JPS6322235B2 - - Google Patents

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JPS6322235B2
JPS6322235B2 JP58051182A JP5118283A JPS6322235B2 JP S6322235 B2 JPS6322235 B2 JP S6322235B2 JP 58051182 A JP58051182 A JP 58051182A JP 5118283 A JP5118283 A JP 5118283A JP S6322235 B2 JPS6322235 B2 JP S6322235B2
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JP
Japan
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protective film
adhesive tape
thin plate
peeled
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JP58051182A
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Keigo Funakoshi
Kozo Nomura
Minoru Ametani
Kenji Oonishi
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Nitto Denko Corp
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Nitto Electric Industrial Co Ltd
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D491/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed ring system both one or more rings having oxygen atoms as the only ring hetero atoms and one or more rings having nitrogen atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by groups C07D451/00 - C07D459/00, C07D463/00, C07D477/00 or C07D489/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013—Removing old coatings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B44—DECORATIVE ARTS
    • B44D—PAINTING OR ARTISTIC DRAWING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PRESERVING PAINTINGS; SURFACE TREATMENT TO OBTAIN SPECIAL ARTISTIC SURFACE EFFECTS OR FINISHES
    • B44D3/00—Accessories or implements for use in connection with painting or artistic drawing, not otherwise provided for; Methods or devices for colour determination, selection, or synthesis, e.g. use of colour tables
    • B44D3/16—Implements or apparatus for removing dry paint from surfaces, e.g. by scraping, by burning
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
    • H05B3/34—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater flexible, e.g. heating nets or webs
    • H05B3/36—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater flexible, e.g. heating nets or webs heating conductor embedded in insulating material
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10S156/918—Delaminating processes adapted for specified product, e.g. delaminating medical specimen slide
    • Y10S156/93—Semiconductive product delaminating, e.g. delaminating emiconductive wafer from underlayer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
    • Y10T156/1168—Gripping and pulling work apart during delaminating
    • Y10T156/1179—Gripping and pulling work apart during delaminating with poking during delaminating [e.g., jabbing, etc.]

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  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
  • Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
  • Separation, Sorting, Adjustment, Or Bending Of Sheets To Be Conveyed (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えばシリコンウエハのような薄板
状物品の上面に貼付した粘着フイルムからなる保
護フイルムの剥離方法に関するものである。
このようなシリコンウエハの場合、表面に保護
フイルムを貼付して保護したのち、フイルムを貼
付していない側を水流を併用して研磨するなどの
作業を行ない、その後不用になつた保護フイルム
を剥離しなければならない。
物品の表面に貼付した粘着性のフイルムを粘着
テープの粘着力を利用して同上物品から剥離する
方法は種々提案されているが、この発明はこのよ
うな公知の方法をさらに進歩させて確実かつ能率
的に、しかもシリコンウエハのような破損し易い
薄板状物品を破損させるおそれのない剥離方法を
提供するものである。
すなわち、この発明は、上面に保護フイルムを
貼着した薄板状物品の供給手段の前方に上下一対
の圧着ローラと、真空吸引台と保護フイルム剥離
後の薄板状物品を引き取る引取手段を順次配置す
るとともに、真空吸引台上を往復する前後一対の
ピーリングローラを設け、圧着ローラの上方の巻
軸から繰出された粘着テープを上記貼着ローラ間
からピーリングローラ間を経て上方の巻取軸に巻
取らせるとともに、貼着ローラ間に薄板状物品を
送り込んで薄板状物品の上面に貼付した保護フイ
ルムの上面に、粘着テープの粘着面を圧着せしめ
たのち粘着テープを停止して真空吸引台上に停止
した薄板状物品を真空吸引により固定するととも
に、軸巻を制動し、巻取軸で粘着テープを巻取り
つつピーリングローラを圧着ローラの方向に移動
させることにより粘着テープとともに保護フイル
ムを剥離し、ついで、巻軸をフリーとし、巻取軸
を駆動するとともにピーリングローラを復帰させ
ることにより剥離した保護フイルムとともに粘着
テープを巻取ることを特徴とするものである。
この発明は上記の通りであるから薄板状物品の
上面に貼付した保護フイルムの上面に貼付した粘
着テープを引張ることにより簡単に剥離できる。
従つて粘着テープを薄板状物品の上面の保護フイ
ルムに圧着させる手段と薄板状物品を保護しつつ
粘着テープを引張る手段とからなる簡単な装置に
より自動的に保護フイルムを剥離できるものであ
る。
以下にこの発明方法の一実施例を添付図面に基
づいて説明する。
第１図はこの発明方法を実施する装置の一例で
ある。１は機台であつて、その上部後寄りに多数
のシリコンウエハのような薄板状物品２を一定の
間隔で積上げたマガジン３を設けるが、このマガ
ジン内の物品２の上面には粘着フイルムからなる
保護フイルム４が貼着してある。
５は無端搬送ベルト６を有する供給手段、７は
ベルト６の駆動プーリであり、図示省略してある
モータにより駆動される。
８はマガジンの受台で適宜の昇降機構９により
一定ピツチにて下降し、つぎの物品２をベルト６
上に載せる作用を行なう。１０は機台１上の側方
に設けた機箱で、その側面には、巻軸１１と巻取
軸１２を設ける。
巻軸１１には粘着テープ１４を巻き、巻取軸１
２は物品２から剥離した保護フイルム４を併設し
た粘着テープ１４を巻きとるものであり、巻軸１
１には制動装置、巻取軸１２には駆動装置を設け
る。
１５は機箱１０に設けた上下一対の圧着ローラ
であり、保護フイルム４を上面に貼着した物品２
と、巻軸１１から引出された粘着テープ１４がこ
のローラ１５間を通ると粘着テープ１４の下面の
粘着面が保護フイルム４に圧着される。
圧着ローラ１５の前方には真空吸引台１６があ
る。この吸引台１６は第５図のように上面に無数
の吸引孔を有する中空体であり、真空吸引装置に
弁を介して連通している。
この吸引台１６の前方には前後一対のピーリン
グローラ１７があり、粘着テープ１４はこの一体
のピーリングローラ１７間を経て上方へ導かれ、
ガイドローラ１８を経て巻取軸１２に巻取られ
る。
ピーリングローラ１７は第３図、第４図のよう
に移動台１９に取付けられたものでこの移動台１
９は機箱１０に設けたガイドレール２０に摺動自
在に取付けられ、動力駆動の送りネジあるいはエ
アシリンダなどにより移動する。
前記の無端搬送ベルト６により圧着ローラ１５
間に送り込まれ、上面の保護フイルム４上に粘着
テープ１４の粘着面を圧着された物品２がテープ
１４とともに吸引台１６上にくると、巻軸１１、
巻取軸１２および圧着ローラ１５は一たん停止す
る。このとき、第５図のように物品２上に粘着層
１３を介して貼着してある保護フイルム４上にテ
ープ１４が粘着層２１を介して圧着している。
ついで、吸引台１６の真空吸引が始まり、品物
２を台１６上に固定したのち、巻取軸１２のみが
第１図の矢印方向へ回転を始め、巻軸１１は制動
装置の働きによつて回転を阻止され、同時に移動
台１９が第３図の矢印方向に移動を始める。
このため、圧着ローラ１５から巻取軸１２間の
粘着テープ１４が巻取られ、第４図のように保護
フイルム４が粘着テープ１４に粘着して物品２か
ら剥離される。このときローラ１７は移動に合わ
せて駆動をかけることもある。こうして保護フイ
ルム４が物品２から殆んど剥離した第４図の段階
で巻軸１１の制動および吸引台１６の真空吸引を
解除し、さらに巻取軸１２を駆動してテープ１４
を巻取りながら、移動台１９を第４図の矢印方向
に移動させると、粘着テープ１４の粘着力で、物
品２上から大部分剥離された保護フイルム４とと
もに物品２も同方向に移動し、物品２はつぎの無
端搬送ベルト２２上へ載り、保護フイルム４は物
品２から完全に剥がれてテープ１４とともに巻取
軸１２に巻取られる。
また、吸引台１６を、第７図、第８図に示すよ
うに複数に分割してベルト２２の後部が吸引台１
６間に組み込まれるようにしてテープ剥離の終了
した物品２をベルト２２により送り出すようにす
る場合がある。このさい、吸引台１６を上下する
ようにして、物品２がベルト２２上にきたとき吸
引台１６を下げると物品２はベルト２２に確実に
乗り移ることができる。
また、テープ１４は第６図に示すように物品２
の巾に比較して狭いものでよい。
上記のように保護フイルム４が剥がされてベル
ト２２上へ載つた物品２はつぎのマガジン２３内
に送り込まれる。
このマガジン２３も前記マガジン３とほぼ類似
するもので、適宜の昇降機構２４により昇降され
る受台２５上に載り、物品２がマガジン２３内に
１枚挿入される毎に受台２５が１ピツチ上昇する
ものである。
上記の作用においてピーリングローラ１７を有
する移動台１９が第４図の矢印方向に移動してい
る途中において、搬送ベルト６が駆動され、つぎ
の物品２が圧着ローラ１５間に送り込まれてく
る。
この発明は上面に保護フイルムを貼着した薄板
状物品の供給手段の前方に上下一対の圧着ローラ
と、真空吸引台と保護フイルム剥離後の薄板状物
品を引き取る引取手段を順次配置するとともに、
真空吸引台上を往復する前後一対のピーリングロ
ーラを設け、圧着ローラの上方の巻軸から繰出さ
れた粘着テープを上記貼着ローラ間からピーリン
グローラ間を経て上方の巻取軸に巻取らせるとと
もに、貼着ローラ間に薄板状物品を送り込むもの
であるから、上面に保護フイルムを貼付したシリ
コンウエハのような薄板状物品を一枚づつ上下の
貼着ローラ間に送り込むだけで薄板状物品への粘
着テープの貼着が行える。
また、薄板状物品の上面に貼付した保護フイル
ムの上面に、粘着テープの粘着面を圧着せしめた
のち粘着テープを停止して真空吸引台上に停止し
た薄板状物品を真空吸引により固定するととも
に、巻軸を制動し、巻取軸で粘着テープを巻取り
つつピーリングローラを圧着ローラの方向に移動
させるものであるから、薄板状物品が真空吸引台
上に吸着固定された状態で保護フイルムの剥離が
行なわれることになる。従つて薄板状物品が破損
し易いものでも、破損させることなく保護フイル
ムを剥離できる。
上記のように保護フイルムを剥離したのちは巻
軸をフリーとし、巻取軸を駆動するとともにピー
リングローラを復帰させることにより剥離した保
護フイルムとともに粘着テープを巻取るものであ
るから、剥離した保護フイルムの除去も自動的に
行なえるなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の剥離方法を実施する装置の
一例を示す一部縦断正面図、第２図は同上の平面
図、第３図、第４図は同上要部の作用を示す一部
切欠拡大正面図、第５図は粘着状態の拡大縦断面
図、第６図は真空吸引台の平面図、第７図は真空
吸引台附近の他の例の縦断側面図、第８図は同上
の正面図である。 ２……薄板状物品、４……保護フイルム、１１
……巻軸、１２……巻取軸、１４……粘着テー
プ、１６……真空吸引台、１７……ピーリングロ
ーラ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 薄板状物品の表面に貼付した粘着性の保護フ
    イルムの表面に粘着テープを圧着して、この粘着
    テープの粘着力により保護フイルムを薄板状物品
    から剥離する方法において、上面に保護フイルム
    を貼着した薄板状物品の供給手段の前方に上下一
    対の圧着ローラと、真空吸引台と保護フイルム剥
    離後の薄板状物品を引き取る引取手段を順次配置
    するとともに、真空吸引台上を往復する前後一対
    のピーリングローラを設け、圧着ローラの上方の
    巻軸から繰出された粘着テープを上記圧着ローラ
    間からピーリングローラ間を経て上方の巻取軸に
    巻取らせるとともに、圧着ローラ間に薄板状物品
    を送り込んで薄板状物品の上面に貼付した保護フ
    イルムの上面に、粘着テープの粘着面を圧着せし
    めたのち粘着テープを停止して真空吸引台上に停
    止した薄板状物品を真空吸引により固定するとと
    もに、巻軸を制動し、巻取軸で粘着テープを巻取
    りつつピーリングローラを圧着ローラの方向に移
    動させることにより粘着テープとともに保護フイ
    ルムを剥離し、ついで、巻軸をフリーとし、巻取
    軸を駆動するとともにピーリングローラを復帰さ
    せることにより剥離した保護フイルムとともに粘
    着テープを巻取ることを特徴とする保護フイルム
    の剥離方法。
JP58051182A 1983-03-24 1983-03-24 保護フイルムの剥離方法 Granted JPS59174677A (ja)

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JPS5374534A (en) * 1976-12-15 1978-07-03 Seiko Epson Corp Method and apparatus for peeling protector paper or release paper

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