JPH02101528U - - Google Patents
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- JPH02101528U JPH02101528U JP862689U JP862689U JPH02101528U JP H02101528 U JPH02101528 U JP H02101528U JP 862689 U JP862689 U JP 862689U JP 862689 U JP862689 U JP 862689U JP H02101528 U JPH02101528 U JP H02101528U
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- bell gear
- cvd
- susceptor
- wafer
- auxiliary heater
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims 2
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本考案装置の一実施例の構成を示す断
面図、第2図は従来装置の一例の構成を示す断面
図である。 1……ウエハ、2……サセプタ、3……ワーク
コイル、4……高周波電源、5……ノズル、6…
…反応室、7……(ステンレス)外側ベルジヤ、
8……(石英)内側ベルジヤ、9……補助ヒータ
、10……冷却ガスノズル、11……電力導入端
子、12……補助ヒータ電源。
面図、第2図は従来装置の一例の構成を示す断面
図である。 1……ウエハ、2……サセプタ、3……ワーク
コイル、4……高周波電源、5……ノズル、6…
…反応室、7……(ステンレス)外側ベルジヤ、
8……(石英)内側ベルジヤ、9……補助ヒータ
、10……冷却ガスノズル、11……電力導入端
子、12……補助ヒータ電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内側ベルジヤ8によつて形成される反応室
6内のサセプタ2上にウエハ1を置き、高周波誘
導加熱法によりウエハ1上にCVD膜を生成する
方式のCVD装置において、内、外側ベルジヤ8
,7間のウエハ表面に対向する位置に、通電加熱
される補助ヒータ9を配置してなるCVD装置。 (2) 補助ヒータ9の材質がカーボン、若しくは
カーボンにSiCをコートしたものである請求項
第1項記載のCVD装置。 (3) 少なくともサセプタ2と補助ヒータ9には
さまれた内側ベルジヤ8の部分に、パージガスを
吹付け、内側ベルジヤ8が高温にならない様にし
た請求項第1項,第2項のいずれかに記載のCV
D装置。 (4) パージガスが、H2,N2,Ar,He若
しくは、これらの混合ガスである請求項第3項記
載のCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP862689U JPH02101528U (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP862689U JPH02101528U (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02101528U true JPH02101528U (ja) | 1990-08-13 |
Family
ID=31214672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP862689U Pending JPH02101528U (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02101528U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11354526A (ja) * | 1998-06-10 | 1999-12-24 | Sukegawa Electric Co Ltd | 板体加熱装置 |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP862689U patent/JPH02101528U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11354526A (ja) * | 1998-06-10 | 1999-12-24 | Sukegawa Electric Co Ltd | 板体加熱装置 |
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