JP2645832B2 - たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 - Google Patents
たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法Info
- Publication number
- JP2645832B2 JP2645832B2 JP62169686A JP16968687A JP2645832B2 JP 2645832 B2 JP2645832 B2 JP 2645832B2 JP 62169686 A JP62169686 A JP 62169686A JP 16968687 A JP16968687 A JP 16968687A JP 2645832 B2 JP2645832 B2 JP 2645832B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- effect type
- monomorph
- piezoelectric ceramic
- vertical
- ceramic plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、圧電セラミック板への電圧印加による該圧
電セラミック板の伸縮を利用したたて効果型モノモルフ
素子及びその駆動方法に関する。
電セラミック板の伸縮を利用したたて効果型モノモルフ
素子及びその駆動方法に関する。
従来、圧電セラミック板や電歪セラミック板を金属薄
板と貼り合わせた、ユニモルフ型たわみ素子や、圧電セ
ラミック板２枚を金属薄板の両面に貼り合わせたバイモ
ルフ型のたわみ素子が知られている。
板と貼り合わせた、ユニモルフ型たわみ素子や、圧電セ
ラミック板２枚を金属薄板の両面に貼り合わせたバイモ
ルフ型のたわみ素子が知られている。
しかしながら、いずれの構造のたわみ素子においても
圧電セラミック板と金属薄板を接着剤で貼り合わせてい
るので、製造工程が複雑で、且つ、接着剤に固有な耐熱
性の不足、接着力の経時変化、クリープ変形等が付随す
る問題点として指摘されてきた。
圧電セラミック板と金属薄板を接着剤で貼り合わせてい
るので、製造工程が複雑で、且つ、接着剤に固有な耐熱
性の不足、接着力の経時変化、クリープ変形等が付随す
る問題点として指摘されてきた。
本発明者らは以上の如き従来技術の問題点を解決する
ために鋭意研究を行った結果、本発明に到った。
ために鋭意研究を行った結果、本発明に到った。
本発明によれば、圧電セラミック板の両面に対向する
くし型電極が形成されていることを特徴とするたて効果
型モノモルフ素子が提供できる。
くし型電極が形成されていることを特徴とするたて効果
型モノモルフ素子が提供できる。
さらに、本発明によれば、上記たて効果型モノモルフ
素子の一方の面の対向するくし型電極間には分極時と同
じ極性の電圧を印加し、他方の面の対向するくし型電極
間には分極時とは逆の極性の電圧を印加することを特徴
とする、たて効果型モノモルフ素子の駆動方法が提供で
きる。
素子の一方の面の対向するくし型電極間には分極時と同
じ極性の電圧を印加し、他方の面の対向するくし型電極
間には分極時とは逆の極性の電圧を印加することを特徴
とする、たて効果型モノモルフ素子の駆動方法が提供で
きる。
以下、本発明を図面に従って説明する。
第１図は本発明に係るたて効果型モノモルフ素子１の
平面図である。圧電セラミック板２の表面には対向する
くし型電極3a、3bが設けられており、さらに各電極のタ
ーミナル部4a、4bが設けられている。
平面図である。圧電セラミック板２の表面には対向する
くし型電極3a、3bが設けられており、さらに各電極のタ
ーミナル部4a、4bが設けられている。
図には示していないが、たて効果型モノモルフ素子１
の裏側にも、同じ対向するたて型電極5a、5bが設けられ
ており、さらに各電極のターミナル部6a、6bが設けられ
ている。
の裏側にも、同じ対向するたて型電極5a、5bが設けられ
ており、さらに各電極のターミナル部6a、6bが設けられ
ている。
第２図は、分極時の電圧印加と圧電セラミック板２の
内部の電界分布を模式的に示すたて効果型モノモルフ素
子１の拡大断面図である。第２図に示したように、たて
効果型モノモルフ素子１を分極処理する場合の電気的結
線方法は、例えばターミナル部4aと6aとを直流電源のプ
ラス極に、ターミナル部4bと6bとを直流電源のマイナス
極に接続する。
内部の電界分布を模式的に示すたて効果型モノモルフ素
子１の拡大断面図である。第２図に示したように、たて
効果型モノモルフ素子１を分極処理する場合の電気的結
線方法は、例えばターミナル部4aと6aとを直流電源のプ
ラス極に、ターミナル部4bと6bとを直流電源のマイナス
極に接続する。
対向するくし型電極間に印加した直流電圧によって、
圧電セラミック板２の内部に発生する電界の分布は第２
図に示すようになる。
圧電セラミック板２の内部に発生する電界の分布は第２
図に示すようになる。
即ち、表面に近い程強い電界が存在し、くし型電極＋
側から−側に向かって分極処理がなされる。従って分極
は交互に方向を変え、しかも、圧電セラミック板２の表
面層の方が中心層より強く分極処理されている。
側から−側に向かって分極処理がなされる。従って分極
は交互に方向を変え、しかも、圧電セラミック板２の表
面層の方が中心層より強く分極処理されている。
このように分極処理したたて効果型モノモルフ素子１
を駆動する際に、一方の面の対向するくし型電極間には
分極時と同じ極性の電圧を印加し、他方の面の対向する
くし型電極間には分極時とは逆の極性の電圧が加わる様
にすれば、順電界側の圧電セラミック板２の表面層は伸
長し、逆電界側の圧電セラミック板２の表面層は収縮す
る。この結果、たて効果型モノモルフ素子１は逆電界側
に凹のたわみ変形を起こすことになる。加える電圧の極
性を入れ換えれば、逆の方向にたわみ変形を起こす。交
番電圧を印加すればたて効果型モノモルフ素子モノモル
フ素子１は静止位置を中心にして往復振動する。
を駆動する際に、一方の面の対向するくし型電極間には
分極時と同じ極性の電圧を印加し、他方の面の対向する
くし型電極間には分極時とは逆の極性の電圧が加わる様
にすれば、順電界側の圧電セラミック板２の表面層は伸
長し、逆電界側の圧電セラミック板２の表面層は収縮す
る。この結果、たて効果型モノモルフ素子１は逆電界側
に凹のたわみ変形を起こすことになる。加える電圧の極
性を入れ換えれば、逆の方向にたわみ変形を起こす。交
番電圧を印加すればたて効果型モノモルフ素子モノモル
フ素子１は静止位置を中心にして往復振動する。
以下に本発明の一実施例を挙げる。
幅10mm、長さ35mm、厚さ0.10mmの１枚のチタン酸ジル
コン酸鉛系圧電セラミック板の両面に対向するくし型電
極を形成した。電極間距離は200μである。100℃のシリ
コンオイル中で400Vで分極処理を行った。
コン酸鉛系圧電セラミック板の両面に対向するくし型電
極を形成した。電極間距離は200μである。100℃のシリ
コンオイル中で400Vで分極処理を行った。
第３図は駆動時の電圧印加の様子を示すたて効果型モ
ノモルフ素子１の拡大断面図である。同図のように結線
し、片持梁の支持構造で、±200Vの交番電圧を印加した
ところ、振幅400ミクロンの振動を起こした。
ノモルフ素子１の拡大断面図である。同図のように結線
し、片持梁の支持構造で、±200Vの交番電圧を印加した
ところ、振幅400ミクロンの振動を起こした。
第１図は本発明に係るたて効果型モノモルフ素子の平面
図である。第２図は分極時の電圧印加と圧電セラミック
の内部の電界分布を模式的に示すたて効果型モノモルフ
素子の拡大断面図である。第３図は駆動時の電圧印加の
様子を示すたて効果型モノモルフ素子の拡大断面図であ
る。 １……たて効果型モノモルフ素子、２……圧電セラミッ
ク板、3a,3b,5a,5b……対向するくし型電極、4a,4b,6a,
6b……くし型電極のターミナル部分
図である。第２図は分極時の電圧印加と圧電セラミック
の内部の電界分布を模式的に示すたて効果型モノモルフ
素子の拡大断面図である。第３図は駆動時の電圧印加の
様子を示すたて効果型モノモルフ素子の拡大断面図であ
る。 １……たて効果型モノモルフ素子、２……圧電セラミッ
ク板、3a,3b,5a,5b……対向するくし型電極、4a,4b,6a,
6b……くし型電極のターミナル部分
Claims (2)
- 【請求項１】圧電セラミック板の両面に対向するくし型
電極が形成されていることを特徴とするたて効果型モノ
モルフ素子。 - 【請求項２】圧電セラミック板の両面に対向するくし型
電極が形成されているたて効果型モノモルフ素子におい
て、一方の面の対向するくし型電極間には分極時と同じ
極性の電圧を印加し、他方の面の対向するくし型電極間
には分極時とは逆の極性の電圧を印加することを特徴と
する、たて効果型モノモルフ素子の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169686A JP2645832B2 (ja) | 1987-07-09 | 1987-07-09 | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169686A JP2645832B2 (ja) | 1987-07-09 | 1987-07-09 | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414981A JPS6414981A (en) | 1989-01-19 |
| JP2645832B2 true JP2645832B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=15891021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62169686A Expired - Lifetime JP2645832B2 (ja) | 1987-07-09 | 1987-07-09 | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2645832B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2671871B2 (ja) * | 1995-05-31 | 1997-11-05 | 日本電気株式会社 | 圧電トランスとその製造方法 |
| JP4720429B2 (ja) * | 2005-10-26 | 2011-07-13 | Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 | 耐震性に優れた管の埋設方法 |
| JP5089039B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2012-12-05 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電素子、圧電トランスデューサ及びそれらを用いた電子機器 |
| CN102820422A (zh) * | 2012-07-17 | 2012-12-12 | 北京大学 | 单片压电换能器及其制作方法 |
| GB2602509A (en) * | 2021-01-05 | 2022-07-06 | Xaar Technology Ltd | Electrical element |
| WO2023188929A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 富士フイルム株式会社 | 圧電フィルム、圧電素子、および、電気音響変換器 |
-
1987
- 1987-07-09 JP JP62169686A patent/JP2645832B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6414981A (en) | 1989-01-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2886588B2 (ja) | 圧電／電歪アクチュエータ | |
| JP4289511B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPS6310596B2 (ja) | ||
| JPH11195820A (ja) | 圧電アクチエータ | |
| JP2645832B2 (ja) | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 | |
| JPS62298189A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
| JP2651824B2 (ja) | たて効果型バイモルフ素子及びその駆動方法 | |
| JPS6372172A (ja) | 薄板状電歪積層体 | |
| JPS61150287A (ja) | 圧電体変位装置 | |
| JPS5930543Y2 (ja) | 積層型電歪駆動装置 | |
| JP3326735B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2858877B2 (ja) | 圧電アクチュエータの駆動方法 | |
| JP2587406Y2 (ja) | 圧電セラミックスアクチュエ−タ | |
| JPH03273870A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH0442947Y2 (ja) | ||
| JP3853957B2 (ja) | バイモルフ圧電素子 | |
| JPH0453009Y2 (ja) | ||
| JP6668836B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH0736462U (ja) | 積層型電歪素子 | |
| JPH0334383A (ja) | 積層セラミックス圧電アクチュエータ | |
| JPS6335178A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JPH0453008Y2 (ja) | ||
| JPH07120824B2 (ja) | 圧電変位素子 | |
| JP3280924B2 (ja) | 圧電／電歪アクチュエータ | |
| JPH0526780Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970318 |