JPH09191222A - 積層電子部品の特性調整方法 - Google Patents
積層電子部品の特性調整方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】積層体の表面に形成された特性調整用電極をト
リミングすることにより積層電子部品の特性調整を行う
場合、トリミング作業時間を短縮でき、もって製品の大
幅なコスト低減が可能となる積層電子部品の特性調整方
法を提供する。 【解決手段】予備トリミングにより特性変化率を求めた
上で最終トリミングを行うことにより特性調整を行う。
リミングすることにより積層電子部品の特性調整を行う
場合、トリミング作業時間を短縮でき、もって製品の大
幅なコスト低減が可能となる積層電子部品の特性調整方
法を提供する。 【解決手段】予備トリミングにより特性変化率を求めた
上で最終トリミングを行うことにより特性調整を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層電子部品でな
る高周波フィルタやコンデンサ等における特性調整方法
に係り、特に積層体の表面に形成された電極をレーザビ
ームやサンドブラスト法によりトリミングすることによ
り、特性を調整する方法に関する。
る高周波フィルタやコンデンサ等における特性調整方法
に係り、特に積層体の表面に形成された電極をレーザビ
ームやサンドブラスト法によりトリミングすることによ
り、特性を調整する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（Ａ）は高周波フィルタを構成する
チップの一例を示す斜視図であり、図３（Ｂ）はその等
価回路図である。この例の高周波フィルタは、一般に、
誘電体１内に図３（Ｂ）のＬ（インダクタンス）成分を
構成する内部電極２と、Ｃ（キャパシタンス）成分を構
成する１つ以上の内部電極３とを印刷法やシート法によ
る膜形成技術により形成し、特性に対し高精度なものが
要求されるため、特性調整の工程が必要となる。このた
め、通常、例えば実公昭６０−２８１１３号公報に開示
されているように、センター周波数を決定する共振回路
の並列容量を内部電極３と共に構成する電極４を表面に
形成し、その表面電極４をサンドブラスタあるいはレー
ザによりトリミングして特性を調整している。５、６は
チップの両端に焼き付けやメッキ等により設けた外部電
極である。
チップの一例を示す斜視図であり、図３（Ｂ）はその等
価回路図である。この例の高周波フィルタは、一般に、
誘電体１内に図３（Ｂ）のＬ（インダクタンス）成分を
構成する内部電極２と、Ｃ（キャパシタンス）成分を構
成する１つ以上の内部電極３とを印刷法やシート法によ
る膜形成技術により形成し、特性に対し高精度なものが
要求されるため、特性調整の工程が必要となる。このた
め、通常、例えば実公昭６０−２８１１３号公報に開示
されているように、センター周波数を決定する共振回路
の並列容量を内部電極３と共に構成する電極４を表面に
形成し、その表面電極４をサンドブラスタあるいはレー
ザによりトリミングして特性を調整している。５、６は
チップの両端に焼き付けやメッキ等により設けた外部電
極である。
【０００３】このようなトリミングによる特性調整は、
図３（Ｃ）に示すように、表面電極４を先端辺側から一
定ピッチで横断するようにトリミング（線７はトリミン
グ軌跡を示す）し、各ピッチでトリミングするごとにネ
ットワークアナライザを用いて特性の測定を行うという
作業を、特性値が目標値に達するまで行っていた。
図３（Ｃ）に示すように、表面電極４を先端辺側から一
定ピッチで横断するようにトリミング（線７はトリミン
グ軌跡を示す）し、各ピッチでトリミングするごとにネ
ットワークアナライザを用いて特性の測定を行うという
作業を、特性値が目標値に達するまで行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の特性調整法にお
いて使用するネットワークアナライザによる測定は、１
回の測定に０．５秒程度かかるため、高精度なトリミン
グを行うためには、通常３０秒〜１分程度必要であり、
トリミングによる特性調整に時間がかかり、製品のコス
ト高を招くという問題点があった。
いて使用するネットワークアナライザによる測定は、１
回の測定に０．５秒程度かかるため、高精度なトリミン
グを行うためには、通常３０秒〜１分程度必要であり、
トリミングによる特性調整に時間がかかり、製品のコス
ト高を招くという問題点があった。
【０００５】本発明は、上記した問題点に鑑み、トリミ
ング作業時間を短縮でき、もって製品の大幅なコスト低
減が可能となる積層電子部品の特性調整方法を提供する
ことを目的とする。
ング作業時間を短縮でき、もって製品の大幅なコスト低
減が可能となる積層電子部品の特性調整方法を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項１の発明は、積層体の表面に形成された特性
調整用電極をトリミングすることにより積層電子部品の
特性調整を行う方法において、積層電子部品の初期特性
を測定する工程と、積層体の表面の電極を予備トリミン
グする工程と、予備トリミング量と特性変化量との関係
を求め、目標特性に対する残りの必要トリミング量を算
出する工程と、算出された残りの必要トリミング量に応
じて最終トリミングを行う工程とを含んでなることを特
徴とする。
め、請求項１の発明は、積層体の表面に形成された特性
調整用電極をトリミングすることにより積層電子部品の
特性調整を行う方法において、積層電子部品の初期特性
を測定する工程と、積層体の表面の電極を予備トリミン
グする工程と、予備トリミング量と特性変化量との関係
を求め、目標特性に対する残りの必要トリミング量を算
出する工程と、算出された残りの必要トリミング量に応
じて最終トリミングを行う工程とを含んでなることを特
徴とする。
【０００７】請求項２の発明は、前記特性調整用電極が
矩形をなし、その先端辺に平行をなす線状にトリミング
することにより、島状に電極を切り離して特性調整を行
うことを特徴とする。請求項３の発明においては、特性
調整用電極の先端辺近傍を、先端辺に平行にトリミング
した後、前記初期測定を行うことを特徴とする。請求項
４の発明は、前記予備トリミング軌跡および最終トリミ
ング軌跡が円形または多角形をなすようにトリミングす
ることにより、トリミング軌跡で囲まれた島状に電極を
切り離して特性調整を行うことを特徴とする。
矩形をなし、その先端辺に平行をなす線状にトリミング
することにより、島状に電極を切り離して特性調整を行
うことを特徴とする。請求項３の発明においては、特性
調整用電極の先端辺近傍を、先端辺に平行にトリミング
した後、前記初期測定を行うことを特徴とする。請求項
４の発明は、前記予備トリミング軌跡および最終トリミ
ング軌跡が円形または多角形をなすようにトリミングす
ることにより、トリミング軌跡で囲まれた島状に電極を
切り離して特性調整を行うことを特徴とする。
【０００８】
【作用】請求項１の発明においては、特性の測定回数
が、初期特性の測定と、予備トリミング後の特性測定と
チェックのための最終の特性測定の３回ですみ、トリミ
ングも予備トリミングと最終トリミングの２回のトリミ
ングですみ、特性測定回数とトリミング回数が大幅に減
少する。
が、初期特性の測定と、予備トリミング後の特性測定と
チェックのための最終の特性測定の３回ですみ、トリミ
ングも予備トリミングと最終トリミングの２回のトリミ
ングですみ、特性測定回数とトリミング回数が大幅に減
少する。
【０００９】請求項２の発明においては、電極の先端辺
に平行をなす線状にトリミングを行うことにより、特性
調整を行うため、電極の分離幅がそのまま面積に対応
し、精度良く特性調整を行うことが可能となる。また、
トリミングによる電極の除去面積が少なくなるので、製
品に損傷を与えず、高信頼性の製品が得られる。
に平行をなす線状にトリミングを行うことにより、特性
調整を行うため、電極の分離幅がそのまま面積に対応
し、精度良く特性調整を行うことが可能となる。また、
トリミングによる電極の除去面積が少なくなるので、製
品に損傷を与えず、高信頼性の製品が得られる。
【００１０】請求項３の発明においては、特性調整用電
極の先端辺近傍を、先端辺に平行にトリミングした後、
前記初期測定を行うため、画像処理機能が無い場合にお
いても、精度のよいトリミングが可能となる。
極の先端辺近傍を、先端辺に平行にトリミングした後、
前記初期測定を行うため、画像処理機能が無い場合にお
いても、精度のよいトリミングが可能となる。
【００１１】請求項４の発明においては、多角形や円等
の軌跡を描くようにビームを操作することにより島状に
電極を分離するため、請求項２の場合のように、先端辺
からの寸法によってトリミング量を求める場合に比較
し、画像処理機能が無い場合においても、予備トリミン
グの前の基準先端辺を得るためのトリミングが不必要と
なる。
の軌跡を描くようにビームを操作することにより島状に
電極を分離するため、請求項２の場合のように、先端辺
からの寸法によってトリミング量を求める場合に比較
し、画像処理機能が無い場合においても、予備トリミン
グの前の基準先端辺を得るためのトリミングが不必要と
なる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明による積層電子部品
の特性調整方法の一実施例を示す図であり、図１（Ａ）
は図３（Ａ）に示したものと同様の高周波フィルタを構
成する積層電子部品を示す平面図、図３（Ｂ）はその断
面図であり、１は例えばアルミナとガラスの複合材、Ｃ
ａＴｉＯ3系、ＣａＴｉＯ3−ＭｇＴｉＯ3系等でなる誘
電体、２はＬ成分形成用内部電極、３、４はそれぞれＣ
成分形成用内部電極および表面電極であり、これらの電
極２〜４は例えば銀あるいは銀−パラジウム等でなる。
５、６は銀等でなる外部電極である。本発明において
は、このような高周波フィルタのセンター周波数の調整
を次のような工程により行う。 （ａ）まず初期値の測定、すなわちセンター周波数ｆ１
をネットワークアナライザにより行う。 （ｂ）次に、事前データにより特性、すなわちトリミン
グ量に対するセンター周波数の変化率をある程度予測し
た上、予備トリミング量Ｗ１を設定する。この予備トリ
ミング量Ｗ１は、予備トリミング後のセンター周波数ｆ
２が最終目標値ｆ３を超えず、しかも最終目標値の１０
％以内に納まるような値に設定することが好ましい。 （ｃ）このように予備トリミング量Ｗ１を設定した後、
図１（Ｃ）に示すように、表面電極４を先端辺４ａから
予備トリミング量Ｗ１に相当する所定の幅にわたって矢
印で示すように先端辺４ａに平行な線状軌跡Ｘ１を生じ
るようにレーザビームを走査して予備トリミングを行
い、４ａで示す電極部分を島状に切り離す。 （ｄ）予備トリミング後のセンター周波数ｆ２を測定す
る。そして予備トリミングの前後のセンター周波数の変
化量と予備トリミング量Ｗ１とから、 Δｆ＝（ｆ２−ｆ１）／Ｗ１ なる周波数変化率をネットワークアナライザにより演算
して求める。上述のようにして求めた周波数変化率Δｆ
と予備トリミング後のセンター周波数ｆ２と目標センタ
ー周波数ｆ３と予備トリミング量Ｗ１とから最終トリミ
ング量Ｗ２を、 Ｗ２＝（ｆ３−ｆ２）／Δｆ なる演算により求める。 （ｅ）次に上記のようにして求められた最終トリミング
量Ｗ２に基づき、図１（Ｄ）に示すように、Ｗ２の幅を
持って、矢印で示すように、前記予備トリミングに平行
な線状軌跡Ｘ２を生じるようにレーザビームを走査して
最終トリミングを行う。なお、最終的にはチェックのた
めに再度センター周波数を測定する。図１（Ｅ）はこの
ようにしてトリミングした後の状態を示す断面図であ
る。
の特性調整方法の一実施例を示す図であり、図１（Ａ）
は図３（Ａ）に示したものと同様の高周波フィルタを構
成する積層電子部品を示す平面図、図３（Ｂ）はその断
面図であり、１は例えばアルミナとガラスの複合材、Ｃ
ａＴｉＯ3系、ＣａＴｉＯ3−ＭｇＴｉＯ3系等でなる誘
電体、２はＬ成分形成用内部電極、３、４はそれぞれＣ
成分形成用内部電極および表面電極であり、これらの電
極２〜４は例えば銀あるいは銀−パラジウム等でなる。
５、６は銀等でなる外部電極である。本発明において
は、このような高周波フィルタのセンター周波数の調整
を次のような工程により行う。 （ａ）まず初期値の測定、すなわちセンター周波数ｆ１
をネットワークアナライザにより行う。 （ｂ）次に、事前データにより特性、すなわちトリミン
グ量に対するセンター周波数の変化率をある程度予測し
た上、予備トリミング量Ｗ１を設定する。この予備トリ
ミング量Ｗ１は、予備トリミング後のセンター周波数ｆ
２が最終目標値ｆ３を超えず、しかも最終目標値の１０
％以内に納まるような値に設定することが好ましい。 （ｃ）このように予備トリミング量Ｗ１を設定した後、
図１（Ｃ）に示すように、表面電極４を先端辺４ａから
予備トリミング量Ｗ１に相当する所定の幅にわたって矢
印で示すように先端辺４ａに平行な線状軌跡Ｘ１を生じ
るようにレーザビームを走査して予備トリミングを行
い、４ａで示す電極部分を島状に切り離す。 （ｄ）予備トリミング後のセンター周波数ｆ２を測定す
る。そして予備トリミングの前後のセンター周波数の変
化量と予備トリミング量Ｗ１とから、 Δｆ＝（ｆ２−ｆ１）／Ｗ１ なる周波数変化率をネットワークアナライザにより演算
して求める。上述のようにして求めた周波数変化率Δｆ
と予備トリミング後のセンター周波数ｆ２と目標センタ
ー周波数ｆ３と予備トリミング量Ｗ１とから最終トリミ
ング量Ｗ２を、 Ｗ２＝（ｆ３−ｆ２）／Δｆ なる演算により求める。 （ｅ）次に上記のようにして求められた最終トリミング
量Ｗ２に基づき、図１（Ｄ）に示すように、Ｗ２の幅を
持って、矢印で示すように、前記予備トリミングに平行
な線状軌跡Ｘ２を生じるようにレーザビームを走査して
最終トリミングを行う。なお、最終的にはチェックのた
めに再度センター周波数を測定する。図１（Ｅ）はこの
ようにしてトリミングした後の状態を示す断面図であ
る。
【００１３】このような工程によってトリミングを行え
ば、特性調整作業が特性測定３回、トリミング２回で完
了するため、２〜３秒の時間でトリミング可能となる。
また、トリミング回数が減るため、製品に損傷を与え
ず、高信頼性の製品が得られる。また、レーザビーム照
射によりトリミングする場合、レーザビーム照射時間が
長くなるに従って温度が上り、温度上昇に伴って電極
３、４間の容量が減少し、測定により得られる周波数が
上昇し、温度上昇による測定誤差が生じることになる
が、本発明によればレーザビーム照射時間が短くなるこ
とにより、温度上昇度合が小さくなり、正確な測定値が
得られる。
ば、特性調整作業が特性測定３回、トリミング２回で完
了するため、２〜３秒の時間でトリミング可能となる。
また、トリミング回数が減るため、製品に損傷を与え
ず、高信頼性の製品が得られる。また、レーザビーム照
射によりトリミングする場合、レーザビーム照射時間が
長くなるに従って温度が上り、温度上昇に伴って電極
３、４間の容量が減少し、測定により得られる周波数が
上昇し、温度上昇による測定誤差が生じることになる
が、本発明によればレーザビーム照射時間が短くなるこ
とにより、温度上昇度合が小さくなり、正確な測定値が
得られる。
【００１４】上述のようなトリミングを行う場合、予備
トリミング量の測定は画像処理により、先端辺４ａを確
認し、その先端辺４ａから予備トリミング量を設定する
ための幅Ｗ２を設定することが望ましいが、画像処理機
能がない場合には、印刷ズレを考慮して、図２（Ａ）に
示すように、積層体チップの位置決めをした後、例えば
チップ端面から一定の距離ａの範囲で、先端辺４ａから
０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度トリミングして基準先端辺
４ｂを得、その先端辺４ｂを基準として前記Ｗ１、Ｗ２
のトリミングを行うことが望ましい。
トリミング量の測定は画像処理により、先端辺４ａを確
認し、その先端辺４ａから予備トリミング量を設定する
ための幅Ｗ２を設定することが望ましいが、画像処理機
能がない場合には、印刷ズレを考慮して、図２（Ａ）に
示すように、積層体チップの位置決めをした後、例えば
チップ端面から一定の距離ａの範囲で、先端辺４ａから
０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度トリミングして基準先端辺
４ｂを得、その先端辺４ｂを基準として前記Ｗ１、Ｗ２
のトリミングを行うことが望ましい。
【００１５】図２（Ｂ）は本発明の他の実施例であり、
本実施例は、予備トリミングおよび最終トリミング走査
により表面電極４をそれぞれ除去したトリミング軌跡Ｘ
１、Ｘ２が図示のように四角形等の多角形または円形を
なすようにレーザビームを走査することにより、トリミ
ング軌跡Ｘ１、Ｘ２で囲まれた部分を島状に切り離して
特性調整を行うようにしたものである。このように特性
調整を行えば、画像処理装置が無い場合においても、図
２（Ａ）に示したような予備トリミングの前の基準先端
辺を得るためのトリミングが不必要となる。なお、図２
（Ｂ）の例では予備トリミング軌跡Ｘ１を囲むように最
終トリミング軌跡Ｘ２を形成する例を示したが、図２
（Ｃ）に示すように、トリミング軌跡Ｘ１と一部重複す
るかあるいは重複しない別の箇所に最終トリミング軌跡
Ｘ２が形成されるようにトリミングを行ってもよい。
本実施例は、予備トリミングおよび最終トリミング走査
により表面電極４をそれぞれ除去したトリミング軌跡Ｘ
１、Ｘ２が図示のように四角形等の多角形または円形を
なすようにレーザビームを走査することにより、トリミ
ング軌跡Ｘ１、Ｘ２で囲まれた部分を島状に切り離して
特性調整を行うようにしたものである。このように特性
調整を行えば、画像処理装置が無い場合においても、図
２（Ａ）に示したような予備トリミングの前の基準先端
辺を得るためのトリミングが不必要となる。なお、図２
（Ｂ）の例では予備トリミング軌跡Ｘ１を囲むように最
終トリミング軌跡Ｘ２を形成する例を示したが、図２
（Ｃ）に示すように、トリミング軌跡Ｘ１と一部重複す
るかあるいは重複しない別の箇所に最終トリミング軌跡
Ｘ２が形成されるようにトリミングを行ってもよい。
【００１６】図２（Ｄ）は本発明の他の実施例であり、
前記各実施例のようにトリミングによって島状に電極の
一部を切り離すのではなく、線状に表面電極４の一部を
除去して予備トリミング部８を設け、その特性変化率か
ら斜線で示す最終トリミング部９を設けるようにしたも
のである。本実施例によれば、トリミングによる特性調
整量は少ないが、トリミング軌跡の長さを管理するだけ
でトリミング量が調整できるという利点がある。
前記各実施例のようにトリミングによって島状に電極の
一部を切り離すのではなく、線状に表面電極４の一部を
除去して予備トリミング部８を設け、その特性変化率か
ら斜線で示す最終トリミング部９を設けるようにしたも
のである。本実施例によれば、トリミングによる特性調
整量は少ないが、トリミング軌跡の長さを管理するだけ
でトリミング量が調整できるという利点がある。
【００１７】本発明は、高周波フィルタのセンター周波
数の調整のみでなく、コンデンサの容量調整にも用いる
ことができる。また、表面電極４上に電極保護のために
樹脂やガラス等で被覆層を形成する場合も本発明に含ま
れる。
数の調整のみでなく、コンデンサの容量調整にも用いる
ことができる。また、表面電極４上に電極保護のために
樹脂やガラス等で被覆層を形成する場合も本発明に含ま
れる。
【００１８】
【発明の効果】請求項１によれば、予備トリミングによ
り特性変化率を求めた上で最終トリミングを行うことに
より特性調整を行うようにしたので、従来のように、最
終特性が得られるまで一定ピッチでトリミングする場合
に比較し、トリミング回数が大幅に減少し、作業時間お
よびコストが大幅に低減できる。
り特性変化率を求めた上で最終トリミングを行うことに
より特性調整を行うようにしたので、従来のように、最
終特性が得られるまで一定ピッチでトリミングする場合
に比較し、トリミング回数が大幅に減少し、作業時間お
よびコストが大幅に低減できる。
【００１９】請求項２によれば、電極の先端辺に平行を
なす線状にトリミングを行うことにより、特性調整を行
うため、電極の分離幅がそのまま面積に対応し、精度良
く特性調整を行うことが可能となる。また、トリミング
回数が減るため、製品に損傷を与えず、信頼性の高い製
品が得られる。
なす線状にトリミングを行うことにより、特性調整を行
うため、電極の分離幅がそのまま面積に対応し、精度良
く特性調整を行うことが可能となる。また、トリミング
回数が減るため、製品に損傷を与えず、信頼性の高い製
品が得られる。
【００２０】請求項３によれば、特性調整用電極の先端
辺近傍を、先端辺に平行にトリミングした後、前記初期
測定を行うため、画像処理機能が無い場合においても、
精度のよりトリミングが可能となる。
辺近傍を、先端辺に平行にトリミングした後、前記初期
測定を行うため、画像処理機能が無い場合においても、
精度のよりトリミングが可能となる。
【００２１】請求項４によれば、多角形や円等の軌跡を
描くようにビームを走査することにより島状に電極を分
離するため、請求項２の場合のように、先端辺からの寸
法によってトリミング量を求める場合に比較し、画像処
理機能が無い場合においても、予備トリミングの前の基
準先端辺を得るためのトリミングが不必要となる。
描くようにビームを走査することにより島状に電極を分
離するため、請求項２の場合のように、先端辺からの寸
法によってトリミング量を求める場合に比較し、画像処
理機能が無い場合においても、予備トリミングの前の基
準先端辺を得るためのトリミングが不必要となる。
【図１】（Ａ）は本発明の方法を実施する積層電子部品
の一例を示す平面図、（Ｂ）はその断面図、（Ｃ）、
（Ｄ）はそれぞれ本発明により予備トリミング、最終ト
リミングを行った後の積層電子部品の状態を示す平面
図、（Ｅ）は本発明によりトリミングした後の状態を示
す断面図である。
の一例を示す平面図、（Ｂ）はその断面図、（Ｃ）、
（Ｄ）はそれぞれ本発明により予備トリミング、最終ト
リミングを行った後の積層電子部品の状態を示す平面
図、（Ｅ）は本発明によりトリミングした後の状態を示
す断面図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の他の実施例をそれぞ
れ示す積層電子部品の平面図である。
れ示す積層電子部品の平面図である。
【図３】（Ａ）は積層電子部品の一例図である高周波フ
ィルタを示す斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の等価回路図、
（Ｃ）は従来のトリミング方法を説明する図である。
ィルタを示す斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の等価回路図、
（Ｃ）は従来のトリミング方法を説明する図である。
１：誘電体、２：Ｌ成分形成用内部電極、３：Ｃ成分形
成用内部電極、４：表面電極、４ａ：先端辺、４ｂ：ト
リミングにより形成された先端辺、５、６：外部電極、
８：予備トリミング部、９：最終トリミング部、Ｘ１：
予備トリミング軌跡、Ｘ２：最終トリミング軌跡
成用内部電極、４：表面電極、４ａ：先端辺、４ｂ：ト
リミングにより形成された先端辺、５、６：外部電極、
８：予備トリミング部、９：最終トリミング部、Ｘ１：
予備トリミング軌跡、Ｘ２：最終トリミング軌跡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 幸夫 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ −ディ−ケイ株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】積層体の表面に形成された特性調整用電極
をトリミングすることにより積層電子部品の特性調整を
行う方法において、 積層電子部品の初期特性を測定する工程と、 積層体の表面の電極を予備トリミングする工程と、 予備トリミング量と特性変化量との関係を求め、目標特
性に対する残りの必要トリミング量を算出する工程と、 算出された残りの必要トリミング量に応じて最終トリミ
ングを行う工程とを含んでなることを特徴とする積層電
子部品の特性調整方法。 - 【請求項２】請求項１において、 前記特性調整用電極を矩形とし、その先端辺に平行をな
す線状にトリミングを行うことにより、島状に電極を切
り離して特性調整を行うことを特徴とする積層電子部品
の特性調整方法。 - 【請求項３】請求項２において、 特性調整用電極の先端辺近傍を、先端辺に平行にトリミ
ングした後、前記初期測定を行うことを特徴とする積層
電子部品の特性調整方法。 - 【請求項４】請求項１において、 前記予備トリミング軌跡および最終トリミング軌跡が円
形または多角形をなすようにトリミングすることによ
り、トリミング軌跡で囲まれた島状の電極を切り離して
特性調整を行うことを特徴とする積層電子部品の特性調
整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01833996A JP3385148B2 (ja) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | 積層電子部品の特性調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01833996A JP3385148B2 (ja) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | 積層電子部品の特性調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09191222A true JPH09191222A (ja) | 1997-07-22 |
| JP3385148B2 JP3385148B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=11968902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01833996A Expired - Fee Related JP3385148B2 (ja) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | 積層電子部品の特性調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3385148B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1184977A2 (en) * | 2000-07-31 | 2002-03-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayered LC composite component and method for adjusting frequency of the same |
| JP2013234873A (ja) * | 2012-05-07 | 2013-11-21 | Seiko Epson Corp | 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体 |
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1996
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