JPS61107555A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61107555A JPS61107555A JP22951384A JP22951384A JPS61107555A JP S61107555 A JPS61107555 A JP S61107555A JP 22951384 A JP22951384 A JP 22951384A JP 22951384 A JP22951384 A JP 22951384A JP S61107555 A JPS61107555 A JP S61107555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording medium
- content
- axis
- easy magnetization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
- G11B11/10589—Details
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光磁気ディスクメモリに用いられる磁性４膜記
録媒体に関するもので、更に詳しくは膜面と垂直方向に
磁化容易軸を有し、し、−ザーなどの光ビームを照射し
た領域に反転磁区を作ることにより情報を記録すること
ができ、磁気光学効果を利用して読み出すことのできる
磁性薄膜記録媒体に関するものである。
録媒体に関するもので、更に詳しくは膜面と垂直方向に
磁化容易軸を有し、し、−ザーなどの光ビームを照射し
た領域に反転磁区を作ることにより情報を記録すること
ができ、磁気光学効果を利用して読み出すことのできる
磁性薄膜記録媒体に関するものである。
（従来技術とその問題点）
光デイスクメモリは高密度・大容量記録が可能であり、
かつ非接触・高速アクセスもできるという点から、大容
量ファイルメモリの一つとして近年注目を集めている。
かつ非接触・高速アクセスもできるという点から、大容
量ファイルメモリの一つとして近年注目を集めている。
その中でも光磁気ディスクメモリは記録情報の書き換え
が可能であるという利点を持っているととから、各所で
盛んに研究されている。
が可能であるという利点を持っているととから、各所で
盛んに研究されている。
従来、その記録媒体としてはＭｎＢ１ 、 ＭｎＣｕＢ
１などの多結晶体薄膜、Ｔｂ、Ｇｄ、Ｄｙなどの希土類
金属と、Ｆｅ、Ｃｏなどの鉄族遷移金属との組み合わせ
によって作成される非晶質磁性合金？４膜、ＧＩＧなど
の単結晶薄膜などが知られている。これらの薄膜のうち
で、非晶質磁性合金薄膜は書き込み感度が高く、膜面に
垂直方向の磁気異方性が大面積で安定に作れ、しかも非
晶質のため粒界ノイズが小さく ８／Ｎ比良く読み出す
ことができるなどの利点があるため、記録媒体として最
も有望視され゛ている。
１などの多結晶体薄膜、Ｔｂ、Ｇｄ、Ｄｙなどの希土類
金属と、Ｆｅ、Ｃｏなどの鉄族遷移金属との組み合わせ
によって作成される非晶質磁性合金？４膜、ＧＩＧなど
の単結晶薄膜などが知られている。これらの薄膜のうち
で、非晶質磁性合金薄膜は書き込み感度が高く、膜面に
垂直方向の磁気異方性が大面積で安定に作れ、しかも非
晶質のため粒界ノイズが小さく ８／Ｎ比良く読み出す
ことができるなどの利点があるため、記録媒体として最
も有望視され゛ている。
しかしながら、この非晶質磁性合金薄膜は、耐磁性に劣
り酸化や腐食が生じ易いという欠点を有している。この
ため経時変化により記録状態が変化したり使用環境によ
っては記録・再生共に不可能となるという、信頼性上極
めて不都合な問題が生じていた。
り酸化や腐食が生じ易いという欠点を有している。この
ため経時変化により記録状態が変化したり使用環境によ
っては記録・再生共に不可能となるという、信頼性上極
めて不都合な問題が生じていた。
（発明の目的）
本発明は上記問題を解決するために成されたものであり
、耐候性が優れた非晶質磁性合金薄膜を記録媒体とした
光磁気記録媒体を提供することにある。
、耐候性が優れた非晶質磁性合金薄膜を記録媒体とした
光磁気記録媒体を提供することにある。
（発明の構成）
本発明にかかる光磁気記録媒体は膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有し希土類元素と鉄族遷移元素とＰｔを含む磁
性合金を記録層とすることを特徴とする。
容易軸を有し希土類元素と鉄族遷移元素とＰｔを含む磁
性合金を記録層とすることを特徴とする。
（実施例）
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
膜の作製には高速三極スパッタ装置を用いた。これはス
パッタソースがターゲットのほかに熱電子を発生するフ
ィラメントと熱電子を誘導するアノード電極から成るも
ので、スパッタソース内に導入される人ｒガスが熱電子
によって電離され、ターゲットに印加される負にバイア
スされた高周波電力により通常の高周波スパッタと同様
のスパッタが高速で行われる。ターゲットとしてはＦｅ
の上に、ＴｂとＰｔのチップを分散配置した複合ター
ゲットを用いた。組成はターゲットの面積比でＴＪ６
Ｐｅ？＠ −Ｘ Ｐ ｔｘ （０≦Ｘ≦１０）となる様
に、調整した。以下に主なスパッタ条件を示す。
パッタソースがターゲットのほかに熱電子を発生するフ
ィラメントと熱電子を誘導するアノード電極から成るも
ので、スパッタソース内に導入される人ｒガスが熱電子
によって電離され、ターゲットに印加される負にバイア
スされた高周波電力により通常の高周波スパッタと同様
のスパッタが高速で行われる。ターゲットとしてはＦｅ
の上に、ＴｂとＰｔのチップを分散配置した複合ター
ゲットを用いた。組成はターゲットの面積比でＴＪ６
Ｐｅ？＠ −Ｘ Ｐ ｔｘ （０≦Ｘ≦１０）となる様
に、調整した。以下に主なスパッタ条件を示す。
ターゲット Ｔｂ１（ＩＦｅ４６−、ｚＰｔｘ（
０≦Ｘ≦１０）基板 ガラス 背圧 ５Ｘ１０””’以下 Ａｒガス圧 ７Ｘ１０’Ｔ・Ｃ「スパッタパワー
１６ Ｗ、Ａゴ ミ極間距離 １５ｃ！ｌＬ プラズマ電圧 ７０Ｖ プラズマ電流 ５人 １、・ この様にして作製された膜厚１５００＾の膜は、膜面に
垂直方向に磁化容易軸を有し又Ｘ線的に非晶質であった
。膜の組成はＸＭＡによれば、Ｐｔを含まないｘ＝Ｏの
場合Ｔｂ ２６ ａｔ％であり、ｐｉを含む場合、その
膜中のＰｔ量（ａｔ％）は夕→′ットの面積比とほぼ一
致した。ｐｔの膜中の含有量が増えるに伴い、膜の補償
組成は’Ｉ’ｂ ＩＪプツチ側へフトした。すなわち、
前述の条件ではｘ ２０で、膜のカーヒステリシス曲線
は補償組成に対してＴｂ ＩＪタッチ形をしているが、
Ｐｔの添加に伴いそのＨｃは増大し、補償組成となり、
さらにＰｔが増加するとＦｅ ’Ｊプツチ形へ変化し、
Ｈｃは低下した。尚ｘ〉１０では垂直磁化膜は得られな
かった。ここで、ｐｔの含有量が異なる３種の膜厚（ｘ
＝ｏ ）、 Ｂ （ｘ＝３．９ ）及びＣ（ｘ＝ ７．
８ ）を選び、６０℃、８０％の条件で耐環境試験を行
った。
０≦Ｘ≦１０）基板 ガラス 背圧 ５Ｘ１０””’以下 Ａｒガス圧 ７Ｘ１０’Ｔ・Ｃ「スパッタパワー
１６ Ｗ、Ａゴ ミ極間距離 １５ｃ！ｌＬ プラズマ電圧 ７０Ｖ プラズマ電流 ５人 １、・ この様にして作製された膜厚１５００＾の膜は、膜面に
垂直方向に磁化容易軸を有し又Ｘ線的に非晶質であった
。膜の組成はＸＭＡによれば、Ｐｔを含まないｘ＝Ｏの
場合Ｔｂ ２６ ａｔ％であり、ｐｉを含む場合、その
膜中のＰｔ量（ａｔ％）は夕→′ットの面積比とほぼ一
致した。ｐｔの膜中の含有量が増えるに伴い、膜の補償
組成は’Ｉ’ｂ ＩＪプツチ側へフトした。すなわち、
前述の条件ではｘ ２０で、膜のカーヒステリシス曲線
は補償組成に対してＴｂ ＩＪタッチ形をしているが、
Ｐｔの添加に伴いそのＨｃは増大し、補償組成となり、
さらにＰｔが増加するとＦｅ ’Ｊプツチ形へ変化し、
Ｈｃは低下した。尚ｘ〉１０では垂直磁化膜は得られな
かった。ここで、ｐｔの含有量が異なる３種の膜厚（ｘ
＝ｏ ）、 Ｂ （ｘ＝３．９ ）及びＣ（ｘ＝ ７．
８ ）を選び、６０℃、８０％の条件で耐環境試験を行
った。
第１図はこのときのカーヒステリシス曲線の経時変化を
示したものである。これらの膜はスタート時はいずれも
角形比１のカーヒステリシス曲線を有し、人は補償組成
に対してＴｂ ＩＪタッチＢ、ＣはＦａ ’Ｊプツチ形
を有していたものである。第１図によると、１２５時間
後には人はＴｂ ＩＪタッチらＦｅリッチの形になると
共に、垂直異方性もなくなりてしまった。一方、Ｂは１
２５時間後は抗磁力Ｈｅ及びカー回転角θに共にかなり
低下するもののカーヒステリシス曲線の角形性及び方向
性は維持されている。Ｃは２４５時間後も良好なるカー
ヒステリシス曲線を有し、カー回転角θに、抗磁力Ｈｃ
共に変化は小さかった。以上の結果は、ｐｔ含有量の増
加が、膜の耐候性向上に、有効であることを示している
。
示したものである。これらの膜はスタート時はいずれも
角形比１のカーヒステリシス曲線を有し、人は補償組成
に対してＴｂ ＩＪタッチＢ、ＣはＦａ ’Ｊプツチ形
を有していたものである。第１図によると、１２５時間
後には人はＴｂ ＩＪタッチらＦｅリッチの形になると
共に、垂直異方性もなくなりてしまった。一方、Ｂは１
２５時間後は抗磁力Ｈｅ及びカー回転角θに共にかなり
低下するもののカーヒステリシス曲線の角形性及び方向
性は維持されている。Ｃは２４５時間後も良好なるカー
ヒステリシス曲線を有し、カー回転角θに、抗磁力Ｈｃ
共に変化は小さかった。以上の結果は、ｐｔ含有量の増
加が、膜の耐候性向上に、有効であることを示している
。
さらに、前述の組成の膜を常温常湿中に、２００日間放
置したところλＩこは膜面が全面腐食し黄色く変色した
のに対し、Ｂ、Ｃは殆ど全面にわたって金属光たくを維
持した。以上述べたｐｔの含有効果は、上述の組成に限
定されるものではなくＴｂｘＦｅ１６６−Ｘ （１８≦
Ｘ≦３５ａｔ％）に対して同様の耐候性向上が見られた
。
置したところλＩこは膜面が全面腐食し黄色く変色した
のに対し、Ｂ、Ｃは殆ど全面にわたって金属光たくを維
持した。以上述べたｐｔの含有効果は、上述の組成に限
定されるものではなくＴｂｘＦｅ１６６−Ｘ （１８≦
Ｘ≦３５ａｔ％）に対して同様の耐候性向上が見られた
。
（発明の効果）
以上の実施例ではｐｔの含有効果としてＴｂＦｅに対し
て述べたが、他の希土類と鉄族遷移全域からなる合金１
例えばＴｂＦｅＣｏ 、 ＧｄＴｂＦｅ 、 ＧｄＴｂ
ＦｅＣｏ。
て述べたが、他の希土類と鉄族遷移全域からなる合金１
例えばＴｂＦｅＣｏ 、 ＧｄＴｂＦｅ 、 ＧｄＴｂ
ＦｅＣｏ。
ＴｂＤｙＦｅ 、 ＴｂＦｅＮｉ 、 ＧｄＴｂＦｅＣ
ｏＮｉに対しても同様の効果を有することは言うまでも
ない。以上述べた様に、本発明によれば耐候性が優れた
非晶質磁性合金薄膜を記録層とした光磁気記録媒体を提
供できる。
ｏＮｉに対しても同様の効果を有することは言うまでも
ない。以上述べた様に、本発明によれば耐候性が優れた
非晶質磁性合金薄膜を記録層とした光磁気記録媒体を提
供できる。
第１図はカーヒステリシス曲線の経時変化と、ｐｔ含有
量との関係を示した図である。
量との関係を示した図である。
Claims (2)
- （１）膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、希土類元素
と鉄族遷移元素とＰｔを含む磁性合金を記録層とする光
磁気記録媒体。 - （２）Ｐｔ含有量が、１０ａｔ％以下である特許請求の
範囲第１項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22951384A JPS61107555A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22951384A JPS61107555A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61107555A true JPS61107555A (ja) | 1986-05-26 |
Family
ID=16893348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22951384A Pending JPS61107555A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61107555A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117749A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS63171877A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Mitsubishi Kasei Corp | 複合タ−ゲツト材 |
| JPH0254448A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Nec Corp | 光磁気ディスク媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5984358A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-05-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-10-31 JP JP22951384A patent/JPS61107555A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5984358A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-05-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117749A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH0343697B2 (ja) * | 1984-11-13 | 1991-07-03 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS63171877A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Mitsubishi Kasei Corp | 複合タ−ゲツト材 |
| JPH0254448A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Nec Corp | 光磁気ディスク媒体 |
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