JPS6313361A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPS6313361A JPS6313361A JP61157290A JP15729086A JPS6313361A JP S6313361 A JPS6313361 A JP S6313361A JP 61157290 A JP61157290 A JP 61157290A JP 15729086 A JP15729086 A JP 15729086A JP S6313361 A JPS6313361 A JP S6313361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- point
- circular arc
- cutting
- resistance value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009966 trimming Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
この発明は、抵抗体のトリミング方法に関する。
（従来の技術）
一般に、抵抗体をトリミングするには、例えばレーザ・
トリミング装置を使用するが、このレーザ・トリミング
装置は、トリミングされる抵抗体上にレーザ光を走査す
るビームスキャナと、抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値
測定器と、この抵抗値測定器とビームスキャナを制御す
る制御器とからなっている。
トリミング装置を使用するが、このレーザ・トリミング
装置は、トリミングされる抵抗体上にレーザ光を走査す
るビームスキャナと、抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値
測定器と、この抵抗値測定器とビームスキャナを制御す
る制御器とからなっている。
このようなレーザ・トリミング装置を用いて、耐高電圧
特性を必要とする抵抗体をトリミングするには、従来、
第３図に示すように、抵抗体１を開始点２から矢印の方
向に終了点３まで矩形に切取り、次に開始点２より所定
距離の外側の点４から矢印方向に、抵抗体１の抵抗１直
を測定しながら切断を開始し、抵抗値が所定の値に一致
した点５で切断を停止する。
特性を必要とする抵抗体をトリミングするには、従来、
第３図に示すように、抵抗体１を開始点２から矢印の方
向に終了点３まで矩形に切取り、次に開始点２より所定
距離の外側の点４から矢印方向に、抵抗体１の抵抗１直
を測定しながら切断を開始し、抵抗値が所定の値に一致
した点５で切断を停止する。
上記の場合、切断溝幅をＡとすると、開始点２と開始点
４との距離はＡ以下で、必ず溝が重なるように切断する
。そして、第４図に示すように、抵抗体１に溝６を形成
することにより、第５図に示した単純な１本の溝７によ
り、耐高電圧特性が良くなる。
４との距離はＡ以下で、必ず溝が重なるように切断する
。そして、第４図に示すように、抵抗体１に溝６を形成
することにより、第５図に示した単純な１本の溝７によ
り、耐高電圧特性が良くなる。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、上記のような従来のトリミング方法における
問題点は、矩形に切取ることにある。
問題点は、矩形に切取ることにある。
即ち、第４図において、点８．９．１０で電界強度が異
なり、特に角の点８．９では電界強度が強くなって、絶
縁破壊が起り易くなる。
なり、特に角の点８．９では電界強度が強くなって、絶
縁破壊が起り易くなる。
又、レーザ・トリミングの場合は、角にマイクロクラッ
クが発生することは良く知られた事実であり、従来のト
リミング方法では、発生したマイクロクラックによる電
流リークが特性を悪化させる。
クが発生することは良く知られた事実であり、従来のト
リミング方法では、発生したマイクロクラックによる電
流リークが特性を悪化させる。
この発明は、従来の問題点を解消して、耐高電圧特性を
著しく向上させた抵抗体の１−リミング方法を提供する
ことを目的としている。
著しく向上させた抵抗体の１−リミング方法を提供する
ことを目的としている。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
この発明は、抵抗体を、この抵抗体の外側に中心を持つ
円弧で切断し、次に同一中心を持つ、より半径の大きな
円弧で、抵抗体の抵抗値を測定しながら切断する抵抗体
のトリミング方法である。
円弧で切断し、次に同一中心を持つ、より半径の大きな
円弧で、抵抗体の抵抗値を測定しながら切断する抵抗体
のトリミング方法である。
尚、切断する円弧の本数は、抵抗値が所定の値になるま
での複数本となる。
での複数本となる。
（作用）
この発明によれば、同心円で切断することにより、切断
溝に角が発生せず、マイクロクラックの発生を抑えると
共に、均一な電界強度が得られる。又、低抗体の外側に
中心を置くことにより、抵抗体切断時の抵抗値変化率を
小さくすることが出来、高精度トリミングが可能になる
。
溝に角が発生せず、マイクロクラックの発生を抑えると
共に、均一な電界強度が得られる。又、低抗体の外側に
中心を置くことにより、抵抗体切断時の抵抗値変化率を
小さくすることが出来、高精度トリミングが可能になる
。
（実施例）
以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。
明する。
この発明による抵抗体のトリミング方法は、例えばレー
ザ・トリミングの場合、既述のようなレーザ・トリミン
グ装置を使用するが、第１図に示すように先ず抵抗体１
１を、開始点１２から中心点１３の円弧で終了点１４ま
で矢印方向に切断する。
ザ・トリミングの場合、既述のようなレーザ・トリミン
グ装置を使用するが、第１図に示すように先ず抵抗体１
１を、開始点１２から中心点１３の円弧で終了点１４ま
で矢印方向に切断する。
次に、開始点１５から同じく中心点１３の円弧で、抵抗
体１１の抵抗値を測定しながら、矢印方向に切断し、抵
抗値が所定の値になった点１６で切断を停止する。尚、
開始点１５は、開始点１２より離れる方向にする。
体１１の抵抗値を測定しながら、矢印方向に切断し、抵
抗値が所定の値になった点１６で切断を停止する。尚、
開始点１５は、開始点１２より離れる方向にする。
上記の結果として得られる溝の形状は、第２図に示すよ
うに、抵抗体１１に形成された溝１７のように幅を持っ
た円弧となる。そして、最終点１６を除けば均一な形状
をしており、角がないので電界強度が強くなる点がなく
、この結果、耐高電圧特性が向上する。
うに、抵抗体１１に形成された溝１７のように幅を持っ
た円弧となる。そして、最終点１６を除けば均一な形状
をしており、角がないので電界強度が強くなる点がなく
、この結果、耐高電圧特性が向上する。
又、同心円のピッチを可能な限り小さくすることにより
、最終点１６での電界強度の乱れを、無視出来る程、小
さくすることが出来る。
、最終点１６での電界強度の乱れを、無視出来る程、小
さくすることが出来る。
［発明の効果コ
この発明によれば、従来に比べ耐高常圧特性が著しく連
れた抵抗体を得ることが出来る。
れた抵抗体を得ることが出来る。
尚、この発明はレーザ光を利用したトリミング方法に特
に有効であるが、サンドブラスト等の他のトリミング方
法にも適用出来ることは言うまでもない。
に有効であるが、サンドブラスト等の他のトリミング方
法にも適用出来ることは言うまでもない。
第１図はこの発明の一実施例に係る低抗体のトリミング
方法を示す平面図、第２図は第１図のこの発明のトリミ
ング方法により得られた溝の形状を示す平面図、Ｉ￥３
図は従来の抵抗体のトリミング方法を示す平面図、第４
図及び第５図は第３図の従来のトリミング方法により得
られた満の形状を示す平面図である。 １１・・・抵抗体、１２．１５・・・開始点、１３・・
・中心点、１６・・・最終点。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 ＩＪ 第１図 第３図 第４図 １２ 図 第５図
方法を示す平面図、第２図は第１図のこの発明のトリミ
ング方法により得られた溝の形状を示す平面図、Ｉ￥３
図は従来の抵抗体のトリミング方法を示す平面図、第４
図及び第５図は第３図の従来のトリミング方法により得
られた満の形状を示す平面図である。 １１・・・抵抗体、１２．１５・・・開始点、１３・・
・中心点、１６・・・最終点。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 ＩＪ 第１図 第３図 第４図 １２ 図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 抵抗体上にレーザ光を走査してトリミングを行なう抵
抗体のトリミング方法において、 上記抵抗体の外側に中心を持つ円弧で切断し、次に上記
中心と同一の中心を持つ、より半径の大きな円弧で、上
記抵抗体の抵抗値を測定しながら切断することを特徴と
する抵抗体のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61157290A JPS6313361A (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61157290A JPS6313361A (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6313361A true JPS6313361A (ja) | 1988-01-20 |
Family
ID=15646422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61157290A Pending JPS6313361A (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6313361A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016051939A1 (ja) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | Koa株式会社 | 抵抗体のトリミング方法 |
| CN109623166A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-04-16 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种激光切割的拐角处理方法及系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646506A (en) * | 1979-09-25 | 1981-04-27 | Tokyo Shibaura Electric Co | Adjusting resistance value of film resistance body |
| JPS61296753A (ja) * | 1985-06-26 | 1986-12-27 | Hitachi Tobu Semiconductor Ltd | 混成集積回路装置およびその製造方法 |
-
1986
- 1986-07-04 JP JP61157290A patent/JPS6313361A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646506A (en) * | 1979-09-25 | 1981-04-27 | Tokyo Shibaura Electric Co | Adjusting resistance value of film resistance body |
| JPS61296753A (ja) * | 1985-06-26 | 1986-12-27 | Hitachi Tobu Semiconductor Ltd | 混成集積回路装置およびその製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016051939A1 (ja) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | Koa株式会社 | 抵抗体のトリミング方法 |
| JP2016076555A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | Koa株式会社 | 抵抗体のトリミング方法 |
| CN107077933A (zh) * | 2014-10-03 | 2017-08-18 | 兴亚株式会社 | 电阻体的修整方法 |
| US10446304B2 (en) | 2014-10-03 | 2019-10-15 | Koa Corporation | Resistor trimming method |
| CN109623166A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-04-16 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种激光切割的拐角处理方法及系统 |
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