JPH03176814A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH03176814A JPH03176814A JP31565489A JP31565489A JPH03176814A JP H03176814 A JPH03176814 A JP H03176814A JP 31565489 A JP31565489 A JP 31565489A JP 31565489 A JP31565489 A JP 31565489A JP H03176814 A JPH03176814 A JP H03176814A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、固定磁気ディスク装置に搭載される磁気記
録媒体に関する。
録媒体に関する。
このような磁気記録媒体（以下、単に媒体とも称する）
は、一般に、Ａ／！合金、ガラスなどからなる非磁性基
板上に、スパッタ法あるいはめっき法などで、磁性を高
めるための非磁性金属下地層強磁性金属からなる磁性層
、磁性層を外部環境から保護するための保護層を順次成
膜積層した構成である。そうして、固定磁気ディスク装
置では、通常ＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ
５ｔｏｐ）方式が採られるために、媒体表面となる保
護層表面は磁気ヘッドの安定した低浮上走行が実現でき
、かつ、摩擦係数が小さくて磁気ヘッドとの摺動が円滑
に行われるように、適切に微細にあれだ表面形状が要求
され、これに対応するために、保護層表面は中心線平均
粗さＲａで５０人〜９０人、 相対負荷曲線の相対負荷
長さ１０％におけるカッティング深さから相対負荷長さ
１％におけるカッティング深さを差し引いたイ直△Ｃｖ
（１０％−１％）で１００人〜２００人となる表面粗さ
とされ、さらに、その上に液体潤滑剤が塗布されている
。
は、一般に、Ａ／！合金、ガラスなどからなる非磁性基
板上に、スパッタ法あるいはめっき法などで、磁性を高
めるための非磁性金属下地層強磁性金属からなる磁性層
、磁性層を外部環境から保護するための保護層を順次成
膜積層した構成である。そうして、固定磁気ディスク装
置では、通常ＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ
５ｔｏｐ）方式が採られるために、媒体表面となる保
護層表面は磁気ヘッドの安定した低浮上走行が実現でき
、かつ、摩擦係数が小さくて磁気ヘッドとの摺動が円滑
に行われるように、適切に微細にあれだ表面形状が要求
され、これに対応するために、保護層表面は中心線平均
粗さＲａで５０人〜９０人、 相対負荷曲線の相対負荷
長さ１０％におけるカッティング深さから相対負荷長さ
１％におけるカッティング深さを差し引いたイ直△Ｃｖ
（１０％−１％）で１００人〜２００人となる表面粗さ
とされ、さらに、その上に液体潤滑剤が塗布されている
。
保護層表面の粗さを上述のようにＲａで５０人〜９０人
、△Ｃｖ（１０％−１％）で１００八〜２００八とする
ことにより、磁気ヘッドの走行時の浮上量０．１μｍＣ
３Ｓ１万回後の摩擦係数０．４以下を実現することがで
き、従来、媒体に要求されていた記録密度２万Ｐ ＣＩ
（ＦＬＵＸ ｃｈａｎｇｅ ｐｅｒ Ｉｎｃｈ）を達
成していた。
、△Ｃｖ（１０％−１％）で１００八〜２００八とする
ことにより、磁気ヘッドの走行時の浮上量０．１μｍＣ
３Ｓ１万回後の摩擦係数０．４以下を実現することがで
き、従来、媒体に要求されていた記録密度２万Ｐ ＣＩ
（ＦＬＵＸ ｃｈａｎｇｅ ｐｅｒ Ｉｎｃｈ）を達
成していた。
近年、処理情報の増大に伴い、また、固定磁気ディスク
装置の小型化への要望により、媒体の高記録密度化（３
万ＦＣ１〜４万ＦＣＩ）が要求されてきている。ところ
が、これに対応するために、磁気ヘッドの浮上量を０．
０８８℃程度に低下させようとして保護層表面粗さを小
さくすると摩擦係数が増大して磁気ヘッドとの摺動が悪
化するという問題が発生してくる。
装置の小型化への要望により、媒体の高記録密度化（３
万ＦＣ１〜４万ＦＣＩ）が要求されてきている。ところ
が、これに対応するために、磁気ヘッドの浮上量を０．
０８８℃程度に低下させようとして保護層表面粗さを小
さくすると摩擦係数が増大して磁気ヘッドとの摺動が悪
化するという問題が発生してくる。
この発明は、上述の問題点を解消して、磁気ヘッドの０
．０８８℃程度の安定な低浮上走行を実現して高記録密
度を達成でき、かつ、摩擦係数が小さく、Ｃ８Ｓを繰り
返したときの摩擦係数の上昇も少なくて良好な潤滑性能
を有する磁気記録媒体を提供することを課題とする。
．０８８℃程度の安定な低浮上走行を実現して高記録密
度を達成でき、かつ、摩擦係数が小さく、Ｃ８Ｓを繰り
返したときの摩擦係数の上昇も少なくて良好な潤滑性能
を有する磁気記録媒体を提供することを課題とする。
上記課題は、この発明によれば、非磁性基板上に設けら
れた磁性層上に保護層と液体潤滑剤を塗布された潤滑層
とが順次形成されてなる磁気記録媒体において、その表
面粗さが中心線平均粗さＲａで４０Å以上９０Å以下の
範囲内であり、相対負荷曲線の相対負荷長さ１０％にお
けるカッティング深さから相対負荷長さ１％におけるカ
ッティング深さを差し引いた値ΔＣｖ（１０％−１％）
で１００Å以上２００Å以下の範囲内である磁気記録媒
体とすることによって達成される。
れた磁性層上に保護層と液体潤滑剤を塗布された潤滑層
とが順次形成されてなる磁気記録媒体において、その表
面粗さが中心線平均粗さＲａで４０Å以上９０Å以下の
範囲内であり、相対負荷曲線の相対負荷長さ１０％にお
けるカッティング深さから相対負荷長さ１％におけるカ
ッティング深さを差し引いた値ΔＣｖ（１０％−１％）
で１００Å以上２００Å以下の範囲内である磁気記録媒
体とすることによって達成される。
磁気へントの浮上量は媒体表面の大まかな形状に依存し
ており、中心線平均粗さＲａと相関が大きく、 Ｒａが
小さい程浮上量を低減させることができる。一方、摩擦
係数などの潤滑性能は、表面微小突起の存在割合に大き
く依存しており、ＲａよりもΔＣｖ（１０％−１％）に
より制御することができる。
ており、中心線平均粗さＲａと相関が大きく、 Ｒａが
小さい程浮上量を低減させることができる。一方、摩擦
係数などの潤滑性能は、表面微小突起の存在割合に大き
く依存しており、ＲａよりもΔＣｖ（１０％−１％）に
より制御することができる。
媒体表面、 すなわち保護層表面のＲａを４０Å以上９
０八以下、△Ｃｖ（１０％−１％）を１００Å以上２０
０八以下とすることにより、磁気ヘッドの０．０８８℃
程度の安定な低浮上走行が実現できて高記録密度を達成
することができ、かつ、優れた潤滑性能を得ることがで
きる。
０八以下、△Ｃｖ（１０％−１％）を１００Å以上２０
０八以下とすることにより、磁気ヘッドの０．０８８℃
程度の安定な低浮上走行が実現できて高記録密度を達成
することができ、かつ、優れた潤滑性能を得ることがで
きる。
表面を平坦に加工したＡ４合金基板に無電解めっき法で
Ｎ１−Ｐ合金層を形成した非磁性基板の表面を研磨した
のち、テープテクスチャアを施す。
Ｎ１−Ｐ合金層を形成した非磁性基板の表面を研磨した
のち、テープテクスチャアを施す。
テクスチャアは使用テープを替えて２回行う。テクスチ
ャア条件を第１表に示すように変えて表面粗さの異なる
３種類の非磁性基板を作製した。
ャア条件を第１表に示すように変えて表面粗さの異なる
３種類の非磁性基板を作製した。
第 １ 表
これらの非磁性基板上に、スパッタ法により、基板温度
を２５０℃としてＣｒ下地層（膜厚１５００人）。
を２５０℃としてＣｒ下地層（膜厚１５００人）。
ＣＯ合金磁性層（膜厚５００人）、Ｃ保護層（膜厚３５
０人）を順次成膜積層し、その上にフロロカーボンら 系の液体潤滑剤を塗布して潤滑層（膜厚２０人）を形成
して媒体Ｎｏ、１．２および３を作製した。
０人）を順次成膜積層し、その上にフロロカーボンら 系の液体潤滑剤を塗布して潤滑層（膜厚２０人）を形成
して媒体Ｎｏ、１．２および３を作製した。
これらの媒体の表面粗さ（Ｒａ、 ΔＣＶ（１０％１
％）の測定結果を第２表に示す。
％）の測定結果を第２表に示す。
次に、これらの媒体について、媒体を１１００ｒｐで回
転させながら半径２１ｍｍの位置でＭｎ−Ｚｎ−フェラ
イトヘッドを摺動させそのときの動摩擦係数の変動を調
べる５ｌｉｄｅ Ｔｅ５ｔを行った。その結果を第１図
に示す。第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、それぞ
れ媒体Ｎｏ、１．２および３の結果である。摺動を６０
分行うとＣ３Ｓ１万回を繰り返したことに相当し、その
ときの動摩擦係数は実用上０．５以下であることが要望
される。５ｌｉｄｅ Ｔｅ５ｔの実用上の良否判定結果
を第２表に示す。
転させながら半径２１ｍｍの位置でＭｎ−Ｚｎ−フェラ
イトヘッドを摺動させそのときの動摩擦係数の変動を調
べる５ｌｉｄｅ Ｔｅ５ｔを行った。その結果を第１図
に示す。第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、それぞ
れ媒体Ｎｏ、１．２および３の結果である。摺動を６０
分行うとＣ３Ｓ１万回を繰り返したことに相当し、その
ときの動摩擦係数は実用上０．５以下であることが要望
される。５ｌｉｄｅ Ｔｅ５ｔの実用上の良否判定結果
を第２表に示す。
次に、これらの媒体について、ＡＥセンサを付設したＭ
ｎ−Ｚｎ−フェライトヘッドを用いて安定した走行状態
となる磁気ヘッドの浮上量を調べた。
ｎ−Ｚｎ−フェライトヘッドを用いて安定した走行状態
となる磁気ヘッドの浮上量を調べた。
媒体表面に磁気ヘッドを接触させた状態から媒体の回転
を開始し回転数をあげていったときの磁気ヘッド浮上量
とΔＥセンサ出力との関係を第２図に示す。第２図より
、媒体の回転数が増加するにつれて磁気ヘッドの浮上量
が増加していくが、回転数の少ないうちは磁気ヘッドと
媒体表面との接触時の衝撃は小さくＡＥセンサ出力は小
さいが、回転数が増すにつれて衝撃が大きくなりＡＥセ
ンサ出力が大きくなるが、回転数がある程度以上大きく
なり磁気ヘッドの浮上量が多くなると、磁気ヘッドと媒
体表面の接触が減少し、ＡＥセンサ出力は最大値を経て
減少し、磁気ヘッドが安定な走行状態となる浮上量に達
するとＡＥセンサ出力は０となることが判る。第２図に
おいて、点線は媒体Ｎｏ、 １ 、実線は媒体Ｎ０２．
−点鎖線は媒体Ｎｏ、 ３についての結果を示しである
。このような調査により得られた各媒体についての磁気
ヘッドが安定走行状態となる浮上量を第２表に示す。
を開始し回転数をあげていったときの磁気ヘッド浮上量
とΔＥセンサ出力との関係を第２図に示す。第２図より
、媒体の回転数が増加するにつれて磁気ヘッドの浮上量
が増加していくが、回転数の少ないうちは磁気ヘッドと
媒体表面との接触時の衝撃は小さくＡＥセンサ出力は小
さいが、回転数が増すにつれて衝撃が大きくなりＡＥセ
ンサ出力が大きくなるが、回転数がある程度以上大きく
なり磁気ヘッドの浮上量が多くなると、磁気ヘッドと媒
体表面の接触が減少し、ＡＥセンサ出力は最大値を経て
減少し、磁気ヘッドが安定な走行状態となる浮上量に達
するとＡＥセンサ出力は０となることが判る。第２図に
おいて、点線は媒体Ｎｏ、 １ 、実線は媒体Ｎ０２．
−点鎖線は媒体Ｎｏ、 ３についての結果を示しである
。このような調査により得られた各媒体についての磁気
ヘッドが安定走行状態となる浮上量を第２表に示す。
第 ２
表
第２表より、媒体Ｎｏ、 １はＲａが５０Å以下で磁気
ヘッドの安定走行浮上量は０．０７２５μｍと０．０８
μｍ以下であるが、△Ｃｖ （１０％−１％）が９０人
と小さく、５ｌｉｄｅ Ｔｅ５ｔにおける摩擦係数の上
昇がはげしく潤滑性能が悪い。また、媒体Ｎｏ、 ３は
摩擦係数の上昇は少ないが、 Ｒａが大きいために磁気
ヘッドが安定して走行できる浮上量は０．０９μｍと大
きい。 これらに対して、媒体Ｎｏ、 ２は５ｌｉｃｌ
ｅ Ｔｅ５ｔにおける摩擦係数の上昇は少なくて良好な
潤滑性能を有し、磁気ヘッドの安定走行浮上量も小さく
て高記録密度が達成できる。
ヘッドの安定走行浮上量は０．０７２５μｍと０．０８
μｍ以下であるが、△Ｃｖ （１０％−１％）が９０人
と小さく、５ｌｉｄｅ Ｔｅ５ｔにおける摩擦係数の上
昇がはげしく潤滑性能が悪い。また、媒体Ｎｏ、 ３は
摩擦係数の上昇は少ないが、 Ｒａが大きいために磁気
ヘッドが安定して走行できる浮上量は０．０９μｍと大
きい。 これらに対して、媒体Ｎｏ、 ２は５ｌｉｃｌ
ｅ Ｔｅ５ｔにおける摩擦係数の上昇は少なくて良好な
潤滑性能を有し、磁気ヘッドの安定走行浮上量も小さく
て高記録密度が達成できる。
媒体の表面粗さは、 Ｒａて４０Å以上５０Å以下。
△Ｃｖ（１０％−１％）で１００Å以上２００Å以下と
すると良い。
すると良い。
この発明によれば、媒体表面となる保護層の表面粗さを
Ｒａで４０Å以上５０Å以下の範囲内とし、かつ、ΔＣ
ｖ（１０％−１％）で１００Å以上２００Å以下の範囲
とし、その表面に液体潤滑剤を塗布して潤滑層を形成し
た媒体とすることにより、媒体表面゛での磁気ヘッドの
０．０８μｍ程度の安定な低浮上走行を実現して市場の
要求を充たす高記録密度を達成でき、かつ、摩擦係数が
小さく、Ｃ８Ｓを繰り返したときの摩擦係数の上昇も少
なくて、良好な潤滑性能を有する磁気記録媒体を得るこ
とができ、固定磁気ディスク装置の小型化、高信頼性化
に寄与することができる。
Ｒａで４０Å以上５０Å以下の範囲内とし、かつ、ΔＣ
ｖ（１０％−１％）で１００Å以上２００Å以下の範囲
とし、その表面に液体潤滑剤を塗布して潤滑層を形成し
た媒体とすることにより、媒体表面゛での磁気ヘッドの
０．０８μｍ程度の安定な低浮上走行を実現して市場の
要求を充たす高記録密度を達成でき、かつ、摩擦係数が
小さく、Ｃ８Ｓを繰り返したときの摩擦係数の上昇も少
なくて、良好な潤滑性能を有する磁気記録媒体を得るこ
とができ、固定磁気ディスク装置の小型化、高信頼性化
に寄与することができる。
Claims (1)
- １）非磁性基板上に設けられた磁性層上に保護層と液体
潤滑剤が塗布された潤滑層とが順次形成されてなる磁気
記録媒体において、その表面粗さが中心線平均粗さＲａ
で４０Å以上５０Å以下の範囲内であり、相対負荷曲線
の相対負荷長さ１０％におけるカッティング深さから相
対負荷長さ１％におけるカッティング深さを差し引いた
値ΔＣｖ（１０％−１％）で１００Å以上２００Å以下
の範囲内であることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31565489A JPH03176814A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31565489A JPH03176814A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03176814A true JPH03176814A (ja) | 1991-07-31 |
Family
ID=18067974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31565489A Pending JPH03176814A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03176814A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5576111A (en) * | 1990-09-17 | 1996-11-19 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6165582A (en) * | 1992-11-19 | 2000-12-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6805941B1 (en) | 1992-11-19 | 2004-10-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220119A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Sony Corp | 磁気デイスク |
| JPH01154314A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-16 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気ディスク |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP31565489A patent/JPH03176814A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220119A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Sony Corp | 磁気デイスク |
| JPH01154314A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-16 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気ディスク |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5576111A (en) * | 1990-09-17 | 1996-11-19 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6165582A (en) * | 1992-11-19 | 2000-12-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6194047B1 (en) | 1992-11-19 | 2001-02-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6258434B1 (en) | 1992-11-19 | 2001-07-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6623836B1 (en) | 1992-11-19 | 2003-09-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6805941B1 (en) | 1992-11-19 | 2004-10-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US7083873B2 (en) | 1992-11-19 | 2006-08-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium including a diamond-like carbon protective film with hydrogen and at least two additional elements |
| US7391592B2 (en) | 1992-11-19 | 2008-06-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium including a diamond-like carbon protective film and at least two additional elements |
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