環の冷媒温度は一３０
℃どし、９ｍｍ幅の蒸着部と１ｍｍ幅の非蒸着部か交互
に繰り返されるス１〜ライブ状に蒸着した。
５００ＩＴＩ ｍのフィルム試別にアルミニウムを蒸着
した。この時、冷却子Ｘ７ン内循環の冷媒温度は一３０
℃どし、９ｍｍ幅の蒸着部と１ｍｍ幅の非蒸着部か交互
に繰り返されるス１〜ライブ状に蒸着した。
蒸着後に金属化フィルムを観察し、次の基準で「熱価し
プ」の程度を判定した。
プ」の程度を判定した。
○：金底屈化フィルム縦方向に走る十数本以下のしわが
見られるか、他の部分は平面性か良好である。
見られるか、他の部分は平面性か良好である。
△：：属化フィルムの縦方向に走る十数本以上のしわに
加え、全体にうねりが見られるか、張力を加えている間
しわが消える。
加え、全体にうねりが見られるか、張力を加えている間
しわが消える。
×：金属化フィルムの縦方向に走る十教本以上のしわに
加え、全体にうねりか見られ、張力を加えてもしわか残
る。
加え、全体にうねりか見られ、張力を加えてもしわか残
る。
［発明の効果］
本発明の真空蒸着方法は、上記の］Ｍ成としたことによ
り、従来、ボリフＴニレンスルフイドフイルムに巻取式
蒸着機で金属を真空蒸着する際の欠点でめった蒸着時の
「熱負け」が起こり難くなり、その結果、得られる金属
化フィルムを切断して＝ｌンデンザ用デープとする時な
どにＸ１法精度か向上し、＝］コンデンサ不良率が小さ
くなるなどの効果が得られる。また、いわゆるラッカー
−、］−］チーングタイの積層コンデンサを製造する目
的などのために、得られた金属化フィルムに］−チング
を行なう場合にも、］−チングパターンとの寸法ずれが
起こりガｔいという効果もある。
り、従来、ボリフＴニレンスルフイドフイルムに巻取式
蒸着機で金属を真空蒸着する際の欠点でめった蒸着時の
「熱負け」が起こり難くなり、その結果、得られる金属
化フィルムを切断して＝ｌンデンザ用デープとする時な
どにＸ１法精度か向上し、＝］コンデンサ不良率が小さ
くなるなどの効果が得られる。また、いわゆるラッカー
−、］−］チーングタイの積層コンデンサを製造する目
的などのために、得られた金属化フィルムに］−チング
を行なう場合にも、］−チングパターンとの寸法ずれが
起こりガｔいという効果もある。
［作用］
本発明の真空蒸着方法によって何故に蒸着時の゛「熱負
け」を生じ何［くなるのか明確ではないが、本発明にい
うフィルム長手方向の伸びが大きいと、蒸着時にフィル
ムが冷却キ【・ン」二を通過する際に、−１１＝ フィルムにかかる張力でフィルムか伸びてしわになり冷
却キャンとの接触か悪くなり、そのうえに金属蒸気が飛
来した時にその凝縮潜熱をキャンに逃かり−ことができ
なくなり、熱にＪ、るフィルムの変形か牛しるのに対し
、本発明にいうフィルム長手方向の伸びか小さいと、こ
のような現象か起こり難いためと考えられる。
け」を生じ何［くなるのか明確ではないが、本発明にい
うフィルム長手方向の伸びが大きいと、蒸着時にフィル
ムが冷却キ【・ン」二を通過する際に、−１１＝ フィルムにかかる張力でフィルムか伸びてしわになり冷
却キャンとの接触か悪くなり、そのうえに金属蒸気が飛
来した時にその凝縮潜熱をキャンに逃かり−ことができ
なくなり、熱にＪ、るフィルムの変形か牛しるのに対し
、本発明にいうフィルム長手方向の伸びか小さいと、こ
のような現象か起こり難いためと考えられる。
［実施例］
次に本発明の実施例を挙げて、ざらに詳細に説明する。
実施例 １
（］）本発明に用いるＰＰ５−Ｂ○の製造オーＩ〜クレ
ープに、硫化す１〜リウム３２．６に！１ｌｌｌ］ （
２５０モル、結晶水４０＼へ１１％を含む）、水酸化す
１へり１クム１００ｑ、安懸＠酸ナトリウム３６．１ｋ
ｇ（２ｂ○モル〉、及びＮ−メチル−２−ピロリドン（
以下ＮＭＰと略称することがある）７９．２にΩを仕込
〃２０５℃で脱水したのち、１、／１ジクｌルベンセン
（ｐ−ＤＣＢと略称する）３７．５ｋＣＩ （２５５モ
ル）、及びＮＭＰ２０゜０ｋｇを加え、２６５℃で４時
間反応させた。反応生成物を水洗、乾燥して、ｐ−フェ
ニレンスルフィド１００モル％からなり、溶融粘度３１
００ボイス゛のポリ−ｐ−フェニレンスルフィド２１゜
１ ｋＱ （収率７８％）を得た。
ープに、硫化す１〜リウム３２．６に！１ｌｌｌ］ （
２５０モル、結晶水４０＼へ１１％を含む）、水酸化す
１へり１クム１００ｑ、安懸＠酸ナトリウム３６．１ｋ
ｇ（２ｂ○モル〉、及びＮ−メチル−２−ピロリドン（
以下ＮＭＰと略称することがある）７９．２にΩを仕込
〃２０５℃で脱水したのち、１、／１ジクｌルベンセン
（ｐ−ＤＣＢと略称する）３７．５ｋＣＩ （２５５モ
ル）、及びＮＭＰ２０゜０ｋｇを加え、２６５℃で４時
間反応させた。反応生成物を水洗、乾燥して、ｐ−フェ
ニレンスルフィド１００モル％からなり、溶融粘度３１
００ボイス゛のポリ−ｐ−フェニレンスルフィド２１゜
１ ｋＱ （収率７８％）を得た。
この組成物に、平均粒子径０．７μｍのシｌツカ微粉末
０．１Ｗ↑％、ステアリン酸カルシウムＯ０Ｑ ５ ｗ
士％を添加し、４０ｍ ｒＴｌ径のエクストルーダによ
って３１０’Ｃて溶融し、金属繊維を用いた９５％カッ
ト孔径１０μｍのフィルタでろ過したのち長さ４００ｍ
ｍ、間隙１．５ｍｍの直線状リップを有する丁ダイから
押し出し、表面を２５℃に保った金属ドラム上にキャス
１〜して冷却固化し、厚さ約２０μｍの未延伸フィルム
を得た。
０．１Ｗ↑％、ステアリン酸カルシウムＯ０Ｑ ５ ｗ
士％を添加し、４０ｍ ｒＴｌ径のエクストルーダによ
って３１０’Ｃて溶融し、金属繊維を用いた９５％カッ
ト孔径１０μｍのフィルタでろ過したのち長さ４００ｍ
ｍ、間隙１．５ｍｍの直線状リップを有する丁ダイから
押し出し、表面を２５℃に保った金属ドラム上にキャス
１〜して冷却固化し、厚さ約２０μｍの未延伸フィルム
を得た。
このフィルムをロール群から成る縦延伸装置によって、
フィルム温度１００℃１延伸速度３００００％／分で３
．６倍延伸し、続いてテンタを用いて、温度１００℃１
延伸速度１０００％／分Ｃ゛３．５倍延伸し、さらに同
一テンタ内の後続する熱処理室で、２７０℃で」０秒間
緊張下に熱処理して、厚さ２μｒ１′］の中間体（中間
体−１）を得た。
フィルム温度１００℃１延伸速度３００００％／分で３
．６倍延伸し、続いてテンタを用いて、温度１００℃１
延伸速度１０００％／分Ｃ゛３．５倍延伸し、さらに同
一テンタ内の後続する熱処理室で、２７０℃で」０秒間
緊張下に熱処理して、厚さ２μｒ１′］の中間体（中間
体−１）を得た。
該中間体を、ロール状に巻取り、該ロールを５０℃のオ
ーブン中で７２時間熱処理して、ポリフェニレンスルフ
ィドフィルム（フィルム−１）を得た。該フィルムの本
発明にいう［伸び」Ｓ７ｏは、０．２４％）で、本発明
に用いるフィルムの条件を満たしていた。
ーブン中で７２時間熱処理して、ポリフェニレンスルフ
ィドフィルム（フィルム−１）を得た。該フィルムの本
発明にいう［伸び」Ｓ７ｏは、０．２４％）で、本発明
に用いるフィルムの条件を満たしていた。
このフィルム−１に、日本真空技ωｆ（１，１製の連続
巻取式片面蒸着機を用いで、幅５００ｍ ｒＴｌのフィ
ルム試わ１にアルミニウムを蒸着した。この時、冷却キ
ャン内循環の冷媒温度ｉ、１３０°○とし、９ｍｍ幅の
蒸着部と１ｒＴ１ｍ幅の非蒸着部か交Ｌｌに繰り返され
るス１ヘライブ状に蒸着した。このとき冷却キ■ントの
平均張力を表−１のように変更して、５種類の条件で蒸
着し、１５種類の金属化ＰＰＳフィルムをえた。表−１
から、本発明に規定したフィルムを、本発明の条１４１
■て蒸着したとぎに、「熱価ジノ」か顕著に改良される
ことか判る。
巻取式片面蒸着機を用いで、幅５００ｍ ｒＴｌのフィ
ルム試わ１にアルミニウムを蒸着した。この時、冷却キ
ャン内循環の冷媒温度ｉ、１３０°○とし、９ｍｍ幅の
蒸着部と１ｒＴ１ｍ幅の非蒸着部か交Ｌｌに繰り返され
るス１ヘライブ状に蒸着した。このとき冷却キ■ントの
平均張力を表−１のように変更して、５種類の条件で蒸
着し、１５種類の金属化ＰＰＳフィルムをえた。表−１
から、本発明に規定したフィルムを、本発明の条１４１
■て蒸着したとぎに、「熱価ジノ」か顕著に改良される
ことか判る。
実施例 ２
実施例１て１己ｔた中間体−］をロール状に巻取り、熱
処理の温度と時間を適当に変えＣ１実施例１と同様に熱
処理して、本発明にいうフィルムの長手方向に断面積１
平方ミリメーｉ〜ル当たり３ ｋ ｇの張力を加えつつ
２５℃から７０’Ｃまて１０℃／分の速さで昇温した時
の、長手方向の伸び３７０の異なる５種類のフィルム（
−フィルム−２−・フィルム−６）を得た。これらのフ
ィルムに実施例１と同様にして、表−２に示すような冷
却キャン上の平均張力下でアルミニウムを真空蒸着した
。評価結果を表−２に示す。表−２から、本発明の方法
で蒸着すると、蒸着時の「熱価（プ」が起こり疎いこと
かわかる。
処理の温度と時間を適当に変えＣ１実施例１と同様に熱
処理して、本発明にいうフィルムの長手方向に断面積１
平方ミリメーｉ〜ル当たり３ ｋ ｇの張力を加えつつ
２５℃から７０’Ｃまて１０℃／分の速さで昇温した時
の、長手方向の伸び３７０の異なる５種類のフィルム（
−フィルム−２−・フィルム−６）を得た。これらのフ
ィルムに実施例１と同様にして、表−２に示すような冷
却キャン上の平均張力下でアルミニウムを真空蒸着した
。評価結果を表−２に示す。表−２から、本発明の方法
で蒸着すると、蒸着時の「熱価（プ」が起こり疎いこと
かわかる。
表−１
表−２
狛Ｋ［出願人 東し株式会社
１６一
Claims (1)
- （１）巻取式真空蒸着機によつて、ポリフェニレンスル
フィドフィルムの少なくとも片面に、金属を真空蒸着す
る方法において、該フィルムとして、フィルム長手方向
に断面積１平方ミリメートル当たり３ｋｇの張力を加え
つつ２５℃から７０℃まで１０℃／分の速さで昇温した
時の、長手方向の伸びが０．４％以下であるポリフェニ
レンスルフィドフィルムを用い、かつ蒸着機の冷却キャ
ン上でのフィルムの長手方向平均張力を、フィルムの断
面積１平方ミリメートル当たり０．５〜３ｋｇとするこ
とを特徴とする、ポリフェニレンスルフィドフィルムの
真空蒸着方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15258888A JPH0796703B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 真空蒸着方法 |
| KR1019890702365A KR960013069B1 (ko) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | 폴리페닐렌술피드 필름, 그 제조방법 및 그 진공증착방법 |
| DE68919645T DE68919645T2 (de) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Polyphenylensulfidfilm, verfahren zur herstellung und verfahren zum behandeln des filmes mit vakuumniederschlag. |
| EP89905212A EP0365692B1 (en) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Polyphenylene sulfide film, process for its production, and process for subjecting the film to vacuum deposition |
| PCT/JP1989/000426 WO1989010252A1 (en) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Polyphenylene sulfide film, process for its production, and process for subjecting the film to vacuum deposition |
| HK98106578A HK1007294A1 (en) | 1988-04-22 | 1998-06-25 | Polyphenylene sulfide film process for its production and process for subjecting the film to vaccum deposition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15258888A JPH0796703B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 真空蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01319669A true JPH01319669A (ja) | 1989-12-25 |
| JPH0796703B2 JPH0796703B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=15543734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15258888A Expired - Fee Related JPH0796703B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-06-21 | 真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0796703B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60205831A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Sony Corp | 磁気記録媒体の製法 |
| JPS60255978A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-17 | Toray Ind Inc | 金属化フイルム |
| JPS6174143A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1988
- 1988-06-21 JP JP15258888A patent/JPH0796703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60205831A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Sony Corp | 磁気記録媒体の製法 |
| JPS60255978A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-17 | Toray Ind Inc | 金属化フイルム |
| JPS6174143A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0796703B2 (ja) | 1995-10-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |