JP4289511B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4289511B2 JP4289511B2 JP52216898A JP52216898A JP4289511B2 JP 4289511 B2 JP4289511 B2 JP 4289511B2 JP 52216898 A JP52216898 A JP 52216898A JP 52216898 A JP52216898 A JP 52216898A JP 4289511 B2 JP4289511 B2 JP 4289511B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stack
- piezoelectric
- coupling portion
- piezoelectric actuator
- actuator according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 19
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 19
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 19
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 9
- 230000009466 transformation Effects 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
本発明は、圧電アクチュエータによる駆動または調整要素に関し、特に高周波領域における傾斜運動を発生するのに用いられる圧電アクチュエータに関する。
圧電式駆動および調整要素は既に公知である。本発明の基礎となる駆動または調整要素は、アクチュエータとして圧電スタックの駆動力を使用する要素である。このような駆動装置とその利点は、たとえばF & M Feinwerktechnik,Mikrotechnik,Messtechnik,Vol.104,1996,Carl Hanser Verlag Muenchen,p.68以降に記述されている。またDE 44 45 642 A1には、隣接した二重圧電スタックを使用した多用途駆動装置が記述されている。これら既知のスタック駆動装置はすべて、スタックに必要な外部との電気的接続部(たとえばDE 42 24 284 A1参照)が、静的運転においても動的運転においても著しい機械的負荷を受ける欠点がある。スタックは、積層され、相互に接合され、各々両面で平面的に接触する多数の圧電性の薄層から構成される。各薄層の外面の相互接触はスタックの両長辺において共通の電極、特にハンダ層によって実現される。これら電極、及び電場のない相互作用的絶縁部分は、スタックの伸縮に際して共に極めて高い機械的および電気的負荷を受ける。このようなスタックをアンペア級のパルス電流、kHz級の周波数で駆動した場合、スタックの伸びは通常1〜2‰であり、このため荷重サイクルは明瞭に109より低く限定される。更にこれら既知の駆動装置は、スタックの発生する純並進運動を傾斜運動に変換するために単純とはいえない機構を必要とする欠点がある(たとえばDE 44 45 642 A1あるいはEP 0 574 945 A1を参照)。
従来の技術水準においては、更に他の用途に対する構造も知られている。たとえばDE 196 05 214 A1において、典型的には>20kHzの周波数で作動する超音波駆動要素が記述されている。この用途においては並進変位は極めて小さく、したがって外部との接続部の機械的伸びも僅少であり、このため電極の配置に関しては特段の記述がなく、また不必要でもある。
本発明の目的は、d33モードで動作し、電気的結合接触部にかかる機械的負荷を軽減した、特に他の運動変換機構を用いることなく直接に傾斜運動を行う圧電アクチュエータによる駆動または調整要素を提供することである。
この目的は請求項1に示した特徴により達成される本発明の本質は、圧電的に活性な材料、特に圧電セラミック材料から成る積層構造のスタックから成る第1と第2の領域の間に、平面状積層接触部に印加される電圧に起因する電場に含まれない第3の領域を設け、圧電的に活性な領域の外部電気接点を可能な限り上記電場のない領域に近く設け、かつ第3の領域を第1および第2の領域に少なくとも形態的に、望ましくは物質的に連続的に接合することにある。
以下、本発明を実施例および図面に基づいて更に説明する。
図1は本発明による圧電アクチュエータを用いた駆動または調整要素の第1の模式的構造を示し、
図2は図1による好ましい実施態様を示し、
図3は図2による実施態様の傾斜運動に対する好ましい実施例を示し、
図4は本発明による個々の積層平面電極の好ましい実施態様を示し、
図5は図4の実施態様に従って製造され得るスタックの最小幅を示し、
図6および図7は積層平面電極の他の実施態様を示す。
本発明による基本的な構成の見取図を図1に示す。駆動装置は2つの圧電性スタックから成り、その各々は多数の圧電セラミック層を重ねて相互に結合し、両側のx-y面内に平面的な接触部を設けて成る。この両スタックの間に、それらと形態的に連続して結合された領域3を設け、その側面はスタック領域1,2の隣接する面と合同に形成されている。スタックの端面に存在する個々の層状電極の外部との接続は、スタック全体にわたる電極4’(4),5’(5)、たとえばスパッターによる接続部層にハンダ付けされた電極により実現される。ただし本発明によれば、電極4’(4),5’(5)は可能な限り圧電的に不活性な領域3に近く設けられる。
本発明の範囲内において、図2に示すように領域1,2,3はそれぞれ領域1,3,2の全体にわたって連続した積層版により一体的に構成することが望ましい。この場合、圧電的に不活性な領域3を形成するため特別の電極構造が必要となるが、その構造を図4、5、6、7によって更に説明する。このような構成によって外部電極4’,5’を完全に圧電的に不活性な領域3内に設けることが可能になる。
本発明の実施を、回転鏡の駆動装置への応用可能性を模式的に示した図3によって詳細に説明する。
ここに示した領域1,2,3を有するスタックは厚さ100μmの圧電セラミック薄層160枚から成り、各薄層の両側には図4に詳細を示した周期的に反復される接続部構造が、不活性領域3において第2の次元(y方向)の周期的構造を有するように設けられる。この構造は一つの電極構造の最大部が隣接する他の積層電極構造の最小部と一致するように形成される。薄層は、隣接する薄層の接続部構造が合同に重なって共通の電極面をなすように積層される。電極面に垂直に切断すれば(図4の分離線A-Aを参照)最小単位として図5に示す断面形状が得られる。この切断面において4,4’および5,5’をメタライズすることにより、領域1と2の両面の電極被覆が、奇数番目と偶数番目の接触面が電気的に接続されるように接触することになる。電極4,4’と5,5’との間に200Vの電圧を印加すると、圧電性薄層中の、偶数番目と奇数番目の接触面が重なる領域に、分極が発生する。このようにして圧電的に活性な領域1,2と、移行領域3’,3”の間の圧電的に不活性な領域3が形成される。外部との電気的接続4,4’および5,5’は4つのメタライジング箇所と図示していない4本の結合配線によって実現される。このように形成したアクチュエータの寸法は1=16mm,b=14mm,t=2.5mmである。接触部の構造の周期性のため、奥行tは奇数倍としても機能を発揮する(図4参照)。このように製作したアクチュエータは基本的に2種の動作モードで運転することができるが、本発明の目的にとっては下記の第1のモードが目標となる。
運転モード1:領域1に0〜200V,領域2に200〜0Vの電圧を反対称的に印加する。
運転モード2:領域1,2に0〜200Vの電圧を対称的に印加する。
図に示した測定点MP1〜MP4において、下記の長さ変化が測定される。
上に示した長さ変化はそれぞれ測定公差を含めた各領域の最大変位を示している。
運転モード1では測定点1および2の領域には大きな反対称的な長さ変化が現れるが、MP3では対称軸において長さ変化は事実上起こらない。外部との接続部4,4’および5,5’の領域(MP4)では長さ変化は領域1および2(MP1,MP2)に比べて約1/3と大きく減少している。これらの測定値から計算した傾斜は±0.11°である。このような駆動装置によってたとえば回転鏡を駆動することが可能であり、その変位は図3で軽量かつ曲げ剛性の高い加圧板6の上部に示されている。
運転モード2では長さは対称的に1‰伸び、領域3(MP3,MP4)では僅かな収縮が生ずる。したがって本発明によるアクチュエータは従来技術水準による単一アクチュエータと同様に使用することもできる。
弾性部材7によって基板8と結合された曲げ剛性が高く軽量の加圧板6を用いて、このスタックに約800Nの対称的な力を予め加え、対称軸の周りの傾斜を許容するようにすると、最大傾斜角はφ=±0.2°まで増加し、z方向の可能変位は28μmに達する。このような構成は、いずれの運転モードにおいても約20kHzの極めて高い共振周波数を示す。
領域3における本発明による平面電極の更に異なった構成法を図6、図7に模式的に示す。図6はx方向に長さの異なる正負両極を交互に配列したものである。これによって領域3’(ないし図示されていない領域3”)における電場は減少し、この領域の伸びが小さくなる。図7は移行領域3’において接触している板状領域(A)と、同じ領域3’において接触していない板状領域(B)とを交互に配列した電極構成を示す。これによって得られる領域3’(ないしは同じく図示されていない領域3”)における電場の減少は図6の場合と同程度である。x方向の電極構成としては本発明の範囲内で更に異なったものが可能である。
Claims (14)
- 圧電アクチュエータであって、
第1と第2の圧電スタックを備え、
該第1と第2の圧電スタックは、スタックの底部から上部の方向(z方向)に伸びる積層の軸を有するスタックを形成するように積層されて配された圧電性薄層多数を含み、該スタックはその前後方向(y方向)に対向して配された前部と後部を有し、且つその側方向(x方向)に対向して配された第1と第2の側部を有するものであり、又該第1と第2の圧電スタックは該圧電性薄層の間に層状電極を含み、該層状電極は、該スタックの圧電活性による積層の軸方向の伸縮効果があるように、該圧電性薄層の厚み方向に電場を作用させるための電気的接触を該圧電性薄層の対向面上に形成するように配された第1と第2の電位電極を含むものであり、
該第1と第2の圧電スタックの間に配され、且つ両者を結合して、該第1の圧電スタックの該第1の側部と該第2の圧電スタックの該第1の側部とを結合する結合部を備え、
該結合部は、該スタックの前後方向(y方向)に離間して前面と後面を有するものであり、又、該第1の電位電極は、該スタックの側方向(x方向)に該第1の側部から該結合部内へ、該スタックの前後方向(y方向)に沿って第1の位置で最短の長さ伸び、且つ第2の位置で最長の長さ伸びるものであり、又、該第2の電位電極は、該スタックの側方向(x方向)に該結合部内へ、該スタックの前後方向(y方向)に沿って第3の位置で最短の長さ伸び、且つ第4の位置で最長の長さ伸びるものであり、該第4の位置は、該スタックの前後方向(y方向)において該第2の位置からずれており、それにより該結合部内における該第1の電位電極と該第2の電位電極の重なりが減ぜられ、且つ該圧電スタック内の圧電活性に対し該結合部内における圧電活性が減ぜられるものであり、
該第1の電位電極を接続する第1の外部電極を備え、
そして、該第2の電位電極を接続する第2の外部電極を備えてなる、圧電アクチュエータ。 - 該第1と第2の圧電スタックの該圧電性薄層が、該第1と第2の圧電スタックの間で連続しており、それにより該結合部を形成している、請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1の位置は該スタックの前後方向(y方向)に沿って該第4の位置と一致し、該第2の位置は該スタックの前後方向(y方向)に沿って該第3の位置と一致する、請求項2記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1の電位電極は、該スタックの前後方向(y方向)に沿って第1の周期的構造で変化する長さで、該スタックの側方向(x方向)に該結合部内へ伸び、
該第2の電位電極は、該スタックの前後方向(y方向)に沿って第2の周期的構造で変化する長さで、該スタックの側方向(x方向)に該結合部内へ伸び、
該第1の周期的構造は、該第2の周期的構造に対し180度変位している、請求項3記載の圧電アクチュエータ。 - 該第1及び第2の周期的構造は同じ周期の長さを有し、
該第1と第2の圧電スタックは、該第1と第2の周期的構造の奇数の半周期の位置に、該スタックの前後方向(y方向)に対向する該前面と該後面を有する、請求項4記載の圧電アクチュエータ。 - 該第1の位置と該第4の位置は、該結合部の該前面又は該後面と一致する、請求項5記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1の外部電極は、該第1の電位電極を接続する該結合部の該前面又は該後面の一方に沿って伸び、
該第2の外部電極は、該第2の電位電極を接続する該結合部の該前面又は該後面のもう一方に沿って伸びる、請求項6記載の圧電アクチュエータ。 - 該第1の電位電極は、該スタックの前後方向(y方向)に沿って第1の周期的構造で変化する長さで、該スタックの側方向(x方向)に該結合部内へ伸び、
該第2の電位電極は、該スタックの前後方向(y方向)に沿って第2の周期的構造で変化する長さで、該スタックの側方向(x方向)に該結合内へ伸び、
該第1の周期的構造は、該第2の周期的構造に対し180度変位している、請求項1記載の圧電アクチュエータ。 - 該第1の位置は該スタックの前後方向(y方向)に沿って該第4の位置と一致し、該第2の位置は該スタックの前後方向(y方向)に沿って該第3の位置と一致する、請求項8記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1及び第2の周期的構造は同じ周期の長さを有し、
該第1と第2の圧電スタックは、該第1と第2の周期的構造の奇数の半周期の位置に、該スタックの前後方向(y方向)に対向する該前面と後面を有する、請求項9記載の圧電アクチュエータ。 - 該第1の位置と該第4の位置は、該結合部の該前面又は該後面と一致する、請求項10記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1の位置は該スタックの前後方向(y方向)に沿って該第4の位置と一致し、該第2の位置は該スタックの前後方向(y方向)に沿って該第3の位置と一致する、請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1の位置と該第4の位置は、該結合部の該前面又は該後面の一方と一致し、該第2の位置と該第3の位置は、該結合部の該前面又は該後面のもう一方と一致する、請求項12記載の圧電アクチュエータ。
- 該第1の外部電極は、該第1の電位電極を接続する該結合部の該前面又は該後面の該もう一方に沿って伸び、
該第2の外部電極は、該第2の電位電極を接続する該結合部の該前面又は該後面の該一方に沿って伸びる、請求項13記載の圧電アクチュエータ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19646511A DE19646511C1 (de) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement |
DE19646511.7 | 1996-11-12 | ||
PCT/EP1997/006266 WO1998021759A1 (de) | 1996-11-12 | 1997-11-11 | Piezoaktuatorisches antriebs- oder verstellelement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001503920A JP2001503920A (ja) | 2001-03-21 |
JP4289511B2 true JP4289511B2 (ja) | 2009-07-01 |
Family
ID=7811287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52216898A Expired - Lifetime JP4289511B2 (ja) | 1996-11-12 | 1997-11-11 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6191522B1 (ja) |
EP (1) | EP0947002B1 (ja) |
JP (1) | JP4289511B2 (ja) |
AT (1) | ATE259099T1 (ja) |
DE (1) | DE19646511C1 (ja) |
WO (1) | WO1998021759A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19817802B4 (de) * | 1996-11-12 | 2009-08-06 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement |
DE19845126A1 (de) * | 1998-09-30 | 2000-04-06 | Marco Systemanalyse Entw | Verfahren zur Tropfenbildung |
DE19905340C2 (de) * | 1999-02-09 | 2001-09-13 | Siemens Ag | Verfahren und Anordnung zur Voreinstellung und dynamischen Nachführung piezoelektrischer Aktoren |
DE19905726C2 (de) * | 1999-02-11 | 2001-03-29 | Siemens Ag | Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente |
DE19928189A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-04-19 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
DE19946839B4 (de) * | 1999-09-30 | 2006-07-27 | Robert Bosch Gmbh | Verstelleinrichtung zum Ansteuern einer Regel- und/oder Absperrvorrichtung |
DE19946838C1 (de) * | 1999-09-30 | 2000-10-19 | Bosch Gmbh Robert | Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten |
DE19946837A1 (de) * | 1999-09-30 | 2001-05-03 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
EP1091423A3 (de) * | 1999-10-08 | 2004-05-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Betätigen eines Stellgliedes |
DE10033638A1 (de) * | 2000-07-11 | 2002-01-24 | Heidelberger Druckmasch Ag | Überwachungsvorrichtung für die Bogenzufuhr zu einer Bogen verarbeitenden Maschine und Verfahren zur Kontrolle des Bogenstromaufbaus des Bogenstroms |
JP2004505251A (ja) | 2000-07-19 | 2004-02-19 | オルボテック リミテッド | 電気回路の電気的試験のための装置および方法 |
DE10055241A1 (de) * | 2000-11-08 | 2002-05-29 | Epcos Ag | Piezoaktor |
DE20116515U1 (de) | 2001-10-09 | 2001-12-13 | FESTO AG & Co., 73734 Esslingen | Aktor und damit ausgestattetes Ventil |
DE10201641A1 (de) | 2002-01-17 | 2003-08-07 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
US20070011049A1 (en) * | 2005-07-09 | 2007-01-11 | Eder Jeffrey S | Intelligent, personalized commerce chain |
DE102004053249B4 (de) * | 2004-11-04 | 2006-08-17 | Hilti Ag | Baulaser mit neigbarem Umlenkmittel |
DE102007007993A1 (de) * | 2006-04-01 | 2007-10-04 | Man Roland Druckmaschinen Ag | Aktive Bogenführungs- und Bogenleitelemente |
DE102006035638A1 (de) * | 2006-07-31 | 2007-12-27 | Siemens Ag | Piezoelektrisches Mehrschichtbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
WO2008023686A1 (fr) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Élément actionneur piézoélectrique pour moteur à ultrasons |
DE102007020361A1 (de) | 2007-04-30 | 2008-11-06 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Ventil |
DE202008007991U1 (de) | 2008-06-17 | 2008-08-14 | Robatech Ag | Dosiervorrichtung für die präzise Hochgeschwindigkeits-Dosierung von Flüssigkeiten |
TWI536702B (zh) | 2010-07-15 | 2016-06-01 | Z動力能源有限責任公司 | 用於將電池組再充電之方法及裝置 |
CA2897054A1 (en) | 2013-01-11 | 2014-07-17 | Zpower, Llc | Methods and systems for recharging a battery |
JP6168932B2 (ja) | 2013-09-09 | 2017-07-26 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液滴吐出装置 |
DE102014101512A1 (de) | 2014-02-06 | 2015-08-06 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoelektrische Stellvorrichtung |
JP6707907B2 (ja) | 2016-03-03 | 2020-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射装置 |
JP6623846B2 (ja) | 2016-03-03 | 2019-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射装置 |
DE102016108811A1 (de) | 2016-05-12 | 2017-11-16 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoelektrische Stellvorrichtung |
JP6776685B2 (ja) | 2016-07-21 | 2020-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 流体吐出装置 |
DE102017105039A1 (de) | 2017-03-09 | 2018-09-13 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Verfahren zur Regelung einer piezoelektrischen Stellvorrichtung |
DE102017121600A1 (de) * | 2017-09-18 | 2019-03-21 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Dosierventil und Dosierverfahren |
DE102021100754A1 (de) | 2021-01-15 | 2022-07-21 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Dosierventil |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3412014C1 (de) | 1984-03-31 | 1985-10-17 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen |
JPS61121375A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Canon Inc | 微小角変位機構用圧電体 |
US5163209A (en) * | 1989-04-26 | 1992-11-17 | Hitachi, Ltd. | Method of manufacturing a stack-type piezoelectric element |
ES2087089T3 (es) * | 1989-11-14 | 1996-07-16 | Battelle Memorial Institute | Metodo para fabricar un accionador piezoelectrico apilado multicapa. |
JPH04214686A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-08-05 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
JPH0529680A (ja) * | 1991-07-25 | 1993-02-05 | Hitachi Metals Ltd | 積層型変位素子およびその製造方法 |
DE4220177A1 (de) * | 1992-06-19 | 1993-12-23 | Marco Systemanalyse Entw | Vorrichtung zur Betätigung eines Ventilelementes |
DE4332966A1 (de) * | 1993-09-28 | 1995-03-30 | Philips Patentverwaltung | Torsionsaktuator und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE4445642A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellelement |
JPH08187848A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-23 | Brother Ind Ltd | 積層式圧電素子およびその製造方法 |
DE19605214A1 (de) * | 1995-02-23 | 1996-08-29 | Bosch Gmbh Robert | Ultraschallantriebselement |
EP0784349B1 (en) * | 1996-01-11 | 2005-06-01 | Wac Data Services Co. Ltd. | Stacked piezoelectric actuator and method of operation |
-
1996
- 1996-11-12 DE DE19646511A patent/DE19646511C1/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-11-11 AT AT97950163T patent/ATE259099T1/de active
- 1997-11-11 WO PCT/EP1997/006266 patent/WO1998021759A1/de active IP Right Grant
- 1997-11-11 JP JP52216898A patent/JP4289511B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-11 US US09/269,960 patent/US6191522B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-11 EP EP97950163A patent/EP0947002B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998021759A1 (de) | 1998-05-22 |
EP0947002A1 (de) | 1999-10-06 |
EP0947002B1 (de) | 2004-02-04 |
ATE259099T1 (de) | 2004-02-15 |
JP2001503920A (ja) | 2001-03-21 |
US6191522B1 (en) | 2001-02-20 |
DE19646511C1 (de) | 1998-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4289511B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
KR0176729B1 (ko) | 진동파작동기 | |
JPH03128680A (ja) | 圧電/電歪アクチュエータ | |
EP3134925B1 (en) | Piezoelektric actuator | |
US6043587A (en) | Piezoelectric actuator | |
JP5467821B2 (ja) | 振動型アクチュエータ | |
US11043908B2 (en) | Ultrasonic motor having a diagonally excitable actuator plate | |
US8159113B2 (en) | Ultrasonic actuator with power supply electrode arrangement | |
JP4245096B2 (ja) | 積層圧電素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ、超音波モータ | |
WO2013031715A1 (ja) | 積層圧電体 | |
WO2020152905A1 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電アクチュエーター | |
KR102469287B1 (ko) | 전기기계식 액츄에이터, 전기기계식 액츄에이터의 가진 방법 및 초음파 모터 | |
JP4954783B2 (ja) | 圧電素子及び振動型アクチュエータ | |
JPS62298189A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
JP3535111B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2645832B2 (ja) | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 | |
JPH04167580A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
KR100280257B1 (ko) | 압전/전왜 액츄에이터 | |
JP2004087662A (ja) | 圧電素子 | |
JP3326735B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
KR100586305B1 (ko) | 교번전극구조를 갖는 밴더형 액츄에이터 | |
KR100485596B1 (ko) | 밴더형 적층 액츄에이터 | |
JP3853957B2 (ja) | バイモルフ圧電素子 | |
JP3214260B2 (ja) | 共振駆動型圧電アクチュエータ | |
US8421309B2 (en) | Ultrasonic motor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070911 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20071207 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080111 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090310 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120410 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130410 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140410 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |