JPS63149823A - 薄膜磁気記録媒体 - Google Patents
薄膜磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS63149823A JPS63149823A JP29614786A JP29614786A JPS63149823A JP S63149823 A JPS63149823 A JP S63149823A JP 29614786 A JP29614786 A JP 29614786A JP 29614786 A JP29614786 A JP 29614786A JP S63149823 A JPS63149823 A JP S63149823A
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- silicon carbide
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- protective film
- film
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- Granted
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は耐久性を向上させた磁性薄膜磁気記録媒体に間
するものである。
するものである。
磁性薄膜磁気記録媒体は、塗布型の磁気記録媒体よりも
高い記録密度を実現できるものとして期待されている。
高い記録密度を実現できるものとして期待されている。
塗布型の磁気記録媒体においては、潤滑効果を発揮する
オイルなどを磁性粉やバインダーとン毘ぜて塗布するこ
とにより、磁気へ・ントとの間で低い摩擦係数を実現し
て、信頼度の高い耐久性を確保している。これに対して
Ｔ＃膜型の磁気記録媒体においては、潤滑層を磁性薄膜
上に形成する必要があるため、塗布型媒体のように高い
信頼性を得ることが難しい。ことに薄膜型媒体では塗布
型の媒体より高密度の記砂密度が期待されているため、
ヘット−媒体間のスペーシング・ロスをより小さくする
ために、表面コーティング層は出来るたけ薄くする必要
がある。そのため必要な耐久性を得ることが増々難しく
なる。
オイルなどを磁性粉やバインダーとン毘ぜて塗布するこ
とにより、磁気へ・ントとの間で低い摩擦係数を実現し
て、信頼度の高い耐久性を確保している。これに対して
Ｔ＃膜型の磁気記録媒体においては、潤滑層を磁性薄膜
上に形成する必要があるため、塗布型媒体のように高い
信頼性を得ることが難しい。ことに薄膜型媒体では塗布
型の媒体より高密度の記砂密度が期待されているため、
ヘット−媒体間のスペーシング・ロスをより小さくする
ために、表面コーティング層は出来るたけ薄くする必要
がある。そのため必要な耐久性を得ることが増々難しく
なる。
薄膜磁気記録媒体においては、保護膜とオイル潤滑層を
有するものが公知となっており、保護膜としてＳ ｉｏ
２．Ｔ ｉ０２ 、Ｓ １３Ｎａ 、ＷＣ。
有するものが公知となっており、保護膜としてＳ ｉｏ
２．Ｔ ｉ０２ 、Ｓ １３Ｎａ 、ＷＣ。
Ｔ ｒ Ｃ＋ Ｓ ｒ Ｃ、Ｂ ４ Ｃなどが公開され
ている。
ている。
しかし特に薄膜フロッピーディスク媒体においては、十
分な信頼性を有するものは得られていない。
分な信頼性を有するものは得られていない。
本発明の目的は、炭化珪素保護膜を有し、かつオイル潤
滑層を有する薄膜磁気記録媒体において、記録密度を高
くすることが可能であり、しかも耐久性の著しく向上し
た媒体を提供することを目的とする。
滑層を有する薄膜磁気記録媒体において、記録密度を高
くすることが可能であり、しかも耐久性の著しく向上し
た媒体を提供することを目的とする。
本発明の薄膜磁気記録媒体は、炭化珪素薄膜を保護膜と
し、オイル潤滑層を有する媒体であって、上記炭化珪素
薄膜の見掛けの密度が２．９１ｇ／ｃｍ、３以上、２．
９８ｇ／ｃｍ３以下であることを特徴とする。すなわち
前述した如く炭化珪素膜を保護膜とする磁気記録媒体は
公知であるが、媒体の耐久性を向上させるためには炭化
珪素膜の見掛は密度が前述したような極めて狭い範囲に
限定されるものであることを本発明者は見い出した。こ
のような炭化珪素はスパッタ法などて形成することがで
きるものである。
し、オイル潤滑層を有する媒体であって、上記炭化珪素
薄膜の見掛けの密度が２．９１ｇ／ｃｍ、３以上、２．
９８ｇ／ｃｍ３以下であることを特徴とする。すなわち
前述した如く炭化珪素膜を保護膜とする磁気記録媒体は
公知であるが、媒体の耐久性を向上させるためには炭化
珪素膜の見掛は密度が前述したような極めて狭い範囲に
限定されるものであることを本発明者は見い出した。こ
のような炭化珪素はスパッタ法などて形成することがで
きるものである。
〔発明の効果〕
この発明によると、例えばＣｏ−Ｃｒ系の垂直８１気記
録媒体上に約２００Ａ程度の厚さを有する炭化珪素膜を
形成し、その上にパーフルオロポリエーテルなどのフッ
素系潤滑オイル層を２００Ａ程度形成し、前記炭化珪素
膜の見掛は密度が２．９１ｇ／ｃｍ３以上、２．９８ｇ
／ｃｍ３以下の時にのみ著しい耐久性の向上が見られ、
見掛は密度が２．９１ｇ／ｃｍ３よりも小さくなったり
、２．９８ｇ／ｃｍ３よりも大きくなフたりすると急激
に耐久性が低下する。これは見掛は密度が２．９１〜２
．９８ｇ／ｃｍ３の範囲の炭化珪素膜は、その上に形成
される潤滑オイルのヘッド摺動による枯渇を防ぐために
適当な表面凹凸を有し、さらにヘッド摺動時に実現する
と考えられる境界潤滑領域においても炭化珪素膜の摩耗
粉の形成が極めて少′ないことによっているものと考え
られる。
録媒体上に約２００Ａ程度の厚さを有する炭化珪素膜を
形成し、その上にパーフルオロポリエーテルなどのフッ
素系潤滑オイル層を２００Ａ程度形成し、前記炭化珪素
膜の見掛は密度が２．９１ｇ／ｃｍ３以上、２．９８ｇ
／ｃｍ３以下の時にのみ著しい耐久性の向上が見られ、
見掛は密度が２．９１ｇ／ｃｍ３よりも小さくなったり
、２．９８ｇ／ｃｍ３よりも大きくなフたりすると急激
に耐久性が低下する。これは見掛は密度が２．９１〜２
．９８ｇ／ｃｍ３の範囲の炭化珪素膜は、その上に形成
される潤滑オイルのヘッド摺動による枯渇を防ぐために
適当な表面凹凸を有し、さらにヘッド摺動時に実現する
と考えられる境界潤滑領域においても炭化珪素膜の摩耗
粉の形成が極めて少′ないことによっているものと考え
られる。
本発明に用いた薄膜型の磁気記録媒体は、フレキシブル
な高分子基板の両面にそれぞれ０．５μｍ厚のパーマロ
イ層と０．２μｍ厚のＣｏ−Ｃｒ層を２層に形成したも
のである。この媒体上にＳｉＣターゲットを用いて高周
波スパッタ法により、厚さ２０ＯＡの炭化珪素膜を形成
した。なお炭化珪素膜の見掛は密度はガラス基板上に形
成して測定した。
な高分子基板の両面にそれぞれ０．５μｍ厚のパーマロ
イ層と０．２μｍ厚のＣｏ−Ｃｒ層を２層に形成したも
のである。この媒体上にＳｉＣターゲットを用いて高周
波スパッタ法により、厚さ２０ＯＡの炭化珪素膜を形成
した。なお炭化珪素膜の見掛は密度はガラス基板上に形
成して測定した。
この見掛は密度測定用の試料は次のように作製した。ガ
ラス基板をスパッタ装置の基板ホルダーにセットし、真
空中で１５０°Ｃ−に加熱して３０分間ガラス基板をベ
ーキングした。次にスパッタ室へのアルゴンガス流人圧
を３Ｘ １０−３ Ｔｏｒｒとし、真空槽のメインパル
プを調整してスパッタガス圧Ｐを所定の圧力とした。高
周波電力を３００Ｗとしてプレスパツタを３０分間行い
、しかる後に電力を １８０Ｗに落してからシャッター
を間き、基板温度９０°Ｃのガラス基板上に３ｏｏｏＸ
程度の厚さを有する炭化珪素膜を形成した。この膜の体
積と重量から見掛は密度を計算で求めた。
ラス基板をスパッタ装置の基板ホルダーにセットし、真
空中で１５０°Ｃ−に加熱して３０分間ガラス基板をベ
ーキングした。次にスパッタ室へのアルゴンガス流人圧
を３Ｘ １０−３ Ｔｏｒｒとし、真空槽のメインパル
プを調整してスパッタガス圧Ｐを所定の圧力とした。高
周波電力を３００Ｗとしてプレスパツタを３０分間行い
、しかる後に電力を １８０Ｗに落してからシャッター
を間き、基板温度９０°Ｃのガラス基板上に３ｏｏｏＸ
程度の厚さを有する炭化珪素膜を形成した。この膜の体
積と重量から見掛は密度を計算で求めた。
第１図はアルゴンガス圧Ｐに対する炭化珪素膜の見掛は
密度Ｐの変化を示す。Ｐ ＝ １０ Ｘ １１）−３Ｔ
ｏｒｒ附近てＰは最大となり、３．１５程度の値を示し
ている。
密度Ｐの変化を示す。Ｐ ＝ １０ Ｘ １１）−３Ｔ
ｏｒｒ附近てＰは最大となり、３．１５程度の値を示し
ている。
第２図はアルゴンガス流人圧を変えて、スパッタガス圧
Ｐ ＝ ２０ Ｘ １０１Ｔｏｒｒとした時のアルゴン
カス流入圧に対する見掛は密度ρの変化を示す。
Ｐ ＝ ２０ Ｘ １０１Ｔｏｒｒとした時のアルゴン
カス流入圧に対する見掛は密度ρの変化を示す。
アルゴンガス流入圧カ月、４〜２ Ｘ １０−３Ｔｏｒ
ｒ附近でρは小さくなっている。これらの２つの図から
れかるように、炭化珪素膜の見掛は密度はスパッータア
ルゴンガス圧によって変化し、又アルゴンガス流人圧を
変えても変化する。
ｒ附近でρは小さくなっている。これらの２つの図から
れかるように、炭化珪素膜の見掛は密度はスパッータア
ルゴンガス圧によって変化し、又アルゴンガス流人圧を
変えても変化する。
次に、上記の２つのパラメーターを変えて１．フレキシ
ブル高分子基板上に形成された両面２１’！ｌ！の垂直
磁気記録媒体上に厚ざ２ｏｏＸで見掛は密度の異る炭化
珪素膜を形成した。これから５．２５インチのフロッピ
ーディスクを打ち抜き、浸漬法によってパーフルオロポ
リエーテル（モンテジソン社製、フォンブリン Ｚ−２
５）を約２００λの厚さに塗布した。この媒体をジャケ
ットに入れ、市販のフロッピーディスクドライブとボタ
ン型ヘッドにより、記録・再生によって耐久性を評価し
た。
ブル高分子基板上に形成された両面２１’！ｌ！の垂直
磁気記録媒体上に厚ざ２ｏｏＸで見掛は密度の異る炭化
珪素膜を形成した。これから５．２５インチのフロッピ
ーディスクを打ち抜き、浸漬法によってパーフルオロポ
リエーテル（モンテジソン社製、フォンブリン Ｚ−２
５）を約２００λの厚さに塗布した。この媒体をジャケ
ットに入れ、市販のフロッピーディスクドライブとボタ
ン型ヘッドにより、記録・再生によって耐久性を評価し
た。
パッド圧は１５ｇ、ディスク回転数は３ＱＯｒｐｍであ
る。
る。
再生出力が初期値の８０％に低下するまでの回転ゝ数を
もって耐久性とした。その結果、アルゴンガス圧Ｐやア
ルゴンガス流人圧よりも、むしろ見掛は密度Ｐと耐久性
についての顕著な関係が見い出された。その結果を第３
図に示す。すなわちρ＝２．９１〜２．９８ｇ’／ｃｍ
”の狭い密度範囲でのみ高い耐久性を示し、特にｏ ＝
２．９２〜２．９７ｇ／ｃｍ３ては４００万バスを越
える耐久性が得られている。この理由は明らかではない
が、恐らく密度ρが上記の範囲となる炭化珪素膜は、こ
の上に形成される潤滑オイルのヘッド摺動による枯渇を
防ぐのに適度な表面凹凸を有しており、又ヘット摺動時
に局所的に実現していると思われる境界潤滑領域におい
ても、炭化珪素膜の摩耗粉の形成が最も少ないことによ
るものであろう。
もって耐久性とした。その結果、アルゴンガス圧Ｐやア
ルゴンガス流人圧よりも、むしろ見掛は密度Ｐと耐久性
についての顕著な関係が見い出された。その結果を第３
図に示す。すなわちρ＝２．９１〜２．９８ｇ’／ｃｍ
”の狭い密度範囲でのみ高い耐久性を示し、特にｏ ＝
２．９２〜２．９７ｇ／ｃｍ３ては４００万バスを越
える耐久性が得られている。この理由は明らかではない
が、恐らく密度ρが上記の範囲となる炭化珪素膜は、こ
の上に形成される潤滑オイルのヘッド摺動による枯渇を
防ぐのに適度な表面凹凸を有しており、又ヘット摺動時
に局所的に実現していると思われる境界潤滑領域におい
ても、炭化珪素膜の摩耗粉の形成が最も少ないことによ
るものであろう。
本発明で実施した垂直媒体を、主磁極厚０．２６μｍの
主磁極励磁型垂直ヘッドで記録・再生評価したところ、
再生出力が低密度側出力の半分となる記録密度Ｄ５０く
再生出力が低密度の再生出力の半分になる記録密度）と
して９２ＫＢＰＩ（キロビットパーインチ）が得られた
。すなわち保護膜のうに高い記録密度が実現できた。
主磁極励磁型垂直ヘッドで記録・再生評価したところ、
再生出力が低密度側出力の半分となる記録密度Ｄ５０く
再生出力が低密度の再生出力の半分になる記録密度）と
して９２ＫＢＰＩ（キロビットパーインチ）が得られた
。すなわち保護膜のうに高い記録密度が実現できた。
本発明の実施例では、フレキシブル基板の両面に垂直磁
気記録層を形成した媒体上に炭化珪素膜を形成した例を
示したが、薄膜型の媒体であればテープ状媒体、あるい
はハードディスク状媒体にも適用できるものである。又
、潤滑オイルも本実施例に限定されるものではなく、パ
ーフルオロアルキルポリエーテルのようなものでもよく
、さらに反応基を有するフッ素糸のオイル、又はフロロ
カーボンのようなものでもよい。
気記録層を形成した媒体上に炭化珪素膜を形成した例を
示したが、薄膜型の媒体であればテープ状媒体、あるい
はハードディスク状媒体にも適用できるものである。又
、潤滑オイルも本実施例に限定されるものではなく、パ
ーフルオロアルキルポリエーテルのようなものでもよく
、さらに反応基を有するフッ素糸のオイル、又はフロロ
カーボンのようなものでもよい。
第１図はスパッタアルゴンガス圧に対する炭化珪素膜の
見掛は密度を示す図であり、第２図はアルゴンガス流入
圧に対する炭化珪素膜の見掛は密度を示す図であり、第
３図は炭化珪素膜の見掛は密度とフロッピーディスクの
耐久性の関係を示す図である。 イ１喝 Ａづ翫入凡（Ｔｏγ、−） Ｊ（＞／（−τ（５）
見掛は密度を示す図であり、第２図はアルゴンガス流入
圧に対する炭化珪素膜の見掛は密度を示す図であり、第
３図は炭化珪素膜の見掛は密度とフロッピーディスクの
耐久性の関係を示す図である。 イ１喝 Ａづ翫入凡（Ｔｏγ、−） Ｊ（＞／（−τ（５）
Claims (1)
- （１）非磁性基板上に磁性薄膜からなる磁気記録層を有
し、前記磁気記録層上に炭化珪素保護膜とオイル潤滑層
を有する磁気記録媒体において、前記炭化珪素保護膜の
見掛け密度が２．９１ｇ／ｃｍ＾３以上、２．９８ｇ／
ｃｍ＾３以下であることを特徴とする薄膜磁気記録媒体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29614786A JPS63149823A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 薄膜磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29614786A JPS63149823A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 薄膜磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149823A true JPS63149823A (ja) | 1988-06-22 |
| JPH0465457B2 JPH0465457B2 (ja) | 1992-10-20 |
Family
ID=17829757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29614786A Granted JPS63149823A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 薄膜磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149823A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58185029A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-10-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気デイスク媒体 |
| JPS59127230A (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-23 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS6297123A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-06 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気デイスク |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP29614786A patent/JPS63149823A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58185029A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-10-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気デイスク媒体 |
| JPS59127230A (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-23 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS6297123A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-06 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気デイスク |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0465457B2 (ja) | 1992-10-20 |
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