JPH01120326U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01120326U JPH01120326U JP1607188U JP1607188U JPH01120326U JP H01120326 U JPH01120326 U JP H01120326U JP 1607188 U JP1607188 U JP 1607188U JP 1607188 U JP1607188 U JP 1607188U JP H01120326 U JPH01120326 U JP H01120326U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- wafer
- furnace
- holding jig
- supports
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案ヒータの一実施例を採用した縦
形炉を示す簡略断面図、第２図は従来のヒータの
一例を採用した縦形炉を示す簡略断面図である。 １…ヒータ、２，３…（外側、内側）反応管、
４…ウエーハ保持用（石英）治具、５…炉口キヤ
ツプ、６…予備加熱用ヒータ。
形炉を示す簡略断面図、第２図は従来のヒータの
一例を採用した縦形炉を示す簡略断面図である。 １…ヒータ、２，３…（外側、内側）反応管、
４…ウエーハ保持用（石英）治具、５…炉口キヤ
ツプ、６…予備加熱用ヒータ。
Claims (1)
- 縦形炉における反応管３による反応室内のウエ
ーハを加熱するヒータにおいて、ウエーハ保持用
治具４を支持する炉口キヤツプ５内に予備加熱用
ヒータ６を設けてなる縦形炉におけるヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1607188U JPH01120326U (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1607188U JPH01120326U (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120326U true JPH01120326U (ja) | 1989-08-15 |
Family
ID=31228678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1607188U Pending JPH01120326U (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120326U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6095917A (ja) * | 1983-10-29 | 1985-05-29 | Gijutsu Joho Kenkyusho:Kk | 熱処理炉 |
| JPS63278227A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Teru Sagami Kk | 熱処理装置 |
-
1988
- 1988-02-08 JP JP1607188U patent/JPH01120326U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6095917A (ja) * | 1983-10-29 | 1985-05-29 | Gijutsu Joho Kenkyusho:Kk | 熱処理炉 |
| JPS63278227A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Teru Sagami Kk | 熱処理装置 |