JPS63152043A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光磁気ディスク、光磁気メモリなどに使われ
る記録媒体に関し、特に媒体自体の耐食性を総合的に向
上させて信頼性を高めるようにしたものである。

（従来の技術） 最近、磁気記録と光記録の両方の長所を兼ね備えた光磁
気記録が消去会書換え可能な大容量ファイルとして注目
を集めている。

第３図につき光磁気記録の原理を説明する。情報を記録
するときには、記録媒体１００上の所望の記録位置１０
０ｐに、レーザ光ＬＢを照射してそこの温度をキュリ一
点もしくは磁気補償塩度付近まで上げ、記録情報に応じ
た方向Ｄａに磁界ＨＧをかける。そうすると、その方向
Ｄａに磁化Ｍが形成され、一単位の記録ビン）が得られ
る。この記録ビットを読み取るときは、記録位置１００
ｐに読取り用のレーザ光を照射し、その反射光のカー回
転角を検出してビットの判別を行う。

上述のように膜面に垂直な方向Ｄａに磁化される記録媒
体１００の材料としては、これまでＭｎＢ　ｉ＋　Ｍｎ
ＣｕＢ　ｉなどの多結品膜、ＧｄＣｏ。

Ｔ　ｂ　Ｃｏ　＋　Ｔ　ｂ　Ｆ　ｅ　＋　Ｔ　ｂ　Ｆ　
ｅ　Ｃｏなどの非晶質膜、ＧｄＩＧなとの単結晶膜など
が知られているが、これらのうち非晶質膜が成膜性、読
出・書込特性などの点で最も優れているとされている。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、ＴｂＦｅＣｏなどの非晶質膜は酸化劣化しやす
く信頼性の面で問題がある。すなわち、Ｔｂ、Ｆｅ等の
元素が酸化しやすいため、ピンホールやさびが生じやす
く、これがＣ／Ｈの低下やビット誤り率の増大を招き、
ディジタル・メモリとしては用をなさな（なる。

したがって、そのような酸化劣化を防ぐため、ＳｉＯｘ
などの保護膜を設ける試みがなされているが、そのよう
にしても保護膜と記録媒体との相性が合わなかったり、
保護膜によりかえってピンホールが増加するといった不
具合が報告されている。

また、媒体自体の耐食性を向上させるべく、ＴｂＦｅＣ
ｏの非晶質合金にＧｄなどの第４の元素を添加する試み
がなされているが、これまでのところ実用的に滴定でき
るほどの成果は報告されていない。この点について検討
してみると、この種の記録媒体の酸化には局部酸化９選
択酸化、湿食など種々のモードがあり、添加元素が１種
類だけではある種の酸化モードに対しては効果的な抑制
作用があっても他のモードに対しては効き目がないため
、結果的ないし現実的には酸化劣化を十分に抑制できな
いものと考えられる。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、２種
類の特定元素の添加によって媒体自体で十分な耐食性を
もつ信頼性の高い光磁気記録媒体を提供することを特徴
とする。

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成する本発明の構成は、膜面に垂直な方向
に磁気異方性を有するＴｂＦｅＣｏからなる非晶質合金
にＣｒ、Ｐｄの２種の元素を添加してなることを特徴と
する。

（作用） Ｃｒが添加されると非晶質合金表面に不働態化膜ができ
やすく、この膜は保護膜として働き、特に局部酸化９選
択酸化などを効果的に抑制する。

またＰｄは、不働嘘化膜の生成に寄与するだけでな（、
非晶質合金を化学的に安定化する作用があり、特に食塩
水に対してさび防止力があり、湿食を効果的に抑制する
。

このようにして、ｃｒ、Ｐｄの２種の元素の添加により
非晶質合金の安定域が複数の酸化モードに対して広がり
、総合的に耐食性が向上する。

（実施例） 以下、本発明の好適な一実施例を説明する。この実施例
では、Ｆｅターゲット上にＴｂ＋　Ｇｏ＋Ｃｒ、Ｐｄの
各チップを載せた複合ターゲットを使用し、適当な圧力
に選ばれたＡｒガス中でＲＦマグネトロンスパンタによ
り膜面に垂直な方向に垂直磁気異方性をもつ記録媒体膜
を次のような組成比で基板上に作製した。

（Ｔｂ２５．３（Ｆｅ９５ＪＣｏ４．４）７４．７　）
　９３．０（Ｐｄ５０Ｃｒ５０）７．０・・・・・・・
・（Ａ） また、比較例として次のような組成比の記録媒体膜を上
記と同様な方法によって作製した。

（Ｔｂ２５．３（Ｆｅ９５．［１Ｃｏ４．４）７４．７
　）　９３．０Ｃｒ７．０−（Ｂ）（Ｔｂ２５．３（Ｆ
ｅ９５ＪＣｏ４．４）７４．７　）　９３．０Ｐｄ７．
０−（Ｃ）Ｔｂ２５．３（Ｆｅ９５　、ＧＣｏ４．４　
）７４．７　　　　　−−　（Ｄ）すなわち、比較例Ｃ
Ｄ）は従来のＴｂＦｅＣｏの非晶質合金、比較例（Ｃ）
はＴｂＦｅＣｏの非晶質合金にＰｄだけを添加したもの
、比較例（Ｂ）はＴｂＦｅＣｏの非晶質合金にＣｒだけ
を添加したものである。

これらのサンプル（Ａ）〜（Ｄ）のそれぞれについて次
のような耐食試験を行った。

■、６０″Ｃ９９０％ＲＨ中における透過率の変化。

０．０．９％食塩水を滴下したときの透過率の変化。

第１図は、試験■の結果を示す。この試験は高温高湿の
加速劣化試験であるが、この図から、添加物なしの比較
例（Ｄ）が最も透過率の増加が大きい、つまり最も酸化
劣化が激しくピンホールが多く出ることがわかる。また
、ＰｄもしくはＣｒを単独で添加した比較例（Ｂ）、（
Ｃ）では、比較例（Ｄ）に比して透過率の増加（酸化劣
化）がかなり抑制され、特にＣｒを添加した比較例ＣＢ
）のほうでより大きな抑制効果が得られる。しかし、Ｐ
ｄ、Ｃｒの双方を添加した実施例（Ａ）が比較例（Ｂ）
、（Ｃ）よりも一層大きな抑制力があり、したがってピ
ンホールの発生率が最も少ない。

第２図は、試験■の結果を示す。この試験は、媒体膜の
表面にｔ旨紋と一緒に汗（塩分）が付いたときなどの場
合によく起きる湿食に対する耐食性を調べたものである
が、この試験でもやはり比較例（Ｄ）が最も酸化劣化し
やすく、比較例（Ｂ）、（Ｃ）がある程度の耐食性を示
し、実施例（Ａ）が最も耐食性をもつことがわかる。な
お、比較例（Ｂ）、（Ｃ）を比較した場合、前者よりも
後者のほうが大きな耐食性をもつ。すなわち、Ｐｄのほ
うがＣｒよりも大きな酸化ないしさび抑制効果を奏する
。

以上のように、局部酸化９選択酸化、湿食のいずれのモ
ードに対しても、実施例（Ａ）が最も耐食性があり、し
たがって実際の使用に当たっても酸化劣化しに＜＜、信
頼性の高いディジタル・メモリまたはファイルとして利
用可能である。

なお、Ｃｒｔ　Ｐｄの添加量であるが、少なすぎると効
果が薄く、多すぎると媒体の垂直磁化性が弱くなるので
、適当な範囲内に選ばれる必要があり、Ｃｒ、Ｐｄの総
添加量を媒体全体に対し原子比で１．０〜１０．０ａｔ
ｍ％の範囲内に選ぶのが好ましい。

また、Ｃｒ＋　ｐｃｔのそれぞれの添加量の相対比に関
しては、上記のように各元素の抑制効果に一長一短があ
るが、総合的な絶対値としてはＯｒのほうが耐食性への
寄与率が大きく、好ましくは両者の相対比を１０％≦Ｐ
ｄ／　（Ｃｒ＋Ｐｄ）５５０％の範囲内に選ぶのがよい
。

（発明の効果） 以上のように、本発明によれば、ｃｒ＋Ｐｄの２種の元
素の添加によりＴｂＦｅＣｏからなる非晶質合金の安定
域が複数の酸化モードに対して広がるので、媒体自体の
耐食性が総合的に向上し、信頼性の高い光磁気記録媒体
が実現される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例と比較例のそれぞれを６０
°　Ｃ，９０ｏＡＲＨ中に置いて透過率の変化を調べた
耐食性試験の結果を示す図、第２図は、本発明の一実施
例と比較例のそれぞれに０．９％食塩水を滴下して透過
率の変化を調べた耐食性試験の結果を示す図、および第
３図は、光磁気記録の原理を説明する略斜視図である。 １００・・・・記録媒体、　　１００・・・・記録位置
、ＬＢ・・・・レーザ光、　ＨＧ・・・・磁界、　Ｍ・
・・・磁化。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）膜面に垂直な方向に磁気異方性を有するＴｂＦｅ
   Ｃｏからなる非晶質合金にＣｒ、Ｐｄの２種の元素を添
   加してなることを特徴とする光磁気記録媒体。
2. （２）前記Ｃｒ、Ｐｄの２種の元素の総添加量は媒体全
   体に対し原子比で１．０〜１０．０ａｔｍ％の範囲内に
   選ばれ、かつＣｒとＰｄのそれぞれの添加量の相対比は
   １０％≦Ｐｄ／（Ｃｒ＋Ｐｄ）≦５０％の範囲内に選ば
   れることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の光
   磁気記録媒体。