JPS6310596B2 - - Google Patents

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JPS6310596B2
JPS6310596B2 JP58195739A JP19573983A JPS6310596B2 JP S6310596 B2 JPS6310596 B2 JP S6310596B2 JP 58195739 A JP58195739 A JP 58195739A JP 19573983 A JP19573983 A JP 19573983A JP S6310596 B2 JPS6310596 B2 JP S6310596B2
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JP
Japan
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electrostrictive
layer
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electrostriction
effect
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JP58195739A
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Eiichi Sato
Izumi Fukui
Osamu Inui
Takeshi Yano
Sadayuki Takahashi
Atsushi Ochi
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NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
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Priority to DE8484112592T priority patent/DE3468789D1/de
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    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04—Constructional details
    • H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

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  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は縦効果を利用した電歪効果素子に関す
る。
第１図ａは従来の電歪効果素子を示すものであ
る。この電歪効果素子は母材としてジルコンチタ
ン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛等電歪材料より
成つており、内部に金属膜より成り、電歪効果素
子の断面と同面積で端面が電歪効果素子の側面に
露出している複数個の内部電極２及び２′を有し
ている。内部電極２及び２′は、１つおきに各々
外部電極素子Ａ及びＢに接続されている。外部電
極Ａ，Ｂ間に正負の電圧が印加されると、前記内
部電極２及び２′にはさまれる前記電歪材料内
（以後内部電極２及び２′にはさまれる電歪材料の
部分を電歪効果層１０と呼ぶ。）に電界３及び
３′を生じる。電界３及び３′により、それぞれの
電歪効果層１０は電歪材料の縦効果による電歪効
果素子の長手方向に伸び歪を発生する。ここに、
電界３及び３′の方向は180度異なるが電歪材料の
縦効果による伸び歪は相加されて全体として素子
の長手方向に伸び歪ε1を発生する。一方、電界３
及び３′による電歪材料の横効果により縮み歪ε2
も同時に発生する。この電歪効果素子の構造的特
徴はこの素子の上部及び下部に各々厚さh01，h02
を有する、電界のかからない保護層（以後、ダミ
ー層２０と呼ぶ。）を有し、ダミー層２０を除い
て実質的に同一の電極間隔h1を有することであ
る。このダミー層２０は電歪効果素子を歪提供物
として有効である。即ち、電歪効果素子と外部と
の絶縁をはかることが可能であると共に、接着
等、他の物体への取り付部として利用することが
できる。
第１図ｂには同図ａの構成を有する電歪効果素
子に取り付けられている外部電極端子Ａ，Ｂ間に
直流電圧を印加した場合のこの電歪効果素子の歪
変形を破線で表わす。ここに前記電歪材料の横効
果による縮み変位ε2は電歪効果素子の長手方向中
央部の縮み歪に比べ、その上端及び下端部に近い
ほど小さくなつており、前記電歪材料の縦効果に
よる伸び歪ε1は、中央で最大となり歪ε1の分布が
ほぼ円弧状になるたわみ変形となる。これは電歪
効果素子が上端部及び下端部に電界の印加されな
いダミー層２０を有することによるもので、ダミ
ー層がなければ縦効果による伸び歪ε1及び横効果
による縮み歪ε2は一様の値となるものである。即
ち、ダミー層２０に隣接している電歪効果層１０
においては電界が印加されると矢印S1方向に電歪
材料の横効果による力が発生し矢印S1方向に縮も
うとするが、ダミー層２０においては電界が印加
されないため前記電歪材料の縦効果及び横効果に
よる伸び歪及び縮み歪を発生しない。このためダ
ミー層２０に隣接している電歪効果層１０に発生
する前記横効果による縮み変位ε2を抑制すること
となり、その結果、電歪効果層１０とダミー層２
０との界面に矢印S2方向にせん断応力集中が発生
し、割れ等の機械的破壊が生ずる要因を有すると
いう欠点がある。
本発明の目的は、機械的破壊の要因となるせん
断応力の集中を緩和し、寿命信頼性の高い電歪効
果素子を提供することにある。
本発明は、電歪効果層とこれとほぼ同じ接触面
積を有する内部電極とを交互に積層し、その両端
の内部電極にこれとほぼ同じ接触面積の電歪材料
から成る保護層を接触させ、前記内部電極によつ
て前記電歪効果層に電界を印加する電歪効果素子
において、前記電歪効果層の厚さの最小値の1.1
倍以上の層厚を有する電歪効果層を一層以上有す
ることを特徴とするものである。
第２図ａは本発明の第一の実施例を示すもの
で、この素子は前記電歪材料より成り内部に金属
膜より成り素子の断面と同面積で端面がこの素子
の側面に露出している内部電極２及び２′を有し
ている。内部電極２及び２′は１つおきに各々外
部電極端子Ａ及びＢに接続されており、外部電極
端子Ａ，Ｂ間に正負の電圧が印加されると内部電
極２及び２′にはさまれる電歪材料内、即ち電歪
効果層１０及び１１に、電界３及び３′を生じる。
この電歪効果素子は、上端部及び下端部にそれぞ
れ電界のかからないダミー層２０を有しており、
ダミー層２０に隣接している電歪効果層１０にそ
れぞれ前記電界を印加するための内部電極２及び
２′の間隔atは他の電歪効果層１１にそれぞれ前
記電界を印加するための内部電極２及び２′の間
隔ｔのａ倍（ａ＞１）である。
電界３及び３′が印加されると、電歪効果層１
０及び１１は電歪材料の縦効果によりこの電歪効
果素子の長手方向にそれぞれ伸び歪を発生しこの
伸び歪は相加されて全体として伸び歪ε1を発生す
ると同時に電歪材料の横効果により矢印S1方向に
縮み歪ε2を発生するが、ダミー層２０は電界が印
加されないため電歪材料の縦効果及び横効果によ
る伸び歪及び縮み歪を発生しない。このため、電
歪効果層１０に発生する前記横効果による縮み歪
ε2を抑制し、電歪効果層１０とダミー層２０との
界面にせん断応力集中が発生するが、ダミー層２
０に隣接する電歪効果層１０の層厚を他の電歪効
果層１１の層厚のａ倍（ａ＞１）としていること
により、電歪効果層１０の印加電界は他の電歪効
果層１１の印加電界の１／ａの大きさとなり、前
記電歪材料の横効果による縮み歪ε2を小さくする
ことにより電歪効果層１０とダミー層２０との界
面に発生するせん断応力集中を緩和することが可
能となる。
第２図ｂは同図ａの電歪効果素子の斜線部即ち
１／４区間を示すもので、電歪効果層１０とダミー
層２０との界面に発生するせん断応力を求めるた
めの解析モデルである。電歪効果層１１の厚さｔ
＝230μｍ、ダミー層２０の層厚h01（＝h02）＝0.5
mm、電歪効果層１０の厚さを電歪効果層１１の層
厚のａ倍とし、外部電極端子Ａ，Ｂ間に直流電圧
200ボルト印加した時の、電歪効果層１０とダミ
ー層２０との界面（断面積＝６mm2、幅２ｍ＝３
mm、奥行ｎ＝２mm）に発生するせん断応力の値を
第２図ｃに示す。第２図ｃに於いてａ＝１の場合
が従来の電歪効果素子、即ち内部電極２及び２′
の間隔が全て等しい場合に相当し、この場合の電
歪効果層１０とダミー層２０との界面に発生する
せん断応力の最大値は84Kg／cm2程度である。ここ
に、電歪効果層１０の層厚を電歪効果層１１の層
厚の２倍及び３倍とした場合（ａ＝２及びａ＝
３）前記せん断応力の最大値はそれぞれ38Kg／cm2
及び19Kg／cm2となり、内部電極２及び２′の間隔
が全て等しい従来の電歪効果素子の場合と比べ
（ａ＝１）約1/2及び1/4に軽減されていることが
明らかである。
以上の解析例からも明らかな様に第２図ａに示
す構成を有する電歪効果素子は、前記せん断応力
を軽減することが可能で、信頼性向上の効果があ
ると共に、ダミー層２０に隣接しているそれぞれ
の電歪効果層１０に電界を印加するための内部電
極２及び２′の間隔だけを他の内部電極２及び
２′の間隔と変えているので、電歪効果素子の製
作にかかる工数の点からも、従来と殆んど変わら
ない。
第３図は本発明の電歪効果素子の第二の実施例
を示すものである。この素子は前記電歪材料より
成り、内部に内部電極２及び２′を有している。
内部電極２及び２′の間隔は、この素子の両端部
に近いほど大きくなつており内部電極２及び２′
は１つおきに各々外部電極端子ＡまたはＢに接続
されている。外部電極端子Ａ，Ｂ間に直流電圧を
印加すると電歪効果層１０及び１１はそれぞれ電
歪材料の縦効果及び横効果により伸び歪及び縮み
歪を発生するが、ダミー層２０には電界が印加さ
れないため前記電歪材料の効果による歪を発生せ
ず、電歪効果層の特に前記縮み変位を抑制し、そ
の結果、この素子の内部（各層の界面）にせん断
応力が発生するが、各々のダミー層２０に近いほ
ど、電歪効果層１０及び１１の層厚が大きい構成
となつていることから印加電界は小さく、前記電
歪材料の横効果による縮み歪も各々のダミー層２
０に近いほど小さくなる。このため前記せん断応
力を軽減できるという効果がある。
本発明によれば、機械的破壊の要因となるせん
断応力の集中を緩和し、寿命信頼性の高い電歪効
果素子が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図ａ，ｂは従来の電歪効果素子を示す斜視
図、説明図、第２図ａ，ｂ，ｃは本発明の第一の
実施例を示す斜視図、説明図、特性図、第３図は
本発明の第二の実施例を示す構成図である。 ２，２′……内部電極、３，３′……電界、１
０，１１……電歪効果層、２０……保護層。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 電歪効果層とこれとほぼ同じ接触面積を有す
    る内部電極とを交互に積層し、その両端の内部電
    極にこれとほぼ同じ接触面積の電歪材料から成る
    保護層を接触させ、前記内部電極によつて前記電
    歪効果層に電界を印加する電歪効果素子におい
    て、前記電歪効果層の厚さの最小値の1.1倍以上
    の層厚を有する電歪効果層を一層以上有すること
    を特徴とする電歪効果素子。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の電歪効果素子に
    おいて、中央部の前記電歪効果層の厚さが最小で
    あり前記保護層に近い電歪材料層ほど層厚が大き
    いことを特徴とする電歪効果素子。
JP58195739A 1983-10-19 1983-10-19 電歪効果素子 Granted JPS6086880A (ja)

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US06/662,113 US4633120A (en) 1983-10-19 1984-10-18 Electrostriction transducer comprising electrostriction layers of axially varied thicknesses
EP84112592A EP0144655B1 (en) 1983-10-19 1984-10-18 Electrostriction transducer comprising electrostriction layers of axially varied thicknesses
AU34454/84A AU564329B2 (en) 1983-10-19 1984-10-18 Electrostriction transducer
DE8484112592T DE3468789D1 (en) 1983-10-19 1984-10-18 Electrostriction transducer comprising electrostriction layers of axially varied thicknesses
KR8406520A KR900000834B1 (en) 1983-10-19 1984-10-19 Electrostriction transducer
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Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61205100A (ja) * 1985-03-08 1986-09-11 Murata Mfg Co Ltd 圧電発音体
JPH0314056Y2 (ja) * 1985-06-19 1991-03-28
JPS6240859U (ja) * 1985-08-29 1987-03-11
JPH0732273B2 (ja) * 1986-05-22 1995-04-10 日本電気株式会社 電歪効果素子
JPS63207185A (ja) * 1987-02-23 1988-08-26 Toyota Motor Corp 圧電アクチユエ−タ
JP2676393B2 (ja) * 1988-11-30 1997-11-12 富士電機株式会社 積層型圧電素子
JPH02205082A (ja) * 1989-02-02 1990-08-14 Fuji Electric Co Ltd 積層型圧電素子の駆動方法
EP0408306B1 (en) * 1989-07-11 1996-05-01 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive actuator having at least one piezoelectric/electrostrictive film
US5165809A (en) * 1990-03-06 1992-11-24 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric actuator and print head using the actuator, having means for increasing durability of laminar piezoelectric driver
US5089739A (en) * 1990-03-19 1992-02-18 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Laminate type piezoelectric actuator element
US5210455A (en) * 1990-07-26 1993-05-11 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate having recess defining thin-walled portion
JP2545639B2 (ja) * 1990-07-30 1996-10-23 富士通株式会社 積層型圧電素子
EP0550435B1 (en) * 1990-09-28 1996-09-18 Caterpillar Inc. Piezoelectric solid state motor stack
JPH04159785A (ja) * 1990-10-23 1992-06-02 Nec Corp 電歪効果素子
JPH0487253U (ja) * 1990-11-30 1992-07-29
DE4201937C2 (de) * 1991-01-25 1997-05-22 Murata Manufacturing Co Piezoelektrisches laminiertes Stellglied
JP2692396B2 (ja) * 1991-02-22 1997-12-17 日本電気株式会社 圧電アクチュエータおよびその製造方法
DE69223096T2 (de) * 1991-07-18 1998-05-28 Ngk Insulators Ltd Piezoelektrischer/elektrostriktiver Element mit einem keramischen Substrat aus stabilisiertem Zirkoniumdioxid
US5168189A (en) * 1991-09-18 1992-12-01 Caterpillar Inc. Solderless connector for a solid state motor stack
US5367500A (en) * 1992-09-30 1994-11-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Transducer structure
JP2586371B2 (ja) * 1992-12-22 1997-02-26 日本電気株式会社 圧電アクチュエータ
JPH08153914A (ja) * 1994-11-25 1996-06-11 Philips Japan Ltd 圧電磁器トランス
JP3432974B2 (ja) * 1995-10-13 2003-08-04 日本碍子株式会社 圧電／電歪膜型素子
EP0784349B1 (en) * 1996-01-11 2005-06-01 Wac Data Services Co. Ltd. Stacked piezoelectric actuator and method of operation
JP3218972B2 (ja) * 1996-04-01 2001-10-15 株式会社村田製作所 ラダー形フィルタ
JP3266031B2 (ja) * 1996-04-18 2002-03-18 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
US6016024A (en) * 1996-04-05 2000-01-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric component
JP3271517B2 (ja) * 1996-04-05 2002-04-02 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
US5939819A (en) * 1996-04-18 1999-08-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component and ladder filter
JPH1079639A (ja) * 1996-07-10 1998-03-24 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JPH1084244A (ja) * 1996-07-18 1998-03-31 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3271541B2 (ja) * 1996-07-26 2002-04-02 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3577170B2 (ja) * 1996-08-05 2004-10-13 株式会社村田製作所 圧電共振子とその製造方法およびそれを用いた電子部品
JPH10107579A (ja) * 1996-08-06 1998-04-24 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JPH10126203A (ja) * 1996-08-27 1998-05-15 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3267171B2 (ja) * 1996-09-12 2002-03-18 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JPH10126202A (ja) * 1996-10-23 1998-05-15 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3271538B2 (ja) * 1996-11-28 2002-04-02 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
CN1198037A (zh) * 1997-04-25 1998-11-04 株式会社村田制作所 压电谐振器和使用它的电子元件
JP3456380B2 (ja) * 1997-09-02 2003-10-14 株式会社村田製作所 圧電アクチュエータ
JP3147834B2 (ja) * 1997-10-03 2001-03-19 株式会社村田製作所 圧電共振子の製造方法
JP3948089B2 (ja) * 1998-01-22 2007-07-25 セイコーエプソン株式会社 圧電体素子及びそれを用いたインクジェット式記録ヘッド
JP4578596B2 (ja) * 1998-09-18 2010-11-10 セイコーインスツル株式会社 振動子、圧電アクチュエータおよびこれらを用いた電子機器
TW432731B (en) * 1998-12-01 2001-05-01 Murata Manufacturing Co Multilayer piezoelectric part
DE19856201A1 (de) * 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928176A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10024701A1 (de) * 2000-05-18 2001-11-29 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
GB0023412D0 (en) * 2000-09-23 2000-11-08 Khaghani Asghar Aortic counterpulsator
DE10201943A1 (de) * 2001-02-15 2002-10-24 Ceramtec Ag Vielschichtaktor mit versetzt angeordneten Kontaktflächen gleich gepolter Innenelektroden für ihre Außenelektrode
DE10202574A1 (de) * 2001-02-15 2002-09-12 Ceramtec Ag Piezokeramischer Vielschichtaktor mit einem Übergangsbereich zwischen dem aktiven Bereich und den inaktiven Kopf- und Fußbereichen
DE10147666B4 (de) * 2001-09-27 2011-03-10 Robert Bosch Gmbh Piezoelement und Verfahren zur Herstellung eines Piezoelements
DE10148603B4 (de) * 2001-10-02 2004-02-19 Siemens Ag Aktoreinheit mit wenigstens zwei Aktorelementen
US6614144B2 (en) * 2001-10-04 2003-09-02 Force International, Corp. Multilayer piezoelectric transformer
DE102004002133A1 (de) 2004-01-15 2005-08-04 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
JP4876467B2 (ja) * 2004-12-06 2012-02-15 株式会社デンソー 積層型圧電素子
DE112005001022B4 (de) * 2005-01-06 2014-08-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators und piezoelektrischer Aktuator
CN102651448B (zh) 2005-06-15 2016-02-24 京瓷株式会社 层叠型压电元件及使用其的喷射装置
WO2007037377A1 (ja) 2005-09-29 2007-04-05 Kyocera Corporation 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置
DE102006021945A1 (de) * 2006-05-11 2007-11-15 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor und Injektor mit einem piezoelektrischen Aktor für eine Brennkraftmaschine
DE102006032218A1 (de) * 2006-07-12 2008-01-17 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
CN101558506B (zh) 2006-12-15 2011-03-16 京瓷株式会社 层叠型压电元件、具有其的喷射装置以及燃料喷射系统
JP5409772B2 (ja) * 2009-03-25 2014-02-05 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびそれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム
KR20120093149A (ko) * 2009-07-10 2012-08-22 바이킹 에이티 엘엘씨 장착가능한 암 스마트 재료 액추에이터 및 에너지 수확 장치
KR20120093150A (ko) * 2009-07-10 2012-08-22 바이킹 에이티 엘엘씨 소규모 스마트 재료 액추에이터 및 에너지 수확 장치
JP2013520157A (ja) 2010-02-17 2013-05-30 ヴァイキング エーティー，エルエルシー 取り囲まれた補償器を持つスマート材料アクチュエータ
US10276776B2 (en) 2013-12-24 2019-04-30 Viking At, Llc Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly
US10734531B2 (en) 2017-06-22 2020-08-04 The Penn State Research Foundation Two-dimensional electrostrictive field effect transistor (2D-EFET)
US11632063B1 (en) * 2019-08-27 2023-04-18 Meta Platforms Technologies, Llc Structured actuators
JP7164847B2 (ja) * 2020-02-28 2022-11-02 日本特殊陶業株式会社 圧電アクチュエータ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE899770C (de) * 1937-05-28 1953-12-17 Atlas Werke Ag Piezoelektrischer Biegeschwinger
US3154700A (en) * 1961-01-09 1964-10-27 Joseph T Mcnaney Piezoelectric transducer force to motion converter
US4229812A (en) * 1971-11-24 1980-10-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Apparatus for securing a ferroelectric stack to a weighted projection surface
JPS5235994A (en) * 1975-09-16 1977-03-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Piezo electric type digital quivering element
US4342935A (en) * 1980-04-10 1982-08-03 Discovision Associates Binary piezoelectric drive for lens focusing system
US4384230A (en) * 1980-11-06 1983-05-17 United Technologies Corporation Digital piezoelectric actuator
US4435666A (en) * 1981-05-26 1984-03-06 Nippon Electric Co., Ltd. Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator
US4438364A (en) * 1981-07-13 1984-03-20 The Garrett Corporation Piezoelectric actuator
JPS5943582A (ja) * 1982-09-03 1984-03-10 Toshiba Corp 圧電変位装置

Also Published As

Publication number Publication date
AU3445484A (en) 1985-04-26
KR850003466A (ko) 1985-06-17
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DE3468789D1 (en) 1988-02-18

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