JPS6228066A - スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 - Google Patents
スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法Info
- Publication number
- JPS6228066A JPS6228066A JP16509485A JP16509485A JPS6228066A JP S6228066 A JPS6228066 A JP S6228066A JP 16509485 A JP16509485 A JP 16509485A JP 16509485 A JP16509485 A JP 16509485A JP S6228066 A JPS6228066 A JP S6228066A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- backing plate
- bonding
- target material
- bonding material
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- Pending
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- Molten Solder (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、スパッタリング用ターゲットの製造方法に関
する。
する。
（従来の技術）
従来、スパッタリング用ターゲットを作るには、第３図
に示す如くホットプレート１上にパフキングプレート２
を載置し、この上にボンディング材３を介在してターゲ
ット材４を載せ、大気雰囲気中又は真空若しくは不活性
ガス雰囲気中で加熱してターゲット材４をバッキングプ
レート２に接合していた。
に示す如くホットプレート１上にパフキングプレート２
を載置し、この上にボンディング材３を介在してターゲ
ット材４を載せ、大気雰囲気中又は真空若しくは不活性
ガス雰囲気中で加熱してターゲット材４をバッキングプ
レート２に接合していた。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、大気雰囲気中でボンディング材を加熱溶融し
てターゲット材４をバッキングプレート２に接合すると
、ボンディング材３のに酸化物が生成されるという問題
があり、しかも接合後そのまま自然冷却する為、ターゲ
ット材４とバッキングプレート２との間に酸化物及び気
泡かのこるものである。
てターゲット材４をバッキングプレート２に接合すると
、ボンディング材３のに酸化物が生成されるという問題
があり、しかも接合後そのまま自然冷却する為、ターゲ
ット材４とバッキングプレート２との間に酸化物及び気
泡かのこるものである。
また、真空若しくは不活性ガス雰囲気中で加熱溶融して
ターゲット材４をパフキングプレート２に接合すると、
ボンディング材３には酸化物が生成されないが、予め表
面に付着していた酸化物は除去できないものであり、し
かも接合後そのまま自然冷却する為、ターゲット材とバ
ンキングプレ−ト２との間に酸化物あるいは酸化物と気
泡が残るものである。
ターゲット材４をパフキングプレート２に接合すると、
ボンディング材３には酸化物が生成されないが、予め表
面に付着していた酸化物は除去できないものであり、し
かも接合後そのまま自然冷却する為、ターゲット材とバ
ンキングプレ−ト２との間に酸化物あるいは酸化物と気
泡が残るものである。
このようにターゲット材４とバッキングプレート２との
接合して成るターゲットに酸化物や気泡が残ると、スパ
ッタリング時、バッキングプレート２側よりターゲット
材４を冷却しても熱を良好に奪わないので、冷却効果が
低く、ターゲット材４が加熱されすぎて溶解、脱落等が
生じ正常なスパッタリングができなくなるという大きな
問題がある。
接合して成るターゲットに酸化物や気泡が残ると、スパ
ッタリング時、バッキングプレート２側よりターゲット
材４を冷却しても熱を良好に奪わないので、冷却効果が
低く、ターゲット材４が加熱されすぎて溶解、脱落等が
生じ正常なスパッタリングができなくなるという大きな
問題がある。
そこで本発明は、ボンディング材の表面に酸化物が無く
、ターゲット材とバッキングプレートとの間に酸化物や
気泡の無いターゲットを作る方法を提供しようとするも
のである。
、ターゲット材とバッキングプレートとの間に酸化物や
気泡の無いターゲットを作る方法を提供しようとするも
のである。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するための本発明の技術的手段は、ボ
ンディング材の浴中に、接合面以外マスキング材にて被
覆したターゲット材とバッキングプレートを接合面を相
対向させて浸漬し、ターゲット材とバッキングプレート
の一方又は両方の材料を上下又は揺動運動させて、両者
の間にボンディング材の流れを発生せしめ、この流れに
より酸化物、気泡等を両者の接合面から夫々除去してタ
ーゲット材とバッキングプレートとをボンデング材によ
り接合するものである。
ンディング材の浴中に、接合面以外マスキング材にて被
覆したターゲット材とバッキングプレートを接合面を相
対向させて浸漬し、ターゲット材とバッキングプレート
の一方又は両方の材料を上下又は揺動運動させて、両者
の間にボンディング材の流れを発生せしめ、この流れに
より酸化物、気泡等を両者の接合面から夫々除去してタ
ーゲット材とバッキングプレートとをボンデング材によ
り接合するものである。
（作用）
上記のようにボンディング材の浴中にターゲット材とバ
フキングプレートを浸漬し、相対向させたターゲット材
とバッキングプレートの両方又は一方を上下又は揺動運
動させるので、両者の間のボンディング材に流れが生じ
、この流れによりターゲット材の接合面又はバッキング
プレートの接合面に存在する浸漬時に付いた酸化物、空
気や水分の吸着による気泡が流されて除去され、ターゲ
ット材とバッキングプレートとが酸化物や気泡の無いボ
ンディング材にて接合されることになる。
フキングプレートを浸漬し、相対向させたターゲット材
とバッキングプレートの両方又は一方を上下又は揺動運
動させるので、両者の間のボンディング材に流れが生じ
、この流れによりターゲット材の接合面又はバッキング
プレートの接合面に存在する浸漬時に付いた酸化物、空
気や水分の吸着による気泡が流されて除去され、ターゲ
ット材とバッキングプレートとが酸化物や気泡の無いボ
ンディング材にて接合されることになる。
（実施例）
本発明のスパッタリング用ターゲットの製造方法の一実
施例を第１図によって説明すると、ボンディング槽１０
内の溶融ボンディング材（半田）１１中に、直径２５４
鶴、厚さ３ｗのｐｔより成るターゲット材１２と直径２
９０ｍ、厚さ１５ｍのＣｕより成るバッキングプレート
１３とを、その接合面以外の外表面に厚さ０．６ｍのポ
リイミドシートよりなるマスキング材１４にて被覆した
後、接合面を相対向させて浸漬し、ターゲット材１２を
溶融ボンディング材（半田）中で図示せぬ冶具を用いて
実線矢印の如く運動させて、両者の間に点線矢印の如く
ボンディング材（半田）の流れを発生せしめ、この流れ
により酸化物、気泡等を両者の接合面から夫々除去して
ターゲット材１２とバッキングプレート１３の接合面を
衝合し、溶融ボンデング材（半田）１１中より引き上げ
、自然冷却して、ターゲット材１２とバフキングプレー
ト１３を接合した、そしてマスキング材１４を剥離した
。
施例を第１図によって説明すると、ボンディング槽１０
内の溶融ボンディング材（半田）１１中に、直径２５４
鶴、厚さ３ｗのｐｔより成るターゲット材１２と直径２
９０ｍ、厚さ１５ｍのＣｕより成るバッキングプレート
１３とを、その接合面以外の外表面に厚さ０．６ｍのポ
リイミドシートよりなるマスキング材１４にて被覆した
後、接合面を相対向させて浸漬し、ターゲット材１２を
溶融ボンディング材（半田）中で図示せぬ冶具を用いて
実線矢印の如く運動させて、両者の間に点線矢印の如く
ボンディング材（半田）の流れを発生せしめ、この流れ
により酸化物、気泡等を両者の接合面から夫々除去して
ターゲット材１２とバッキングプレート１３の接合面を
衝合し、溶融ボンデング材（半田）１１中より引き上げ
、自然冷却して、ターゲット材１２とバフキングプレー
ト１３を接合した、そしてマスキング材１４を剥離した
。
こうして得られたターゲットは酸化物や気泡が無いので
、スパッタリングに使用すると、バッキングプレート１
３の冷却によりターゲット材１２の熱が良好に奪われる
。従って、ターゲット材１２の冷却効率が高く、ターゲ
ット材１２が加熱されすぎて溶解、脱落等が生じること
がなく、正常なスパッタリングが行われる。
、スパッタリングに使用すると、バッキングプレート１
３の冷却によりターゲット材１２の熱が良好に奪われる
。従って、ターゲット材１２の冷却効率が高く、ターゲ
ット材１２が加熱されすぎて溶解、脱落等が生じること
がなく、正常なスパッタリングが行われる。
次に他の実施例を第２図によって説明すると、ボンディ
ング槽１０内の溶融ボンディング材（半田）中１１中に
、幅１２０１、長さ３８０ｍ、厚さ３鶴のＡｕより成る
ターゲット材１２′と幅１４０１■、長さ４１０ｍｍ、
厚さ１５ｍｍのＣｕより成るバッキングプレート１３′
とを、その接合面以外の外表面に厚さ０ 、６ ＋ｎの
ポリイミドシートより成るマスキング材１４にて被覆し
た後、接合面を相対向させて浸漬し、ターゲット材１２
′を熔融ボンディング材（半田）中で図示せぬ冶具を用
いて実線矢印の如く揺動運動させて、両者の間に点線矢
印の如くボンデング材（半田）の流れを発生せしめ、こ
の流れにより酸化物、気泡等を両者の接合面から夫々除
去してターゲット材１２′とバッキングプレート１３′
の接合面を衝合し、溶融ボンデング材（半田）１１中よ
り引き上げ、自然冷却して、ターゲット材１２′とバン
キングプレ−ト１３’を接合した。そして、マスキング
材１４を剥離した。
ング槽１０内の溶融ボンディング材（半田）中１１中に
、幅１２０１、長さ３８０ｍ、厚さ３鶴のＡｕより成る
ターゲット材１２′と幅１４０１■、長さ４１０ｍｍ、
厚さ１５ｍｍのＣｕより成るバッキングプレート１３′
とを、その接合面以外の外表面に厚さ０ 、６ ＋ｎの
ポリイミドシートより成るマスキング材１４にて被覆し
た後、接合面を相対向させて浸漬し、ターゲット材１２
′を熔融ボンディング材（半田）中で図示せぬ冶具を用
いて実線矢印の如く揺動運動させて、両者の間に点線矢
印の如くボンデング材（半田）の流れを発生せしめ、こ
の流れにより酸化物、気泡等を両者の接合面から夫々除
去してターゲット材１２′とバッキングプレート１３′
の接合面を衝合し、溶融ボンデング材（半田）１１中よ
り引き上げ、自然冷却して、ターゲット材１２′とバン
キングプレ−ト１３’を接合した。そして、マスキング
材１４を剥離した。
こうして得られたターゲットは酸化物や気泡が無いので
、スパッタリングに使用すると、バッキングプレート１
３′の冷却によりターゲット材１２′の熱が良好に奪わ
れる。従って、ターゲット材１２′の冷却効率が高く、
ターゲット材１２′が加熱されすぎて溶解、脱落等が生
じることがなく、正常なスパッタリングが行われる。
、スパッタリングに使用すると、バッキングプレート１
３′の冷却によりターゲット材１２′の熱が良好に奪わ
れる。従って、ターゲット材１２′の冷却効率が高く、
ターゲット材１２′が加熱されすぎて溶解、脱落等が生
じることがなく、正常なスパッタリングが行われる。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明によるスパッタリング用
ターゲットの製造方法によれば、ターゲット材とバッキ
ングプレートの両接合面に酸化物や気泡が無く、しかも
これらが酸化物や気泡の無いボンディング材に接合され
たターゲットを得ることができるという効果があり、こ
のターゲットを使用すればスパッタリング時、十分に冷
却されるので、溶解、脱落等が生じることがなく、正常
なスパッタリングができる。
ターゲットの製造方法によれば、ターゲット材とバッキ
ングプレートの両接合面に酸化物や気泡が無く、しかも
これらが酸化物や気泡の無いボンディング材に接合され
たターゲットを得ることができるという効果があり、こ
のターゲットを使用すればスパッタリング時、十分に冷
却されるので、溶解、脱落等が生じることがなく、正常
なスパッタリングができる。
第１図は本発明によるスパッタリング用ターゲットの製
造方法の一実施例を示す概略図、第２図は、他の実施例
を示す概略図、第３図は従来のスパッタリングの製造方
法を示す概略図である。
造方法の一実施例を示す概略図、第２図は、他の実施例
を示す概略図、第３図は従来のスパッタリングの製造方
法を示す概略図である。
Claims (1)
- ボンディング材の浴中に、接合面以外マスキング材にて
被覆したターゲット材とバッキングプレートを接合面を
相対向させて浸漬し、ターゲット材とバッキングプレー
トの一方又は両方の材料を上下又は揺動運動させて、両
者の間にボンディング材の流れを発生せしめ、この流れ
により両者の接合面から酸化物、気泡等を夫々除去して
ターゲット材とバッキングプレートをボンディング材に
て接合することを特徴とするスパッタリング用ターゲッ
トの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16509485A JPS6228066A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16509485A JPS6228066A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228066A true JPS6228066A (ja) | 1987-02-06 |
Family
ID=15805772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16509485A Pending JPS6228066A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6228066A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01287268A (ja) * | 1988-05-14 | 1989-11-17 | Nippon Mining Co Ltd | 浸漬ボンディング方法及び装置 |
| JP2008512571A (ja) * | 2005-05-31 | 2008-04-24 | アプライド サイエンス コーポレイション | スパッタリングターゲットのハンダ接合方法 |
| CN102330054A (zh) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | Tcb韩国公司 | 溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法 |
| WO2014002747A2 (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 株式会社コベルコ科研 | ターゲット接合体 |
| JP2016160533A (ja) * | 2016-03-09 | 2016-09-05 | Ｊｘ金属株式会社 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039707A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | 日立電線株式会社 | 溝付線状体内に線状体を連続的に埋設する方法 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP16509485A patent/JPS6228066A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039707A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | 日立電線株式会社 | 溝付線状体内に線状体を連続的に埋設する方法 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01287268A (ja) * | 1988-05-14 | 1989-11-17 | Nippon Mining Co Ltd | 浸漬ボンディング方法及び装置 |
| JP2008512571A (ja) * | 2005-05-31 | 2008-04-24 | アプライド サイエンス コーポレイション | スパッタリングターゲットのハンダ接合方法 |
| CN102330054A (zh) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | Tcb韩国公司 | 溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法 |
| CN102330054B (zh) * | 2010-07-13 | 2014-02-19 | 攀石公司 | 溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法 |
| WO2014002747A2 (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 株式会社コベルコ科研 | ターゲット接合体 |
| JP2014005517A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Kobelco Kaken:Kk | ターゲット接合体 |
| WO2014002747A3 (ja) * | 2012-06-26 | 2014-03-06 | 株式会社コベルコ科研 | ターゲット接合体 |
| CN104411861A (zh) * | 2012-06-26 | 2015-03-11 | 株式会社钢臂功科研 | 靶接合体 |
| JP2016160533A (ja) * | 2016-03-09 | 2016-09-05 | Ｊｘ金属株式会社 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
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