JPH03102727U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03102727U JPH03102727U JP1200090U JP1200090U JPH03102727U JP H03102727 U JPH03102727 U JP H03102727U JP 1200090 U JP1200090 U JP 1200090U JP 1200090 U JP1200090 U JP 1200090U JP H03102727 U JPH03102727 U JP H03102727U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bell gear
- heating means
- gear
- inner bell
- passed
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図およ
び第２図は従来のバレル型反応装置を示す縦断面
図である。 １……ベースプレート、１０……アウトベルジ
ヤー、１５……ウエハ、１６……サセプタ、２０
……インナーベルジヤー、２７……反応室、３０
……隔離ベルジヤー、３７……冷却室、４０……
加熱手段、４１……ヒータ。
び第２図は従来のバレル型反応装置を示す縦断面
図である。 １……ベースプレート、１０……アウトベルジ
ヤー、１５……ウエハ、１６……サセプタ、２０
……インナーベルジヤー、２７……反応室、３０
……隔離ベルジヤー、３７……冷却室、４０……
加熱手段、４１……ヒータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 アウトベルジヤーとインナーベルジヤーとの間
に反応室を形成し、この反応室内のウエハを所定
温度に加熱するための加熱手段をインナーベルジ
ヤー内に配設してなるＭＯ−ＣＶＯ法を実施する
ためのバレル型反応装置において、 前記インナーベルジヤーと加熱手段との間に両
者を隔離しかつ前記インナーベルジヤーとの間に
冷却室を形成する隔離ベルジヤーを配設し、該冷
却室内にインナーベルジヤーの冷却用ガスを流通
させかつ該隔離ベルジヤー内に前記加熱手段の保
護用ガスを流通させるように構成したことを特徴
とするバレル型反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1200090U JPH0519949Y2 (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1200090U JPH0519949Y2 (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03102727U true JPH03102727U (ja) | 1991-10-25 |
| JPH0519949Y2 JPH0519949Y2 (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=31515501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1200090U Expired - Lifetime JPH0519949Y2 (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519949Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503107A (ja) * | 2000-07-07 | 2004-01-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数領域のヒータを大気から隔離する方法 |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP1200090U patent/JPH0519949Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503107A (ja) * | 2000-07-07 | 2004-01-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数領域のヒータを大気から隔離する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519949Y2 (ja) | 1993-05-25 |