JPS59127230A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59127230A JPS59127230A JP58002294A JP229483A JPS59127230A JP S59127230 A JPS59127230 A JP S59127230A JP 58002294 A JP58002294 A JP 58002294A JP 229483 A JP229483 A JP 229483A JP S59127230 A JPS59127230 A JP S59127230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- recording medium
- film
- magnetic
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/726—Two or more protective coatings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/725—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing a lubricant, e.g. organic compounds
- G11B5/7253—Fluorocarbon lubricant
- G11B5/7257—Perfluoropolyether lubricant
Landscapes
- Lubricants (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属薄膜型磁気記録媒体、特に耐摩耗性にすぐ
れた磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
れた磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
将来の高密度磁気記録媒体として、メッキ、真空蒸着法
、スパッタ法等により製造される磁性金属または合金薄
膜が有望視されている。
、スパッタ法等により製造される磁性金属または合金薄
膜が有望視されている。
金属薄膜としてはＦｅ、 Ｎｉ、 Ｃｏの合金、これら
とＣｒ等の合金など種々の合金組成のものが提案されて
いる。また８スパツタ法により製造したＣｏ−Ｃｒ合金
薄膜は、膜面に対して垂直方向に強い磁気異方性を持つ
ことから、原理的に減磁界による記録密度の制限がない
画期的な磁気記録方式である垂電磁気記録に用いる媒体
として、早期実用化のための研究が各方面で精力的に行
なわれている。
とＣｒ等の合金など種々の合金組成のものが提案されて
いる。また８スパツタ法により製造したＣｏ−Ｃｒ合金
薄膜は、膜面に対して垂直方向に強い磁気異方性を持つ
ことから、原理的に減磁界による記録密度の制限がない
画期的な磁気記録方式である垂電磁気記録に用いる媒体
として、早期実用化のための研究が各方面で精力的に行
なわれている。
しかしながら、金属薄膜型磁気記録媒体は、記録再生に
用いる磁気ヘッドを・接触させて相対的に移動さ、せた
場合、磁気ヘッドは磁気媒体と連続的に接触しており、
従って予測されるように、磁気ヘッド及び金属薄膜の間
の摩擦による摩耗によって、その両者に望ましくない破
壊が惹起される。
用いる磁気ヘッドを・接触させて相対的に移動さ、せた
場合、磁気ヘッドは磁気媒体と連続的に接触しており、
従って予測されるように、磁気ヘッド及び金属薄膜の間
の摩擦による摩耗によって、その両者に望ましくない破
壊が惹起される。
非接触方式の場合通常磁気ヘッドは薄い空気の層により
支持された磁気媒体の数ミクロン上をすれすれに通るが
、低速通過時には磁気ヘッド、磁気媒体間で摺動による
損傷の恐れがあり、高速通過時においてもしばしば沈降
して磁気媒体と高速で衝突し、磁性金属部分の摩耗若し
くは損傷を引き起こす。同様に磁気ヘッドを接触させて
相対的に移動させた場合、磁気ヘッドは接触している磁
気媒体からしばしば脱会されギのあと磁性金属と再接触
して極めて大きな摩耗若しくは破損及び破壊を引き起こ
す。これらの問題点を解決するために従来にない堅固性
、薄膜性、均−性及び耐摩耗性本発明は、係る状況に鑑
みて為されたものであり、金屑薄膜型磁気記録媒体に非
磁性絶縁物の薄膜を形成させ、その表面にプラズマ処理
を施すか、またはプラズマ析出膜を形成させて１．その
上にパーフロロアルキルポリエーテルの潤滑層を形成さ
せたことを特徴とまるものである。本発明によると金属
薄膜型磁気記録媒体の耐久性が飛曜的に向上する。
支持された磁気媒体の数ミクロン上をすれすれに通るが
、低速通過時には磁気ヘッド、磁気媒体間で摺動による
損傷の恐れがあり、高速通過時においてもしばしば沈降
して磁気媒体と高速で衝突し、磁性金属部分の摩耗若し
くは損傷を引き起こす。同様に磁気ヘッドを接触させて
相対的に移動させた場合、磁気ヘッドは接触している磁
気媒体からしばしば脱会されギのあと磁性金属と再接触
して極めて大きな摩耗若しくは破損及び破壊を引き起こ
す。これらの問題点を解決するために従来にない堅固性
、薄膜性、均−性及び耐摩耗性本発明は、係る状況に鑑
みて為されたものであり、金屑薄膜型磁気記録媒体に非
磁性絶縁物の薄膜を形成させ、その表面にプラズマ処理
を施すか、またはプラズマ析出膜を形成させて１．その
上にパーフロロアルキルポリエーテルの潤滑層を形成さ
せたことを特徴とまるものである。本発明によると金属
薄膜型磁気記録媒体の耐久性が飛曜的に向上する。
金属薄膜型磁気記録媒体上にＳ ｉ Ｏ，、Ａｌ、０．
、ＳｉＣなどの非磁性絶縁物の薄膜を保■膜として形成
させると耐久性をかなり向上させることができる。保護
膜と潤滑剤を組み合わせると一層の耐久性向上がはから
れる。しかしながらここで用いるパーフロロアルキルポ
リエーテルは磁性層、保穫層との親和性に若干欠けるた
め、これを使用してなる磁気記録ディスクを近年開発さ
れている磁性層表面の汚れ防止用ジャケットに挿入した
状態で記録再生装置に装填して再生する場合には、ジャ
ケット内面の多孔性シートに上記潤滑剤が簡単に吸収さ
れて保護層から脱離し、耐摩耗性を保持できない場合が
ある。そこで、本発明では保障層表面なｏ、 、Ｎｔ、
Ｆ、などの雰囲気中でプラズマ処理するか、プラズマ中
析出法によってＮＦ３、ＢＦ、、ＳｉＦ、 などの７ツ
化膜を表面に付着し、このように処、理された表面にパ
ーフロロアルキルポリエーテル潤滑剤を付着させること
によって、上記潤滑剤と磁気媒体との親和性が強化され
耐久性が飛躍的に向上した。本発明で用いるパーフロロ
アルキる。
、ＳｉＣなどの非磁性絶縁物の薄膜を保■膜として形成
させると耐久性をかなり向上させることができる。保護
膜と潤滑剤を組み合わせると一層の耐久性向上がはから
れる。しかしながらここで用いるパーフロロアルキルポ
リエーテルは磁性層、保穫層との親和性に若干欠けるた
め、これを使用してなる磁気記録ディスクを近年開発さ
れている磁性層表面の汚れ防止用ジャケットに挿入した
状態で記録再生装置に装填して再生する場合には、ジャ
ケット内面の多孔性シートに上記潤滑剤が簡単に吸収さ
れて保護層から脱離し、耐摩耗性を保持できない場合が
ある。そこで、本発明では保障層表面なｏ、 、Ｎｔ、
Ｆ、などの雰囲気中でプラズマ処理するか、プラズマ中
析出法によってＮＦ３、ＢＦ、、ＳｉＦ、 などの７ツ
化膜を表面に付着し、このように処、理された表面にパ
ーフロロアルキルポリエーテル潤滑剤を付着させること
によって、上記潤滑剤と磁気媒体との親和性が強化され
耐久性が飛躍的に向上した。本発明で用いるパーフロロ
アルキる。
ル遺」ｔフ−
厚さ７５μのポリエステル基体フィルムに高周波マグネ
トロンスパッタ装置を用いて厚さ１μのＣ、ｏ −Ｃｒ
薄膜を作成した。組成は、Ｃｒ１７ｗｔ％とじ、残
余の８５ｗｔｑ６ がＣｏ で構成されるものとした。
トロンスパッタ装置を用いて厚さ１μのＣ、ｏ −Ｃｒ
薄膜を作成した。組成は、Ｃｒ１７ｗｔ％とじ、残
余の８５ｗｔｑ６ がＣｏ で構成されるものとした。
上記のＣｏ−Ｃｒ 薄膜上に、同様に高周波マグネト
ロンスパッタ装置を用いて厚さ５００人の５ｉｎ２ 薄
膜を形成し、円板状に打ち抜いて磁気記録ディスクとし
た。
ロンスパッタ装置を用いて厚さ５００人の５ｉｎ２ 薄
膜を形成し、円板状に打ち抜いて磁気記録ディスクとし
た。
比較例２
で表ワされるパー７０ロアルキルボリエーテル１部とト
リクロロトリフロロエタン１０００部とからなる含浸溶
液をスピンコードした。
リクロロトリフロロエタン１０００部とからなる含浸溶
液をスピンコードした。
実施例１
比較例１のディスクなＮ、 １部と０，１部とからなる
混合ガス雰囲気中で、周波数１３．５６ＭＨ。
混合ガス雰囲気中で、周波数１３．５６ＭＨ。
投入電力１．ｏｏｗ、ガス圧０．１ ｔｏｒｒ の条
件下で６０分間プラズマ処理を設し、比較例２の含浸溶
液をスピンコードした。
件下で６０分間プラズマ処理を設し、比較例２の含浸溶
液をスピンコードした。
実施例２
比較例１のディスク上に、周波数１５．５６ＭＨ，、投
入電力５０Ｗ１ガス圧０．１ ｔｏｒｒ の条件下で
Ｈ２ガスをキャリヤーガスとしてＳｉＦ４ を１０分間
析出させ膜厚１００人のプラズマ析出膜を形成し、比較
例２の含浸溶液をスピンコードしたつ上記比較例１．２
及び実施例１．２の磁気ディスクはいずれも磁気記録デ
ィスク汚れ防止用ジャケットに挿入し記録再生装置に装
填し、磁気ヘッドを接触させて走行させ、出力が初期の
出力の８割に達するまでの回転数と限界記録密度を測定
した。
入電力５０Ｗ１ガス圧０．１ ｔｏｒｒ の条件下で
Ｈ２ガスをキャリヤーガスとしてＳｉＦ４ を１０分間
析出させ膜厚１００人のプラズマ析出膜を形成し、比較
例２の含浸溶液をスピンコードしたつ上記比較例１．２
及び実施例１．２の磁気ディスクはいずれも磁気記録デ
ィスク汚れ防止用ジャケットに挿入し記録再生装置に装
填し、磁気ヘッドを接触させて走行させ、出力が初期の
出力の８割に達するまでの回転数と限界記録密度を測定
した。
得られた結果を下記第１表に示す。
第 １ 表
上表中比較例２から明らかなように保護膜と潤滑剤を組
み合せることで一層の耐久性の向上、がみしかしながら
実施例２のように金属薄膜型磁気記録媒体上の保護層と
潤滑層の間にプラズマ重合膜を設げるか、あるいは実施
例１のように保護層表面のプラズマ処理を施して後潤滑
層を設け、保護層と潤滑層との親和性を強力にすること
で耐摩耗性を長時間保持することができ耐久性を飛躍的
に改善できることが分る。
み合せることで一層の耐久性の向上、がみしかしながら
実施例２のように金属薄膜型磁気記録媒体上の保護層と
潤滑層の間にプラズマ重合膜を設げるか、あるいは実施
例１のように保護層表面のプラズマ処理を施して後潤滑
層を設け、保護層と潤滑層との親和性を強力にすること
で耐摩耗性を長時間保持することができ耐久性を飛躍的
に改善できることが分る。
、ｊ・−′ζ・１′、−
代理人の氏名 倉 内 基 弘：′）；、’、ｒ、！
−−一。
−−一。
同 倉 橋 暎Ｍら手続補正書
昭和５８年２月２８日
特許庁長官 若 杉 和 夫 殿
事件の表示 昭和５８年 特願第 ２２９４ 号発明の
名称 磁気記録媒体 補正をする者 事件との関係 特許用ｊ頭人名 称
（り０６）東京電気化学工拵株式会社代理人 住 所 東京都中央区日本橋３丁目１３番１１号油脂
工業会館電話２７３−６４３６番 、〜 １ 氏 名 （６７８１） 弁理士 倉 内 基
弘 −１＋−１：” −一 同 住 所 同 −１１補正の
対象 捕１１子の内容 藤鼻−ト←
名称 磁気記録媒体 補正をする者 事件との関係 特許用ｊ頭人名 称
（り０６）東京電気化学工拵株式会社代理人 住 所 東京都中央区日本橋３丁目１３番１１号油脂
工業会館電話２７３−６４３６番 、〜 １ 氏 名 （６７８１） 弁理士 倉 内 基
弘 −１＋−１：” −一 同 住 所 同 −１１補正の
対象 捕１１子の内容 藤鼻−ト←
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 薄膜磁気記録媒体上に非磁性絶縁物の薄膜を
保護膜として設け、該保護膜の表面のプラズマ処理層上
にパーフロロアルキルポリエーテルを潤滑層として設け
たことを特徴とする磁気、記録媒体。 （２）保護膜は８３０２． ＡＩ、０．、ＳｉＣ等の金
属酸化物又は炭化物より選ばれる前記第１項記載の磁気
記録媒体。 （６） プラズマ処理層は０２、Ｎ、、Ｆ、等のガス
雰囲気中のプラズマ処理で形成されている前記第１項ま
たは第２項記載の磁気記録媒体。 （４） 薄膜磁気記録媒体上に非磁性絶縁物の薄膜を
保護膜として設け、該保護膜の表面にプラズマ析出膜を
設け、その上にパー７０ロアルキルポリエーテルを潤滑
層として有することを特徴とする磁気記録媒体。 （５）保護膜はＳ ｉ Ｏｔ 、Ａ ｈ Ｏｓ、ＳｉＣ
等の金属酸化物又は炭化物より選ばれる前記第４項記載
の磁気記録媒体。 （６） プラズマ析出膜はＮＦ、、ＢＦ、、ＳｉＦ４
等の７ツ化膜である前記第４項または第５項記載の磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002294A JPS59127230A (ja) | 1983-01-12 | 1983-01-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002294A JPS59127230A (ja) | 1983-01-12 | 1983-01-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127230A true JPS59127230A (ja) | 1984-07-23 |
| JPH0361251B2 JPH0361251B2 (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=11525344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58002294A Granted JPS59127230A (ja) | 1983-01-12 | 1983-01-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127230A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60163248A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-08-26 | Kyocera Corp | 磁気記録素子 |
| JPS6196512A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Seiko Epson Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61104328A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-22 | Nec Corp | 磁気記憶体 |
| EP0183427A2 (en) * | 1984-11-30 | 1986-06-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium |
| JPS632117A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着型記録媒体及びその製造方法 |
| JPS6310318A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 記録媒体およびその製造方法 |
| JPS63149823A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体 |
| US5178954A (en) * | 1989-07-21 | 1993-01-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Magnetic recording medium having a metallic magnetic thin film layer, a primer layer comprising an amino alkoxysilane and a lubricant layer comprising a functional perfluoropolyether |
| EP0563791A2 (en) * | 1992-03-31 | 1993-10-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorine-containing alkyl-succinic acid diester, process for preparing the same and use thereof |
| US5391814A (en) * | 1992-01-31 | 1995-02-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorine-containing alkylsuccinic acid diester, process for preparing the same and use thereof |
| JPH07254148A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Kao Corp | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置並びに磁気記録媒体 |
| US5578387A (en) * | 1992-03-31 | 1996-11-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorine-containing alkylsuccinic acid diester, process for preparing the same and use thereof |
-
1983
- 1983-01-12 JP JP58002294A patent/JPS59127230A/ja active Granted
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60163248A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-08-26 | Kyocera Corp | 磁気記録素子 |
| JPS6196512A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Seiko Epson Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61104328A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-22 | Nec Corp | 磁気記憶体 |
| EP0183427A2 (en) * | 1984-11-30 | 1986-06-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium |
| JPS632117A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着型記録媒体及びその製造方法 |
| JPS6310318A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 記録媒体およびその製造方法 |
| JPS63149823A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体 |
| JPH0465457B2 (ja) * | 1986-12-12 | 1992-10-20 | Akai Electric | |
| US5178954A (en) * | 1989-07-21 | 1993-01-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Magnetic recording medium having a metallic magnetic thin film layer, a primer layer comprising an amino alkoxysilane and a lubricant layer comprising a functional perfluoropolyether |
| US5391814A (en) * | 1992-01-31 | 1995-02-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorine-containing alkylsuccinic acid diester, process for preparing the same and use thereof |
| EP0563791A2 (en) * | 1992-03-31 | 1993-10-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorine-containing alkyl-succinic acid diester, process for preparing the same and use thereof |
| US5578387A (en) * | 1992-03-31 | 1996-11-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorine-containing alkylsuccinic acid diester, process for preparing the same and use thereof |
| JPH07254148A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Kao Corp | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置並びに磁気記録媒体 |
| JP2843252B2 (ja) * | 1994-03-16 | 1999-01-06 | 花王株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0361251B2 (ja) | 1991-09-19 |
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