JPS6237905A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPS6237905A JPS6237905A JP60177954A JP17795485A JPS6237905A JP S6237905 A JPS6237905 A JP S6237905A JP 60177954 A JP60177954 A JP 60177954A JP 17795485 A JP17795485 A JP 17795485A JP S6237905 A JPS6237905 A JP S6237905A
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- JP
- Japan
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- resistor
- trimming
- resistance value
- amount
- shape
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- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はセラミック基板上などに作製された膜抵抗体素
子のトリミング方法に関するものである。
子のトリミング方法に関するものである。
従来の技術
近年、機器の小型化が進むにつれ、電子部品実装も高密
度化の傾向にある。その実装方法の１つにハイブリッド
ＩＣ（以下ＨＩＣと呼ぶ。）がある。このＨＩＧに用い
られる抵抗体の製造方法はセラミック基板上に抵抗体電
極ならびに配線パターンの形成後、印刷捷たは描画によ
り抵抗体を形成する。しかし、作製された抵抗体の抵抗
値は印２１・−ノ 刷・焼成条件などによりバラツキが生じる。そのため抵
抗体にトリミングをおこない、抵抗値を増大させ所望抵
抗値を得ている。この抵抗値調整には抵抗体単体の抵抗
値そのものを所定値にトリミングする素子トリミングと
、回路を動作させ、所定の回路特性（発振周波数ｅｔｃ
）を得る寸で調整用抵抗体をトリミングする機能トリ
ミングの２種類がある。近年、抵抗体実装も高密度化お
よび抵抗体の小型化の傾向にあるため、ます捷すトリミ
ングによる抵抗値調整が重要となりつつある。
度化の傾向にある。その実装方法の１つにハイブリッド
ＩＣ（以下ＨＩＣと呼ぶ。）がある。このＨＩＧに用い
られる抵抗体の製造方法はセラミック基板上に抵抗体電
極ならびに配線パターンの形成後、印刷捷たは描画によ
り抵抗体を形成する。しかし、作製された抵抗体の抵抗
値は印２１・−ノ 刷・焼成条件などによりバラツキが生じる。そのため抵
抗体にトリミングをおこない、抵抗値を増大させ所望抵
抗値を得ている。この抵抗値調整には抵抗体単体の抵抗
値そのものを所定値にトリミングする素子トリミングと
、回路を動作させ、所定の回路特性（発振周波数ｅｔｃ
）を得る寸で調整用抵抗体をトリミングする機能トリ
ミングの２種類がある。近年、抵抗体実装も高密度化お
よび抵抗体の小型化の傾向にあるため、ます捷すトリミ
ングによる抵抗値調整が重要となりつつある。
以下、図面を参照しながら、従来の抵抗体の素子トリミ
ングについて説明する。捷だ簡単のためにトリミングす
べき抵抗体個数を２個として説明する。第３図は従来の
抵抗体のトリミング方法を説明するだめのブロック図で
、１はＨＩＧ基板、２．３は抵抗値Ｒｏ１・Ｒ［１２を
有する印刷抵抗体、４．５，６．７は抵抗体電極部に圧
接されたプローブ、８は抵抗体２．３の抵抗値を測定す
る初期抵抗値計測手段、９は初期抵抗値計測手段８より
得られた抵抗体の初期抵抗値Ｒ，ｉｔ １＝１１２ ）
３、、７ と抵抗体２，３の形状寸法ならびに所望抵抗値Ｒ１１（
１−１，２）からトリミング量ｅｉ（ｉ＝１．２）を計
算するトリミング量割算手段、１０は抵抗体２．３上に
レーザ光１１の集光点１２をトリミング量ｅ１ だけ移
動させトリミングをおこなうトリミング手段である。捷
だ、第３図中の破線部Ａは抵抗値計測位置決めステージ
、破線部Ｂはトリミング位置決めステージである。
ングについて説明する。捷だ簡単のためにトリミングす
べき抵抗体個数を２個として説明する。第３図は従来の
抵抗体のトリミング方法を説明するだめのブロック図で
、１はＨＩＧ基板、２．３は抵抗値Ｒｏ１・Ｒ［１２を
有する印刷抵抗体、４．５，６．７は抵抗体電極部に圧
接されたプローブ、８は抵抗体２．３の抵抗値を測定す
る初期抵抗値計測手段、９は初期抵抗値計測手段８より
得られた抵抗体の初期抵抗値Ｒ，ｉｔ １＝１１２ ）
３、、７ と抵抗体２，３の形状寸法ならびに所望抵抗値Ｒ１１（
１−１，２）からトリミング量ｅｉ（ｉ＝１．２）を計
算するトリミング量割算手段、１０は抵抗体２．３上に
レーザ光１１の集光点１２をトリミング量ｅ１ だけ移
動させトリミングをおこなうトリミング手段である。捷
だ、第３図中の破線部Ａは抵抗値計測位置決めステージ
、破線部Ｂはトリミング位置決めステージである。
以下、第３図を参照しながらその動作を説明する。寸ず
ＨＩＣ基板１を抵抗値計測ステージＡに位置決めしてプ
ローブ４，５，６．７を抵抗体電極部に圧接し、抵抗体
２．３の初期抵抗値ＲＤｉ（ｉ＝１．２）を初期抵抗値
計測手段８にて計測する。次にプローブ４，５，６．７
を外した後、ＨＩＣ基板１をトリミングステージＢに移
動して位置決めすると共に、トリミング量ｄｉ（ｉ＝１
゜２）をトリミング量計算手段９にて計算する。トリミ
ング手段１０はレーザ集光点１２を前記計算で求めたト
リミング量ｅ１ だけ抵抗体２上を、またトリミング
量ｅ２ だけ抵抗体３上をそれぞれ移動させトリミング
は完了する。第４図はトリミング後の抵抗体の平面図を
示す。１３ａ、１３ｂは抵抗体に付加された電極、１４
はトリミング溝である。またＷは抵抗体幅、Ｌは抵抗体
長を表す。
ＨＩＣ基板１を抵抗値計測ステージＡに位置決めしてプ
ローブ４，５，６．７を抵抗体電極部に圧接し、抵抗体
２．３の初期抵抗値ＲＤｉ（ｉ＝１．２）を初期抵抗値
計測手段８にて計測する。次にプローブ４，５，６．７
を外した後、ＨＩＣ基板１をトリミングステージＢに移
動して位置決めすると共に、トリミング量ｄｉ（ｉ＝１
゜２）をトリミング量計算手段９にて計算する。トリミ
ング手段１０はレーザ集光点１２を前記計算で求めたト
リミング量ｅ１ だけ抵抗体２上を、またトリミング
量ｅ２ だけ抵抗体３上をそれぞれ移動させトリミング
は完了する。第４図はトリミング後の抵抗体の平面図を
示す。１３ａ、１３ｂは抵抗体に付加された電極、１４
はトリミング溝である。またＷは抵抗体幅、Ｌは抵抗体
長を表す。
なお、ｅｌ は次式で求まる。
・・・・・・・・■
但し、πは円周率、ｉは整数
発明が解決しようとする問題点
、 しかしながら、」二記の抵抗体のトリミング方法
では抵抗体幅Ｗを設計寸法（通常印刷マスク寸法）およ
び抵抗体膜厚を一定としてトリミング量ｅを計算してい
るが、厚膜抵抗体は印刷スクリーンの網線、および印刷
状態（印刷にじみなど）により抵抗体上・ンジが第６図
ａに示すように直線にならず、しだがって抵抗体幅Ｗの
長さが印刷マスク寸法とならず不明確であり、捷だ第５
図すの断面図で明らかなとおり抵抗体膜厚は抵抗体エツ
ジ部において一定でない。ゆえに所望抵抗値を得るだめ
６ペーノ のトリミング量は正確に算出することが困難である。そ
の上、第６図に示すように抵抗体を印刷する際、ＨＩＧ
基板の位置決め精度、印刷マスクの取り付は精度により
、抵抗体の位置バラツキが生じるため作成された抵抗体
のエツジより算出されたトリミング量をほどこすことが
困難である。したがって所望抵抗値からの誤差が大きく
なるという問題点を有していた。
では抵抗体幅Ｗを設計寸法（通常印刷マスク寸法）およ
び抵抗体膜厚を一定としてトリミング量ｅを計算してい
るが、厚膜抵抗体は印刷スクリーンの網線、および印刷
状態（印刷にじみなど）により抵抗体上・ンジが第６図
ａに示すように直線にならず、しだがって抵抗体幅Ｗの
長さが印刷マスク寸法とならず不明確であり、捷だ第５
図すの断面図で明らかなとおり抵抗体膜厚は抵抗体エツ
ジ部において一定でない。ゆえに所望抵抗値を得るだめ
６ペーノ のトリミング量は正確に算出することが困難である。そ
の上、第６図に示すように抵抗体を印刷する際、ＨＩＧ
基板の位置決め精度、印刷マスクの取り付は精度により
、抵抗体の位置バラツキが生じるため作成された抵抗体
のエツジより算出されたトリミング量をほどこすことが
困難である。したがって所望抵抗値からの誤差が大きく
なるという問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、従来の問題点を排除した抵
抗体のトリミング方法を提供するものである。
抗体のトリミング方法を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するだめの本発明の抵抗体のトリミン
グ方法は絶縁基板上に作製された膜抵抗体を規定形状に
した後、前記規定形状の抵抗体の形状寸法、初期抵抗値
および所望抵抗値からトリミング量を算出する抵抗体の
トリミング方法である。
グ方法は絶縁基板上に作製された膜抵抗体を規定形状に
した後、前記規定形状の抵抗体の形状寸法、初期抵抗値
および所望抵抗値からトリミング量を算出する抵抗体の
トリミング方法である。
作用
本発明は抵抗体の膜厚が一定でない部分、抵抗６ヘー７
体端が直線的でない部分をカットし、抵抗体を規定形状
にし、その規定形状の抵抗体の形状寸法、初期抵抗値お
よび所望抵抗値からトリミング量を算出するものである
から、抵抗値誤差を大幅に減少させることができるもの
である。
にし、その規定形状の抵抗体の形状寸法、初期抵抗値お
よび所望抵抗値からトリミング量を算出するものである
から、抵抗値誤差を大幅に減少させることができるもの
である。
実施例
以下本発明の一実施例の抵抗体のトリミング方法につい
゛Ｃ図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の抵
抗体のトリミング方法を説明するだめのブロック図であ
り、１６は絶縁基板上に作製された抵抗体を規定形状に
カットする抵抗体形状規定手段である。第２図は本発明
の抵抗体のトリミング方法の一実施例をおこなった抵抗
体の平面図である。第２図において１７．１８は抵抗体
を規定形状にするだめのトリミング溝であり、１９は所
望抵抗値を得るだめのトリミング溝である。
゛Ｃ図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の抵
抗体のトリミング方法を説明するだめのブロック図であ
り、１６は絶縁基板上に作製された抵抗体を規定形状に
カットする抵抗体形状規定手段である。第２図は本発明
の抵抗体のトリミング方法の一実施例をおこなった抵抗
体の平面図である。第２図において１７．１８は抵抗体
を規定形状にするだめのトリミング溝であり、１９は所
望抵抗値を得るだめのトリミング溝である。
ここでは簡単のために第１図のブロック図では抵抗体形
状を２個としている。捷ず、ＨＩＣ基板を位置決めステ
ージＣに位置決めする。抵抗体形状規定手段１６はＨＩ
Ｃ基板上の抵抗体に対し、あ７７、−７ らかしめ規定された抵抗体形状になるようにトリミング
をおこなう。この工程後の抵抗体の平面図を第２図ａに
示す、このトリミングにより抵抗体は膜厚が均一とみな
せる部分のみが抵抗値を示す。
状を２個としている。捷ず、ＨＩＣ基板を位置決めステ
ージＣに位置決めする。抵抗体形状規定手段１６はＨＩ
Ｃ基板上の抵抗体に対し、あ７７、−７ らかしめ規定された抵抗体形状になるようにトリミング
をおこなう。この工程後の抵抗体の平面図を第２図ａに
示す、このトリミングにより抵抗体は膜厚が均一とみな
せる部分のみが抵抗値を示す。
その初期抵抗値をＲ’ｇｉ （ｉ＝１ 、２ ）とす
る。
る。
ここで１対のトリミング溝１７の間隔をＷ’ｉ （ｉ−
１，２）とする。つぎにＨＩＣ基板を抵抗値計測ステー
ジＡに送り位置決めする。プローブ４゜６を抵抗体２に
、プローブ６．７を抵抗体３の電極に圧接し、初期抵抗
値Ｒ’ｏｉ（ｉ＝１．２ ）を測定する。次の計算手段
９により所望抵抗値ＲｔｉＦｉ＝１．２）を得るだめの
トリミング量ｅ’１（ｉ−１，２）を算出するとともに
ＨＩＣ基板をトリミングステージ已に位置決めする。こ
のｅ′ｌは抵抗体長をＬｉ（ｉ＝１．２）とすれば次式
で求捷る。
１，２）とする。つぎにＨＩＣ基板を抵抗値計測ステー
ジＡに送り位置決めする。プローブ４゜６を抵抗体２に
、プローブ６．７を抵抗体３の電極に圧接し、初期抵抗
値Ｒ’ｏｉ（ｉ＝１．２ ）を測定する。次の計算手段
９により所望抵抗値ＲｔｉＦｉ＝１．２）を得るだめの
トリミング量ｅ’１（ｉ−１，２）を算出するとともに
ＨＩＣ基板をトリミングステージ已に位置決めする。こ
のｅ′ｌは抵抗体長をＬｉ（ｉ＝１．２）とすれば次式
で求捷る。
・・・・・・・・・■
但し、πは円周率、ｉは整数
このようにして求められたｅ′１はトリミング手段１０
に送られ、トリミング手段１０は第２図すに示すａ点か
ら、レーザ光１１の集光点１２をｅ １１だけ移動させ
トリミングは完了する。
に送られ、トリミング手段１０は第２図すに示すａ点か
ら、レーザ光１１の集光点１２をｅ １１だけ移動させ
トリミングは完了する。
なお、ここでは抵抗体規定形状手段１６を用いて抵抗体
を規定形状にカットするとしたが、トリミング手段１ｏ
と兼用し、捷ずＨＩＧ基板をトリミング位置決めステー
ジＢに位置決めし、トリミング手段１０を用いて、抵抗
体を規定形状にトリミングし、次に抵抗値測定ステージ
ＡＫＨ：ｔ ｃ基板１を送出し、位置決めをおこない初
期抵抗値を測定したのちトリミングステージＢに位置決
めするとともにトリミング量計算手段９でトリミング量
を計算し、そのトリミング量だけレーザ集光点を抵抗体
上を移動させてもよいことは明らかである。捷だトリミ
ング量ｅ′ はａ点から必ずしもほどこす必要は々く、
１対のトリミング溝１８内でかつ抵抗体長の中央近傍で
ｅ′のトリミング量のトリミング溝を形成できればよい
ことは明らかである。また規定形状とは第２図ａの形状
に限った９べ一／ ものではなく、たとえば第２図Ｃのようにトリミングを
おこなってもよい。
を規定形状にカットするとしたが、トリミング手段１ｏ
と兼用し、捷ずＨＩＧ基板をトリミング位置決めステー
ジＢに位置決めし、トリミング手段１０を用いて、抵抗
体を規定形状にトリミングし、次に抵抗値測定ステージ
ＡＫＨ：ｔ ｃ基板１を送出し、位置決めをおこない初
期抵抗値を測定したのちトリミングステージＢに位置決
めするとともにトリミング量計算手段９でトリミング量
を計算し、そのトリミング量だけレーザ集光点を抵抗体
上を移動させてもよいことは明らかである。捷だトリミ
ング量ｅ′ はａ点から必ずしもほどこす必要は々く、
１対のトリミング溝１８内でかつ抵抗体長の中央近傍で
ｅ′のトリミング量のトリミング溝を形成できればよい
ことは明らかである。また規定形状とは第２図ａの形状
に限った９べ一／ ものではなく、たとえば第２図Ｃのようにトリミングを
おこなってもよい。
発明の効果
以上の説明から明らかなように膜厚が一定でない部分、
抵抗体端が直線的でない部分をカットし、抵抗体形状を
規定形状にするととにより、その規定形状の抵抗体の形
状寸法、初期抵抗値および所望抵抗値からトリミング量
を算出するものであるから、所望抵抗値からの抵抗値誤
差を大幅に減少させることができる。寸だ抵抗体端をカ
ットし、あらたに生じた抵抗体端から算出したトリミン
グ量をほどこすことにより、抵抗体印刷位置ずれの影響
をなくすことができる。以上のことから高精度の抵抗体
トリミングをおこなえるため、その生産性にあたえる効
果は犬である。
抵抗体端が直線的でない部分をカットし、抵抗体形状を
規定形状にするととにより、その規定形状の抵抗体の形
状寸法、初期抵抗値および所望抵抗値からトリミング量
を算出するものであるから、所望抵抗値からの抵抗値誤
差を大幅に減少させることができる。寸だ抵抗体端をカ
ットし、あらたに生じた抵抗体端から算出したトリミン
グ量をほどこすことにより、抵抗体印刷位置ずれの影響
をなくすことができる。以上のことから高精度の抵抗体
トリミングをおこなえるため、その生産性にあたえる効
果は犬である。
第１図は本発明の抵抗体のトリミング方法を示すブロッ
ク図、第２図は本発明の抵抗体のトリミ１０へ−２ 第４図、第６図は従来の抵抗体のトリミング方法をおこ
なった抵抗体の外観図、第６図は抵抗体の平面図および
断面図である。 １・・・・・・ＨＩＣ基板、２．３・・・・・・抵抗体
、４Ｉ５゜６．７・・・・・・プローブ、８・・・・初
期抵抗値測定手段、９・・・・・・トリミング量計算手
段、１０・・・・・・トリミング手段、１１・・・・・
・レーザ光、１２・・・・・・レーザ集光点、１３ａ、
１３ｂ・・・・・・電極＋１４．１７．１８゜１９・・
・・・・トリミング溝、１６・・・・・・厚膜抵抗体。 １６・・・・・・抵抗体形状規定手段。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第５
図 （のシ バ１ ハ′ （ｂ）
ク図、第２図は本発明の抵抗体のトリミ１０へ−２ 第４図、第６図は従来の抵抗体のトリミング方法をおこ
なった抵抗体の外観図、第６図は抵抗体の平面図および
断面図である。 １・・・・・・ＨＩＣ基板、２．３・・・・・・抵抗体
、４Ｉ５゜６．７・・・・・・プローブ、８・・・・初
期抵抗値測定手段、９・・・・・・トリミング量計算手
段、１０・・・・・・トリミング手段、１１・・・・・
・レーザ光、１２・・・・・・レーザ集光点、１３ａ、
１３ｂ・・・・・・電極＋１４．１７．１８゜１９・・
・・・・トリミング溝、１６・・・・・・厚膜抵抗体。 １６・・・・・・抵抗体形状規定手段。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第５
図 （のシ バ１ ハ′ （ｂ）
Claims (1)
- 絶縁基板上に作製された膜抵抗体を規定形状にした後
、前記規定形状の抵抗体の形状寸法、初期抵抗値および
所望抵抗値からトリミング量を算出する抵抗体のトリミ
ング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177954A JPS6237905A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177954A JPS6237905A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237905A true JPS6237905A (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=16039985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60177954A Pending JPS6237905A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237905A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017147404A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | Koa株式会社 | 金属板抵抗器の製造方法 |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP60177954A patent/JPS6237905A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017147404A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | Koa株式会社 | 金属板抵抗器の製造方法 |
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