JPS5972655A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPS5972655A JPS5972655A JP18403882A JP18403882A JPS5972655A JP S5972655 A JPS5972655 A JP S5972655A JP 18403882 A JP18403882 A JP 18403882A JP 18403882 A JP18403882 A JP 18403882A JP S5972655 A JPS5972655 A JP S5972655A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hardness
- base
- magnetic recording
- magnetic
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高分子基板上に、強磁性金属薄膜を付して成
る磁気記録媒体の製造装置に関する。
る磁気記録媒体の製造装置に関する。
従来例の構成とその問題点
近年、短波長記録に適した磁気記録媒体として、Co−
Ni系の面内磁化膜、Co−Cr系の垂直磁化膜の開発
が各方面で進められ、一部は実用化されているが、この
製造装置については、歴史も浅く、磁気テープ製造のた
めの最適化が不十分であった。
Ni系の面内磁化膜、Co−Cr系の垂直磁化膜の開発
が各方面で進められ、一部は実用化されているが、この
製造装置については、歴史も浅く、磁気テープ製造のた
めの最適化が不十分であった。
第1図は従来用いられていた磁気記録媒体の製造装置の
構成を示す。
構成を示す。
図に示すように、回転キャンつと対向するように蒸発源
2が配設され、回転キャン1VC沿って送り出し軸3か
ら巻取シ軸4へ移動する高分子基板5の搬送機構(中間
ローラ、エキズパンダゴムローラ等は図示していない)
が装備されている。
2が配設され、回転キャン1VC沿って送り出し軸3か
ら巻取シ軸4へ移動する高分子基板5の搬送機構(中間
ローラ、エキズパンダゴムローラ等は図示していない)
が装備されている。
入射角を規制するマスク6や図示せぬ防着板等は、真空
槽7の内部に構成され、真空槽7の内部は排気系8によ
り排気され、ガス導入調節弁9により、外部よりガス導
入が行えるよう構成されている。
槽7の内部に構成され、真空槽7の内部は排気系8によ
り排気され、ガス導入調節弁9により、外部よりガス導
入が行えるよう構成されている。
この装置を用いて、蒸着を行う場合、広幅の高分子基板
の全幅に渡って蒸着することはなく、両サイドに未着部
分、いわゆるマージン部が構成されるようなマスキング
がなされるのが普通である。
の全幅に渡って蒸着することはなく、両サイドに未着部
分、いわゆるマージン部が構成されるようなマスキング
がなされるのが普通である。
しかし散乱蒸着に対し、完全にマスキングすることはで
きないので、回転キャンにも蒸着される現象は避けられ
ない。
きないので、回転キャンにも蒸着される現象は避けられ
ない。
回転キャンに蒸着された部分の除去、クリーニングは工
程の中で必ず実施されるが、強磁性材を構成するCo、
Ni、Cr等は硬度が大きいためと、酸化した微粒子に
なると一層硬度が増すだめ、クリーニング工程で、従来
の巻取蒸着機に利用されている回転キャンの表面粗さが
徐々に犬きくなシ、形状転写が主原因と考えられるが、
得られるテープの品質特にノイズレベルが変化する欠点
があった。
程の中で必ず実施されるが、強磁性材を構成するCo、
Ni、Cr等は硬度が大きいためと、酸化した微粒子に
なると一層硬度が増すだめ、クリーニング工程で、従来
の巻取蒸着機に利用されている回転キャンの表面粗さが
徐々に犬きくなシ、形状転写が主原因と考えられるが、
得られるテープの品質特にノイズレベルが変化する欠点
があった。
発明の目的
本発明は、品質の安定した磁気テープの製造が常に可能
な製造装置の提供を目的とするものである。
な製造装置の提供を目的とするものである。
発明の構成
本発明は移動中の高分子基板支持用の回転キャンの表面
硬度が、ビッカース硬度にして600以上になっている
ことを要件とするものである。
硬度が、ビッカース硬度にして600以上になっている
ことを要件とするものである。
実施例の説明
直径50口9幅65crnの回転キャンを用いて本発明
を実施した例について説明する。
を実施した例について説明する。
鉄製の回転キャンを表面粗さ0.23 とし、表面を
、窒化処理、Tic処理、WC処理1等により、ビッカ
ース硬度を変化させ、未処理のものと比較した。
、窒化処理、Tic処理、WC処理1等により、ビッカ
ース硬度を変化させ、未処理のものと比較した。
ポリエチレンテレフタレートフィルム基板(厚さ10.
5μm)を用意し、Co100%、Co80%Ni2O
%をそれぞれ電子ビーム加熱により蒸発させ酸素を外部
より真空槽内に導入しながら2x10 Torr 〜
4.5x10 Torrで、入射角38°以上で斜入
射を行い、磁性層厚み0.1μm〜0.2μmとなるよ
う蒸着を行った。
5μm)を用意し、Co100%、Co80%Ni2O
%をそれぞれ電子ビーム加熱により蒸発させ酸素を外部
より真空槽内に導入しながら2x10 Torr 〜
4.5x10 Torrで、入射角38°以上で斜入
射を行い、磁性層厚み0.1μm〜0.2μmとなるよ
う蒸着を行った。
蒸着長さ1000mを1バツチとし、バッチ数の増加に
より、得られた蒸着ビデオテープの輝度周波数域でのノ
イズを調査した結果を第2図に示す。
より、得られた蒸着ビデオテープの輝度周波数域でのノ
イズを調査した結果を第2図に示す。
ノイズの比較は、相対速度、 3.75m/sec、中
心周波数4 、.5 MHzの条件で3 、5 MHz
に於けるノイズを比較し、1バツチ目の値を○dB と
した。
心周波数4 、.5 MHzの条件で3 、5 MHz
に於けるノイズを比較し、1バツチ目の値を○dB と
した。
第2図より明らかなように、硬度により経時変化のある
様子が伺える。
様子が伺える。
これについて吟味した結果、境界値はビッカース硬度(
Hv)約600 であり、6o○以上では、10oOバ
ツチの確認では殆んど1dB以内で安定していた。
Hv)約600 であり、6o○以上では、10oOバ
ツチの確認では殆んど1dB以内で安定していた。
表面性の初期値を小さくすることでノイズの増加するバ
ッチ数を若干改良することは出来るがこの改良効果は、
ビッカース硬度による改良程顕著ではない。
ッチ数を若干改良することは出来るがこの改良効果は、
ビッカース硬度による改良程顕著ではない。
ビッカース硬度を大きくすることと、初期の表面性を良
くすることとは、必ずしも相客れない点があり、調和点
を見出すよう心掛けるべきである。
くすることとは、必ずしも相客れない点があり、調和点
を見出すよう心掛けるべきである。
硬度が1500以上であっても、格別の効果は期待でき
ないので、加工性も考慮して600以上、好才しくはH
v900〜1300にし、表面粗度0,28以下好まし
くは、o90rss−o、1Sに保持すれば、充分本発
明の効果を得ることができる。
ないので、加工性も考慮して600以上、好才しくはH
v900〜1300にし、表面粗度0,28以下好まし
くは、o90rss−o、1Sに保持すれば、充分本発
明の効果を得ることができる。
本発明の効果は、電子ビーム蒸着法によるC o Cr
垂直磁化膜、イオンブレーティングによる、Co−Ni
−〇膜、CoCr膜、スバ、タリングによるCo−Ni
−0膜、CoCr膜の製造に用いても、充分発揮される
ものである。
垂直磁化膜、イオンブレーティングによる、Co−Ni
−〇膜、CoCr膜、スバ、タリングによるCo−Ni
−0膜、CoCr膜の製造に用いても、充分発揮される
ものである。
発明の効果
本発明の製造装置によると品質の安定した磁気記録媒体
を常に得ることが可能となる。
を常に得ることが可能となる。
第1図は従来の磁気記録媒体の製造装置の構成を示す図
、第2図は回転キャンの表面硬度を変えた場合のくり返
しノ(ノチ数によるノイズレベルの変化を示す図である
。 1・・・・・・回転キャン、2・・・・・・蒸発源、6
・・・・・・基板、7・・・・・・真空槽、8・・・・
・・排気系。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 t to too
too。 ノくツナ数
、第2図は回転キャンの表面硬度を変えた場合のくり返
しノ(ノチ数によるノイズレベルの変化を示す図である
。 1・・・・・・回転キャン、2・・・・・・蒸発源、6
・・・・・・基板、7・・・・・・真空槽、8・・・・
・・排気系。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 t to too
too。 ノくツナ数
Claims (1)
- 移動中の高分子基板を支持するための回転キャンと、上
記回転キャンと対向した蒸発源とを具備し、上記回転キ
ャンの表面硬度が、ビッカース硬度にして、600以上
であることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18403882A JPS5972655A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18403882A JPS5972655A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5972655A true JPS5972655A (ja) | 1984-04-24 |
Family
ID=16146267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18403882A Pending JPS5972655A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5972655A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01298523A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-12-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57164438A (en) * | 1981-04-01 | 1982-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin film forming device |
-
1982
- 1982-10-20 JP JP18403882A patent/JPS5972655A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57164438A (en) * | 1981-04-01 | 1982-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin film forming device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01298523A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-12-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
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