JPS58185029A - 磁気デイスク媒体 - Google Patents
磁気デイスク媒体Info
- Publication number
- JPS58185029A JPS58185029A JP57067160A JP6716082A JPS58185029A JP S58185029 A JPS58185029 A JP S58185029A JP 57067160 A JP57067160 A JP 57067160A JP 6716082 A JP6716082 A JP 6716082A JP S58185029 A JPS58185029 A JP S58185029A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- magnetic disk
- lubricant
- fine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/725—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing a lubricant, e.g. organic compounds
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属磁性膜上に微細な粗面を有する５ｉｎ１
膜を形成することにより潤滑性のすぐれた磁気ディス
ク媒体に関する。
膜を形成することにより潤滑性のすぐれた磁気ディス
ク媒体に関する。
一般に金属磁性薄膜を用いる磁気ディスク媒体は、装置
の起動・停止時に生ずる磁気ヘッドとの接触走行に耐え
る丸めの耐ヘッドクラツシユ性を具える必要があり、更
に磁性薄膜の静時変化を防ぐための耐候性を有すること
４不可決である。このため磁性薄膜の上に保−膜を設け
ている。保護膜としては島などの金属膜、金属磁性薄膜
の表面部分を酸化物化したコンバージ函ン膜、 ＳｉＯ
□−ｈＯ，などの酸化膜、窒化膜。
の起動・停止時に生ずる磁気ヘッドとの接触走行に耐え
る丸めの耐ヘッドクラツシユ性を具える必要があり、更
に磁性薄膜の静時変化を防ぐための耐候性を有すること
４不可決である。このため磁性薄膜の上に保−膜を設け
ている。保護膜としては島などの金属膜、金属磁性薄膜
の表面部分を酸化物化したコンバージ函ン膜、 ＳｉＯ
□−ｈＯ，などの酸化膜、窒化膜。
炭化物膜などが提案されている。このうちＳｔＯ。
膜は、耐ヘッドクラツシユ性及び耐倶性が優れているた
め、磁気ディスク媒体用保護膜として実際に用いられて
いる。耐ヘッドクラツシユ性をさらに向上し、−渭性能
を上げるためには保護膜表面に液体または固体の潤滑剤
を塗布することが効果的である。ここで金属磁性薄Ｉｌ
Ｎを用いた磁気ディスク媒体は、従来の塗布媒体に比べ
磁気エネルギが大きいため高密度記録に遍しているが、
その良めＫＨ情報を一記録・再生する磁気ヘッドの浮上
−関を小さくする必要がある。
め、磁気ディスク媒体用保護膜として実際に用いられて
いる。耐ヘッドクラツシユ性をさらに向上し、−渭性能
を上げるためには保護膜表面に液体または固体の潤滑剤
を塗布することが効果的である。ここで金属磁性薄Ｉｌ
Ｎを用いた磁気ディスク媒体は、従来の塗布媒体に比べ
磁気エネルギが大きいため高密度記録に遍しているが、
その良めＫＨ情報を一記録・再生する磁気ヘッドの浮上
−関を小さくする必要がある。
そこで磁気ディスク媒体表面は鏡面状に平滑化されてい
るが、このような磁気ディスク襄体Ｋｍ接液体ま次は固
体の潤滑剤を塗布し九場合次のような問題がある。
るが、このような磁気ディスク襄体Ｋｍ接液体ま次は固
体の潤滑剤を塗布し九場合次のような問題がある。
（イ）塗布した潤滑剤は、磁気ディスク媒体の高速−転
による遠心力により媒体表面から飛散するいわゆるスピ
ンオフの現象を生ずる。
による遠心力により媒体表面から飛散するいわゆるスピ
ンオフの現象を生ずる。
（ロ）装置停止時に磁気ヘッドが媒体表面上に静止する
と、潤滑剤やその溶媒０分散剤、界面活性剤および空気
中の水分などが、媒体と磁気ヘッドの関に薄く広がり、
表面張力によ）吸着力が増加する。
と、潤滑剤やその溶媒０分散剤、界面活性剤および空気
中の水分などが、媒体と磁気ヘッドの関に薄く広がり、
表面張力によ）吸着力が増加する。
本発明は上記従来の欠点を解消するえめ、金属磁性膜上
に做細な粗面を有するＳｉｎ、 膜を形成し、この上
に塗布される潤滑−管良好に維持した磁気ディスク媒体
を提供することを目的とする。
に做細な粗面を有するＳｉｎ、 膜を形成し、この上
に塗布される潤滑−管良好に維持した磁気ディスク媒体
を提供することを目的とする。
以下に本発明上実施例と共に＃ａｌｆｔＫ説明する。
第１図および第２図に従来のＳｉｎ、 膜を有する磁
気ディスク媒体の一例を示す。鋏磁気ディスク媒体は１
．９−厚のＡｊ合金板上ＫＮｉ −ｐ 組成の化学メツ
平膜が３１１１ｍの厚さ４總され、更にその上側Ｋ Ｎ
ｉ ＝Ｃｏ−Ｐ組成の金属磁性薄膜が＠Ｑｎｍの厚さに
積層され、該磁性膜の上面に厚さ２Ｑｎｍの５ｊ０１
膜がスピンコード法によって形成されている。
気ディスク媒体の一例を示す。鋏磁気ディスク媒体は１
．９−厚のＡｊ合金板上ＫＮｉ −ｐ 組成の化学メツ
平膜が３１１１ｍの厚さ４總され、更にその上側Ｋ Ｎ
ｉ ＝Ｃｏ−Ｐ組成の金属磁性薄膜が＠Ｑｎｍの厚さに
積層され、該磁性膜の上面に厚さ２Ｑｎｍの５ｊ０１
膜がスピンコード法によって形成されている。
一方第３図および第４図に本発明に係る磁気ディスク媒
体の一例を示す。紋磁気ディスク媒体は上記Ｍ 合金基
板、Ｎ１−Ｐメッキ膜、Ｎ１−ｃｏ−ｐ 磁性膜を具え
、該磁性膜の上面に保饅膜として微細な粗面會有するＳ
ｉｎ、膜が約２０１１１２１の厚さに形成されている。
体の一例を示す。紋磁気ディスク媒体は上記Ｍ 合金基
板、Ｎ１−Ｐメッキ膜、Ｎ１−ｃｏ−ｐ 磁性膜を具え
、該磁性膜の上面に保饅膜として微細な粗面會有するＳ
ｉｎ、膜が約２０１１１２１の厚さに形成されている。
＃ｓｉＯ，膜はＲＦスパッタ法により形成され、その条
件の一例としては、Ｓｉｎ、 をターゲットとしスパ
ッタ電力１〜３Ｗ／ｊ、基板回転速度５ ｒｐｍ 、
３〜２０ｐ、の比較的高いＡ、圧力状態で実施するとよ
い。
件の一例としては、Ｓｉｎ、 をターゲットとしスパ
ッタ電力１〜３Ｗ／ｊ、基板回転速度５ ｒｐｍ 、
３〜２０ｐ、の比較的高いＡ、圧力状態で実施するとよ
い。
上記従来のＳｉｎ、 膜と本発明に係るＳ！０°−膜
とを比較すると第１図および第３図の顕微鏡写真から明
らかなように従来のＳｉｎ、 膜はその表面の凸部１
と四部ないし孔部２の起伏が少なく平滑であるのに対し
本発明のＳｉｎ、 膜はその表面に微細な凸部１と孔な
いし凹部２を多数有し、微細な粗面を形成している。こ
の点を更に第２図および第４図に示すタリステップによ
る表面断面曲線に基づいてみると、従来の Ｓｉｎ、膜
表面はその凹凸が少なく、全体に平滑であることが判る
。−力木発明のＳｉｎｇ膜表面社深さ約４ｎｍ程度の微
細な凹凸が多数形成されていることが判る。
とを比較すると第１図および第３図の顕微鏡写真から明
らかなように従来のＳｉｎ、 膜はその表面の凸部１
と四部ないし孔部２の起伏が少なく平滑であるのに対し
本発明のＳｉｎ、 膜はその表面に微細な凸部１と孔な
いし凹部２を多数有し、微細な粗面を形成している。こ
の点を更に第２図および第４図に示すタリステップによ
る表面断面曲線に基づいてみると、従来の Ｓｉｎ、膜
表面はその凹凸が少なく、全体に平滑であることが判る
。−力木発明のＳｉｎｇ膜表面社深さ約４ｎｍ程度の微
細な凹凸が多数形成されていることが判る。
この粗面は第３図から明らかなように釣１０個／−以上
の微細な孔ないし凹凸から形成されている。
の微細な孔ないし凹凸から形成されている。
以上のように本発明の５ｉｎｓ膜は微細な凹凸ないし孔
による粗面會有するので潤滑剤が曳好に保持され、その
潤滑性にすぐれる。ここで菖１表に磁気ヘッドと磁性媒
体間の潤滑性能を表わす摩擦係数の測定例を示す。ここ
で潤滑剤はクライトツクスＡＣ（デュポン社商品名）を
使用し、これを溶媒で希釈し、塗布量を変えて用いた。
による粗面會有するので潤滑剤が曳好に保持され、その
潤滑性にすぐれる。ここで菖１表に磁気ヘッドと磁性媒
体間の潤滑性能を表わす摩擦係数の測定例を示す。ここ
で潤滑剤はクライトツクスＡＣ（デュポン社商品名）を
使用し、これを溶媒で希釈し、塗布量を変えて用いた。
第 １ 表
＊ 磁気ディスクは外径φ２１０ｍｍ、内径φ１００
■本＊ 磁気ヘッドは曳−ｚｎ；ｙエライト製ウィン
チェスタ形で負衝は６ｇｆ 上記第１表から明らかなように本発明の微細粗面を有す
るＳｉ０ｇ膜はその摩擦係数が従前の平滑なＳｉ Ｏ，
膜に比べ格段に小さく、これＦｉ調滑剤の全くない場合
は勿論、潤滑剤の塗布量を費え九場合にも小さい。更に
本発明の８１０８ 膜は潤滑剤の塗布量を変え友場合に
も摩擦係数の変化が少ないという利点がある。この結果
、摩擦係数によって潤滑剤の最適塗布量を決定する場合
、潤滑剤の管理が極めて容易になる。又潤滑剤量は摩擦
係数あるいは吸着を増加させない範囲で多いことがスピ
ンオフ及び蒸発の点から望ましく、この点からも粗面を
有する本１明のＳｉへ膜がすぐれている。
■本＊ 磁気ヘッドは曳−ｚｎ；ｙエライト製ウィン
チェスタ形で負衝は６ｇｆ 上記第１表から明らかなように本発明の微細粗面を有す
るＳｉ０ｇ膜はその摩擦係数が従前の平滑なＳｉ Ｏ，
膜に比べ格段に小さく、これＦｉ調滑剤の全くない場合
は勿論、潤滑剤の塗布量を費え九場合にも小さい。更に
本発明の８１０８ 膜は潤滑剤の塗布量を変え友場合に
も摩擦係数の変化が少ないという利点がある。この結果
、摩擦係数によって潤滑剤の最適塗布量を決定する場合
、潤滑剤の管理が極めて容易になる。又潤滑剤量は摩擦
係数あるいは吸着を増加させない範囲で多いことがスピ
ンオフ及び蒸発の点から望ましく、この点からも粗面を
有する本１明のＳｉへ膜がすぐれている。
ことて上記ＳｊＯ，膜ＦｉＳｉｎ、 ｌターゲットとじ
Ａ「ガス圧を高くし九ＲＦスパッタ法によるはか、”Ｉ
をターゲットとじ０意雰囲気中での反応スパッタあるい
ｔｉｓｉをスパッタしたのちこれｔ弗酸溶液中で陽極酸
化することによっても形成することができる。
Ａ「ガス圧を高くし九ＲＦスパッタ法によるはか、”Ｉ
をターゲットとじ０意雰囲気中での反応スパッタあるい
ｔｉｓｉをスパッタしたのちこれｔ弗酸溶液中で陽極酸
化することによっても形成することができる。
又、ｌｌ１ｌＩｖ剤＃′ｉ前述の液体の他、國体祠滑剤
を液状の溶蝶２分散剤、界面活性剤と共Ｋｍ布した吃の
についても同様な効果がある。
を液状の溶蝶２分散剤、界面活性剤と共Ｋｍ布した吃の
についても同様な効果がある。
尚、本発明に係る５ｉｆｔ膜の＊ｉｉｒは、その凹凸に
より磁気ヘッドが浮上状態で衝突する程の高さではなく
、その浮上特性に悪影響【与えない。
より磁気ヘッドが浮上状態で衝突する程の高さではなく
、その浮上特性に悪影響【与えない。
以上説明したように本発明に係るＳｉｎ、膜を有する磁
気ディスク襄体はＳｉｎ、膜上に液体又は固体の潤滑剤
を塗布１７九場合磁気ヘッド媒体間の吸着管防止し、磁
気ヘッドと磁気媒体の摩擦係数を下げるので、接触走行
時における両者の損傷を軽減し、信頼性を高めるという
利点がある。まえ液体または固体の潤滑剤は保護膜上の
像細な孔ないし凹凸にプールされるので、磁気ディスク
が長期間高速回転しても、スピンオフすることがないと
いう利点をも併せもつ。
気ディスク襄体はＳｉｎ、膜上に液体又は固体の潤滑剤
を塗布１７九場合磁気ヘッド媒体間の吸着管防止し、磁
気ヘッドと磁気媒体の摩擦係数を下げるので、接触走行
時における両者の損傷を軽減し、信頼性を高めるという
利点がある。まえ液体または固体の潤滑剤は保護膜上の
像細な孔ないし凹凸にプールされるので、磁気ディスク
が長期間高速回転しても、スピンオフすることがないと
いう利点をも併せもつ。
第１図、第２図は従来の Ｓｉｎ、膜に保シ、第１図は
そのレプリカ像表面の顕微鏡写真、第２図１ｄ＠ＳｉＯ
，膜表面の断面−！Ｉを示すグラフ、第３図、第４＃！
Ｊは本発明の８４０Ｂ膜に係り、第３図はそのレプリカ
像表面の顕微鏡写真、第４Ｆ１！ＪＦｉ該Ｓｉｎ、膜表
面の断面−５ｔ−示すグラフである。 図中１−凸部、２−凹部ないし孔部である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 ９ｆ理十光石士部 （他１名） 市１図 Ｔ１．Ｉｍ ｙＰ、’３図 鷺４図
そのレプリカ像表面の顕微鏡写真、第２図１ｄ＠ＳｉＯ
，膜表面の断面−！Ｉを示すグラフ、第３図、第４＃！
Ｊは本発明の８４０Ｂ膜に係り、第３図はそのレプリカ
像表面の顕微鏡写真、第４Ｆ１！ＪＦｉ該Ｓｉｎ、膜表
面の断面−５ｔ−示すグラフである。 図中１−凸部、２−凹部ないし孔部である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 ９ｆ理十光石士部 （他１名） 市１図 Ｔ１．Ｉｍ ｙＰ、’３図 鷺４図
Claims (2)
- （１） 金属磁性薄Ｍを用いる磁気ディスク媒体にお
いて、金属磁性膜上に微細な粗Ｉｉを有するＳ ｉｏ、
膜を形成したことを％徽とする磁気ディスク媒体。 - （２） 特許請求の範囲第１頁において上記５１０１
膜は厚さが３０ｎｍ以下でＴｏや、上記徽細粗面Ｆｉ面
密度１０個／−以上の微細な孔からなることを特徴とす
る磁気ディスク媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57067160A JPS58185029A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 磁気デイスク媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57067160A JPS58185029A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 磁気デイスク媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58185029A true JPS58185029A (ja) | 1983-10-28 |
Family
ID=13336860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57067160A Pending JPS58185029A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 磁気デイスク媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58185029A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0130063A2 (en) * | 1983-06-22 | 1985-01-02 | Fujitsu Limited | Magnetic recording media |
| JPS61115229A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-02 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS63149823A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4841709A (ja) * | 1971-09-27 | 1973-06-18 | ||
| JPS5093404A (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-25 | ||
| JPS50104602A (ja) * | 1974-01-21 | 1975-08-18 | ||
| JPS50152706A (ja) * | 1975-03-19 | 1975-12-09 | ||
| JPS5140902A (ja) * | 1974-10-04 | 1976-04-06 | Fujitsu Ltd | Jikikirokubaitainohogomaku |
-
1982
- 1982-04-23 JP JP57067160A patent/JPS58185029A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4841709A (ja) * | 1971-09-27 | 1973-06-18 | ||
| JPS5093404A (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-25 | ||
| JPS50104602A (ja) * | 1974-01-21 | 1975-08-18 | ||
| JPS5140902A (ja) * | 1974-10-04 | 1976-04-06 | Fujitsu Ltd | Jikikirokubaitainohogomaku |
| JPS50152706A (ja) * | 1975-03-19 | 1975-12-09 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0130063A2 (en) * | 1983-06-22 | 1985-01-02 | Fujitsu Limited | Magnetic recording media |
| US4675075A (en) * | 1983-06-22 | 1987-06-23 | Fujitsu Limited | Magnetic recording production processes |
| JPS61115229A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-02 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS63149823A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体 |
| JPH0465457B2 (ja) * | 1986-12-12 | 1992-10-20 | Akai Electric |
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