JPS58185029A - 磁気デイスク媒体 - Google Patents
磁気デイスク媒体Info
- Publication number
- JPS58185029A JPS58185029A JP57067160A JP6716082A JPS58185029A JP S58185029 A JPS58185029 A JP S58185029A JP 57067160 A JP57067160 A JP 57067160A JP 6716082 A JP6716082 A JP 6716082A JP S58185029 A JPS58185029 A JP S58185029A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- magnetic disk
- lubricant
- fine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/725—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing a lubricant, e.g. organic compounds
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属磁性膜上に微細な粗面を有する5in1
膜を形成することにより潤滑性のすぐれた磁気ディス
ク媒体に関する。
膜を形成することにより潤滑性のすぐれた磁気ディス
ク媒体に関する。
一般に金属磁性薄膜を用いる磁気ディスク媒体は、装置
の起動・停止時に生ずる磁気ヘッドとの接触走行に耐え
る丸めの耐ヘッドクラツシユ性を具える必要があり、更
に磁性薄膜の静時変化を防ぐための耐候性を有すること
4不可決である。このため磁性薄膜の上に保−膜を設け
ている。保護膜としては島などの金属膜、金属磁性薄膜
の表面部分を酸化物化したコンバージ函ン膜、 SiO
□−hO,などの酸化膜、窒化膜。
の起動・停止時に生ずる磁気ヘッドとの接触走行に耐え
る丸めの耐ヘッドクラツシユ性を具える必要があり、更
に磁性薄膜の静時変化を防ぐための耐候性を有すること
4不可決である。このため磁性薄膜の上に保−膜を設け
ている。保護膜としては島などの金属膜、金属磁性薄膜
の表面部分を酸化物化したコンバージ函ン膜、 SiO
□−hO,などの酸化膜、窒化膜。
炭化物膜などが提案されている。このうちStO。
膜は、耐ヘッドクラツシユ性及び耐倶性が優れているた
め、磁気ディスク媒体用保護膜として実際に用いられて
いる。耐ヘッドクラツシユ性をさらに向上し、−渭性能
を上げるためには保護膜表面に液体または固体の潤滑剤
を塗布することが効果的である。ここで金属磁性薄Il
Nを用いた磁気ディスク媒体は、従来の塗布媒体に比べ
磁気エネルギが大きいため高密度記録に遍しているが、
その良めKH情報を一記録・再生する磁気ヘッドの浮上
−関を小さくする必要がある。
め、磁気ディスク媒体用保護膜として実際に用いられて
いる。耐ヘッドクラツシユ性をさらに向上し、−渭性能
を上げるためには保護膜表面に液体または固体の潤滑剤
を塗布することが効果的である。ここで金属磁性薄Il
Nを用いた磁気ディスク媒体は、従来の塗布媒体に比べ
磁気エネルギが大きいため高密度記録に遍しているが、
その良めKH情報を一記録・再生する磁気ヘッドの浮上
−関を小さくする必要がある。
そこで磁気ディスク媒体表面は鏡面状に平滑化されてい
るが、このような磁気ディスク襄体Km接液体ま次は固
体の潤滑剤を塗布し九場合次のような問題がある。
るが、このような磁気ディスク襄体Km接液体ま次は固
体の潤滑剤を塗布し九場合次のような問題がある。
(イ)塗布した潤滑剤は、磁気ディスク媒体の高速−転
による遠心力により媒体表面から飛散するいわゆるスピ
ンオフの現象を生ずる。
による遠心力により媒体表面から飛散するいわゆるスピ
ンオフの現象を生ずる。
(ロ)装置停止時に磁気ヘッドが媒体表面上に静止する
と、潤滑剤やその溶媒0分散剤、界面活性剤および空気
中の水分などが、媒体と磁気ヘッドの関に薄く広がり、
表面張力によ)吸着力が増加する。
と、潤滑剤やその溶媒0分散剤、界面活性剤および空気
中の水分などが、媒体と磁気ヘッドの関に薄く広がり、
表面張力によ)吸着力が増加する。
本発明は上記従来の欠点を解消するえめ、金属磁性膜上
に做細な粗面を有するSin、 膜を形成し、この上
に塗布される潤滑−管良好に維持した磁気ディスク媒体
を提供することを目的とする。
に做細な粗面を有するSin、 膜を形成し、この上
に塗布される潤滑−管良好に維持した磁気ディスク媒体
を提供することを目的とする。
以下に本発明上実施例と共に#alftK説明する。
第1図および第2図に従来のSin、 膜を有する磁
気ディスク媒体の一例を示す。鋏磁気ディスク媒体は1
.9−厚のAj合金板上KNi −p 組成の化学メツ
平膜が3111mの厚さ4總され、更にその上側K N
i =Co−P組成の金属磁性薄膜が@Qnmの厚さに
積層され、該磁性膜の上面に厚さ2Qnmの5j01
膜がスピンコード法によって形成されている。
気ディスク媒体の一例を示す。鋏磁気ディスク媒体は1
.9−厚のAj合金板上KNi −p 組成の化学メツ
平膜が3111mの厚さ4總され、更にその上側K N
i =Co−P組成の金属磁性薄膜が@Qnmの厚さに
積層され、該磁性膜の上面に厚さ2Qnmの5j01
膜がスピンコード法によって形成されている。
一方第3図および第4図に本発明に係る磁気ディスク媒
体の一例を示す。紋磁気ディスク媒体は上記M 合金基
板、N1−Pメッキ膜、N1−co−p 磁性膜を具え
、該磁性膜の上面に保饅膜として微細な粗面會有するS
in、膜が約2011121の厚さに形成されている。
体の一例を示す。紋磁気ディスク媒体は上記M 合金基
板、N1−Pメッキ膜、N1−co−p 磁性膜を具え
、該磁性膜の上面に保饅膜として微細な粗面會有するS
in、膜が約2011121の厚さに形成されている。
#siO,膜はRFスパッタ法により形成され、その条
件の一例としては、Sin、 をターゲットとしスパ
ッタ電力1〜3W/j、基板回転速度5 rpm 、
3〜20p、の比較的高いA、圧力状態で実施するとよ
い。
件の一例としては、Sin、 をターゲットとしスパ
ッタ電力1〜3W/j、基板回転速度5 rpm 、
3〜20p、の比較的高いA、圧力状態で実施するとよ
い。
上記従来のSin、 膜と本発明に係るS!0°−膜
とを比較すると第1図および第3図の顕微鏡写真から明
らかなように従来のSin、 膜はその表面の凸部1
と四部ないし孔部2の起伏が少なく平滑であるのに対し
本発明のSin、 膜はその表面に微細な凸部1と孔な
いし凹部2を多数有し、微細な粗面を形成している。こ
の点を更に第2図および第4図に示すタリステップによ
る表面断面曲線に基づいてみると、従来の Sin、膜
表面はその凹凸が少なく、全体に平滑であることが判る
。−力木発明のSing膜表面社深さ約4nm程度の微
細な凹凸が多数形成されていることが判る。
とを比較すると第1図および第3図の顕微鏡写真から明
らかなように従来のSin、 膜はその表面の凸部1
と四部ないし孔部2の起伏が少なく平滑であるのに対し
本発明のSin、 膜はその表面に微細な凸部1と孔な
いし凹部2を多数有し、微細な粗面を形成している。こ
の点を更に第2図および第4図に示すタリステップによ
る表面断面曲線に基づいてみると、従来の Sin、膜
表面はその凹凸が少なく、全体に平滑であることが判る
。−力木発明のSing膜表面社深さ約4nm程度の微
細な凹凸が多数形成されていることが判る。
この粗面は第3図から明らかなように釣10個/−以上
の微細な孔ないし凹凸から形成されている。
の微細な孔ないし凹凸から形成されている。
以上のように本発明の5ins膜は微細な凹凸ないし孔
による粗面會有するので潤滑剤が曳好に保持され、その
潤滑性にすぐれる。ここで菖1表に磁気ヘッドと磁性媒
体間の潤滑性能を表わす摩擦係数の測定例を示す。ここ
で潤滑剤はクライトツクスAC(デュポン社商品名)を
使用し、これを溶媒で希釈し、塗布量を変えて用いた。
による粗面會有するので潤滑剤が曳好に保持され、その
潤滑性にすぐれる。ここで菖1表に磁気ヘッドと磁性媒
体間の潤滑性能を表わす摩擦係数の測定例を示す。ここ
で潤滑剤はクライトツクスAC(デュポン社商品名)を
使用し、これを溶媒で希釈し、塗布量を変えて用いた。
第 1 表
* 磁気ディスクは外径φ210mm、内径φ100
■本* 磁気ヘッドは曳−zn;yエライト製ウィン
チェスタ形で負衝は6gf 上記第1表から明らかなように本発明の微細粗面を有す
るSi0g膜はその摩擦係数が従前の平滑なSi O,
膜に比べ格段に小さく、これFi調滑剤の全くない場合
は勿論、潤滑剤の塗布量を費え九場合にも小さい。更に
本発明の8108 膜は潤滑剤の塗布量を変え友場合に
も摩擦係数の変化が少ないという利点がある。この結果
、摩擦係数によって潤滑剤の最適塗布量を決定する場合
、潤滑剤の管理が極めて容易になる。又潤滑剤量は摩擦
係数あるいは吸着を増加させない範囲で多いことがスピ
ンオフ及び蒸発の点から望ましく、この点からも粗面を
有する本1明のSiへ膜がすぐれている。
■本* 磁気ヘッドは曳−zn;yエライト製ウィン
チェスタ形で負衝は6gf 上記第1表から明らかなように本発明の微細粗面を有す
るSi0g膜はその摩擦係数が従前の平滑なSi O,
膜に比べ格段に小さく、これFi調滑剤の全くない場合
は勿論、潤滑剤の塗布量を費え九場合にも小さい。更に
本発明の8108 膜は潤滑剤の塗布量を変え友場合に
も摩擦係数の変化が少ないという利点がある。この結果
、摩擦係数によって潤滑剤の最適塗布量を決定する場合
、潤滑剤の管理が極めて容易になる。又潤滑剤量は摩擦
係数あるいは吸着を増加させない範囲で多いことがスピ
ンオフ及び蒸発の点から望ましく、この点からも粗面を
有する本1明のSiへ膜がすぐれている。
ことて上記SjO,膜FiSin、 lターゲットとじ
A「ガス圧を高くし九RFスパッタ法によるはか、”I
をターゲットとじ0意雰囲気中での反応スパッタあるい
tisiをスパッタしたのちこれt弗酸溶液中で陽極酸
化することによっても形成することができる。
A「ガス圧を高くし九RFスパッタ法によるはか、”I
をターゲットとじ0意雰囲気中での反応スパッタあるい
tisiをスパッタしたのちこれt弗酸溶液中で陽極酸
化することによっても形成することができる。
又、ll1lIv剤#′i前述の液体の他、國体祠滑剤
を液状の溶蝶2分散剤、界面活性剤と共Km布した吃の
についても同様な効果がある。
を液状の溶蝶2分散剤、界面活性剤と共Km布した吃の
についても同様な効果がある。
尚、本発明に係る5ift膜の*iirは、その凹凸に
より磁気ヘッドが浮上状態で衝突する程の高さではなく
、その浮上特性に悪影響【与えない。
より磁気ヘッドが浮上状態で衝突する程の高さではなく
、その浮上特性に悪影響【与えない。
以上説明したように本発明に係るSin、膜を有する磁
気ディスク襄体はSin、膜上に液体又は固体の潤滑剤
を塗布17九場合磁気ヘッド媒体間の吸着管防止し、磁
気ヘッドと磁気媒体の摩擦係数を下げるので、接触走行
時における両者の損傷を軽減し、信頼性を高めるという
利点がある。まえ液体または固体の潤滑剤は保護膜上の
像細な孔ないし凹凸にプールされるので、磁気ディスク
が長期間高速回転しても、スピンオフすることがないと
いう利点をも併せもつ。
気ディスク襄体はSin、膜上に液体又は固体の潤滑剤
を塗布17九場合磁気ヘッド媒体間の吸着管防止し、磁
気ヘッドと磁気媒体の摩擦係数を下げるので、接触走行
時における両者の損傷を軽減し、信頼性を高めるという
利点がある。まえ液体または固体の潤滑剤は保護膜上の
像細な孔ないし凹凸にプールされるので、磁気ディスク
が長期間高速回転しても、スピンオフすることがないと
いう利点をも併せもつ。
第1図、第2図は従来の Sin、膜に保シ、第1図は
そのレプリカ像表面の顕微鏡写真、第2図1d@SiO
,膜表面の断面−!Iを示すグラフ、第3図、第4#!
Jは本発明の840B膜に係り、第3図はそのレプリカ
像表面の顕微鏡写真、第4F1!JFi該Sin、膜表
面の断面−5t−示すグラフである。 図中1−凸部、2−凹部ないし孔部である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 9f理十光石士部 (他1名) 市1図 T1.Im yP、’3図 鷺4図
そのレプリカ像表面の顕微鏡写真、第2図1d@SiO
,膜表面の断面−!Iを示すグラフ、第3図、第4#!
Jは本発明の840B膜に係り、第3図はそのレプリカ
像表面の顕微鏡写真、第4F1!JFi該Sin、膜表
面の断面−5t−示すグラフである。 図中1−凸部、2−凹部ないし孔部である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 9f理十光石士部 (他1名) 市1図 T1.Im yP、’3図 鷺4図
Claims (2)
- (1) 金属磁性薄Mを用いる磁気ディスク媒体にお
いて、金属磁性膜上に微細な粗Iiを有するS io、
膜を形成したことを%徽とする磁気ディスク媒体。 - (2) 特許請求の範囲第1頁において上記5101
膜は厚さが30nm以下でToや、上記徽細粗面Fi面
密度10個/−以上の微細な孔からなることを特徴とす
る磁気ディスク媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57067160A JPS58185029A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 磁気デイスク媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57067160A JPS58185029A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 磁気デイスク媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58185029A true JPS58185029A (ja) | 1983-10-28 |
Family
ID=13336860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57067160A Pending JPS58185029A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 磁気デイスク媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58185029A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0130063A2 (en) * | 1983-06-22 | 1985-01-02 | Fujitsu Limited | Magnetic recording media |
JPS61115229A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-02 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
JPS63149823A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4841709A (ja) * | 1971-09-27 | 1973-06-18 | ||
JPS5093404A (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-25 | ||
JPS50104602A (ja) * | 1974-01-21 | 1975-08-18 | ||
JPS50152706A (ja) * | 1975-03-19 | 1975-12-09 | ||
JPS5140902A (ja) * | 1974-10-04 | 1976-04-06 | Fujitsu Ltd | Jikikirokubaitainohogomaku |
-
1982
- 1982-04-23 JP JP57067160A patent/JPS58185029A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS4841709A (ja) * | 1971-09-27 | 1973-06-18 | ||
JPS5093404A (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-25 | ||
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JPS50152706A (ja) * | 1975-03-19 | 1975-12-09 |
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US4675075A (en) * | 1983-06-22 | 1987-06-23 | Fujitsu Limited | Magnetic recording production processes |
JPS61115229A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-02 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
JPS63149823A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体 |
JPH0465457B2 (ja) * | 1986-12-12 | 1992-10-20 | Akai Electric |
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