JP2868287B2 - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2868287B2 JP2868287B2 JP2135228A JP13522890A JP2868287B2 JP 2868287 B2 JP2868287 B2 JP 2868287B2 JP 2135228 A JP2135228 A JP 2135228A JP 13522890 A JP13522890 A JP 13522890A JP 2868287 B2 JP2868287 B2 JP 2868287B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- electrode structure
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 19
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 7
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は圧電効果を利用したアクチュエータに関する
ものである。
ものである。
［従来の技術］ 通常の部分電極構造積層型圧電アクチュエータの一例
の斜視図を第３図に、また第３図における切断面Ａの断
面構造を第４図に示す。図中、31は圧電セラミックス、
32はセラミックス中に層状に埋め込まれた金属内部電
極、33は金属外部電極である。そして各金属内部電極32
は、アクチュエータの側面に設けられた１対の金属外部
電極33により電気的に並列接続がなされている。
の斜視図を第３図に、また第３図における切断面Ａの断
面構造を第４図に示す。図中、31は圧電セラミックス、
32はセラミックス中に層状に埋め込まれた金属内部電
極、33は金属外部電極である。そして各金属内部電極32
は、アクチュエータの側面に設けられた１対の金属外部
電極33により電気的に並列接続がなされている。
この１対の外部電極間に電圧を印加すると、アクチュ
エータは圧電縦効果により高さ方向に伸長する。
エータは圧電縦効果により高さ方向に伸長する。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、このようなアクチュエータの内部電極構成
では第４図から明らかなように、各内部電極の面積（ｂ
×ｂ）はアクチュエータの断面積（ａ×ａ）よりも小さ
い。そして各内部電極は外部電極により電気的に接続さ
れるために、内部電極はアクチュエータの中央部でのみ
上，下方向に重なっている。従って外部電極対に電圧を
印加すると、アクチュエータの中央部では電界強度が大
きく、周辺部では電界強度が小さくなる。
では第４図から明らかなように、各内部電極の面積（ｂ
×ｂ）はアクチュエータの断面積（ａ×ａ）よりも小さ
い。そして各内部電極は外部電極により電気的に接続さ
れるために、内部電極はアクチュエータの中央部でのみ
上，下方向に重なっている。従って外部電極対に電圧を
印加すると、アクチュエータの中央部では電界強度が大
きく、周辺部では電界強度が小さくなる。
その結果、アクチュエータの上下端面における変位分
布は第５図のようになる。即ち第５図は、１対の金属外
部電極52からリード線54を取り出し、電極端子55の間に
直流電圧を印加した場合に生じる変形を模式的に点線で
示したものである。圧電歪は電界強度に比例して生じる
ため、電界強度の大きい中央部では大きな圧電歪が生
じ、周辺部では電界強度が小さいため圧電歪も小さくな
る。従って機械的な拘束のない自由状態で電圧を印加し
た場合でもアクチュエータ内部に応力が発生し、アクチ
ュエータの自己破壊を誘発するという問題があった。ま
たこのような不均一な変形は実用上も好ましくないもの
である。
布は第５図のようになる。即ち第５図は、１対の金属外
部電極52からリード線54を取り出し、電極端子55の間に
直流電圧を印加した場合に生じる変形を模式的に点線で
示したものである。圧電歪は電界強度に比例して生じる
ため、電界強度の大きい中央部では大きな圧電歪が生
じ、周辺部では電界強度が小さいため圧電歪も小さくな
る。従って機械的な拘束のない自由状態で電圧を印加し
た場合でもアクチュエータ内部に応力が発生し、アクチ
ュエータの自己破壊を誘発するという問題があった。ま
たこのような不均一な変形は実用上も好ましくないもの
である。
本発明はこのような課題を解決するためになされたも
ので、電圧を印加しても機械的な自己破壊を起こすこと
のない圧電アクチュエータを提供することを目的とす
る。
ので、電圧を印加しても機械的な自己破壊を起こすこと
のない圧電アクチュエータを提供することを目的とす
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、圧電縦効果歪の発生軸方向寸法を、これと
垂直方向寸法の２つの辺のいずれの寸法に対しても３分
の１以下にしたことを特徴とする部分電極構造の積層型
圧電アクチュエータ、および圧電縦効果歪の発生軸方向
に圧縮バイアスを付与する機構を備えたことを特徴とす
る部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ、および圧
電縦効果歪の発生軸方向寸法が、これと垂直方向寸法の
２つの辺のいずれの寸法に対しても３分の１以下である
部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ素子を圧電縦
効果歪発生軸方向に複数個積み重ねて積層により一体化
し、圧電縦効果歪発生軸方向に圧縮バイアスを付与する
機構を備えたことを特徴とする圧電アクチュエータであ
る。
垂直方向寸法の２つの辺のいずれの寸法に対しても３分
の１以下にしたことを特徴とする部分電極構造の積層型
圧電アクチュエータ、および圧電縦効果歪の発生軸方向
に圧縮バイアスを付与する機構を備えたことを特徴とす
る部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ、および圧
電縦効果歪の発生軸方向寸法が、これと垂直方向寸法の
２つの辺のいずれの寸法に対しても３分の１以下である
部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ素子を圧電縦
効果歪発生軸方向に複数個積み重ねて積層により一体化
し、圧電縦効果歪発生軸方向に圧縮バイアスを付与する
機構を備えたことを特徴とする圧電アクチュエータであ
る。
［作用］ 部分電極構造の積層型圧電アクチュエータの圧電縦効
果に基づく発生変位量は、高さ寸法ｈの約0.1％程度で
あることが知られている。
果に基づく発生変位量は、高さ寸法ｈの約0.1％程度で
あることが知られている。
本発明ではこの高さ寸法ｈを、これと垂直な方向の寸
法ａに対して３分の１以下にする。このことにより、内
部応力は構造的に緩和され、大振幅駆動を行っても機械
的な破壊は起こらない。
法ａに対して３分の１以下にする。このことにより、内
部応力は構造的に緩和され、大振幅駆動を行っても機械
的な破壊は起こらない。
また、変位発生軸方向に圧縮バイアス機構を設け、圧
縮バイアスを付加した状態で電圧を印加すると、アクチ
ュエータは圧縮バイアスを付加しない元の状態へと復帰
するように変形するためアクチュエータの端面は平行に
移動する。また、引張り応力の発生も防止できるためア
クチュエータが機械的に破壊することがない。
縮バイアスを付加した状態で電圧を印加すると、アクチ
ュエータは圧縮バイアスを付加しない元の状態へと復帰
するように変形するためアクチュエータの端面は平行に
移動する。また、引張り応力の発生も防止できるためア
クチュエータが機械的に破壊することがない。
また、大きな変位が必要なアクチュエータの場合に
は、圧電縦効果歪発生軸方向の寸法ｈを大きく設定しな
ければならないが、上述のように、アクチュエータの自
己破壊を防止するためには横方向寸法ａをｈの３倍以上
に設定することが望ましいので、大きな変位を得るため
のアクチュエータは必然的に大型になるという欠点があ
る。これに対しては、第６図（ａ）に示すように、自己
破壊の起こらない部分電極構造の積層型圧電アクチュエ
ータ61を複数個積み重ねて接着剤63により接着一体化
し、各外部電極対62をリード線64で並列接続して電極端
子65に電圧を印加して駆動する方法もあるが、この場合
には第６図（ｂ）に模式的に示すように、個々のアクチ
ュエータ61が不均一な変形を起こすために、図示のよう
に接着した界面が機械的に破壊してしまう欠点がある。
このような場合にも、変位発生軸方向に圧縮バイアス機
構を設け、圧縮バイアスを付加した状態で電圧を印加す
ると、個々のアクチュエータの上，下端面が電圧の印加
により平行に変位するため、接合面の機械的破壊が防止
される。
は、圧電縦効果歪発生軸方向の寸法ｈを大きく設定しな
ければならないが、上述のように、アクチュエータの自
己破壊を防止するためには横方向寸法ａをｈの３倍以上
に設定することが望ましいので、大きな変位を得るため
のアクチュエータは必然的に大型になるという欠点があ
る。これに対しては、第６図（ａ）に示すように、自己
破壊の起こらない部分電極構造の積層型圧電アクチュエ
ータ61を複数個積み重ねて接着剤63により接着一体化
し、各外部電極対62をリード線64で並列接続して電極端
子65に電圧を印加して駆動する方法もあるが、この場合
には第６図（ｂ）に模式的に示すように、個々のアクチ
ュエータ61が不均一な変形を起こすために、図示のよう
に接着した界面が機械的に破壊してしまう欠点がある。
このような場合にも、変位発生軸方向に圧縮バイアス機
構を設け、圧縮バイアスを付加した状態で電圧を印加す
ると、個々のアクチュエータの上，下端面が電圧の印加
により平行に変位するため、接合面の機械的破壊が防止
される。
［実施例］ 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
実施例１ 第３図および第４図によって本実施例を説明すると、
圧電セラミックス31にはPb（Zr,Ti）O3（PZT）系圧電セ
ラミックスを使用した。断面は一辺がａの正方形をして
おり、ａ＝4.5mmとした。高さｈは0.5〜4.0mmの範囲で
変化させた。内部電極32には厚さが約２μｍの白金膜を
使用した。内部電極32は一変がｂの正方形で、ｂ＝3.5m
mとした。内部電極の間隔ｄは約0.1mmとした。
圧電セラミックス31にはPb（Zr,Ti）O3（PZT）系圧電セ
ラミックスを使用した。断面は一辺がａの正方形をして
おり、ａ＝4.5mmとした。高さｈは0.5〜4.0mmの範囲で
変化させた。内部電極32には厚さが約２μｍの白金膜を
使用した。内部電極32は一変がｂの正方形で、ｂ＝3.5m
mとした。内部電極の間隔ｄは約0.1mmとした。
以下に、このアクチュエータの製法を簡単に説明す
る。
る。
まずPZT系圧電セラミックスの粉末にポリビニルアル
コールとフタル酸ジオクチルを少量加えてエチルアルコ
ール中に分散させ、泥漿を作製した。これをドクターブ
レード法に基づく厚膜製造装置を用いて、厚さが約0.12
mmの厚膜に加工した。この厚膜の片側表面に白金ペース
ト膜を印刷塗布し、これらを積み重ねて熱プレスで圧着
し、一体化した。この積層体をまず450℃で24時間加熱
して、内部に含まれた有機系物質を熱分解させた。次い
で1200℃で１時間焼結した。この焼結体の側面に外部電
極として銀ペーストを焼き付けた。
コールとフタル酸ジオクチルを少量加えてエチルアルコ
ール中に分散させ、泥漿を作製した。これをドクターブ
レード法に基づく厚膜製造装置を用いて、厚さが約0.12
mmの厚膜に加工した。この厚膜の片側表面に白金ペース
ト膜を印刷塗布し、これらを積み重ねて熱プレスで圧着
し、一体化した。この積層体をまず450℃で24時間加熱
して、内部に含まれた有機系物質を熱分解させた。次い
で1200℃で１時間焼結した。この焼結体の側面に外部電
極として銀ペーストを焼き付けた。
アクチュエータの高さ寸法ｈがそれぞれ0.5,1.0,1.5,
2.0,3.0mmのものを各10個ずつ作製し、外部電極対間に6
0Vの直流電圧を印加した。この場合には、すべてのアク
チュエータで機械的破壊は認められなかった。次に100V
の電圧を印加したところ、ｈ＝0.5,1.0,1.5mmのアクチ
ュエータは100時間の電圧印加に対して機械的破壊は起
こらなかった。しかし、ｈ＝2.0mmのアクチュエータ
は、10個中６個が内部電極層に沿って機械的に破壊し
た。またｈ＝3.0mmのアクチュエータはすべてが機械的
に破壊した。
2.0,3.0mmのものを各10個ずつ作製し、外部電極対間に6
0Vの直流電圧を印加した。この場合には、すべてのアク
チュエータで機械的破壊は認められなかった。次に100V
の電圧を印加したところ、ｈ＝0.5,1.0,1.5mmのアクチ
ュエータは100時間の電圧印加に対して機械的破壊は起
こらなかった。しかし、ｈ＝2.0mmのアクチュエータ
は、10個中６個が内部電極層に沿って機械的に破壊し
た。またｈ＝3.0mmのアクチュエータはすべてが機械的
に破壊した。
以上の実施例から明らかなとおり、部分電極構造の積
層型圧電アクチュエータでは、高さ方向の寸法ｈと横方
向の寸法ａとがh/a≦1/3の関係を満たす場合には機械的
に破壊することがない。
層型圧電アクチュエータでは、高さ方向の寸法ｈと横方
向の寸法ａとがh/a≦1/3の関係を満たす場合には機械的
に破壊することがない。
実施例２ 第２図は本発明による圧縮バイアス加圧機構付き部分
電極構造の積層型圧電アクチュエータの一例の側面図で
ある。部分電極構造の積層型圧縮アクチュエータ21を２
枚の黄銅板22aと22bで挟み、４本のボルト24とナット25
でアクチュエータ21に圧縮バイアスを与える。
電極構造の積層型圧電アクチュエータの一例の側面図で
ある。部分電極構造の積層型圧縮アクチュエータ21を２
枚の黄銅板22aと22bで挟み、４本のボルト24とナット25
でアクチュエータ21に圧縮バイアスを与える。
圧電アクチュエータ21の寸法は横断面が20×20mm、高
さは20mmであり、実施例１と同様の方法で製造した。機
械的に拘束のない自由状態では100Vの電圧を印加すると
高さ方向に最大約17μｍの変位を生じる。黄銅板22a,22
bの寸法は30×30×7mmとした。ボルト24には直径3mmの
ステンレスを使用した。圧縮バイアスの大きさはアクチ
ュエータの高さ方向の寸法が17μｍ縮むように調整され
ている。
さは20mmであり、実施例１と同様の方法で製造した。機
械的に拘束のない自由状態では100Vの電圧を印加すると
高さ方向に最大約17μｍの変位を生じる。黄銅板22a,22
bの寸法は30×30×7mmとした。ボルト24には直径3mmの
ステンレスを使用した。圧縮バイアスの大きさはアクチ
ュエータの高さ方向の寸法が17μｍ縮むように調整され
ている。
上記の圧縮バイアス加圧機構を備えたアクチュエータ
に100Vの直流電圧を印加したところ、このアクチュエー
タは約17μｍ伸長し、かつ２枚の黄銅板22a,22bは上，
下方向に平行に移動した。
に100Vの直流電圧を印加したところ、このアクチュエー
タは約17μｍ伸長し、かつ２枚の黄銅板22a,22bは上，
下方向に平行に移動した。
また、直流電圧を1000時間継続して印加したが、アク
チュエータが機械的に破壊を起こす現象は認められなか
った。
チュエータが機械的に破壊を起こす現象は認められなか
った。
なお比較の意味で、実施例に使用した部分電極構造の
積層型圧電アクチュエータを機械的な拘束のない自由状
態で100Vの直流電圧を印加したところ、10分程度で機械
的に破壊した。
積層型圧電アクチュエータを機械的な拘束のない自由状
態で100Vの直流電圧を印加したところ、10分程度で機械
的に破壊した。
実施例３ 第１図は本発明による圧縮バイアス加圧機構付き圧電
アクチュエータの別の一例の側面図である。３個の部分
電極構造の積層型圧電アクチュエータ１を積み重ねて接
着剤３で一体化し、これを２枚の黄銅板2aと2bで挟んで
４本のボルト４とナット５でアクチュエータに圧縮バイ
アスを与えている。
アクチュエータの別の一例の側面図である。３個の部分
電極構造の積層型圧電アクチュエータ１を積み重ねて接
着剤３で一体化し、これを２枚の黄銅板2aと2bで挟んで
４本のボルト４とナット５でアクチュエータに圧縮バイ
アスを与えている。
各部分電極構造積層型圧電アクチュエータ１は一辺が
20mmの正方形断面を有し、高さが6mmとなっている。こ
れを単体で100Vの直流電圧を印加して駆動すると、アク
チュエータの端面中央部には最大約３μｍの高さ方向変
位が生じる。黄銅板2a,2bの寸法は30×30×7mmとした。
ボルト４は直径3mmのステンレス製である。圧縮バイア
スの大きさは３個の一体化されたアクチュエータの高さ
寸法が圧縮バイアスを印加する前の状態から９μｍ程度
縮むように調整されている。
20mmの正方形断面を有し、高さが6mmとなっている。こ
れを単体で100Vの直流電圧を印加して駆動すると、アク
チュエータの端面中央部には最大約３μｍの高さ方向変
位が生じる。黄銅板2a,2bの寸法は30×30×7mmとした。
ボルト４は直径3mmのステンレス製である。圧縮バイア
スの大きさは３個の一体化されたアクチュエータの高さ
寸法が圧縮バイアスを印加する前の状態から９μｍ程度
縮むように調整されている。
上記の圧縮バイアス加圧機構を備えたアクチュエータ
に100Vの直流電圧を印加して３個を同時に駆動したとこ
ろ、２枚の黄銅板2a,2bの距離は互いに離れる方向に平
行に約８μｍ移動した。この状態で100Vの直流電圧を10
00時間以上連続的に印加したが、アクチュエータには何
ら機械的な破壊が認められなかった。
に100Vの直流電圧を印加して３個を同時に駆動したとこ
ろ、２枚の黄銅板2a,2bの距離は互いに離れる方向に平
行に約８μｍ移動した。この状態で100Vの直流電圧を10
00時間以上連続的に印加したが、アクチュエータには何
ら機械的な破壊が認められなかった。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、アクチュエー
タ寸法，形状を適切に設定するか、あるいは圧縮バイア
スを付加することにより、機械的に破壊することのない
部分電極構造の積層型圧電アクチュエータの提供が可能
となる。また、両者を組み合わせることによって、小体
積で大きな変位を発生させることができ、かつその上，
下端面を平行に変位させることのできる圧電アクチュエ
ータが提供される。
タ寸法，形状を適切に設定するか、あるいは圧縮バイア
スを付加することにより、機械的に破壊することのない
部分電極構造の積層型圧電アクチュエータの提供が可能
となる。また、両者を組み合わせることによって、小体
積で大きな変位を発生させることができ、かつその上，
下端面を平行に変位させることのできる圧電アクチュエ
ータが提供される。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例の側面
図、第３図は部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ
の一例の斜視図、第４図は第３図における面Ａによる断
面図、第５図は部分電極構造の積層型圧電アクチュエー
タに直流電圧を印加した時の状態を模式的に示す説明
図、第６図は部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ
を軸方向に積層一体化し、直流電圧で駆動した時の状態
を模式的に示す説明図である。 1,21,51,61……積層型圧電アクチュエータ 2a,2b,22a,22b……黄銅板 3,63……接着剤 4,24……ボルト、5,25……ナット 31……圧電セラミックス、32……金属内部電極 33,52,62……金属外部電極 54,64……リード線 55,65……電極端子
図、第３図は部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ
の一例の斜視図、第４図は第３図における面Ａによる断
面図、第５図は部分電極構造の積層型圧電アクチュエー
タに直流電圧を印加した時の状態を模式的に示す説明
図、第６図は部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ
を軸方向に積層一体化し、直流電圧で駆動した時の状態
を模式的に示す説明図である。 1,21,51,61……積層型圧電アクチュエータ 2a,2b,22a,22b……黄銅板 3,63……接着剤 4,24……ボルト、5,25……ナット 31……圧電セラミックス、32……金属内部電極 33,52,62……金属外部電極 54,64……リード線 55,65……電極端子
Claims (3)
- 【請求項１】圧電縦効果歪の発生軸方向寸法を、これと
垂直方向寸法の２つの辺のいずれの寸法に対しても３分
の１以下にしたことを特徴とする部分電極構造の積層型
圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】焼結により一体化された積層型圧電アクチ
ュエータの圧電縦効果歪の発生軸方向に、機械的に拘束
のない自由状態において電圧を印加した際に高さ方向に
生じる変位分を圧縮バイアスとして付与する機構を備え
たことを特徴とする部分電極構造の積層型圧電アクチュ
エータ。 - 【請求項３】圧電縦効果歪の発生軸寸法方向が、これと
垂直方向寸法の２つの辺のいずれの寸法に対しても３分
の１以下である部分電極構造の積層型圧電アクチュエー
タ素子を圧電縦効果歪発生軸方向に複数個積み重ねて接
着により一体化し、圧電縦効果歪発生軸方向に圧縮バイ
アスを付与する機構を備えたことを特徴とする積層型圧
電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2135228A JP2868287B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 積層型圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2135228A JP2868287B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430482A JPH0430482A (ja) | 1992-02-03 |
| JP2868287B2 true JP2868287B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=15146812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2135228A Expired - Fee Related JP2868287B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868287B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006303443A (ja) | 2005-03-24 | 2006-11-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型圧電素子、これを用いた燃料噴射装置、及び積層型圧電素子の製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5716395U (ja) * | 1980-07-01 | 1982-01-27 | ||
| JPS59193078A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Japan Storage Battery Co Ltd | 積層圧電体装置 |
| JPS6059981A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-06 | Asahi Okuma Ind Co Ltd | 駆動装置 |
| JPH01147880A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-09 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪効果素子 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2135228A patent/JP2868287B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0430482A (ja) | 1992-02-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5237239A (en) | Piezoelectric actuator | |
| GB2242312A (en) | Laminated displacement device | |
| JP6617268B2 (ja) | 圧電素子および圧電素子の製造方法 | |
| JP2000082852A (ja) | 多層圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 | |
| JP2986706B2 (ja) | 圧電素子及びそれを用いた圧電アクチュエータ | |
| JP2868287B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH11186626A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| CN116133507A (zh) | 叠层型压电陶瓷全电极结构及其制造工艺 | |
| JPH0257353B2 (ja) | ||
| JP3043387B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JP6047358B2 (ja) | 多連化素子およびその製造方法 | |
| JPH02237083A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH0353572A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2892672B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH04337682A (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子 | |
| JP2882164B2 (ja) | 電歪効果素子およびその製造方法 | |
| JP2941456B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH01261879A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH01184968A (ja) | 積層型圧電素子の製造法 | |
| JPH0279482A (ja) | 電歪効果素子及びその製造方法 | |
| JP6898167B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH04274377A (ja) | 積層圧電アクチュエータ | |
| JPH02267977A (ja) | 積層型セラミック素子の製造方法 | |
| JPH0364978A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH03241782A (ja) | 電歪効果素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071225 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081225 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091225 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |