JPS6244434U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す冷却装置回路
図とそれを適用した縦型気相成長装置の概要断面
図、第２図ないし第３図は従来の縦型気相成長装
置のそれぞれ異なる例を示す概要断面図である。 １……基台、２，２２，２９，３０……シール
部材、４……気密室（反応室）、５……サセプタ
、６……回転軸、７……基板、８……ノズル、９
……ＲＦコイル、１１……排気管、１３，２１…
…金属ベルジヤ、１６，２０……石英ベルジヤ、
１７……供給口、２３，２４……冷却ガス流入口
、２４，２３……冷却ガス流出口、２５……空間
、３２……ブロワー、３３，３４，３５……ダク
ト、３６……冷却器、３７，３８，４７……切換
弁、３９……絞り弁、４０……不活性ガス源、４
１，４２，４３，４４，５０……配管、４５……
安全弁、４６……圧力計、４８……酸素濃度検知
装置、４９……止め弁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基台上に水平に設けられたサセプタと該サセプ
   タ上に載置した複数の基板の表面に半導体物質の
   エピタキシヤル薄膜を気相成長させる気密室を前
   記サセプタの周囲に前記基台と石英ベルジヤ等と
   によつて構成されると共に、前記石英ベルジヤの
   外側に金属ベルジヤを被せて成る縦型気相成長装
   置において、前記石英ベルジヤと前記金属ベルジ
   ヤの間の空間に冷却用不活性ガスを供給するブロ
   ワーと、吸熱・昇温して前記空間から排気される
   前記冷却用不活性ガスを冷却する冷却器とを備え
   、前記冷却器の冷却用不活性ガスの出口を前記ブ
   ロワーの吸入口に接続する循環型冷却回路を設け
   、かつ前記循環型冷却回路に不活性ガス源から切
   換バルブを介して冷却用不活性ガスを供給する手
   段を備えたことを特徴とする気相成長装置の冷却
   装置。