JP2002185286A - 水晶振動子及び水晶振動子の周波数調整方法 - Google Patents
水晶振動子及び水晶振動子の周波数調整方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精度の周波数調整を可能にする水晶振動子
及び高精度の周波数調整方法を提供すること。 【解決手段】 水晶片２の上面側に上面電極３を取り付
け、下面側に下面電極５を取り付ける。上面電極３に
は、水晶片２に上面電極３と下面電極５を取り付けた際
に重ならない部分として、トリミング部４を形成する。
そして、レーザートリミング法による周波数調整を行う
際には、このトリミング部４のみにレーザーの照射を行
うようにする。
及び高精度の周波数調整方法を提供すること。 【解決手段】 水晶片２の上面側に上面電極３を取り付
け、下面側に下面電極５を取り付ける。上面電極３に
は、水晶片２に上面電極３と下面電極５を取り付けた際
に重ならない部分として、トリミング部４を形成する。
そして、レーザートリミング法による周波数調整を行う
際には、このトリミング部４のみにレーザーの照射を行
うようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶片の上面と下
面に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振動子及
びこの水晶振動子のレーザートリミング法による周波数
調整方法の技術分野に属する。
面に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振動子及
びこの水晶振動子のレーザートリミング法による周波数
調整方法の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】水晶振動子は、その高い安定性により、
情報通信に欠かせない重要なデバイスとして用いられて
いる。近年、衛星通信や携帯電話などの発達に伴い、水
晶振動子もその高性能化が一つの大きな目標とされてい
る。また、最近の水晶振動子は、表面実装技術の進歩に
伴ってチップ化が進み、小型化が重要な開発目標となっ
ている。更に、水晶振動子の周波数の調整方法は、信頼
性の向上のために真空封止する前に行うイオンビームや
レーザーによるトリミング法が多く用いられている。
情報通信に欠かせない重要なデバイスとして用いられて
いる。近年、衛星通信や携帯電話などの発達に伴い、水
晶振動子もその高性能化が一つの大きな目標とされてい
る。また、最近の水晶振動子は、表面実装技術の進歩に
伴ってチップ化が進み、小型化が重要な開発目標となっ
ている。更に、水晶振動子の周波数の調整方法は、信頼
性の向上のために真空封止する前に行うイオンビームや
レーザーによるトリミング法が多く用いられている。
【０００３】一般に、水晶振動子の共振周波数は、水晶
片の厚さ及び水晶片に付着している金属膜の厚さによっ
て変化するので、調整前の共振周波数を希望の周波数よ
りやや低めに設定しておけば、水晶振動子を真空封止す
る前に、イオンビームやレーザーにより金属膜の一部を
飛散させることにより、周波数を調整することが出来
る。また、一般にレーザートリミングはイオンビームト
リミングに比して、より高精度にトリミングを行うこと
ができ、周波数を微調整することができる。
片の厚さ及び水晶片に付着している金属膜の厚さによっ
て変化するので、調整前の共振周波数を希望の周波数よ
りやや低めに設定しておけば、水晶振動子を真空封止す
る前に、イオンビームやレーザーにより金属膜の一部を
飛散させることにより、周波数を調整することが出来
る。また、一般にレーザートリミングはイオンビームト
リミングに比して、より高精度にトリミングを行うこと
ができ、周波数を微調整することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の水晶振動子は、水晶片の表面と裏面の両方に電極と
しての金属膜を設けた構成となっているため、レーザー
トリミング法により表面の金属膜のみをレーザーにより
飛散させようとしても、裏面の金属膜までもが飛散し、
結局、上下の金属膜に穴が開いたのと同じ状態になって
しまう。
来の水晶振動子は、水晶片の表面と裏面の両方に電極と
しての金属膜を設けた構成となっているため、レーザー
トリミング法により表面の金属膜のみをレーザーにより
飛散させようとしても、裏面の金属膜までもが飛散し、
結局、上下の金属膜に穴が開いたのと同じ状態になって
しまう。
【０００５】その結果、本来飛散させようとする量以上
の量の金属膜が飛散してしまうために、周波数を正確に
調整することが困難であった。
の量の金属膜が飛散してしまうために、周波数を正確に
調整することが困難であった。
【０００６】そこで、本発明は、このような問題点を解
決し、高精度の周波数調整を可能にする水晶振動子及び
高精度の周波数調整方法を提供することを課題としてい
る。
決し、高精度の周波数調整を可能にする水晶振動子及び
高精度の周波数調整方法を提供することを課題としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の水晶振動
子は、前記課題を解決するために、水晶片の上面と下面
に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振動子であ
って、前記上面電極と下面電極は、水晶片に取り付けた
状態において重ならない部分を有する非対称形状に形成
されていることを特徴とする。
子は、前記課題を解決するために、水晶片の上面と下面
に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振動子であ
って、前記上面電極と下面電極は、水晶片に取り付けた
状態において重ならない部分を有する非対称形状に形成
されていることを特徴とする。
【０００８】請求項１記載の水晶振動子によれば、水晶
片の上面と下面に取り付けられた上面電極と下面電極
は、水晶片に取り付けた状態において重ならない部分を
有する非対称形状なので、この重ならない部分のみにレ
ーザーを照射することが出来、他の電極へのレーザー照
射を回避して、高精度なレーザートリミング法による周
波数調整を可能にする。
片の上面と下面に取り付けられた上面電極と下面電極
は、水晶片に取り付けた状態において重ならない部分を
有する非対称形状なので、この重ならない部分のみにレ
ーザーを照射することが出来、他の電極へのレーザー照
射を回避して、高精度なレーザートリミング法による周
波数調整を可能にする。
【０００９】請求項２記載の水晶振動子は、前記課題を
解決するために、請求項１記載の水晶振動子において、
前記重ならない部分は上面電極または下面電極の外部回
路と接続される端子部分を除く領域に形成されているこ
とを特徴とする。
解決するために、請求項１記載の水晶振動子において、
前記重ならない部分は上面電極または下面電極の外部回
路と接続される端子部分を除く領域に形成されているこ
とを特徴とする。
【００１０】請求項２記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、上面電極または下面電極の外部回路
と接続される端子部分を除く領域に形成されているの
で、レーザートリミングに際して誤って端子部分を除去
してしまうことがなく、安全且つ高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を可能にする。
重ならない部分は、上面電極または下面電極の外部回路
と接続される端子部分を除く領域に形成されているの
で、レーザートリミングに際して誤って端子部分を除去
してしまうことがなく、安全且つ高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を可能にする。
【００１１】請求項３記載の水晶振動子は、前記課題を
解決するために、請求項１または２記載の水晶振動子に
おいて、前記重ならない部分は、前記上面電極または下
面電極のそれぞれに、異なる長さを有して形成されてい
ることを特徴とする。
解決するために、請求項１または２記載の水晶振動子に
おいて、前記重ならない部分は、前記上面電極または下
面電極のそれぞれに、異なる長さを有して形成されてい
ることを特徴とする。
【００１２】請求項３記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、前記上面電極または下面電極のそれ
ぞれに、異なる長さを有して形成されているので、上面
または下面のいずれであっても、レーザートリミング法
におけるレーザー照射が可能であり、上面または下面の
パターン認識工程を省略することが出来る。
重ならない部分は、前記上面電極または下面電極のそれ
ぞれに、異なる長さを有して形成されているので、上面
または下面のいずれであっても、レーザートリミング法
におけるレーザー照射が可能であり、上面または下面の
パターン認識工程を省略することが出来る。
【００１３】請求項４記載の水晶振動子は、前記課題を
解決するために、請求項１ないし３のいずれか１記載の
水晶振動子において、前記重ならない部分は、幅の狭い
部分と、幅の広い部分とを有していることを特徴とす
る。
解決するために、請求項１ないし３のいずれか１記載の
水晶振動子において、前記重ならない部分は、幅の狭い
部分と、幅の広い部分とを有していることを特徴とす
る。
【００１４】請求項４記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、幅の狭い部分と、幅の広い部分とを
有しているので、幅の狭い部分にレーザーを照射するこ
とにより微調を行い、幅の広い部分にレーザーを照射す
ることにより粗調を行うことが出来る。
重ならない部分は、幅の狭い部分と、幅の広い部分とを
有しているので、幅の狭い部分にレーザーを照射するこ
とにより微調を行い、幅の広い部分にレーザーを照射す
ることにより粗調を行うことが出来る。
【００１５】請求項５記載の水晶振動子は、前記課題を
解決するために、請求項１ないし４のいずれか１記載の
水晶振動子において、前記重ならない部分は、水晶振動
子の周波数調整のためのレーザー照射を受ける部分であ
ることを特徴とする。
解決するために、請求項１ないし４のいずれか１記載の
水晶振動子において、前記重ならない部分は、水晶振動
子の周波数調整のためのレーザー照射を受ける部分であ
ることを特徴とする。
【００１６】請求項５記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、水晶振動子の周波数調整のためのレ
ーザー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー
照射を回避して、高精度なレーザートリミング法による
周波数調整を可能にする。
重ならない部分は、水晶振動子の周波数調整のためのレ
ーザー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー
照射を回避して、高精度なレーザートリミング法による
周波数調整を可能にする。
【００１７】請求項６記載の水晶振動子は、水晶片の上
面と下面に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振
動子であって、前記上面または下面の少なくともいずれ
か一方には、前記上面電極または下面電極と分離され
た、ダミー電極が、他の電極と重ならない位置に形成さ
れていることを特徴とする。
面と下面に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振
動子であって、前記上面または下面の少なくともいずれ
か一方には、前記上面電極または下面電極と分離され
た、ダミー電極が、他の電極と重ならない位置に形成さ
れていることを特徴とする。
【００１８】請求項６記載の水晶振動子によれば、前記
上面または下面の少なくともいずれか一方には、前記上
面電極または下面電極と分離された、ダミー電極が、他
の電極と重ならない位置に形成されているので、このダ
ミー電極のみにレーザーを照射することが出来、他の電
極へのレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を可能にする。
上面または下面の少なくともいずれか一方には、前記上
面電極または下面電極と分離された、ダミー電極が、他
の電極と重ならない位置に形成されているので、このダ
ミー電極のみにレーザーを照射することが出来、他の電
極へのレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を可能にする。
【００１９】請求項７記載の水晶振動子は、前記課題を
解決するために、請求項６記載の水晶振動子において、
前記ダミー電極は、水晶振動子の周波数調整のためのレ
ーザー照射を受ける電極であることを特徴とする。
解決するために、請求項６記載の水晶振動子において、
前記ダミー電極は、水晶振動子の周波数調整のためのレ
ーザー照射を受ける電極であることを特徴とする。
【００２０】請求項７記載の水晶振動子によれば、前記
ダミー電極は、水晶振動子の周波数調整のためのレーザ
ー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー照射
を回避して、高精度なレーザートリミング法による周波
数調整を可能にする。
ダミー電極は、水晶振動子の周波数調整のためのレーザ
ー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー照射
を回避して、高精度なレーザートリミング法による周波
数調整を可能にする。
【００２１】請求項８記載の水晶振動子の周波数調整方
法は、前記課題を解決するために、水晶片の上面と下面
に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振動子のレ
ーザートリミング法による周波数調整方法であって、前
記上面電極または下面電極のうち、水晶片に取り付けた
状態において重ならない部分を、レーザー光照射面とし
て載置する工程と、前記重ならない部分にレーザー光を
照射する工程とを有することを特徴する。
法は、前記課題を解決するために、水晶片の上面と下面
に各々上面電極と下面電極を取り付けた水晶振動子のレ
ーザートリミング法による周波数調整方法であって、前
記上面電極または下面電極のうち、水晶片に取り付けた
状態において重ならない部分を、レーザー光照射面とし
て載置する工程と、前記重ならない部分にレーザー光を
照射する工程とを有することを特徴する。
【００２２】請求項８記載の水晶振動子の周波数調整方
法によれば、まず、水晶片の上面に設けられた上面電
極、または下面に設けられた下面電極のうち、水晶片に
取り付けた状態において重ならない部分を、レーザー光
照射面として載置する。次に、前記重ならない部分にレ
ーザー光を照射する。従って、レーザーの照射は、この
重ならない部分にのみ行われることになり、他の電極へ
のレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリミン
グ法による周波数調整が行われることになる。
法によれば、まず、水晶片の上面に設けられた上面電
極、または下面に設けられた下面電極のうち、水晶片に
取り付けた状態において重ならない部分を、レーザー光
照射面として載置する。次に、前記重ならない部分にレ
ーザー光を照射する。従って、レーザーの照射は、この
重ならない部分にのみ行われることになり、他の電極へ
のレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリミン
グ法による周波数調整が行われることになる。
【００２３】請求項９記載の水晶振動子の周波数調整方
法は、前記課題を解決するために、請求項８記載の水晶
振動子の周波数調整方法において、前記レーザー光を照
射する工程は、所定の小領域でレーザ光を照射し、前記
重ならない部分の上面電極または下面電極に対して、当
該小領域を順次移動させて行う工程であることを特徴と
する。
法は、前記課題を解決するために、請求項８記載の水晶
振動子の周波数調整方法において、前記レーザー光を照
射する工程は、所定の小領域でレーザ光を照射し、前記
重ならない部分の上面電極または下面電極に対して、当
該小領域を順次移動させて行う工程であることを特徴と
する。
【００２４】請求項９記載の水晶振動子の周波数調整方
法によれば、前記レーザー光を照射する際には、所定の
小領域でレーザ光を照射し、前記重ならない部分の上面
電極または下面電極に対して、当該小領域を順次移動さ
せる。従って、レーザーの照射は、前記重ならない部分
上において高精度に行われることになり、且つ、他の電
極へのレーザー照射も回避されるので、極めて高精度な
レーザートリミング法による周波数調整が行われること
になる。
法によれば、前記レーザー光を照射する際には、所定の
小領域でレーザ光を照射し、前記重ならない部分の上面
電極または下面電極に対して、当該小領域を順次移動さ
せる。従って、レーザーの照射は、前記重ならない部分
上において高精度に行われることになり、且つ、他の電
極へのレーザー照射も回避されるので、極めて高精度な
レーザートリミング法による周波数調整が行われること
になる。
【００２５】請求項１０記載の水晶振動子の周波数調整
方法は、前記課題を解決するために、請求項９記載の水
晶振動子の周波数調整方法において、前記レーザー光を
照射する工程は、一の小領域に対するレーザー光照射後
に、該一の小領域に隣接する小領域をレーザー光照射
し、これを順次行う工程であることを特徴とする。
方法は、前記課題を解決するために、請求項９記載の水
晶振動子の周波数調整方法において、前記レーザー光を
照射する工程は、一の小領域に対するレーザー光照射後
に、該一の小領域に隣接する小領域をレーザー光照射
し、これを順次行う工程であることを特徴とする。
【００２６】請求項１０記載の水晶振動子の周波数調整
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、一の
小領域に対するレーザー光照射後に、該一の小領域に隣
接する小領域をレーザー光照射し、これを順次行う。従
って、レーザーの照射は、前記重ならない部分上におい
て高精度に行われることになり、且つ、他の電極へのレ
ーザー照射も回避されるので、極めて高精度なレーザー
トリミング法による周波数調整が行われることになる。
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、一の
小領域に対するレーザー光照射後に、該一の小領域に隣
接する小領域をレーザー光照射し、これを順次行う。従
って、レーザーの照射は、前記重ならない部分上におい
て高精度に行われることになり、且つ、他の電極へのレ
ーザー照射も回避されるので、極めて高精度なレーザー
トリミング法による周波数調整が行われることになる。
【００２７】請求項１１記載の水晶振動子の周波数調整
方法は、前記課題を解決するために、請求項８ないし１
０のいずれか１記載の水晶振動子の周波数調整方法にお
いて、前記レーザー光を照射する工程は、前記重ならな
い部分のうち幅の広い部分にレーザー光を照射して粗調
を行う工程と、前記重ならない部分のうち幅の狭い部分
にレーザー光を照射して微調を行う工程とを含むことを
特徴とする。
方法は、前記課題を解決するために、請求項８ないし１
０のいずれか１記載の水晶振動子の周波数調整方法にお
いて、前記レーザー光を照射する工程は、前記重ならな
い部分のうち幅の広い部分にレーザー光を照射して粗調
を行う工程と、前記重ならない部分のうち幅の狭い部分
にレーザー光を照射して微調を行う工程とを含むことを
特徴とする。
【００２８】請求項１１記載の水晶振動子の周波数調整
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、前記
重ならない部分のうち幅の広い部分にレーザー光を照射
することにより、粗調を行うことが出来る。また、前記
重ならない部分のうち幅の狭い部分にレーザー光を照射
することにより、微調を行うことが出来る。
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、前記
重ならない部分のうち幅の広い部分にレーザー光を照射
することにより、粗調を行うことが出来る。また、前記
重ならない部分のうち幅の狭い部分にレーザー光を照射
することにより、微調を行うことが出来る。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００３０】（第１の実施形態）まず、本発明の第１の
実施形態を図１及び図２に基づいて説明する。
実施形態を図１及び図２に基づいて説明する。
【００３１】図２は本発明の第１の実施形態におけるレ
ーザートリミング装置を示す図である。
ーザートリミング装置を示す図である。
【００３２】図２に示すように、本実施形態のレーザー
トリミング装置５０は、ＹＡＧ−ＳＨＧ発振器５１と、
光学系５２とを備えている。
トリミング装置５０は、ＹＡＧ−ＳＨＧ発振器５１と、
光学系５２とを備えている。
【００３３】ＹＡＧ−ＳＨＧ発振器５１は、Ｑスイッチ
５３と、ＹＡＧロッド５４と、ＢＢＯ（高周波変換結
晶）５５とを備え、光学系５２は、エキスパンドレンズ
５６と、ガルバノメータ５７と、集光レンズ５８とを備
えている。
５３と、ＹＡＧロッド５４と、ＢＢＯ（高周波変換結
晶）５５とを備え、光学系５２は、エキスパンドレンズ
５６と、ガルバノメータ５７と、集光レンズ５８とを備
えている。
【００３４】以上のようなレーザートリミング装置５０
において、ＹＡＧ−ＳＨＧ発振器５１で発生させたＹＡ
Ｇ−ＳＨＧ（直線偏光）レーザー光を、エキスパンドレ
ンズ５６、ガルバノメータ５７、及び集光レンズ５８に
より、水晶片２上の電極３に導き、これに照射させてト
リミングを行う。
において、ＹＡＧ−ＳＨＧ発振器５１で発生させたＹＡ
Ｇ−ＳＨＧ（直線偏光）レーザー光を、エキスパンドレ
ンズ５６、ガルバノメータ５７、及び集光レンズ５８に
より、水晶片２上の電極３に導き、これに照射させてト
リミングを行う。
【００３５】次に、本実施形態における水晶振動子の構
成を図１に基づいて説明する。図１（Ａ）は本実施形態
における水晶振動子１の上面側の電極を示す平面図、図
１（Ｂ）は本実施形態における水晶振動子１の下面側の
電極を上面側から見た平面図、図１（Ｃ）は前記上面側
の電極及び下面側の電極を設けた本実施形態における水
晶振動子１を示す平面図である。
成を図１に基づいて説明する。図１（Ａ）は本実施形態
における水晶振動子１の上面側の電極を示す平面図、図
１（Ｂ）は本実施形態における水晶振動子１の下面側の
電極を上面側から見た平面図、図１（Ｃ）は前記上面側
の電極及び下面側の電極を設けた本実施形態における水
晶振動子１を示す平面図である。
【００３６】図１（Ａ）に示すように、本実施形態の水
晶振動子１は、水晶片２の上面側に上面電極３が設けら
れている。上面電極３は、厚さ数１００Å程度のクロム
と、厚さ数１００Å〜数１０００Å程度の金から成る。
金だけでは、水晶片２との接着性が良好ではないため、
本実施形態においては、水晶片２−クロム−金という構
造になっている。なお、電極には、金に代えて銀或いは
これらの混合物を用いることも出来る。
晶振動子１は、水晶片２の上面側に上面電極３が設けら
れている。上面電極３は、厚さ数１００Å程度のクロム
と、厚さ数１００Å〜数１０００Å程度の金から成る。
金だけでは、水晶片２との接着性が良好ではないため、
本実施形態においては、水晶片２−クロム−金という構
造になっている。なお、電極には、金に代えて銀或いは
これらの混合物を用いることも出来る。
【００３７】また、図１（Ｂ）に示すように、本実施形
態の水晶振動子１には、水晶片２の下面側に下面電極５
が設けられている。下面電極５も、前記上面電極２と同
様に、厚さ数１００Å程度のクロムと、厚さ数１００Å
〜数１０００Å程度の金とから成り、水晶片２−クロム
−金という構造になっている。なお、下面電極について
も、金に代えて銀或いはこれらの混合物を用いることが
出来る。
態の水晶振動子１には、水晶片２の下面側に下面電極５
が設けられている。下面電極５も、前記上面電極２と同
様に、厚さ数１００Å程度のクロムと、厚さ数１００Å
〜数１０００Å程度の金とから成り、水晶片２−クロム
−金という構造になっている。なお、下面電極について
も、金に代えて銀或いはこれらの混合物を用いることが
出来る。
【００３８】図１（Ａ）と図１（Ｂ）を比較すれば明ら
かなように、本実施形態における上面電極３には、水晶
片２を介して、下面電極５と重ならないトリミング部４
が設けられている。図１（Ａ）においては、理解を容易
にするためにトリミング部４を斜線で示したが、実際に
は、上面電極３におけるトリミング部４と他の部分との
境界部は存在せず、一体に形成されている。
かなように、本実施形態における上面電極３には、水晶
片２を介して、下面電極５と重ならないトリミング部４
が設けられている。図１（Ａ）においては、理解を容易
にするためにトリミング部４を斜線で示したが、実際に
は、上面電極３におけるトリミング部４と他の部分との
境界部は存在せず、一体に形成されている。
【００３９】つまり、本実施形態においては、上面電極
３と下面電極５とが非対称に構成されている。その結
果、図１（Ｃ）に示すように、水晶片２の上面側に上面
電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電極５を設ける
と、トリミング部４の下面には、電極が存在しないこと
になる。
３と下面電極５とが非対称に構成されている。その結
果、図１（Ｃ）に示すように、水晶片２の上面側に上面
電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電極５を設ける
と、トリミング部４の下面には、電極が存在しないこと
になる。
【００４０】そして、本実施形態においては、図２に示
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４のみをトリミングするように構成されている。
本実施形態におけるトリミングによれば、トリミング部
４の下面には電極が存在しないので、従来のように下面
電極の一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリ
ミングを行うことが出来る。
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４のみをトリミングするように構成されている。
本実施形態におけるトリミングによれば、トリミング部
４の下面には電極が存在しないので、従来のように下面
電極の一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリ
ミングを行うことが出来る。
【００４１】なお、前記レーザートリミング装置５０に
よるレーザーの照射は、例えば、数μｍ〜数１０μｍ×
数μｍ〜数１０μｍの小領域に所定回数パルスの照射を
行い、照射時間は、１パルス当たり数１０ｎｓｅｃ〜数
１０ｎｓｅｃ程度とする。また、出力は数Ｗ、例えば５
Ｗとする。
よるレーザーの照射は、例えば、数μｍ〜数１０μｍ×
数μｍ〜数１０μｍの小領域に所定回数パルスの照射を
行い、照射時間は、１パルス当たり数１０ｎｓｅｃ〜数
１０ｎｓｅｃ程度とする。また、出力は数Ｗ、例えば５
Ｗとする。
【００４２】前記トリミング部４に対して、８μｍ×８
μｍの小領域を照射領域として定め、この小領域に２パ
ルスずつの照射を行い、順次、隣接する小領域に対して
照射を行うことにより、トリミング部４の金とクロムを
除去し、徐々に水晶振動子１の重量を減少させて、所望
の周波数を得るように調整を行う。
μｍの小領域を照射領域として定め、この小領域に２パ
ルスずつの照射を行い、順次、隣接する小領域に対して
照射を行うことにより、トリミング部４の金とクロムを
除去し、徐々に水晶振動子１の重量を減少させて、所望
の周波数を得るように調整を行う。
【００４３】このように、本実施形態によれば、水晶振
動子１における上面電極３と下面電極５とを非対称形に
形成し、上面電極３に、水晶片２を介して下面電極５と
重ならないトリミング部４を設けるようにしたので、ト
リミング部４のみのトリミングが可能となり、高精度の
周波数調整が可能となる。
動子１における上面電極３と下面電極５とを非対称形に
形成し、上面電極３に、水晶片２を介して下面電極５と
重ならないトリミング部４を設けるようにしたので、ト
リミング部４のみのトリミングが可能となり、高精度の
周波数調整が可能となる。
【００４４】（第２の実施形態）次に、本発明の第２の
実施形態を図３に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
実施形態を図３に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００４５】図３（Ａ）は本実施形態における水晶振動
子１の上面側の電極を示す平面図、図３（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図３（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
子１の上面側の電極を示す平面図、図３（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図３（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
【００４６】本実施形態は、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）
に示すように、上面電極３にトリミング部４Ａを設ける
と共に、下面電極５にもトリミング部４Ｂを設ける。そ
して、トリミング部４Ａ及びトリミング部４Ｂは、それ
ぞれの下面に重なり合う電極が存在しない長さに形成す
る。
に示すように、上面電極３にトリミング部４Ａを設ける
と共に、下面電極５にもトリミング部４Ｂを設ける。そ
して、トリミング部４Ａ及びトリミング部４Ｂは、それ
ぞれの下面に重なり合う電極が存在しない長さに形成す
る。
【００４７】従って、図３（Ｃ）のように、水晶片２の
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部４Ａ及びトリミング部４
Ｂの下面には、電極が存在しないことになる。
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部４Ａ及びトリミング部４
Ｂの下面には、電極が存在しないことになる。
【００４８】そして、本実施形態においても、図２に示
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４Ａまたはトリミング部４Ｂのみをトリミングす
るように構成する。本実施形態におけるトリミングによ
れば、トリミング部４Ａまたはトリミング部４Ｂの下面
には電極が存在しないので、従来のように下面電極の一
部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミングを
行うことが出来る。
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４Ａまたはトリミング部４Ｂのみをトリミングす
るように構成する。本実施形態におけるトリミングによ
れば、トリミング部４Ａまたはトリミング部４Ｂの下面
には電極が存在しないので、従来のように下面電極の一
部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミングを
行うことが出来る。
【００４９】しかも、本実施形態によれば、水晶振動子
１の上面側と下面側の両方にトリミング部が設けられて
いるので、トリミングを行う際に、水晶振動子１の上面
側と下面側とをパターン認識により認識する必要がなく
なるという利点もある。
１の上面側と下面側の両方にトリミング部が設けられて
いるので、トリミングを行う際に、水晶振動子１の上面
側と下面側とをパターン認識により認識する必要がなく
なるという利点もある。
【００５０】（第３の実施形態）次に、本発明の第３の
実施形態を図４に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
実施形態を図４に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００５１】図４（Ａ）は本実施形態における水晶振動
子１の上面側の電極を示す平面図、図４（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図４（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
子１の上面側の電極を示す平面図、図４（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図４（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
【００５２】本実施形態は、図４（Ａ）に示すように、
上面電極３に設けたトリミング部４Ｃの形状が、第１の
実施形態のトリミング部４のものとは異なっている。
上面電極３に設けたトリミング部４Ｃの形状が、第１の
実施形態のトリミング部４のものとは異なっている。
【００５３】本実施形態におけるトリミング部４Ｃは、
図４（Ａ）に示すように、幅の狭い部分４Ｃ−１と、幅
の広い部分４Ｃ−２とから構成されている。
図４（Ａ）に示すように、幅の狭い部分４Ｃ−１と、幅
の広い部分４Ｃ−２とから構成されている。
【００５４】そして、幅の狭い部分４Ｃ−１、幅の広い
部分４Ｃ−２のいずれの部分においても、それぞれの下
面には、図４（Ｂ）に示す下面電極５側に重なり合う電
極が存在しないように構成する。
部分４Ｃ−２のいずれの部分においても、それぞれの下
面には、図４（Ｂ）に示す下面電極５側に重なり合う電
極が存在しないように構成する。
【００５５】従って、図４（Ｃ）のように、水晶片２の
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部４Ｃの下面には、電極が
存在しないことになる。
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部４Ｃの下面には、電極が
存在しないことになる。
【００５６】そして、本実施形態においても、図２に示
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４Ｃのみをトリミングするように構成する。本実
施形態におけるトリミングによれば、トリミング部４Ｃ
の下面には電極が存在しないので、従来のように下面電
極の一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミ
ングを行うことが出来る。
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４Ｃのみをトリミングするように構成する。本実
施形態におけるトリミングによれば、トリミング部４Ｃ
の下面には電極が存在しないので、従来のように下面電
極の一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミ
ングを行うことが出来る。
【００５７】しかも、本実施形態によれば、トリミング
部４Ｃには、幅の狭い部分４Ｃ−１と、幅の広い部分４
Ｃ−２とが形成されているので、幅の広い部分４Ｃ−２
にレーザーを照射することにより粗調を行い、幅の狭い
部分４Ｃ−１にレーザーを照射することにより微調を行
うことが出来る。
部４Ｃには、幅の狭い部分４Ｃ−１と、幅の広い部分４
Ｃ−２とが形成されているので、幅の広い部分４Ｃ−２
にレーザーを照射することにより粗調を行い、幅の狭い
部分４Ｃ−１にレーザーを照射することにより微調を行
うことが出来る。
【００５８】なお、図３に示すトリミング部４Ａ及びト
リミング部４Ｂに、本実施形態のような幅の狭い部分と
幅の広い部分を設けるようにしても良い。
リミング部４Ｂに、本実施形態のような幅の狭い部分と
幅の広い部分を設けるようにしても良い。
【００５９】（第４の実施形態）次に、本発明の第３の
実施形態を図５に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
実施形態を図５に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００６０】図５（Ａ）は本実施形態における水晶振動
子１の上面側の電極を示す平面図、図５（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図５（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
子１の上面側の電極を示す平面図、図５（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図５（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
【００６１】本実施形態は、図５（Ａ）に示すように、
上面電極３に設けたトリミング部４Ｄの形状が、第１の
実施形態のトリミング部４のものとは異なっている。
上面電極３に設けたトリミング部４Ｄの形状が、第１の
実施形態のトリミング部４のものとは異なっている。
【００６２】本実施形態におけるトリミング部４Ｄは、
図５（Ａ）に示すように、幅の狭い部分４Ｄ−１と、幅
の広い部分４Ｄ−２とから構成されている。第３の実施
形態では、トリミング部４Ｃの左右に幅の狭い部分４Ｃ
−１と幅の広い部分４Ｃ−２とを設けたが、本実施形態
では、トリミング部４Ｄの上下に幅の狭い部分４Ｄ−１
と幅の広い部分４Ｄ−２を設けている。
図５（Ａ）に示すように、幅の狭い部分４Ｄ−１と、幅
の広い部分４Ｄ−２とから構成されている。第３の実施
形態では、トリミング部４Ｃの左右に幅の狭い部分４Ｃ
−１と幅の広い部分４Ｃ−２とを設けたが、本実施形態
では、トリミング部４Ｄの上下に幅の狭い部分４Ｄ−１
と幅の広い部分４Ｄ−２を設けている。
【００６３】そして、幅の狭い部分４Ｄ−１、幅の広い
部分４Ｄ−２のいずれの部分においても、それぞれの下
面には、図５（Ｂ）に示す下面電極５側に重なり合う電
極が存在しないように構成する。
部分４Ｄ−２のいずれの部分においても、それぞれの下
面には、図５（Ｂ）に示す下面電極５側に重なり合う電
極が存在しないように構成する。
【００６４】従って、図５（Ｃ）のように、水晶片２の
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部４Ｄの下面には、電極が
存在しないことになる。
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部４Ｄの下面には、電極が
存在しないことになる。
【００６５】そして、本実施形態においても、図２に示
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４Ｄのみをトリミングするように構成する。本実
施形態におけるトリミングによれば、トリミング部４Ｄ
の下面には電極が存在しないので、従来のように下面電
極の一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミ
ングを行うことが出来る。
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部４Ｄのみをトリミングするように構成する。本実
施形態におけるトリミングによれば、トリミング部４Ｄ
の下面には電極が存在しないので、従来のように下面電
極の一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミ
ングを行うことが出来る。
【００６６】しかも、本実施形態によれば、トリミング
部４Ｄには、幅の狭い部分４Ｄ−１と、幅の広い部分４
Ｄ−２とが形成されているので、幅の広い部分４Ｄ−２
にレーザーを照射することにより粗調を行い、幅の狭い
部分４Ｄ−１にレーザーを照射することにより微調を行
うことが出来る。
部４Ｄには、幅の狭い部分４Ｄ−１と、幅の広い部分４
Ｄ−２とが形成されているので、幅の広い部分４Ｄ−２
にレーザーを照射することにより粗調を行い、幅の狭い
部分４Ｄ−１にレーザーを照射することにより微調を行
うことが出来る。
【００６７】なお、図３に示すトリミング部４Ａ及びト
リミング部４Ｂに、本実施形態のような幅の狭い部分と
幅の広い部分を設けるようにしても良い。
リミング部４Ｂに、本実施形態のような幅の狭い部分と
幅の広い部分を設けるようにしても良い。
【００６８】（第５の実施形態）次に、本発明の第５の
実施形態を図６に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
実施形態を図６に基づいて説明する。なお、第１の実施
形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００６９】図６（Ａ）は本実施形態における水晶振動
子１の上面側の電極を示す平面図、図６（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図６（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
子１の上面側の電極を示す平面図、図６（Ｂ）は本実施
形態における水晶振動子１の下面側の電極を上面側から
見た平面図、図６（Ｃ）は前記上面側の電極及び下面側
の電極を設けた本実施形態における水晶振動子１を示す
平面図である。
【００７０】本実施形態は、図６（Ａ）に示すように、
上面電極３の上方に、上面電極３と分離したトリミング
部６を設けたところが、第１の実施形態と異なってい
る。上面電極３と下面電極５は従来通り、対称形とす
る。
上面電極３の上方に、上面電極３と分離したトリミング
部６を設けたところが、第１の実施形態と異なってい
る。上面電極３と下面電極５は従来通り、対称形とす
る。
【００７１】本実施形態におけるトリミング部６は、本
来の電極として機能するものではなく、トリミング用に
設けられたダミー電極である。
来の電極として機能するものではなく、トリミング用に
設けられたダミー電極である。
【００７２】もちろん、トリミング部６の下面にも、図
６（Ｂ）に示す下面電極５側に重なり合う電極が存在し
ないように構成する。
６（Ｂ）に示す下面電極５側に重なり合う電極が存在し
ないように構成する。
【００７３】従って、図６（Ｃ）のように、水晶片２の
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部６の下面には、電極が存
在しないことになる。
上面側に上面電極３を設け、水晶片２の下面側に下面電
極５を設けると、トリミング部６の下面には、電極が存
在しないことになる。
【００７４】そして、本実施形態においても、図２に示
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部６のみをトリミングするように構成する。本実施
形態におけるトリミングによれば、トリミング部６の下
面には電極が存在しないので、従来のように下面電極の
一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミング
を行うことが出来る。
したレーザートリミング装置５０を用いて、このトリミ
ング部６のみをトリミングするように構成する。本実施
形態におけるトリミングによれば、トリミング部６の下
面には電極が存在しないので、従来のように下面電極の
一部が飛散してしまうことがなく、高精度なトリミング
を行うことが出来る。
【００７５】レーザートリミング法による周波数調整
は、上下の電極の重さのバランスにより行われるので、
本実施形態のように、電極と分離したダミー電極を設け
ても、行うことが出来る。
は、上下の電極の重さのバランスにより行われるので、
本実施形態のように、電極と分離したダミー電極を設け
ても、行うことが出来る。
【００７６】以上、各実施形態から明らかなように、本
発明によれば、水晶片を介した下面側に電極が存在しな
いトリミング用の電極を設け、このトリミング用の電極
をレーザートリミング法によりトリミングするようにし
たので、高精度の周波数調整を行うことが出来る。
発明によれば、水晶片を介した下面側に電極が存在しな
いトリミング用の電極を設け、このトリミング用の電極
をレーザートリミング法によりトリミングするようにし
たので、高精度の周波数調整を行うことが出来る。
【００７７】
【発明の効果】請求項１記載の水晶振動子によれば、水
晶片の上面と下面に取り付けられた上面電極と下面電極
は、水晶片に取り付けた状態において重ならない部分を
有する非対称形状なので、この重ならない部分のみにレ
ーザーを照射することが出来、他の電極へのレーザー照
射を回避して、高精度なレーザートリミング法による周
波数調整を行うことが出来る。
晶片の上面と下面に取り付けられた上面電極と下面電極
は、水晶片に取り付けた状態において重ならない部分を
有する非対称形状なので、この重ならない部分のみにレ
ーザーを照射することが出来、他の電極へのレーザー照
射を回避して、高精度なレーザートリミング法による周
波数調整を行うことが出来る。
【００７８】請求項２記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、上面電極または下面電極の外部回路
と接続される端子部分を除く領域に形成されているの
で、レーザートリミングに際して誤って端子部分を除去
してしまうことがなく、安全且つ高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を行うことが出来る。
重ならない部分は、上面電極または下面電極の外部回路
と接続される端子部分を除く領域に形成されているの
で、レーザートリミングに際して誤って端子部分を除去
してしまうことがなく、安全且つ高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を行うことが出来る。
【００７９】請求項３記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、前記上面電極または下面電極のそれ
ぞれに、異なる長さを有して形成されているので、上面
または下面のいずれであっても、レーザートリミング法
におけるレーザー照射が可能であり、上面または下面の
パターン認識工程を省略することが出来る。
重ならない部分は、前記上面電極または下面電極のそれ
ぞれに、異なる長さを有して形成されているので、上面
または下面のいずれであっても、レーザートリミング法
におけるレーザー照射が可能であり、上面または下面の
パターン認識工程を省略することが出来る。
【００８０】請求項４記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、幅の狭い部分と、幅の広い部分とを
有しているので、幅の狭い部分にレーザーを照射するこ
とにより微調を行い、幅の広い部分にレーザーを照射す
ることにより粗調を行うことが出来る。
重ならない部分は、幅の狭い部分と、幅の広い部分とを
有しているので、幅の狭い部分にレーザーを照射するこ
とにより微調を行い、幅の広い部分にレーザーを照射す
ることにより粗調を行うことが出来る。
【００８１】請求項５記載の水晶振動子によれば、前記
重ならない部分は、水晶振動子の周波数調整のためのレ
ーザー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー
照射を回避して、高精度なレーザートリミング法による
周波数調整を行うことが出来る。
重ならない部分は、水晶振動子の周波数調整のためのレ
ーザー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー
照射を回避して、高精度なレーザートリミング法による
周波数調整を行うことが出来る。
【００８２】請求項６記載の水晶振動子によれば、前記
上面または下面の少なくともいずれか一方には、前記上
面電極または下面電極と分離された、ダミー電極が、他
の電極と重ならない位置に形成されているので、このダ
ミー電極のみにレーザーを照射することが出来、他の電
極へのレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を行うことが出来る。
上面または下面の少なくともいずれか一方には、前記上
面電極または下面電極と分離された、ダミー電極が、他
の電極と重ならない位置に形成されているので、このダ
ミー電極のみにレーザーを照射することが出来、他の電
極へのレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリ
ミング法による周波数調整を行うことが出来る。
【００８３】請求項７記載の水晶振動子によれば、前記
ダミー電極は、水晶振動子の周波数調整のためのレーザ
ー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー照射
を回避して、高精度なレーザートリミング法による周波
数調整を行うことが出来る。
ダミー電極は、水晶振動子の周波数調整のためのレーザ
ー照射を受ける部分なので、他の電極へのレーザー照射
を回避して、高精度なレーザートリミング法による周波
数調整を行うことが出来る。
【００８４】請求項８記載の水晶振動子の周波数調整方
法によれば、まず、水晶片の上面に設けられた上面電
極、または下面に設けられた下面電極のうち、水晶片に
取り付けた状態において重ならない部分を、レーザー光
照射面として載置する。次に、前記重ならない部分にレ
ーザー光を照射する。従って、レーザーの照射は、この
重ならない部分にのみ行われることになり、他の電極へ
のレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリミン
グ法による周波数調整を行うことが出来る。
法によれば、まず、水晶片の上面に設けられた上面電
極、または下面に設けられた下面電極のうち、水晶片に
取り付けた状態において重ならない部分を、レーザー光
照射面として載置する。次に、前記重ならない部分にレ
ーザー光を照射する。従って、レーザーの照射は、この
重ならない部分にのみ行われることになり、他の電極へ
のレーザー照射を回避して、高精度なレーザートリミン
グ法による周波数調整を行うことが出来る。
【００８５】請求項９記載の水晶振動子の周波数調整方
法によれば、前記レーザー光を照射する際には、所定の
小領域でレーザ光を照射し、前記重ならない部分の上面
電極または下面電極に対して、当該小領域を順次移動さ
せる。従って、レーザーの照射は、前記重ならない部分
上において高精度に行われることになり、且つ、他の電
極へのレーザー照射も回避されるので、極めて高精度な
レーザートリミング法による周波数調整を行うことが出
来る。
法によれば、前記レーザー光を照射する際には、所定の
小領域でレーザ光を照射し、前記重ならない部分の上面
電極または下面電極に対して、当該小領域を順次移動さ
せる。従って、レーザーの照射は、前記重ならない部分
上において高精度に行われることになり、且つ、他の電
極へのレーザー照射も回避されるので、極めて高精度な
レーザートリミング法による周波数調整を行うことが出
来る。
【００８６】請求項１０記載の水晶振動子の周波数調整
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、一の
小領域に対するレーザー光照射後に、該一の小領域に隣
接する小領域をレーザー光照射し、これを順次行う。従
って、レーザーの照射は、前記重ならない部分上におい
て高精度に行われることになり、且つ、他の電極へのレ
ーザー照射も回避されるので、極めて高精度なレーザー
トリミング法による周波数調整を行うことが出来る。
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、一の
小領域に対するレーザー光照射後に、該一の小領域に隣
接する小領域をレーザー光照射し、これを順次行う。従
って、レーザーの照射は、前記重ならない部分上におい
て高精度に行われることになり、且つ、他の電極へのレ
ーザー照射も回避されるので、極めて高精度なレーザー
トリミング法による周波数調整を行うことが出来る。
【００８７】請求項１１記載の水晶振動子の周波数調整
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、前記
重ならない部分のうち幅の広い部分にレーザー光を照射
することにより、粗調を行うことが出来る。また、前記
重ならない部分のうち幅の狭い部分にレーザー光を照射
することにより、微調を行うことが出来る。
方法によれば、前記レーザー光を照射する際には、前記
重ならない部分のうち幅の広い部分にレーザー光を照射
することにより、粗調を行うことが出来る。また、前記
重ならない部分のうち幅の狭い部分にレーザー光を照射
することにより、微調を行うことが出来る。
【図１】本発明の第１の実施形態における水晶振動子を
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるレーザートリ
ミング装置の概略構成を示す図である。
ミング装置の概略構成を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施形態における水晶振動子を
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態における水晶振動子を
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態における水晶振動子を
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
【図６】本発明の第５の実施形態における水晶振動子を
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
示す上面図であり、（Ａ）は水晶振動子の上面電極を示
す上面図、（Ｂ）は水晶振動子の上面側から下面電極を
見た上面図、（Ｃ）は上面電極と下面電極を取り付けた
水晶振動子の上面図である。
１…水晶振動子 ２…水晶片 ３…上面電極 ４、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ…トリミング部 ４Ｃ−１、４Ｄ−１…幅の狭い部分 ４Ｃ−２、４Ｄ−２…幅の広い部分 ５…下面電極 ６…トリミング部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 進一 埼玉県鶴ヶ島市富士見６丁目１番１号 株 式会社パイオニアエフ・エー内 (72)発明者 星野 要二 埼玉県鶴ヶ島市富士見６丁目１番１号 株 式会社パイオニアエフ・エー内 Ｆターム(参考） 5J108 AA02 BB02 CC04 FF02 FF03 FF04 HH04 HH06 KK06 NA02 NB05
Claims (11)
- 【請求項１】 水晶片の上面と下面に各々上面電極と下
面電極を取り付けた水晶振動子であって、 前記上面電極と下面電極は、水晶片に取り付けた状態に
おいて重ならない部分を有する非対称形状に形成されて
いる、 ことを特徴とする水晶振動子。 - 【請求項２】 前記重ならない部分は上面電極または下
面電極の外部回路と接続される端子部分を除く領域に形
成されていることを特徴とする請求項１記載の水晶振動
子。 - 【請求項３】 前記重ならない部分は、前記上面電極ま
たは下面電極のそれぞれに、異なる長さを有して形成さ
れている、ことを特徴とする請求項１または２記載の水
晶振動子。 - 【請求項４】 前記重ならない部分は、幅の狭い部分
と、幅の広い部分とを有している、ことを特徴とする請
求項１ないし３のいずれか１記載の水晶振動子。 - 【請求項５】 前記重ならない部分は、水晶振動子の周
波数調整のためのレーザー照射を受ける部分であること
を特徴とする請求項１ないし４のいずれか１記載の水晶
振動子。 - 【請求項６】 水晶片の上面と下面に各々上面電極と下
面電極を取り付けた水晶振動子であって、前記上面また
は下面の少なくともいずれか一方には、前記上面電極ま
たは下面電極と分離された、ダミー電極が、他の電極と
重ならない位置に形成されている、 ことを特徴とする水晶振動子。 - 【請求項７】 前記ダミー電極は、水晶振動子の周波数
調整のためのレーザー照射を受ける電極であることを特
徴とする請求項６記載の水晶振動子。 - 【請求項８】 水晶片の上面と下面に各々上面電極と下
面電極を取り付けた水晶振動子のレーザートリミング法
による周波数調整方法であって、 前記上面電極または下面電極のうち、水晶片に取り付け
た状態において重ならない部分を、レーザー光照射面と
して載置する工程と、 前記重ならない部分にレーザー光を照射する工程と、 を有することを特徴する水晶振動子の周波数調整方法。 - 【請求項９】 前記レーザー光を照射する工程は、所定
の小領域でレーザ光を照射し、前記重ならない部分の上
面電極または下面電極に対して、当該小領域を順次移動
させて行う工程であることを特徴とする請求項８記載の
水晶振動子の周波数調整方法。 - 【請求項１０】 前記レーザー光を照射する工程は、一
の小領域に対するレーザー光照射後に、該一の小領域に
隣接する小領域をレーザー光照射し、これを順次行う工
程であることを特徴とする請求項９記載の水晶振動子の
周波数調整方法。 - 【請求項１１】 前記レーザー光を照射する工程は、
前記重ならない部分のうち幅の広い部分にレーザー光を
照射して粗調を行う工程と、前記重ならない部分のうち
幅の狭い部分にレーザー光を照射して微調を行う工程と
を含む、ことを特徴とする請求項８ないし１０のいずれ
か１記載の水晶振動子の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000381804A JP2002185286A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 水晶振動子及び水晶振動子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000381804A JP2002185286A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 水晶振動子及び水晶振動子の周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002185286A true JP2002185286A (ja) | 2002-06-28 |
Family
ID=18849739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000381804A Abandoned JP2002185286A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 水晶振動子及び水晶振動子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002185286A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008160824A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-07-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子、圧電振動子の製造方法及び電子部品 |
| JP2011147113A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-07-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス |
| JP2013253895A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、電子機器、移動体、および電子デバイスの製造方法 |
| KR20150060340A (ko) * | 2013-11-26 | 2015-06-03 | 삼성전기주식회사 | 수정 진동자 및 그 제조방법 |
-
2000
- 2000-12-15 JP JP2000381804A patent/JP2002185286A/ja not_active Abandoned
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008160824A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-07-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子、圧電振動子の製造方法及び電子部品 |
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| US8278798B2 (en) | 2009-12-15 | 2012-10-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Crystal device |
| JP2013253895A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、電子機器、移動体、および電子デバイスの製造方法 |
| KR20150060340A (ko) * | 2013-11-26 | 2015-06-03 | 삼성전기주식회사 | 수정 진동자 및 그 제조방법 |
| KR101606962B1 (ko) * | 2013-11-26 | 2016-03-28 | 삼성전기주식회사 | 수정 진동자 및 그 제조방법 |
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