JPS62249125A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
- Publication number
- JPS62249125A JPS62249125A JP61092102A JP9210286A JPS62249125A JP S62249125 A JPS62249125 A JP S62249125A JP 61092102 A JP61092102 A JP 61092102A JP 9210286 A JP9210286 A JP 9210286A JP S62249125 A JPS62249125 A JP S62249125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- display device
- crystal display
- terminal
- display area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241001648319 Toronia toru Species 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005429 filling process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は液晶表示装#に係り、%に薄膜トランyxりを
能動素子とするアクティブマトリクス型液晶表示装置に
関Tる。
能動素子とするアクティブマトリクス型液晶表示装置に
関Tる。
液晶表示装rJ1:rcおいて、能動素子をスイッチン
グ素子とするアクティブマトリクス型は、大容量の表示
装置ItVc適することから、多様な検討が進められて
いる。
グ素子とするアクティブマトリクス型は、大容量の表示
装置ItVc適することから、多様な検討が進められて
いる。
舅4図にお層で、液晶表示装置100の基本的な構造を
示す。この裟l11tri、透明基板1に形成されたス
イッチング素子2、配向膜3、対向基板4、共通透明イ
欅5・配向膜6、液晶7を封入し両基82を重ね会わぜ
るゾール材8、スイッチング素子2vc接続される端子
9、再4板に接着これた晴間’&10.11から溝数さ
れ^。スイッチング素子2を駆りして、これに接続され
ている透明’dl’tと共通透E04ゼ極5闇i’(電
圧を印71uL 、液晶をul乍させて表示を行なう。
示す。この裟l11tri、透明基板1に形成されたス
イッチング素子2、配向膜3、対向基板4、共通透明イ
欅5・配向膜6、液晶7を封入し両基82を重ね会わぜ
るゾール材8、スイッチング素子2vc接続される端子
9、再4板に接着これた晴間’&10.11から溝数さ
れ^。スイッチング素子2を駆りして、これに接続され
ている透明’dl’tと共通透E04ゼ極5闇i’(電
圧を印71uL 、液晶をul乍させて表示を行なう。
第5図に液昂我示装[100の平面図を示す。
スイッチング素子2がマトリクス伏に配置されている。
この例では% MOS FETが示されている。
一方の慣(ソース)は個別vc設けらnた透明電極を弁
して液晶セルを駆動する。他方の極(ドレイン)ハ、ド
レインtjl12にLり、ドレイン端子13/(接続さ
れている。°またゲートに、ゲート栂14Vcより、ゲ
ート端子15に接続されている。
して液晶セルを駆動する。他方の極(ドレイン)ハ、ド
レインtjl12にLり、ドレイン端子13/(接続さ
れている。°またゲートに、ゲート栂14Vcより、ゲ
ート端子15に接続されている。
この?L明港孜1の上に液晶?封入した対向基板4が接
着されている。
着されている。
第6図ζ、アクティブマトリクス基板の製造方房を示す
。
。
(a)において、ガラス寺の透明基数1の上に、多結晶
/リコン等の半一体層16f形成Tる。
/リコン等の半一体層16f形成Tる。
(b)VCCオニ、S ioz + S :31N4
なとのケート絶碌嗅17、多給晶ンリコ/等から成るケ
ート18を形成する。
なとのケート絶碌嗅17、多給晶ンリコ/等から成るケ
ート18を形成する。
(c)VCおいて、ゲート18を加工後、これをマスク
として、ビイオンを注入し、ソース19、ドレイ/20
を形成する。
として、ビイオンを注入し、ソース19、ドレイ/20
を形成する。
(d)V(おいて、8102等の保護膜21を形取後、
コンタクト穴を設け、ソース側VCハ液晶駆動中の透f
lJ11ji*22、ドレイン佃りπ汀At等のドレイ
ン電極23?形成する。
コンタクト穴を設け、ソース側VCハ液晶駆動中の透f
lJ11ji*22、ドレイン佃りπ汀At等のドレイ
ン電極23?形成する。
以上第4.5.l’i図で述べた液晶表示、fefit
において、スイッチング素子は、液晶の中に封入される
ことVCなる。この場合、液晶、配向膜、7−ル材料等
の不純物がスイッチング素子中に浸入し、特性劣化を引
き起重ことがある。また、液晶自身の抵抗率も相互の不
純物が原因で低下する場合もある。しかし従来の構造の
液晶表示i置では、単に表示特性の劣rヒという1′4
(断でしか、劣化の状況を知ることができなかった。
において、スイッチング素子は、液晶の中に封入される
ことVCなる。この場合、液晶、配向膜、7−ル材料等
の不純物がスイッチング素子中に浸入し、特性劣化を引
き起重ことがある。また、液晶自身の抵抗率も相互の不
純物が原因で低下する場合もある。しかし従来の構造の
液晶表示i置では、単に表示特性の劣rヒという1′4
(断でしか、劣化の状況を知ることができなかった。
なお、孜晶表示裂りについてσ多くの公知例→;あるが
、例えば、特開昭58−184121号公報に一例が述
べられている。
、例えば、特開昭58−184121号公報に一例が述
べられている。
本宛明の目的a1アクティブマトリクス型の液晶神示装
噴匠おいて、その%ヰ劣化を定価的に正確に解析できる
液晶表示装#f提供することにある。
噴匠おいて、その%ヰ劣化を定価的に正確に解析できる
液晶表示装#f提供することにある。
本発明は、アクティブマトリクスのスイッチング素子等
の配電を工夫することにより、孜晶表示装酋の特牲牙外
部から評価できるようにしたことを特徴とする。具体的
1’i′i、評価用の素子を同時に形成して液晶表示装
偉を形成Tること?i−特徴とする。
の配電を工夫することにより、孜晶表示装酋の特牲牙外
部から評価できるようにしたことを特徴とする。具体的
1’i′i、評価用の素子を同時に形成して液晶表示装
偉を形成Tること?i−特徴とする。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。透8
1J基物1、スイッチング素子2、対向基板4、ドレイ
/@12、ドレイン端子13、ゲート−@14、ゲート
端子15の構551汀従来と同様であるが、これと同一
本板上に、特性評価用のスイッチング素子2′とそのソ
ース*4424、ソース繰25、ソース端子26、ゲー
ト線14′、ゲート端子15′?形成fる。この特性評
価用素子の領域も対向基板4にエリ、表示計・作領依と
同時に封入することを特徴と下る。
1J基物1、スイッチング素子2、対向基板4、ドレイ
/@12、ドレイン端子13、ゲート−@14、ゲート
端子15の構551汀従来と同様であるが、これと同一
本板上に、特性評価用のスイッチング素子2′とそのソ
ース*4424、ソース繰25、ソース端子26、ゲー
ト線14′、ゲート端子15′?形成fる。この特性評
価用素子の領域も対向基板4にエリ、表示計・作領依と
同時に封入することを特徴と下る。
次に@2図V(おいて、本発明の特徴である、特性評価
用素子の形成方法について示す。これな、基本的VCは
第6図と全く同じであり、ηル6図(d)にオイて、透
明電極22の代りに、ソース、ドレイン側共に、At等
のソース1!L極22′、ドレイン側共23をe7攻丁
れげ艮い。これに、川l■において・透明基61へのス
イッチング素子2斗を形成するプロセスを乱ζずに形成
てることができる。
用素子の形成方法について示す。これな、基本的VCは
第6図と全く同じであり、ηル6図(d)にオイて、透
明電極22の代りに、ソース、ドレイン側共に、At等
のソース1!L極22′、ドレイン側共23をe7攻丁
れげ艮い。これに、川l■において・透明基61へのス
イッチング素子2斗を形成するプロセスを乱ζずに形成
てることができる。
次に本発明の具体的な運用方法について説、明する。ま
ず、透明)!i叛lVc素子分形成終了した時点で一%
呑評価用のスイッチング素子2′をいドレイ74子13
、ケート端子15’、ソース′酸極24又にソース端子
26を使って評価する。こうすることVcより、画像表
示用のスイッチング素子2を傷つけることなく、マトリ
ックスに使った素子2の素子の%性を推定できる。次に
、対向基板4を接増し、液晶を封入Tる。この時点で、
ドレイン端子】3、ゲート端子15′、ソース端子26
を使ってスイッチング素子2′の特性を再評価Tる。
ず、透明)!i叛lVc素子分形成終了した時点で一%
呑評価用のスイッチング素子2′をいドレイ74子13
、ケート端子15’、ソース′酸極24又にソース端子
26を使って評価する。こうすることVcより、画像表
示用のスイッチング素子2を傷つけることなく、マトリ
ックスに使った素子2の素子の%性を推定できる。次に
、対向基板4を接増し、液晶を封入Tる。この時点で、
ドレイン端子】3、ゲート端子15′、ソース端子26
を使ってスイッチング素子2′の特性を再評価Tる。
こうすることvcL9、液晶封入工程あるいは、封入俊
の柱時変化を知ることができる。この結果を解析するこ
と[エリ、不良原因や寿命を知ることができる。
の柱時変化を知ることができる。この結果を解析するこ
と[エリ、不良原因や寿命を知ることができる。
第3図に異なる実施例を示す。これ汀、第1図に比較し
、g瀘測定Tt極27を設けたことを特徴とする。液晶
封入後、容量測定端子28と、対向基板4vc形成した
共通透明電極間の“各端あるhに、リーク電流を杆価す
ることによ−9、液晶の劣化肇監祝することができる。
、g瀘測定Tt極27を設けたことを特徴とする。液晶
封入後、容量測定端子28と、対向基板4vc形成した
共通透明電極間の“各端あるhに、リーク電流を杆価す
ることによ−9、液晶の劣化肇監祝することができる。
以上の実施例では、評価用素子の列を下辺に設は二が、
他の辺に設けることも可能である。
他の辺に設けることも可能である。
以上の実施例でな、スイッチング素子として、多結晶シ
リコンを使った〜40SFET[ついて述ベタカ、アモ
ルファスノリコンあるイd es 晶他シリコンのMO
SFET Kついても応用できる。またスイッチング素
子としてn、MO8PET の他に、ダイオードやA
fIM型の非線型素子が採用できる。また基板にガラス
を使った例について述ベニが、石英やサファイア板、S
i 上の酸化模q)場合も同様である。また実施例では
、ドレイ7線を表示部と共用しているが、全く個別に形
成することもできる。
リコンを使った〜40SFET[ついて述ベタカ、アモ
ルファスノリコンあるイd es 晶他シリコンのMO
SFET Kついても応用できる。またスイッチング素
子としてn、MO8PET の他に、ダイオードやA
fIM型の非線型素子が採用できる。また基板にガラス
を使った例について述ベニが、石英やサファイア板、S
i 上の酸化模q)場合も同様である。また実施例では
、ドレイ7線を表示部と共用しているが、全く個別に形
成することもできる。
以上述べた本発明によれば、アクティブマトリクス型液
晶表示装置の@姓劣比等を外部から闇単に評価でき、原
因究明等の有力手殺とすることができる。
晶表示装置の@姓劣比等を外部から闇単に評価でき、原
因究明等の有力手殺とすることができる。
第1図及び第2図は本発明の一実施例の液晶表示装り平
面略図、第3図は本ボ明?説明するためのスイッチング
索子断面図、第4図は液晶表示装置@面略図、@5図は
従来技術を説Bfi■るための液晶表示装置θ平面略図
、第6図a従来技術を説tagするためのスイッチング
素子断面図である。
面略図、第3図は本ボ明?説明するためのスイッチング
索子断面図、第4図は液晶表示装置@面略図、@5図は
従来技術を説Bfi■るための液晶表示装置θ平面略図
、第6図a従来技術を説tagするためのスイッチング
素子断面図である。
Claims (1)
- 1、アクティブマトリクス型液晶表示装置において、表
示領域近傍に能動素子あるいは液晶材料の特性を評価す
る手段を設け、これを表示領域と同時に封入して外部か
ら評価できる構造としたことを特徴とする液晶表示装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61092102A JPS62249125A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61092102A JPS62249125A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62249125A true JPS62249125A (ja) | 1987-10-30 |
Family
ID=14045080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61092102A Pending JPS62249125A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62249125A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0264473A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル検査装置 |
JP2005331744A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、その検査方法および電子機器 |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP61092102A patent/JPS62249125A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0264473A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル検査装置 |
JP2005331744A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、その検査方法および電子機器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6104449A (en) | Liquid crystal display device having DTFTs connected to a short ring | |
JP2610328B2 (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
KR100239749B1 (ko) | 그로스 테스트용 tft 소자 제조 방법 및 이를 형성한 액정 표시 장치 구조와 그로스 테스트 장치 및 방법 | |
TW200809358A (en) | Panel substrate, display apparatus and manufacturing method thereof | |
US5491571A (en) | Liquid crystal display including electrodes and driver devices integrally formed in monocrystalline semiconductor layer | |
JPS62265756A (ja) | 薄膜トランジスタマトリクス | |
JPH01129234A (ja) | 補助容量付液晶表示装置及び補助容量付液晶表示装置の製造方法 | |
GB1527098A (en) | Fabricating a driver array for a liquid crystal display | |
JP3937692B2 (ja) | アレイ基板の検査方法、アレイ基板の製造方法、アレイ基板及び電気光学装置 | |
JPS62249125A (ja) | 液晶表示装置 | |
JPH065465B2 (ja) | 液晶表示装置の封止構造 | |
US7692757B2 (en) | Wafer scale fabrication of liquid crystal on silicon light modulation devices | |
KR20080062881A (ko) | 액정표시장치 및 그 검사방법 | |
JPS61179486A (ja) | 半導体装置 | |
KR100202230B1 (ko) | 액정표시장치에서 평면배선구조를 갖는 액정표시장치의 제조방법 및 평면배선구조를 갖는 액정표시장치 | |
JP4236720B2 (ja) | 液晶電気光学装置 | |
JP2000267598A (ja) | アレイ基板および液晶表示装置 | |
KR200179140Y1 (ko) | 액정표시장치 | |
JPH01119068A (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JPS62230045A (ja) | 薄膜トランジスタアレイ | |
JPS61249077A (ja) | マトリクス型表示装置 | |
JPH07234413A (ja) | 液晶表示装置 | |
KR100595311B1 (ko) | 액정표시 소자의 제조방법 | |
KR0154794B1 (ko) | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조방법 | |
JPS6148927A (ja) | 半導体装置 |