JPS60146335U - 気相反応成長装置 - Google Patents
気相反応成長装置Info
- Publication number
- JPS60146335U JPS60146335U JP3429684U JP3429684U JPS60146335U JP S60146335 U JPS60146335 U JP S60146335U JP 3429684 U JP3429684 U JP 3429684U JP 3429684 U JP3429684 U JP 3429684U JP S60146335 U JPS60146335 U JP S60146335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- reaction tube
- phase reaction
- growth equipment
- outer periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の気相反応成長装置を説明する断面図、第
２図は本考案を説明する気相反応成長装置の断面図であ
る。 主な図番の説明、１は高周波コイル、２は反応管、３は
半導体ウェハ、４はウェハ載置台、５はガス導入口、６
はガス排気口、７は断熱材、８は熱反射膜である。
２図は本考案を説明する気相反応成長装置の断面図であ
る。 主な図番の説明、１は高周波コイル、２は反応管、３は
半導体ウェハ、４はウェハ載置台、５はガス導入口、６
はガス排気口、７は断熱材、８は熱反射膜である。
Claims (1)
- 半導体熱処理用反応管と該反応管内に設置された半導体
ウェハと所定のガスを流入させるガス入口と前記反応管
の外周に設置された高周波コイルとを具備する高周波誘
導加熱型気相成長膜反応装置において、前記高周波コイ
ルの外周に設置された断熱材と該断熱材の内面に設けた
熱反射物質とを備え、前記半導体ウェハの温度分布およ
び温度勾配を均一化できるよう構成したことを特徴とし
た高周波誘導加熱型気相成長反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3429684U JPS60146335U (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 気相反応成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3429684U JPS60146335U (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 気相反応成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60146335U true JPS60146335U (ja) | 1985-09-28 |
Family
ID=30537531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3429684U Pending JPS60146335U (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 気相反応成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60146335U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62283883A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-09 | イビデン株式会社 | 半導体製造設備用の断熱材 |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP3429684U patent/JPS60146335U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62283883A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-09 | イビデン株式会社 | 半導体製造設備用の断熱材 |
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