JPS6252988B2 - - Google Patents

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JPS6252988B2
JPS6252988B2 JP54083455A JP8345579A JPS6252988B2 JP S6252988 B2 JPS6252988 B2 JP S6252988B2 JP 54083455 A JP54083455 A JP 54083455A JP 8345579 A JP8345579 A JP 8345579A JP S6252988 B2 JPS6252988 B2 JP S6252988B2
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JP54083455A
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Naryuki Ochi
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPS568966A publication Critical patent/JPS568966A/ja
Publication of JPS6252988B2 publication Critical patent/JPS6252988B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、CCD(Charge Coupled Device:
電荷結合素子)やBBD(Bucket Brigade
Device:電荷転送素子)等をイメージセンサと
して用いた固体撮像装置に関する。
従来より例えばCCD撮像装置としては、用い
られるCCDの構造により大別されるフレーム・
トランスフア型とインタライントランスフア型の
二種類のものが提案されている。
フレーム・トランスフア型CCD撮像装置は、
第1図に原理的な構造を示すように、各々一絵素
に対応する複数の受光素子1aをマトリクス状に
配列して成る受光部1と、この受光部1にて得ら
れる信号電荷を一時記憶する複数の蓄積素子2a
をマトリクス状に配列して成る蓄積部2と、この
蓄積部2から信号電荷を一水平ライン毎に読出す
水平転送レジスタ部3とを備えたCCDをイメー
ジセンサとして用いている。上記受光部1は、第
2図Aおよび第2図Bに示すような2相クロツク
信号φS1,φS2が供給されており、一フイールド
期間1F中の第1のクロツク信号φS1が順バイア
スされている期間Ta2では該受光部1を形成して
いる半導体表面がアキユームレーシヨン状態にな
つているので、撮像光の照射によつて発生する電
子・正孔対が再結合し、CCD電極下に蓄積され
ず、不活性状態を維持し、上記第1のクロツク信
号φS1が高電位状態となつている期間Ta3中に撮
像光に応じて発生する電子がCCD電極下に蓄積
される。このようにして得られる信号電荷は、次
の垂直転送期間Ta1中に受光部1から蓄積部2に
転送される。上記蓄積部2は、第2図Cおよび第
2図Dに示すような2相クロツク信号φM1,φM2
が供給されており、この2相クロツク信号φM1
φM2によつて、上記信号電荷を一水平走査期間
1H毎に一水平ライン分ずつ水平転送レジスタ部
3に転送する。上記水平転送レジスタ部3に入つ
た信号電荷は、第3図B、および第3図Cに示す
ような2相の水平転送クロツク信号φH1,φH2
より水平転送され、1絵素分ずつ読出される。な
お、第3図Aは、上記蓄積部2に供給されている
第2のクロツク信号φM2を示している。
上述の如きフレーム・トランスフア型CCD撮
像装置では、受光部1における受光蓄積時間すな
わち期間Ta3によつて電子シヤツタ時間が決まる
ので、一フイールド期間1F中の不活性期間Ta2
長くして、その分だけ受光蓄積時間(期間Ta3
を短くすることによつてシヤツタスピードを速く
することができる。
しかし、上記受光部1には信号電荷の垂直転送
期間Ta1中にも撮像光を照射され続けているの
で、この光による垂直方向のスメア
(Smearing:垂直輝線)が発生し、スメアによつ
て画質が劣化されてしまう。上記画質の劣化は、
シヤツタスピードを速くする(期間Ta3を短くす
る)程、信号対スメア比が小さくなつて著しくな
る。
また、インターライン・トランスフア型CCD
撮像装置は、第4図に原理的な構造を示すよう
に、各絵素に対応してマトリクス状に配列された
複数の受光部11と、この受光部11の一側にト
ランスフア・ゲート12を介して設けられた各垂
直転送レジスタ部13と、上記受光部11の他側
にオーバーフロー・コントロール・ゲート14を
介して設けられた各オーバーフロー・ドレイン1
5と、上記垂直転送レジスタ部13の終端側に設
けられた水平転送レジスタ部16とを備えて成る
CCDをイメージセンサとして用いている。上記
受光部11には、一フイールド期間1Fの最終側
に受光蓄積期間Tb3を有する第5図Aに示すよう
なクロツク信号φSが供給され、オーバーフロ
ー・コントロール・ゲート14には第5図Bに示
すようなゲートクロツク信号φ0FCが供給されて
いる。上記受光蓄積期間Tb3中は、クロツク信号
φSが高位電位状態となつており、受光部11に
おいて撮像光の照射量に応じた電荷を蓄積する。
このとき、ゲートクロツク信号φ0FCは、低電位
状態となつており、上記受光部11における蓄積
電荷がオーバーフローするまでオーバーフロー・
ドレイン15に捨てられないように、オーバーフ
ロー・コントロール・ゲート14を閉成せしめて
いる。また、不活性期間Tb2中は、クロツク信号
φSが低電位状態でゲートクロツク信号φ0FCが高
電位状態となつており、撮像光の照射により受光
部11に発生される電荷がオーバーフロー・ドレ
イン15に全て捨てられるように、オーバーフロ
ー・コントロール・ゲート14を開成せしめてあ
る。上記受光部11にて得られる信号電荷(蓄積
電荷)は、第5図Cに示すようなゲートクロツク
信号φTGで、一フイールド期間1F毎に期間Tb1
けトランスフア・ゲート12が開成されることに
よつて、垂直転送レジスタ部13に読出される。
このようにして、一フイールド期間1F毎に受光
部11から垂直転送レジスタ部13に読出される
信号電荷は、第5図Dおよび第5図Eに示すよう
な2相の垂直転送クロツク信号φV1,φV2に従つ
て、1水平走査期間1H毎に1水平ライン分ずつ
垂直転送され、水平転送レジスタ部16に読出さ
れる。上記水平転送レジスタ部16に入つた信号
電荷は、第6図Bおよび第6図Cに示すような2
相の水平転送クロツク信号φH1,φH2により水平
転送され、一絵素分ずつCCD外に読出される。
なお、第6図Aは、上記垂直転送クロツク信号φ
V2を示している。
上述の如きインターライン・トランスフア型
CCD撮像装置においては、電子シヤツタ時間を
受光蓄積期間Tb3によつて決めることができ、不
活性期間Tb2を長くし、その分受光蓄積期間Tb1
を短くすればシヤツタスピードが速くなる。とこ
ろで、受光部11を通じて入射した光は波長の長
い光ほどバルク表面から奥深く入りバルク中に電
荷を発生させ、この電荷がバルク中を横方向にも
拡散するので、信号電荷の垂直転送中に上記電荷
が垂直転送レジスタ部13に漏れ込んで垂直方向
のスメアが発生し、このスメアによつて画質が劣
化されてしまう。上記画質の劣化は、シヤツタス
ピードを速くする(受光蓄積期間Tb3を短くす
る)程信号対スメア比が小さくなつて、著しくな
る。
通常、動きを伴う被写体像を撮像する場合に
は、画質のブレを軽減させて解像度を向上するた
めにシヤツタスピードを速くする必要がある。し
かし、上述の如く従来の固体撮像装置において
は、シヤツタスピードを速くするとスメアによる
画質の劣化を生じてしまうので、シヤツタスピー
ドを速くすることができない。
そこで、本発明は、上述の如き従来例における
問題点に鑑み、水平及び垂直方向にマトリクス状
に配された複数の受光部と、該受光部からの電荷
を垂直方向に転送する複数列の電荷転送装置から
なる第一の垂直シフトレジスタ群と、該垂直シフ
トレジスタ群の各々の一端に電気的に結合される
第二の垂直シフトレジスタ群からなる記憶部と、
上記第二の垂直シフトレジスタの他の一端に電気
的に結合される電荷転送型の水平シフトレジスタ
とよりなり、一垂直周期の可変制御可能なタイミ
ングまでに上記受光部で発生した電荷を所定のド
レイン部に掃き出すとともに、上記のタイミング
以降上記受光部に発生した電荷を上記第一の垂直
シフトレジスタに読出し上記第一の垂直シフトレ
ジスタから上記第二の垂直シフトレジスタに高速
転送し、上記第二の垂直シフトレジスタより一水
平期間周期で電荷を上記水平シフトレジスタへ転
送して読み出すようになし、制御可能な電子的シ
ヤツタ機能を有するようにしたことを特徴とする
ことによつてスメアによる画質の劣化を防止し
て、シヤツタスピードを速くしても画質の良好な
撮像出力信号を得られる固体撮像装置を提供する
ものである。
以下、本発明について、一実施例を示す図面に
従つて詳細に説明する。
本発明に係る固体撮像装置の一実施例につい
て、その原理的な構造を第7図および第8図に示
す。
この実施例においては、第7図に示すように、
各絵素に対応してマトリクス状に配列された受光
部21、一垂直ライン毎の受光部21の各一側に
各々トランスフア・ゲート22を介して設けられ
た垂直転送レジスタ部23、上記一垂直ライン毎
の受光部21の各他側に各々オーバーフロー・コ
ントロール・ゲート24を介して設けられたオー
バーフロー・ドレイン25、信号電荷を読出すた
めの水平転送レジスタ部27、上記垂直転送レジ
スタ部23と、水平転送レジスタ部27との間に
一垂直ライン毎に設けられた記憶部26および各
垂直ライン間等を分離するためのチヤンネルスト
ツパ28とを備えて成るCCDがイメージセンサ
として用いられる。上記受光部21以外の各部分
は、第8図に斜線を施して示すように全て遮光が
施されている。
撮像光の照射によつて上記受光部21に発生さ
れる電荷は、オーバーフロー・コントロール・ゲ
ート24が低電位状(以下、論理「0」とい
う。)のゲートクロツク信号φ0FCによつて閉じら
れているときに、該受光部21に高電位状態(以
下、論理「1」という。)のクロツク信号φSが供
給されていると、オーバーフローするまで該受光
部21のポテンシヤルウエルに蓄積される。ま
た、論理「1」なる上記ゲートクロツク信号φ0F
によつて上記オーバーフロー・コントロール・
ゲート24が開かれ、且つ論理「0」なるクロツ
ク信号φSが上記受光部21に供給されていると
きには、上記撮像光による発生電荷はオーバーフ
ロー・ドレイン25に全て捨てられる。この実施
例では、上記受光部21には、第9図Aに示すよ
うに、一フイールド期間1Fの最終側の期間(以
下、受光蓄積期間という。)TCだけ一フイールド
期間1F毎に論理「1」となるようなクロツク信
号φSが供給されている。また、上記オーバーフ
ロー・コントロール・ゲート24には、第9図B
に示すように、上記期間TCおよび次の一フイー
ルド期間の最初の所定期間(以下、読出期間とい
う。)TRに亘る期間TOだけ一フイールド期間1F
毎に論理「0」となるようなゲートクロツク信号
φ0FCが供給されている。
上記一フイールド期間1F中の受光蓄積期間TC
に受光部21に蓄積された信号電荷は、第9図C
に示すように、上記読出期間TR中に論理「1」
となるようなゲートクロツク信号φTGでトランス
フアー・ゲート22を開くことによつて、上記受
光部21から垂直転送レジスタ部23に一フイー
ルド周期1F毎に読出される。上記垂直転送レジ
スタ部23への信号電荷の読出しは、第9図Dに
示すように論理「1」なる第1の垂直転送クロツ
ク信号φV1が該垂直転送レジスタ部23に供給さ
れた状態で、且つ論理「0」なるクロツク信号φ
Sが上記受光部21に供給されているときに、上
記トランスフア・ゲート22が開かれることによ
つて、該第1の垂直転送クロツク信号φV1による
ポテンシヤルウエルに信号電荷が転送されること
によつて行われる。上記第1の垂直転送クロツク
信号φV1は、上記読出期間に続く期間(以下、垂
直転送期間という。)TV中に高速な繰返し周期T
fをもつて一垂直ラインの絵素数に対応した数だ
け論理「0」と論理「1」とを繰返すようになつ
ている。また、上記垂直転送レジスタ部23に
は、第9図Eに示すように上記第1の垂直転送ク
ロツク信号φV1と逆相の第2の垂直転送クロツク
信号φV2が供給されている。さらに、上記記憶部
26には、上記第2の垂直転送クロツク信号φV2
に対して360゜の位相差を有する信号に一水平走
査期間1H毎の信号を重畳したような第9図Fに
示す如き第3の垂直転送クロツク信号φM1および
該第3の垂直転送クロツク信号φM1と逆相の第9
図Gに示す如き第4の垂直転送クロツク信号φM2
が供給されている。
そして、上記読出期間TR中に受光部21から
垂直転送レジスタ部23に読出された信号電荷
は、垂直転送期間TV中に、上記垂直転送レジス
タ部23が第1および第2の垂直転送クロツク信
号φV1,φV2によつて二相駆動されるとともに、
上記記憶部26が第3および第4の垂直転送クロ
ツク信号φM1,φM2によつて二相駆動されること
によつて、該垂直転送レジスタ部23から記憶部
26に高速にて垂直転送され、全て該記憶部26
に移される。ここで、上記記憶部26は、受光部
21の総数すなわち全絵素数に等しい記憶場所を
有している必要があるが、CCDにおける記憶内
容はその占有面積に略比例するので、受光部21
や垂直転送レジスタ部23により占められる面積
に比べて第7図に示すように小さな占有面積にて
形成することができる。
このようにして、上記記憶部26に移された信
号電荷は、上記第3および第4の垂直転送クロツ
ク信号φM1,φM2によつて、一フイールド期間1F
中の読出期間TRおよび垂直転送期間TVを除いた
期間TF中に、一水平走査期間1H毎に一水平ライ
ン分ずつ、水平転送レジスタ部27に順次に読出
され、第10図Bおよび第10図Cに示すような
二相の水平転送クロツク信号φH1,φH2によつ
て、上記水平転送レジスタ部27から一絵素分ず
つCCD外部に読出される。なお第10図Aは、
上記第4の垂直転送クロツク信号φM2を示してい
る。
上述の如き実施例においては、受光蓄積期間T
Cによつて電子シヤツタ時間が決まるので、不活
性期間TAを長くして、その分だけ受光蓄積期間
Cを短くすればシヤツタスピードを速くするこ
とができる。
そして、垂直転送レジスタ部23は遮光されて
いるので、従来のフレーム・トランスフア型
CCD撮像装置のような垂直転送期間TV中の入射
光によるスメアが発生しない。また、受光部21
からバルク中を横方向に拡散して電荷が垂直転送
レジスタ部23に漏れ込む現象によるスメアも、
受光部21から垂直転送レジスタ部23に読出し
た信号電荷を高速にて記憶部26に転送してしま
うので、従来のインターライン・トランスフア型
CCD撮像装置に比較して、著しく改善できる。
例えば、NTSC標準方式に準じたフイールドス
チルカメラを考えた場合、従来のフレーム・トラ
ンスフア型CCD撮像装置では、遮光の施されて
いない垂直転送レジスタ部を信号電荷を転送され
るので、高速シヤツタにして真の信号受光期間が
短くなる程、垂直転送中に入射している有害なス
メア成分の影響が大きくなる。垂直転送速度を無
限に速くすることができるならば、上記影響を無
視することが可能であるが、現実には、1.6M
Hz/bitすなわち最大160μs程度/250bitの不要
照射時間を除去することができない。また、従来
のインターライン・トランスフア型CCD撮像装
置では、NTSC標準方式によれば、約15.7KHz/
lineの垂直転送で読出されるので、最高16.7m
s/1fieldの間、信号電荷が垂直転送レジスタ部
に滞在し、この間に、受光部からの入射光で発生
した電荷がバルク中の横方向拡散により垂直転送
レジスタ部に漏れ込んでスメアとなる。このよう
な各従来例に対して、上述の実施例では、受光部
21から垂直転送レジスタ部23に読出された信
号電荷は一垂直転送を約1.6MHzすなわち167μ
s/1feild程度の速度で十分に高速転送できるの
で、従来のインターライン型CCD撮像装置に比
較して約1/100にスメアを改善することができる。
また、NTSC標準方式を無視して、できるだけ
高速に信号電荷を読出すようなカメラの場合、フ
レーム・トランスフア型CCD撮像装置ではスメ
アが非常に大きく実用化することができない。ま
た、インターライン・トランスフア型CCD撮像
装置では、水平のCCD転送速度を20MHz/bitと
すれば、水平転送段数が500bitだと一水平走査期
間が約25μsとなり、250lineのCCDを有してい
れば、全垂直転送期間は6.25msとなつて、この
間にスメアの影響を被むることになる。これに対
して、上述の実施例を用いれば、水平のCCD転
送速度により垂直転送期間が影響を受けないの
で、167μs/1fieldで読出すと、スメアに関し
て上記インターライン・トランスフア型CCD撮
像装置と比較して約1/38に改善できる。
さらに、CCD撮像装置からの出力側に設けら
れるアナログ・デジタル変換器や電磁変換系等を
考慮してCCD出力信号の取扱いを容易にするた
めCCDからの低速読出しを行う場合を考える
と、この場合にはCCDの暗電流が問題になるが
冷却手段を考慮して10sec/field程度を仮定し、
インターライン・トランスフア型CCD撮像装置
では信号電荷が垂直転送レジスタ部に10sec間滞
在していることになるので、この間にスメアの影
響を被る。しかし、上述の実施例を用いれば、約
167μs/1fieldの速度で信号電荷を記憶部に転
送してから約10sec間に読出せば良いので、上記
インターラインランスフア型CCD撮像装置に比
較してスメアを1/60000程度に著しく改善するこ
とができる。
なお、上述の実施例では、クロツク信号を論理
「0」にするとスメア電荷の蓄積されるポテンシ
ヤルウエルが無くなつてしまうような、転送電荷
が半導体表面を移動するSCCD(Surface CCD:
表面CCD)にて垂直転送レジスタ部23を形成
する場合を仮定している。
クロツク信号を論理「0」にしても何らかのポ
テンシヤルウエルが残存し、それにスメア電荷が
蓄積されてしまうような、BCCCD(Buried
Channel CCD:埋込みチヤンネルCCD)にて上
記垂直転送レジスタ部23を形成する場合には、
電子シヤツタを押す前に、常に垂直転送レジスタ
部23から記憶部26、記憶部26から水平転送
レジスタ部27へと空転送を行つて、スメア電荷
を掃き出してしまうようにすれば良い。また、こ
のようにすると、水平転送レジスタ部27の速度
で全体のスメア掃き出し速度が制限されるので、
例えば、上述の実施例では、垂直転送レジスタ部
23を4相駆動あるいは3相駆動にして正逆方向
転送可能にし、電子シヤツタを押す前に常に垂直
転送レジスタ部23から記憶部26へとは逆方に
空転送を行つてスメア電荷の掃き出しを行えば良
い。さらに、不活性期間TA中に、垂直転送レジ
スタ部23に漏れ込んだスメア電荷は、トランス
フア・ゲート22を介して受光部21に逆流さ
せ、さらに受光部21からオーバーフロー・コン
トロール・ゲート24を介してオーバーフロー・
ドレイン25に捨てるようにすれば良い。
また、第11図に示す実施例のように、上述の
第7図に示した実施例における垂直転送レジスタ
部23とオーバフロー・ドレイン25との間のチ
ヤンネルストツパ28の代りに、第2のオーバー
フロー・コントロール・ゲート24′を設けてる
ようにすれば、BCCCDで垂直転送レジスタ部2
3を形成するようにした場合に、受光蓄積期間T
C中におけるスメア電荷を除去するようにもでき
る。なお、この実施例において、他の各構成要素
は上述の第7図に示した実施例と同様であるので
図面中に共通番号を附し、その詳細な説明を省略
する。また、この実施例においても、受光部21
以外の各部分は、第12図に斜線を施して示すよ
うに遮光が施こされている。
この実施例において、受光部21、オーバーフ
ロー・コントロール・ゲート24、トランスフ
ア・ゲート22、垂直転送レジスタ部23、記憶
部26および水平転送レジスタ部27には、上述
の実施例と同様なタイミングにて、第13図Aな
いし第13図Gおよび第14図Aないし第14図
Cに示すような、クロツク信号φS、各ゲートク
ロツク信号φ0FC,φTG、各垂直転送クロツク信
号φV1,φV2,φM1,φM2および水平転送クロツ
ク信号φH1,φH2が供給されている。そして、上
記オーバーフロー・ドレイン25と垂直転送レジ
スタ部23との間に設けた第2のオーバーフロ
ー・コントロール・ゲート24′には、第13図
B′に示すように、不活性期間TAと受光蓄積期間
Cにに亘る期間TS中に論理「1」となるような
ゲートクロツク信号φ0FC′が供給されている。
すなわち、この実施例では、ゲートクロツク信
号φTGによりトランスフア・ゲート22を開いて
受光部21に蓄積されている信号電荷を垂直転送
レジスタ部23に読出す読出期間TRおよび垂直
転送クロツク信号φV1,φV2,φM1,φM2により
上記信号電荷を垂直転送レジスタ部23から記憶
部26に転送する垂直転送期間TVを除く上記期
間TS中に、第2のオーバーフロー・コントロー
ル・ゲート24′が上記ゲートクロツク信号φ0F
′によつて開成されているので、不活性期間TA
および受光蓄積期間TCにおけるスメア電荷が垂
直転送レジスタ部23から上記第2のオーバーフ
ロー・コントロール・ゲート24′を介してオー
バーフロー・ドレイン25に捨てられる。このよ
うな構成の実施例では、BCCCDにより垂直転送
レジスタ部23を形成しても、スメアによる影響
を確実に除去することができる。
なお、上述の各実施例では本発明をCCD撮像
装置に適用したが、本発明は、BBD等をイメー
ジセンサとして用いるような他の固体撮像装置に
も適用することができる。
上述の各実施例の説明から明らかなように、本
発明によれば、受光部に蓄積された信号電荷を垂
直転送レジスタ部によつて高速転送して記憶部に
移すので、高速電子シヤツタにて撮像を行つても
スメアによる画質の劣化を著しく軽減することが
でき、所期の目的を十分に達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来のフレーム・トランスフア型
CCD撮像装置の原理的な構造を示す模式的平面
図である。第2図および第3図はこの撮像装置の
動作を説明するための各タイムチヤートである。
第4図は従来のインターライン・トランスフア型
CCD撮像装置の原理的な構造を示す模式的平面
図である。第5図および第6図は、この撮像装置
の動作を説明するための各タイムチヤートであ
る。第7図は本発明をCCD撮像装置に適用した
場合の一実施例の原理的な構造を示す模式的平面
図である。第8図はこの実施例におけるCCDの
遮光状態を示す模式的平面図である。第9図およ
び第10図は、この実施例の動作を説明するため
の各タイムチヤートである。第11図は本発明の
他の実施例の原理的な構造を示す模式的平面図で
ある。第12図はこの実施例におけるCCDの遮
光状態を示す模式的平面図である。第13図およ
び第14図は、この実施例の動作を説明するため
の各タイムチヤートである。 21…受光部、22…トランスフア・ゲート、
23…垂直転送レジスタ部、24,24′…オー
バーフロー・コントロール・ゲート、25…オー
バーフロー・ドレイン、26…記憶部、27…水
平転送レジスタ部、28…チヤンネルストツパ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 水平及び垂直方向にマトリクス状に配された
    複数の受光部と、 該受光部からの電荷を垂直方向に転送する複数
    列の電荷転送装置からなる第一の垂直シフトレジ
    スタ群と、 該垂直シフトレジスタ群の各々の一端に電気的
    に結合される第二の垂直シフトレジスタ群からな
    る記憶部と、 上記第二の垂直シフトレジスタの他の一端に電
    気的に結合される電荷転送型の水平シフトレジス
    タとよりなり、 一垂直周期の可変制御可能なタイミングまでに
    上記受光部で発生した電荷を所定のドレイン部に
    掃き出すとともに、上記のタイミング以降上記受
    光部に発生した電荷を上記第一の垂直シフトレジ
    スタに読出し上記第一の垂直シフトレジスタから
    上記第二の垂直シフトレジスタへ高速転送し、上
    記第二の垂直シフトレジスタより一水平期間周期
    で電荷を上記水平シフトレジスタに転送して読み
    出すようになし、制御可能な電子的シヤツタ機能
    を有するようにしたことを特徴とする固体撮像装
    置。
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