JPH03106082A - 積層形圧電アクチュエータ素子 - Google Patents
積層形圧電アクチュエータ素子Info
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- JPH03106082A JPH03106082A JP1243684A JP24368489A JPH03106082A JP H03106082 A JPH03106082 A JP H03106082A JP 1243684 A JP1243684 A JP 1243684A JP 24368489 A JP24368489 A JP 24368489A JP H03106082 A JPH03106082 A JP H03106082A
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電゛界によって圧電材料に誘起される伸縮歪を
利用したアクチュエータとして、各種マイクロメカトロ
ニクス機器に用いられる積層形圧電アクチュエータ素子
に関する。
利用したアクチュエータとして、各種マイクロメカトロ
ニクス機器に用いられる積層形圧電アクチュエータ素子
に関する。
近年メカトロニクス機器が急速に発展し、これに伴なっ
て例えばロボットなどを駆動し、微小な変位や発生力を
利用した制御装置として用いられる圧電アクチュエータ
の開発も盛んである。特１こ厚さ方向｛こ分極された圧
電セラミックスをその分極方向が互いに対向するように
スタックとして積み重ね、圧電セラミ１クスの電界誘起
歪を発生させる積層形圧電アクチュエータ素子は、小さ
な電圧によって大きな変位を得ることができるのでその
有用性が注目されている。
て例えばロボットなどを駆動し、微小な変位や発生力を
利用した制御装置として用いられる圧電アクチュエータ
の開発も盛んである。特１こ厚さ方向｛こ分極された圧
電セラミックスをその分極方向が互いに対向するように
スタックとして積み重ね、圧電セラミ１クスの電界誘起
歪を発生させる積層形圧電アクチュエータ素子は、小さ
な電圧によって大きな変位を得ることができるのでその
有用性が注目されている。
この種の積層形圧電アクチェエータ素子（以下積層ｌＥ
１ｔＣｆｆｉ子と略称する）は例えば第３図をこその構
造を模式断面図で示したものが知られている。
１ｔＣｆｆｉ子と略称する）は例えば第３図をこその構
造を模式断面図で示したものが知られている。
第３図においてこの積層圧［素子はジルコン酸チタン酸
鉛などの圧電セラミックス板１と、この圧電セラミック
ス板１の厚さの１／１００程度の厚さを有する導電性の
内部電極層２とが交互１こ多数積層された積層体の上下
両端面に、内Ｓｔ極層２を介して圧電セラミックス板１
の厚さの１．１倍以上の厚さを持つ圧電セラミックス板
３およびこれと同じ組或の保護ｒ５４を設けてあり、各
内都電極層２は積層体の中心軸に関して互いに反対側に
ある平行側面端部において、１層おきに機械加工により
明けたスリット（こ縦方向で左右非対称となるように絶
縁層５を充填することにより電気的１こ絶縁し、さらに
平行側面］こ露出している各部材を連結する外部電極６
を取り付け、この電極６１こより直流電源の極性の異な
る端子７，７ａｔこ電気的に並列に接続した構造となっ
ている。そして直流電源端子７，７ａに異なる極性の電
圧を印訓したとき、圧電セラミックス板１内に生じた電
界で圧電セラミックス板１に圧１Ｉｌ縦効果（こよる伸
び歪が積層方同１こ発生し、各圧電セラミックス板１の
歪が相加されて積層体全体としてこの積層圧電素子に大
きな伸び歪が生ずるのである。
鉛などの圧電セラミックス板１と、この圧電セラミック
ス板１の厚さの１／１００程度の厚さを有する導電性の
内部電極層２とが交互１こ多数積層された積層体の上下
両端面に、内Ｓｔ極層２を介して圧電セラミックス板１
の厚さの１．１倍以上の厚さを持つ圧電セラミックス板
３およびこれと同じ組或の保護ｒ５４を設けてあり、各
内都電極層２は積層体の中心軸に関して互いに反対側に
ある平行側面端部において、１層おきに機械加工により
明けたスリット（こ縦方向で左右非対称となるように絶
縁層５を充填することにより電気的１こ絶縁し、さらに
平行側面］こ露出している各部材を連結する外部電極６
を取り付け、この電極６１こより直流電源の極性の異な
る端子７，７ａｔこ電気的に並列に接続した構造となっ
ている。そして直流電源端子７，７ａに異なる極性の電
圧を印訓したとき、圧電セラミックス板１内に生じた電
界で圧電セラミックス板１に圧１Ｉｌ縦効果（こよる伸
び歪が積層方同１こ発生し、各圧電セラミックス板１の
歪が相加されて積層体全体としてこの積層圧電素子に大
きな伸び歪が生ずるのである。
このような構造の積層圧電素子に圧電セラミックス板３
を用いるのは、積層圧電素子（こ電界がかけられたとき
、各圧電セラミックス板１は縦方向に伸び横方向は縮み
、保護層４は固定されたままであるから各圧電セラミッ
クス板１の伸縮作用によって、この積層圧１！素子は第
３図｛こ示した点線のように変形し、圧電セラミックス
板１と保護層４との間に剪断応力集中が超きるので、保
護層４（こ接する個所をこは圧電セラミックス板１の１
．１倍以上の厚さを持つ圧電セラミ，クス板３を配置す
ることにより、その応力集中を緩和し解消しようとして
いるのである。しかし、電圧印加時に生ずる剪断応力集
中に関してはなお次のような問題がある。
を用いるのは、積層圧電素子（こ電界がかけられたとき
、各圧電セラミックス板１は縦方向に伸び横方向は縮み
、保護層４は固定されたままであるから各圧電セラミッ
クス板１の伸縮作用によって、この積層圧１！素子は第
３図｛こ示した点線のように変形し、圧電セラミックス
板１と保護層４との間に剪断応力集中が超きるので、保
護層４（こ接する個所をこは圧電セラミックス板１の１
．１倍以上の厚さを持つ圧電セラミ，クス板３を配置す
ることにより、その応力集中を緩和し解消しようとして
いるのである。しかし、電圧印加時に生ずる剪断応力集
中に関してはなお次のような問題がある。
積層圧ＩＫ素子の大きさが従来の直径５頷Φ，高さ１５
＋ｎ程度のものでは、厚さのより大きな圧電セラミッ
クス板３を挿入することにより、保護層４との間に発生
する剪断応力集中を緩和することはできるとしても、直
径２０ ｘｓΦ，高さ５０雪富という大きい積層圧電素
子で印加電圧が２００ｖ以上をこなると、この剪断応力
集中に起因する素子の不良発生率は８０％以上φこも達
する。これは積層圧ｔ素子が大面積で積層数が増し、印
７１０［圧が大きくなると電界強度も高くなり、その結
果圧電セラミフクス鈑３と保静層４との間に発生する大
きな剪断応力集中のためＣこ、積層圧電素子に機械的な
クラックを伴ない、絶縁性が破壊されるからである。
＋ｎ程度のものでは、厚さのより大きな圧電セラミッ
クス板３を挿入することにより、保護層４との間に発生
する剪断応力集中を緩和することはできるとしても、直
径２０ ｘｓΦ，高さ５０雪富という大きい積層圧電素
子で印加電圧が２００ｖ以上をこなると、この剪断応力
集中に起因する素子の不良発生率は８０％以上φこも達
する。これは積層圧ｔ素子が大面積で積層数が増し、印
７１０［圧が大きくなると電界強度も高くなり、その結
果圧電セラミフクス鈑３と保静層４との間に発生する大
きな剪断応力集中のためＣこ、積層圧電素子に機械的な
クラックを伴ない、絶縁性が破壊されるからである。
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、その目
的は大きな形状のものでも電圧印加時に剪断応力集中に
起困する破損を生ずることのない槓層圧１ｌｔ素子を提
供することにある。
的は大きな形状のものでも電圧印加時に剪断応力集中に
起困する破損を生ずることのない槓層圧１ｌｔ素子を提
供することにある。
上記の課題を解決するためをこ本発明の積層形圧電アク
チェエータ素子は、圧電セラミックス板の間Ｃこ埋め込
まれる内部電極層の厚さを圧ｔ−ｈラミックス板の厚さ
の１ ／５０ ＝ Ｉ ＡＯとし、保護層１こ接する内
部電極層の厚さを圧電セラミックス板の淳さυ） ｌ．
／１０〜１／５となるように構成したものである。
チェエータ素子は、圧電セラミックス板の間Ｃこ埋め込
まれる内部電極層の厚さを圧ｔ−ｈラミックス板の厚さ
の１ ／５０ ＝ Ｉ ＡＯとし、保護層１こ接する内
部電極層の厚さを圧電セラミックス板の淳さυ） ｌ．
／１０〜１／５となるように構成したものである。
本発明の積層圧！素子は上記のように、上下両端都］こ
厚さの大きい圧電セラミック板を備える代わりに圧電セ
ラミック板の間に埋め込まれる内部電極層を従来より厚
い範囲に設定し、特１こ保護層に接する個所ではさらに
厚い範囲を定めてこれら内部電極層の組み合わせを適５
ｌこ決めることにより、直流電圧印カ日時の電界で発生
する剪断応力集中を電界強度を低下させることなく各内
部ＩＥ極層に吸収させ、応力集中を緩和することが可能
となるから、素子の動作回数が大幅に増し耐久性を著し
く向上させることができる。
厚さの大きい圧電セラミック板を備える代わりに圧電セ
ラミック板の間に埋め込まれる内部電極層を従来より厚
い範囲に設定し、特１こ保護層に接する個所ではさらに
厚い範囲を定めてこれら内部電極層の組み合わせを適５
ｌこ決めることにより、直流電圧印カ日時の電界で発生
する剪断応力集中を電界強度を低下させることなく各内
部ＩＥ極層に吸収させ、応力集中を緩和することが可能
となるから、素子の動作回数が大幅に増し耐久性を著し
く向上させることができる。
以下本発明を実施例に基づき説明する。
第１図は本発明の積層圧電素子の構或を示す模式断面図
であり、第３図と共通部分を同一符号で表わしてある。
であり、第３図と共通部分を同一符号で表わしてある。
第１図と第３図の比較からわかるように、不発明の積層
圧１！素子が構造上従来素子と異なる所は、圧電セラミ
ックス＆３を用いていないこと、および圧電セラミック
ス板１の厚さを変えることなく内部電極層２の厚さを圧
電セラミックス板１の厚さの１ ４ 〜１ ／１０とし
、特｛こ保護層４に接する内部電極層２ａは圧電セラミ
ックス板１の厚さの１／１０〜１／５となるように各内
部′這極層を厚く形成したことである。即ち本発明の積
層圧ｔ−ａ子は圧電セラミックス板３を用いる代わりに
、各内部逼極層２を従来より厚くし、特に絶縁層４に接
看する内部電極層２ａはさらに厚さを増して、電圧印カ
日時に発生する剪断応力集中をこれら内部電極層２，２
ａにより吸収させるように構成したものであり、なかで
も内部電極層２ａに効果的にその吸収効果を持たせてい
る。
圧１！素子が構造上従来素子と異なる所は、圧電セラミ
ックス＆３を用いていないこと、および圧電セラミック
ス板１の厚さを変えることなく内部電極層２の厚さを圧
電セラミックス板１の厚さの１ ４ 〜１ ／１０とし
、特｛こ保護層４に接する内部電極層２ａは圧電セラミ
ックス板１の厚さの１／１０〜１／５となるように各内
部′這極層を厚く形成したことである。即ち本発明の積
層圧ｔ−ａ子は圧電セラミックス板３を用いる代わりに
、各内部逼極層２を従来より厚くし、特に絶縁層４に接
看する内部電極層２ａはさらに厚さを増して、電圧印カ
日時に発生する剪断応力集中をこれら内部電極層２，２
ａにより吸収させるように構成したものであり、なかで
も内部電極層２ａに効果的にその吸収効果を持たせてい
る。
次（こ本発明の積層圧ＩＥ素子を製造する手順；こつい
てその概要をのべる。
てその概要をのべる。
先ず圧電セラミックス板１を成形，焼結，研磨して直径
２０ｗｍΦ，厚さ０．５ｍｍとした後、この圧這セラミ
ックス板１の上下両面に銀ペーストを塗布して焼き付け
る。銀ペーストはガラスフ’Ｊ ｙ トを数％，銀を６
０〜７０％含むものを使用する。このとき１回に焼き付
ける銀ペーストの厚さは片面で０．０ １ １１１であ
るから、焼き付け後に得られる内部電極層２，２ａの厚
さに応じて１回以上繰り返し行ない、内都電極／ｉｌ２
となるものの厚さは圧電セラミックス板１の厚さＣｌ）
１／５０ 〜１，４０ （ １０ 〜５Ｑ ｐｍ ）
，内都電極層２ａとなるものの厚さは圧電セラミック
ス板１の厚さの１／１０ − １／５ （５０ 〜１０
０ ｐｍ ）となるよう（こする。この状態でさらに銀
ペーストを塗布した後、圧電セラミックス板１を所定の
枚数槓層して嗅ぎ付けることにより槓層体を得るが、そ
の際内部電極層２ａを持つ圧電セラミックス板１は積層
体上下の端部に位置するように槓み重ね、さらにその上
に積層体の上下両最端部となるように同じく銀ペースト
を一面｛こ塗布した保護層４を重ね、全体を締め付けて
重なり合った銀ペースト同士を焼き付ける。なおこの積
層圧１ｉＥ素子の製造方法１こおいては、圧電セラミッ
クス１の厚さに対する内部電極層２，２ａの厚さ割合を
１／５より厚くすることは困雛であり、！ＪＲ／’＊
ＩＥ！素子としても変位量と発生力とが比例関係からの
ずれを生ずるなど不都合が多いので内部電極層２ａの厚
さ割合は１／５までとしている。
２０ｗｍΦ，厚さ０．５ｍｍとした後、この圧這セラミ
ックス板１の上下両面に銀ペーストを塗布して焼き付け
る。銀ペーストはガラスフ’Ｊ ｙ トを数％，銀を６
０〜７０％含むものを使用する。このとき１回に焼き付
ける銀ペーストの厚さは片面で０．０ １ １１１であ
るから、焼き付け後に得られる内部電極層２，２ａの厚
さに応じて１回以上繰り返し行ない、内都電極／ｉｌ２
となるものの厚さは圧電セラミックス板１の厚さＣｌ）
１／５０ 〜１，４０ （ １０ 〜５Ｑ ｐｍ ）
，内都電極層２ａとなるものの厚さは圧電セラミック
ス板１の厚さの１／１０ − １／５ （５０ 〜１０
０ ｐｍ ）となるよう（こする。この状態でさらに銀
ペーストを塗布した後、圧電セラミックス板１を所定の
枚数槓層して嗅ぎ付けることにより槓層体を得るが、そ
の際内部電極層２ａを持つ圧電セラミックス板１は積層
体上下の端部に位置するように槓み重ね、さらにその上
に積層体の上下両最端部となるように同じく銀ペースト
を一面｛こ塗布した保護層４を重ね、全体を締め付けて
重なり合った銀ペースト同士を焼き付ける。なおこの積
層圧１ｉＥ素子の製造方法１こおいては、圧電セラミッ
クス１の厚さに対する内部電極層２，２ａの厚さ割合を
１／５より厚くすることは困雛であり、！ＪＲ／’＊
ＩＥ！素子としても変位量と発生力とが比例関係からの
ずれを生ずるなど不都合が多いので内部電極層２ａの厚
さ割合は１／５までとしている。
次いでこの積層体の二つの平行側面ｌこおける各内部電
極層２，２ａの端部イこ、ｌ層おき｛こ縦方向で左右非
対称となるスＩＪット加工を施し、これらス１，トに絶
縁材料を充填し絶縁層５を形成し、二つの平行側面では
それぞれ各絶縁層５，各ＦＥ！セラミックス板１，各内
部電極層２，２ａの露出面が同一平面となるようにする
。次にこの平行側面にそれぞれ外部電極６を取り付ける
こと１こより第１図と同様の積層圧電素子を得ることが
できる。
極層２，２ａの端部イこ、ｌ層おき｛こ縦方向で左右非
対称となるスＩＪット加工を施し、これらス１，トに絶
縁材料を充填し絶縁層５を形成し、二つの平行側面では
それぞれ各絶縁層５，各ＦＥ！セラミックス板１，各内
部電極層２，２ａの露出面が同一平面となるようにする
。次にこの平行側面にそれぞれ外部電極６を取り付ける
こと１こより第１図と同様の積層圧電素子を得ることが
できる。
次に以上のようにして得られる直径２０慴膠Φ，高さ５
［ｎの積層圧Ｘ累子の作製過程で、圧電セラミックス板
１の厚さに対する内ｓ１Ｉ１極層２の厚さの比率を１／
ｌｏｏから１／１０まで変え、内部電極層２ａの厚ざＯ
比率を１／１０としてこれらの組み合わせによる積層圧
電素子を作製し、それぞれにｉ′ｌｒ流電圧４００ｖを
印加したとき、この素子に発生する最大剪断応力を測定
して得られた結果を第２図に示す。
［ｎの積層圧Ｘ累子の作製過程で、圧電セラミックス板
１の厚さに対する内ｓ１Ｉ１極層２の厚さの比率を１／
ｌｏｏから１／１０まで変え、内部電極層２ａの厚ざＯ
比率を１／１０としてこれらの組み合わせによる積層圧
電素子を作製し、それぞれにｉ′ｌｒ流電圧４００ｖを
印加したとき、この素子に発生する最大剪断応力を測定
して得られた結果を第２図に示す。
第２図は横軸を圧電セラミックス板Ｉ ＩＪ）厚さに対
する内部電極層２の厚さの割合とし、縦軸の最大剪断応
力との関係を示した線図である。第２図において、圧電
セラミックス板ｌの厚さに対して内部電極層２の厚さ割
合が１ ／１ ００程度となっている従来の積層圧電素
子に相当するものと、その厚さ割合を１／２０以上とし
て内部電極層２を厚くした積層圧電素子を比較すると、
最大剪断応力は４４￥ｉから２２贅と１／２に減少して
いることがわかる。
する内部電極層２の厚さの割合とし、縦軸の最大剪断応
力との関係を示した線図である。第２図において、圧電
セラミックス板ｌの厚さに対して内部電極層２の厚さ割
合が１ ／１ ００程度となっている従来の積層圧電素
子に相当するものと、その厚さ割合を１／２０以上とし
て内部電極層２を厚くした積層圧電素子を比較すると、
最大剪断応力は４４￥ｉから２２贅と１／２に減少して
いることがわかる。
第１表は圧′峨セラミックス板１の厚さ（こ対じて、内
都電極層２は以上のように厚さを変え、内部電極層２ａ
も１／１０〜１／５に厚くした組み合わせによる槓層圧
ｍ素子について、耐久試験として不良発生までの動作回
数を調べその結来を趨めたも０である。
都電極層２は以上のように厚さを変え、内部電極層２ａ
も１／１０〜１／５に厚くした組み合わせによる槓層圧
ｍ素子について、耐久試験として不良発生までの動作回
数を調べその結来を趨めたも０である。
第１表から圧電セラミックス板の厚さに対して内部電極
層２の厚さ比率が１／１００では内部電極層２ａの厚さ
比率の如何に拘らず耐久性試験の結果は良くない。内部
電極層２の埠さ比率を１／５０〜１／１０とし内部電極
層２ａの厚さ比率をｌ／１０〜１／５とするこれらの組
み合わせζこよって、積層圧ｉｉｇ子の動作回数を１０
回のオーダーまで確保することができる。保み層４に接
着される内部電極層２ａ近傍の圧電セラミックス板１は
、応力集中を受けやすい所であるから内部電極層２より
厚くするのがよいが、なかでも内部電極層２と２ａの双
方の最も薄い組み合わせとなる第１表の煮５とするのが
製造上の点からも好ましい。
層２の厚さ比率が１／１００では内部電極層２ａの厚さ
比率の如何に拘らず耐久性試験の結果は良くない。内部
電極層２の埠さ比率を１／５０〜１／１０とし内部電極
層２ａの厚さ比率をｌ／１０〜１／５とするこれらの組
み合わせζこよって、積層圧ｉｉｇ子の動作回数を１０
回のオーダーまで確保することができる。保み層４に接
着される内部電極層２ａ近傍の圧電セラミックス板１は
、応力集中を受けやすい所であるから内部電極層２より
厚くするのがよいが、なかでも内部電極層２と２ａの双
方の最も薄い組み合わせとなる第１表の煮５とするのが
製造上の点からも好ましい。
小型の積層圧電素子では内部電極層の厚さが圧電材料で
あるセラミックス板Ｄ厚さの１７１００程度であっても
、積層体の両端に大きな厚さのセラミックス板を設けて
、直流電圧を印加したときｌこ発生する剪断的な応力集
中に対処することができたが、積層圧電素子が大型にな
るとその応力集中を緩和することが不可能となり、多く
の不良品が生ずるのを避けられなかったのに対しで、本
発明によれば実施例で述べた如く、積層体の両端に大き
な厚さのセラミックス板を設ける代わりに、多数のセラ
ミックス板の間１こ埋め込まれる内都電極層の厚さはセ
ラミックス板の厚さの１／！５０〜Ｉ／１０とし、保護
層に接する内部電極層の厚さはセラミックス板の厚さの
１／１０〜１／５として、これらの厚さ範囲で両者を組
み合わせ配置した素子構成としたために、大型積層圧電
素子に発生する剪断応力集中をよく吸収することが可能
となり、その結果素子の破損や絶縁不良を起こすことな
く、製造歩留まりの向上に大きく寄与することができた
。
あるセラミックス板Ｄ厚さの１７１００程度であっても
、積層体の両端に大きな厚さのセラミックス板を設けて
、直流電圧を印加したときｌこ発生する剪断的な応力集
中に対処することができたが、積層圧電素子が大型にな
るとその応力集中を緩和することが不可能となり、多く
の不良品が生ずるのを避けられなかったのに対しで、本
発明によれば実施例で述べた如く、積層体の両端に大き
な厚さのセラミックス板を設ける代わりに、多数のセラ
ミックス板の間１こ埋め込まれる内都電極層の厚さはセ
ラミックス板の厚さの１／！５０〜Ｉ／１０とし、保護
層に接する内部電極層の厚さはセラミックス板の厚さの
１／１０〜１／５として、これらの厚さ範囲で両者を組
み合わせ配置した素子構成としたために、大型積層圧電
素子に発生する剪断応力集中をよく吸収することが可能
となり、その結果素子の破損や絶縁不良を起こすことな
く、製造歩留まりの向上に大きく寄与することができた
。
第１図は本発明の積層形圧電アクチュエータ素子の要部
構或を示す模式断面図、第２図は圧電セラミ，クス板の
厚さに対する内部電極層の厚さ割合と積層形圧電アクデ
ュエータ累子１こ発生する最大剪断応力との関係を示す
線図、第３図は従来の積層形圧電アクチュエータ素子の
要部構成を示す模式断面図である。 ｌ，３：圧電セラミックス板、２．２ａ： 内部電極層
、４：保護層、５：絶縁層、６：外部電極、第１図 ＋００ ５０ ２０ １ｏ ，圧電乞ラミ．７クス刀ｉダ１；丈すする円−ｐ皇極層
屡のτ・１合
構或を示す模式断面図、第２図は圧電セラミ，クス板の
厚さに対する内部電極層の厚さ割合と積層形圧電アクデ
ュエータ累子１こ発生する最大剪断応力との関係を示す
線図、第３図は従来の積層形圧電アクチュエータ素子の
要部構成を示す模式断面図である。 ｌ，３：圧電セラミックス板、２．２ａ： 内部電極層
、４：保護層、５：絶縁層、６：外部電極、第１図 ＋００ ５０ ２０ １ｏ ，圧電乞ラミ．７クス刀ｉダ１；丈すする円−ｐ皇極層
屡のτ・１合
Claims (1)
- （１）積層された複数個の圧電セラミックス板の間にそ
れぞれ埋め込まれた同径の内部電極層を有し上下両端に
内部電極層を介して保護層を設けた積層体と、この積層
体の二つの平行側面と同一平面をもつように内部電極層
側端部で交互に形成された絶縁層を含む二つの平行側面
の双方に接続され、内部電極層と一層おきに電気的な導
通を可能とする二つの外部電極とを備えた積層形圧電ア
クチュエータ素子であって、圧電セラミックス板の間に
埋め込まれる内部電極層の厚さを圧電セラミックス板の
厚さの１／５０〜１／１０とし、保護層に接する内部電
極層の厚さを圧電セラミックス板の厚さの１／１０〜１
／５とすることを特徴とする積層形圧電アクチュエータ
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1243684A JPH03106082A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 積層形圧電アクチュエータ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1243684A JPH03106082A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 積層形圧電アクチュエータ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106082A true JPH03106082A (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17107450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1243684A Pending JPH03106082A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 積層形圧電アクチュエータ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106082A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006135013A1 (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-21 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007027692A (ja) * | 2005-06-15 | 2007-02-01 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007043094A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-02-15 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| WO2007037377A1 (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1243684A patent/JPH03106082A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006135013A1 (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-21 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
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| CN102651448A (zh) * | 2005-06-15 | 2012-08-29 | 京瓷株式会社 | 层叠型压电元件及使用其的喷射装置 |
| US8441174B2 (en) | 2005-06-15 | 2013-05-14 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
| US8648517B2 (en) | 2005-06-15 | 2014-02-11 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
| JP2007043094A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-02-15 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| WO2007037377A1 (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| US8288921B2 (en) | 2005-09-29 | 2012-10-16 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
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