JP2918599B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2918599B2 JP2918599B2 JP3368490A JP3368490A JP2918599B2 JP 2918599 B2 JP2918599 B2 JP 2918599B2 JP 3368490 A JP3368490 A JP 3368490A JP 3368490 A JP3368490 A JP 3368490A JP 2918599 B2 JP2918599 B2 JP 2918599B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- layer
- optical recording
- recording medium
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光磁気メモリー、磁気記録、表示素子などに
用いられる磁気光学記録媒体に関し、特に磁気カー効果
もしくはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて記
録された情報を読み出すことのできる磁性薄膜記録媒体
に関するものである。
用いられる磁気光学記録媒体に関し、特に磁気カー効果
もしくはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて記
録された情報を読み出すことのできる磁性薄膜記録媒体
に関するものである。
従来、磁気光学記録媒体に用いる磁性膜としては、Mn
Bi,MnCuBiなどの多結晶体薄膜、GdCo,GdFe,TbFe,TbFeC
o,DyFe,TbDyFeなどの非晶質薄膜及びこれらにPt,Cr,Al,
Ti等を添加した耐食性非晶質薄膜、GIGなどの単結晶薄
膜などが知られている。
Bi,MnCuBiなどの多結晶体薄膜、GdCo,GdFe,TbFe,TbFeC
o,DyFe,TbDyFeなどの非晶質薄膜及びこれらにPt,Cr,Al,
Ti等を添加した耐食性非晶質薄膜、GIGなどの単結晶薄
膜などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積薄膜の作製，記録再生に
よるSN比の良さ等から、非晶質薄膜が優れていると考え
られ、特に実用面からは、耐食性非晶質薄膜が検討され
ている。
よるSN比の良さ等から、非晶質薄膜が優れていると考え
られ、特に実用面からは、耐食性非晶質薄膜が検討され
ている。
しかしながら、これらの耐食性非晶質薄膜も未だ実用
上問題があるとの指摘がある。
上問題があるとの指摘がある。
具体的には、TbFeCo非晶質層はTb原子,Fe原子,Co原子
が、その組成に応じた比率で分散されている。この原子
のうち酸素との親和力は、Co＜Fe＜Tbの順に大きく、Tb
が最も酸化され易い。磁気光学記録媒体として、使われ
るTbFeCo組成はフェリ磁性を示し、このフェリ磁性によ
って磁気光学効果が導かれ、結果として、記録再生が行
われる。もし、このTbFeCo組成の膜中で、Tbのみ酸化が
選択的に進んだ場合、フェリ磁性を示す実効的Tbの量が
減少し、キュリー温度が著しく高くなる。その結果、レ
ーザーによる記録が困難になり、S/Nが減少してしま
う。これを防ぐ為、Crを添加して侵入酸素を優先的に捕
捉すること、AlまたはTiを添加して酸素の侵入を表面で
防ぐこと、Ptを添加して膜の表面層を電位的に貴な状態
にし、酸素の活性化を抑えること、などが試みられてい
る。しかし、これらの場合、添加元素であるCr,Al,Tiま
たはPtは全て記録膜内に均質に分布する。そのため、各
添加元素が有効に作用する実効的な量は添加量より低く
なり、実際はTbがかなり酸化される。その結果、フェリ
磁性の大きさが変化し、磁気の温度依存性が大きく変動
してしまい、電気磁気変換特性としては、SN比が著しく
低下する。また、皮膜外観としては、酸化された部分
は、一部透明化、（見た目には、ピットとして見える）
し、さらに酸化が進むと、皮膜自体全面透明化が生じ、
全くフェリ磁性を示さなくなる。
が、その組成に応じた比率で分散されている。この原子
のうち酸素との親和力は、Co＜Fe＜Tbの順に大きく、Tb
が最も酸化され易い。磁気光学記録媒体として、使われ
るTbFeCo組成はフェリ磁性を示し、このフェリ磁性によ
って磁気光学効果が導かれ、結果として、記録再生が行
われる。もし、このTbFeCo組成の膜中で、Tbのみ酸化が
選択的に進んだ場合、フェリ磁性を示す実効的Tbの量が
減少し、キュリー温度が著しく高くなる。その結果、レ
ーザーによる記録が困難になり、S/Nが減少してしま
う。これを防ぐ為、Crを添加して侵入酸素を優先的に捕
捉すること、AlまたはTiを添加して酸素の侵入を表面で
防ぐこと、Ptを添加して膜の表面層を電位的に貴な状態
にし、酸素の活性化を抑えること、などが試みられてい
る。しかし、これらの場合、添加元素であるCr,Al,Tiま
たはPtは全て記録膜内に均質に分布する。そのため、各
添加元素が有効に作用する実効的な量は添加量より低く
なり、実際はTbがかなり酸化される。その結果、フェリ
磁性の大きさが変化し、磁気の温度依存性が大きく変動
してしまい、電気磁気変換特性としては、SN比が著しく
低下する。また、皮膜外観としては、酸化された部分
は、一部透明化、（見た目には、ピットとして見える）
し、さらに酸化が進むと、皮膜自体全面透明化が生じ、
全くフェリ磁性を示さなくなる。
本発明はこのような従来の欠点を解消し、SN比が高
く、さらに信頼性にすぐれた光磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
く、さらに信頼性にすぐれた光磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
かかる目的を達成するために、本発明光磁気記録媒体
は、透明基板上に光磁気記録層を有する光磁気記録媒体
において、前記光磁気記録層がPtが添加されたTb層とCr
が添加されたFe−Co層との積層構造を有することを特徴
とする。
は、透明基板上に光磁気記録層を有する光磁気記録媒体
において、前記光磁気記録層がPtが添加されたTb層とCr
が添加されたFe−Co層との積層構造を有することを特徴
とする。
本発明においては、Tb層にPt元素を添をし、FeCo合金
層にCr元素を添加する。そのため、酸素の侵入を表面層
で防ぎ、記録膜内部への侵入を困難にすることが可能で
ある。さらに、一旦内部に侵入した酸素も、Ptの効果に
よって、不活性な状態となり、Tbの酸化が実際発生しな
い。続いてこの酸素はFeCoCr層へ拡散し、不働態膜への
変化する。従って、時間の経過にとともに本発明に係る
記録膜は酸化され難い皮膜となり、安定な膜として機能
することは出来る。
層にCr元素を添加する。そのため、酸素の侵入を表面層
で防ぎ、記録膜内部への侵入を困難にすることが可能で
ある。さらに、一旦内部に侵入した酸素も、Ptの効果に
よって、不活性な状態となり、Tbの酸化が実際発生しな
い。続いてこの酸素はFeCoCr層へ拡散し、不働態膜への
変化する。従って、時間の経過にとともに本発明に係る
記録膜は酸化され難い皮膜となり、安定な膜として機能
することは出来る。
こゝで、Tb層中のPtの添加量が、0.1at％以上かつ20a
t％以下であり、Fe−Co合金層中のCrの添加量が、0.1at
％以上かつ20at％以下の範囲内にある時に、特に著しい
効果が得られる。
t％以下であり、Fe−Co合金層中のCrの添加量が、0.1at
％以上かつ20at％以下の範囲内にある時に、特に著しい
効果が得られる。
以下に実施例によって本発明を詳細に説明する。
実施例１ 高周波スパッター装置を用い、16mm×50mmのスライド
ガラス基板上に記録膜を形成した。TbのターゲットとFe
0.8Co0.2のターゲットを別々に用意し、Tbターゲットに
PtチップをTb0.95Pt0.05となるように置き、一方、FeCo
ターゲットに(Fe0.8Co0.2)0.9Cr0.1となるようにCrチッ
プを置き、基板とターゲットの間隔が100mmとなるよう
にセットした。次に、３×10-7Toor以下になるまで装置
内を排気した。この後装置内に99.999％のアルゴン（A
r）ガスを５×10-3Torrまで導入し、真空排気系のメイ
ンバルブを操作することによりAr圧を５×10-2Torrにし
た。高周波電源より、TbターゲットとFeCoターゲットへ
2W/cm2の電力を交互に投入し、成膜を行ない、Tb0.95Pt
0.05層と(Fe0.8Co0.2)0.9Cr0.1との積層からなる多層構
成の記録膜1,000Åを得た。Tb−Pt層およびFe−Co−Cr
層の各単層の厚さはそれぞれ約５Åと約８Åである。
ガラス基板上に記録膜を形成した。TbのターゲットとFe
0.8Co0.2のターゲットを別々に用意し、Tbターゲットに
PtチップをTb0.95Pt0.05となるように置き、一方、FeCo
ターゲットに(Fe0.8Co0.2)0.9Cr0.1となるようにCrチッ
プを置き、基板とターゲットの間隔が100mmとなるよう
にセットした。次に、３×10-7Toor以下になるまで装置
内を排気した。この後装置内に99.999％のアルゴン（A
r）ガスを５×10-3Torrまで導入し、真空排気系のメイ
ンバルブを操作することによりAr圧を５×10-2Torrにし
た。高周波電源より、TbターゲットとFeCoターゲットへ
2W/cm2の電力を交互に投入し、成膜を行ない、Tb0.95Pt
0.05層と(Fe0.8Co0.2)0.9Cr0.1との積層からなる多層構
成の記録膜1,000Åを得た。Tb−Pt層およびFe−Co−Cr
層の各単層の厚さはそれぞれ約５Åと約８Åである。
この膜は、垂直磁気異方性を示し、またＸ線回折によ
れば非晶質であった。
れば非晶質であった。
比較のために、同じ基板上にそれぞれTbFeCo層、単層
の（TbFeCo＋Pt）層および（TbFeCo＋Cr）層を成膜し
た。TbFeCoの組成、PtまたはCrの添加量および膜厚は上
述した実施例と同様である。
の（TbFeCo＋Pt）層および（TbFeCo＋Cr）層を成膜し
た。TbFeCoの組成、PtまたはCrの添加量および膜厚は上
述した実施例と同様である。
通常の光磁気ディスクにおいては、記録層はその上下
を無機質層で挟まれ、さらに最上部は有機質保護層で保
護されているが、以上の４種の試料は全て保護層を設け
ずにエージングテストを行い、その後の表面状況を目視
して耐食性を調べ、さらに磁気特性の変化を調べた。エ
ージングテストは80℃,85％RHの恒温恒湿槽内に各試料
を長時間保持することによって行った。
を無機質層で挟まれ、さらに最上部は有機質保護層で保
護されているが、以上の４種の試料は全て保護層を設け
ずにエージングテストを行い、その後の表面状況を目視
して耐食性を調べ、さらに磁気特性の変化を調べた。エ
ージングテストは80℃,85％RHの恒温恒湿槽内に各試料
を長時間保持することによって行った。
第１表に耐食性についての比較検討結果を、第２表に
500時間エージング後の磁気特性の変化を示す。
500時間エージング後の磁気特性の変化を示す。
第１表に見られるように、本発明による光磁気記録媒
体は、比較例と異なって、極めて耐食性がすぐれてい
る。その結果、第２表に示すように、磁気特性も極めて
安定している。比較例のようにTbの酸化が進むと、全体
的に遷移金属リッチになり、その結果、キュリー点が上
昇して記録感度の悪化を招き、書き込みレーザーパワー
の出力を大きく必要とし、また保磁力（Hc）の急激な低
下によるビットの不安定さをもたらす。しかし、本発明
の構成によれば、Tbの酸化を防ぐことができ、記録感度
の劣化およびビットエラーの増大を防ぐことができる。
体は、比較例と異なって、極めて耐食性がすぐれてい
る。その結果、第２表に示すように、磁気特性も極めて
安定している。比較例のようにTbの酸化が進むと、全体
的に遷移金属リッチになり、その結果、キュリー点が上
昇して記録感度の悪化を招き、書き込みレーザーパワー
の出力を大きく必要とし、また保磁力（Hc）の急激な低
下によるビットの不安定さをもたらす。しかし、本発明
の構成によれば、Tbの酸化を防ぐことができ、記録感度
の劣化およびビットエラーの増大を防ぐことができる。
実施例２ 実施例１と同様な方法で、ターゲットをTb0.98Pt0.02
(FeCo)0.85Cr0.15として、Tb−Pt膜とFeCo−Cr膜からな
る積層構造の記録膜を成膜した。この光磁気記録媒体の
耐食性および磁気的な安定性は実施例１と同様であっ
た。
(FeCo)0.85Cr0.15として、Tb−Pt膜とFeCo−Cr膜からな
る積層構造の記録膜を成膜した。この光磁気記録媒体の
耐食性および磁気的な安定性は実施例１と同様であっ
た。
Tb槽に添加するPt量は、0.1at％〜10at％の範囲が好
ましい。0.1at％未満では耐食性上の効果が乏しく、10a
t％をこえると磁気特性が損なわれる。同様の理由か
ら、Fe−Co合金層に添加されるCrの好ましい範囲は0.1a
t％〜20at％である。
ましい。0.1at％未満では耐食性上の効果が乏しく、10a
t％をこえると磁気特性が損なわれる。同様の理由か
ら、Fe−Co合金層に添加されるCrの好ましい範囲は0.1a
t％〜20at％である。
このような積層構造を有する記録層を常法に従う保護
層によって保護することによって、その耐食性をさらに
高め得ることは明らかである。さらに、本発明に係る光
磁気記録媒体が一面にのみ記録層を有する光ディスクだ
けでなく、いわゆる両面光ディスクにも適用できること
も明らかである。
層によって保護することによって、その耐食性をさらに
高め得ることは明らかである。さらに、本発明に係る光
磁気記録媒体が一面にのみ記録層を有する光ディスクだ
けでなく、いわゆる両面光ディスクにも適用できること
も明らかである。
以上説明したように、本発明に係る磁気光学記録媒体
においては、Tb−Fe−Coの基本組成を有する記録膜のTb
層にPt元素、FeCo層にCr元素を添加することにより、従
来得られなかった高耐食性薄膜が得られた。その結果磁
気光学記録媒体の信頼性が確保された。従って、本発明
による媒体を用いて実用性のすぐれた光ディスクを作製
することができる。
においては、Tb−Fe−Coの基本組成を有する記録膜のTb
層にPt元素、FeCo層にCr元素を添加することにより、従
来得られなかった高耐食性薄膜が得られた。その結果磁
気光学記録媒体の信頼性が確保された。従って、本発明
による媒体を用いて実用性のすぐれた光ディスクを作製
することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 11/10 506 G11B 11/10 501
Claims (2)
- 【請求項１】透明基板上に光磁気記録層を有する光磁気
記録媒体において、前記光磁気記録層が、Ptが添加され
たTb層とCrが添加されたFe−Co層との積層構造を有する
ことを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項２】前記Tb層中のPt添加量が0.1at％以上かつ1
0at％以下であり、前記Fe−Co層中のCr添加量が0.1at％
以上かつ20at％以下であることを特徴とする請求項１に
記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3368490A JP2918599B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3368490A JP2918599B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238639A JPH03238639A (ja) | 1991-10-24 |
| JP2918599B2 true JP2918599B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=12393263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3368490A Expired - Fee Related JP2918599B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2918599B2 (ja) |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP3368490A patent/JP2918599B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03238639A (ja) | 1991-10-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0168046B1 (en) | Magneto-optical recording material | |
| JP2504946B2 (ja) | 光磁気記録用媒体 | |
| EP0310680A1 (en) | Photomagnetic recording membrane | |
| JP2918599B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH01124131A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0550400B2 (ja) | ||
| US4980875A (en) | Magneto-optical disk with perpendicular magnetic anisotropy film and high corrosion-resistant film | |
| JPS62281139A (ja) | 光磁気デイスク | |
| JP2680586B2 (ja) | 光磁気記憶媒体 | |
| JPH0757312A (ja) | 光磁気薄膜および光磁気記録媒体 | |
| JP2629062B2 (ja) | 光磁気メモリ用媒体 | |
| JPH07107757B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2948589B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6353735A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6358641A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS63152043A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2723905B2 (ja) | 情報記録材料の製造方法 | |
| JPS62273636A (ja) | 光磁気記録用媒体 | |
| JP3237977B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH01154334A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS62200551A (ja) | 光磁気記録用媒体 | |
| JPS6318544A (ja) | 光磁気メモリ用媒体 | |
| JPS62239447A (ja) | 光磁気記録用媒体 | |
| JPS61144743A (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS6358642A (ja) | 光磁気記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |