JPH0264473A - 液晶表示パネル検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアクティブマトリックス型液晶表示パネルの良
否の検査をおこなう液晶表示パネル検査装置に関するも
のである。

従来の技術 近年、液晶表示装置の絵素数増大に伴って、走査線数が
増え、従来からの用いられている単純マトリックス型液
晶表示パネルでは表示コントラストや応答速度が低下す
るため各絵素にスイッチング素子を配置したアクティブ
マトリックス型液晶表示パネルが利用されつつある。前
記液晶表示パネルには数万個以上の薄膜トランジスタ（
以後、ＴＰＴと呼ぶ。）を形成する必要がある。現在の
技術では前記ＴＰＴなどをすべて無欠陥で形成すること
は困難であるため液晶表示パネル形成後、検査をおこな
い良否の判定をおこなう必要がある。

また修正が可能な液晶表示パネルは欠陥モードと欠陥箇
所を検出し、レーザなどで加工をおこなう。

以上のことから、液晶表示パネルの検査が高速におこな
え、欠陥モード・欠陥箇所を検出できる液晶表示パネル
検査装置が待ち望まれている。

以下、従来の液晶表示パネル検査装置について図面を参
照しながら説明する。

まず、検査時の液晶表示パネルおよび前記パネルの状態
について説明する。

第１１図（ａ）は検査工程時の液晶表示パネルの平面図
である。第１１図（ｂ）は第１１図（ａ）のＡＡ’線で
の断面図である。第１１図（ａ）（ｂ）において１はガ
ラスなどの絶縁基板、２は絵素駆動用スイッチング素子
のゲートを制御する信号発生用ＩＣ（以後、ゲートドラ
イブＩＣと呼ぶ。）積載部、３は絵素駆動用スイッチン
グ素子のソース端子への信号を発生するＩＣ（以後、信
号ドライブＩＣと呼ぶ。）積載部、４はＩＴＯなどから
なる対向電極などが形成された対向電極基板、５は液晶
を封止する封止樹脂、６は液晶表示パネルの表示領域、
７はＴＰＴなどのスイッチング素子形成部、８は対向電
極である。なお、図面において説明に不要な箇所は省略
してあり、また一部拡大あるいは縮小した部分が存在す
る。以上のことは以下の図面においても同様である。

第１２図は第１１図（ａ）のアで示す点線内の一部拡大
平面図、第１３図は第１１図（ａ）のイで示す点線内の
一部拡大平面図である。第１１図・第１２図において２
０はゲート信号線、２１はゲートドライブＩＣの端子電
極と接続するための引き出し電極、２２はゲートドライ
ブＩＣを制御する信号を伝達するためのゲートドライブ
ＩＣ制御信号線（以後、ゲート制御信号線と呼ぶ。）、
３４はソース信号線、２３は信号ドライブｔＣの端子電
極と接続するための引き出し端子、２４は信号線ドライ
ブ■ｃを制御する信号を伝達するための信号ドライブＩ
Ｃ制御信号線（以後、信号制御信号線と呼ぶ。）である
。またＴＰＴはゲート信号線とソース信号線の交点近傍
に形成される。ただし、これらの図面において作図を容
易にするため、引き出し端子数・信号線数は非常に少な
く描いている。以上のことは以下の図面に対しても同様
である。

第１０図は従来の液晶表示パネル検査装置のブロック図
である。第１０図において、ＩＯは第１１図に示す液晶
表示パネル、１１は前記液晶表示パネルの積載台、１２
・１３はプローブ、１４・１５はＸＹステージなどで構
成され、前記プローブの位置決めをおこなうプローブ位
置決め手段、１６・１７はプローブ位置決め手段の制御
をおこなうプローブ制御手段、１８は抵抗値測定手段、
１９はプローブ位置決め手段および抵抗値測定手段の制
御をおこなう制御手段、２０は液晶表示パネル上に形成
されたゲート信号線、２１はソース信号線、２５ａ・２
５ｂは接続配線である。

なお前記信号線端には引き出し電極（図示せず）が形成
されている。

以上のように構成された液晶表示パネル検査装置につい
てその動作を説明する。まず、液晶表示パネル１０は積
載台１１に乗せられ、角度・位置などが調整され位置決
めされる。次に制御手段１９はプローブ制御手段１６お
よび１７Ｘ　−Ｙ座標などの位置決めデータを転送する
。プローブ制御手段１６・１７は前記位置決めデータに
もとづき、位置決めパルスをプローブ位置決め手段のモ
ータに対して送る。

プローブ位置決め手段は前記位置決めパルスに基づき移
動をおこない、プローブ１２を液晶表示パネル１０のゲ
ート信号線２０の引き出し電極２１に、プローブ１３を
ソース信号線３４の引き出し電極２３に位置決めする。

位置決めが完了すると位置決め完了信号を発生させ、前
記位置決め完了信号は制御手段１９に送られる。制御手
段１９は位置決め完了信号を認識すると、抵抗値測定手
段に対して抵抗値測定信号を送出する。抵抗値測定手段
は接続配線２５ａ・２５ｂを通じて、プローブ１２・１
３間の抵抗値を測定をおこなう。測定された抵抗値は制
御手段１９に送られ、前記抵抗値により液晶表示パネル
に欠陥が発生していないかを判定される。上記と同様の
動作により、すべてのゲート信号線とソース信号線にプ
ローブを圧接し、液晶表示パネルは検査される。

以下、上記従来の液晶表示パネル検査装置の動作・使用
方法を詳しく説明するために第１４図を用いて説明する
。第１４図は従来の液晶表示パネル検査装置を用いての
検査方法の説明図である。第１４図において、Ｇ、〜Ｇ
４はゲート信号線、Ｓｌ−Ｓ４はソース信号線、Ｔ　１
１”−’Ｔ４４はＴＦＴ、Ｐ＋＋〜Ｐ　４４は絵素電極
、２６はゲート信号線Ｇ２とソース信号線Ｓ４の交点部
に発生した短絡（以後、クロスショートと呼ぶ。）であ
る。

検査方法としては、ゲート信号線Ｇ１にプローブ１２を
圧接し、またプローブ１３をソース信号線Ｓ１に圧接す
る。次にプローブ１２・１’３間の抵抗値を抵抗値測定
手段１８で測定する。次にプローブ１２は固定しておき
、プローブ１３を順次ソース信号線Ｓ２から８９に圧接
し、各圧接状態での抵抗値を測定する。ゲート信号線Ｇ
ｌに対する各ソース信号線間の抵抗値の測定が終了する
と、プローブ１２をゲート信号線Ｇ２に圧接し、同様に
プローブ１３をソース信号線ＳＩからＳｌまで圧接して
いき、各圧接状態での抵抗値を測定する。以上の動作を
すべてのゲート信号線およびソース信号線におこなうこ
とにより各交点での抵抗値を測定する。第１４図に示す
液晶表示パネルではクロスショート２６が発生している
ため、プローブ１２をゲート信号線Ｇ２にプローブ１３
をソース信号線Ｓ４に圧接したとき、抵抗値測定手段に
通常よりも低い電圧が測定されることにより、クロスシ
ョート２６を検出することができる。

発明が解決しようとする課題 近年、液晶表示パネルの信号線の間隔は２００μｍ以下
と微細化の傾向にあり、また信号線の本数は数百本以上
と増加の傾向にある。したがって従来の液晶表示パネル
の検査装置を用いて検査をおこなおうとすると以下のよ
うな課題がある。まず第１に液晶表示パネルの信号線の
間隔が微細になってきているため、信号線の引き出し電
極も微細化の傾向があり、前記電極に正確に位置決めす
ることが困難になりつつある。前記位置決めをおこなう
ためには高精度の位置決め装置が必要となり、また位置
決め時間も長時間を要する。第２に液晶表示パネルの信
号線本数が増大してきているため、プローブの圧接回数
が増大し、検査時間に膨大な時間を要することがあげら
れる。

以上の理由により従来の液晶表示パネル検査装置を用い
て液晶表示パネルの検査をおこない、欠陥モード・欠陥
位置を検出しようとすると信号線数が２００Ｘ　２００
のものでも１枚あたり１時間以上もかかり、とても製造
工程で用いることができるものではなかった。

課題を解決するための手段 上記課題を解決するため、本発明の液晶表示パネルの検
査装置は、液晶表示パネルを積載する台と、液晶表示パ
ネルに形成されたソース信号線に信号を印加する信号ド
ライブｒＣとゲート信号線に信号を印加するゲートドラ
イブＩＣのうち少なくとも一方を制御するＩＣ！ｌＪ？
１１手段と、液晶表示パネルの任意のソース信号線と電
気的に接続する接続手段と、前記接続手段が電気的に接
続している信号線に印加された電流または電圧を測定す
る測定手段と、接続手段を任意の信号線に位置決めをお
こなう位置決め手段とを具備するものである。

作用 本発明の液晶表示パネル検査装置の一つの使用方法とし
て液晶表示パネル上にゲートドライブＩＣを接続し、前
記ゲートドライブＩＣを制御することにより、すべての
ゲート信号線に一度に所定電圧を印加する。したがって
ゲート信号線にブロービイングの必要がない。ゆえにソ
ース信号線にプロービイングするだけで液晶表示パネル
の検査をおこなうことができる。

実施例 以下、本発明の液晶表示パネル検査装置の一実施例につ
いて図面を参照しながら説明する。

まず、本発明の液晶表示パネル検査装置を用いて検査を
おこなう際の、液晶表示パネルおよび前記パネルの状態
について説明する。

第２図（ａ）は検査工程時の液晶表示パネルの平面図で
ある。また第２図（ｂ）は第２図（ａ）のＢＢ’　線で
の断面図であり、第３図は第２図（ａ）のアで示す点線
内の拡大図、第４図は第２図（ａ）のイで示す点線内の
拡大図である。第２図（ａ）（ｂ）において３０はゲー
トドライブＩＣである。第１１図で示す液晶表示パネル
との相違点は液晶表示パネル上にゲートドライブＩＣを
積載し、前記ドライブｔＣが動作可能な状態にしたこと
にある。前記ドライブＩＣはゲート制御信号線に制御信
号を印加することにより、任意の信号線にＴＰＴのゲー
トをオンさせる電圧（以後、オン電圧と呼ぶ。）又はＴ
ＰＴのゲートをオフさせる電圧（以後、オフ電圧と呼ぶ
、）を印加できる。なお前記オン電圧は正電圧、オフ電
圧は負電圧とする。

第１図は本発明の第１の実施例の液晶表示パネル検査装
置のブロック図である。第１図において２７はゲート信
号線２２などに信号を印加しゲートドライブｒＣなどの
ドライブＩＣを制御するＩＣ制御手段、２８は液晶表示
パネルの信号線に印加された信号を測定するための信号
測定手段、３１は液晶表示パネル１０の信号線と電気的
接続をとるためのプローブなどからなる接続手段、２２
は前記接続手段の位置決めをおこなうための位置決め手
段、３３は前記位置決め手段の制御をおこなう位置決め
制御手段、２９はＩＣ制御手段・位置決め制御手段およ
び信号測定手段の制御をおこなうための制御手段である
。

以上のように形成された本発明の液晶表示パネル検査装
置についてその動作を説明する。まず、液晶表示パネル
１０は積載台１１に乗せられ、角度・位置などが調整さ
れ位置決めされる。次にＩＣ制御手段２フイ制御信号出
力端子（図示せず）とゲート制御信号線とはコネクタな
どを用いて電気的に接続される。次に制御手段２９はＸ
−Ｙ座標などの位置決めデータを位置決め制御手段３３
に送る。位置決め制御手段は前記位置決めデータに基づ
き、位置決めパルスなどを発生させ、前記位置決めパル
スなどにより、位置決め手段３２がＲ備するモータを駆
動する６位置決め手段３２は位置決めパルスに基づき移
動をおこない、接続手段３１を液晶表示パネル１０の引
き出し電極２３に位置決めをする。位置決めが完了する
と位置決め完了信号を発生させ、前記位置決め完了信号
は制御手段２９に送られる。

またＩＣ制御手段２７はゲートドライブＩＣ３０を制御
し、ゲート信号線にオン電圧またはオフ電圧を印加する
。制御手段２９は位置決め完了信号を認識すると、信号
測定手段２８に制御し信号測定をおこなわさせる。信号
測定手段２８は液晶表示パネルのソース信号線にゲート
ドライブＩＣの発生させるオン電圧またはオフ電圧また
はそれにともなう電流が重畳されていないかを測定する
。測定が終了すると測定した信号を制御手段３１に送る
。制御手段３１はｒｆｌ記信号の大きさ、極性により欠
陥発生の有無、欠陥モードを検出する。欠陥アドレスは
ＩＣ制御手段がゲートドライブＩＣを制御し、オン電圧
の印加位置を変化させることによりおこなえる。また、
オン電圧およびオフ電圧の大きさも、ゲートドライブＩ
Ｃの印加電源電圧を変化させることにより容易に可変で
き、種々の欠陥モードの検出に対応することができる。

以下、上記の本発明の第１の実施例の液晶表示パネル検
査装置の動作・使用方法を詳しく説明するため第４図を
用いて説明する。第４図は本発明の第１の実施例の液晶
表示パネルの検査装置を用いての検査方法の説明図であ
る。第４図において、３４はＴＰＴに発生したゲート・
ドレイン間短絡欠陥（以後、Ｇ−Ｄショートと呼ぶ。）
、ＳＳ、〜Ｓ　Ｓ　３は所定のソース信号線上の信号を
信号測定手段２８に伝達するための切換え手段（以後、
スイッチと呼ぶ。）、ＰＳ、−ＰＳ３はソース信号線と
電気的接続をとるための接続手段（以後、プローブと呼
ぶ。）である。

まずクロスショートの検出方法について説明する。前記
液晶表示パネルにプローブＰＳ、〜Ｐｓｆｆをソース信
号線に接続する。なお第４図において信号線数およびプ
ローブ数は非常に少なく描かれているが、これに限定さ
れるものではない。またＩＣ制御手段２７によりゲート
ドライブＩＣ３０を動作させゲート信号線に所定電圧を
印加する。前記所定電圧とはオン電圧またはオフ電圧で
ある。前記所定電圧はゲートドライブ１ｃ３０に印加す
るシフトパルス信号により、ゲート信号線に印加するオ
ン電圧位置がシフトするよう制御できる。またプローブ
ＰＳ、〜ＰＳ、をソース信号線の引き出し電極２３に圧
接する。つぎにスイッチＳＳＩ〜ＳＳ、を順次閉じ、−
本のソース信号線と信号測定手段２８とを接続していき
、ソース信号線に電圧が印加されていないかを測定する
。今、Ｓ３３を閉じたとき、クロスショート１９が発生
しているため、信号測定手段２８にオフ電圧が検出され
る。次にＳＳ、を閉じたまま、オン電圧印加位置を順次
ゲート信号線Ｇ、からＧ４にシフトさせていく。

ゲート信号線Ｇ、にオン電圧が印加されたとき、信号測
定手段２８にオン電圧が検出されることにより、ゲート
信号線Ｇ３とソース信号線Ｓ、の交点にクロスショート
が発生していることを検出できる。以上の動作をプロー
ブＰＳｚ−ＰＳｓを位置決め手段３２により移動をおこ
ない、すべてのソース信号線に対しておこなう。

またＧ−Ｄショートの検出方法も上記のクロスショート
と同様に行なう。ただし、この場合、ゲート信号線にオ
ン電圧を印加し、ＴＰＴのオン状態となることを利用す
る。たとえば、ＴＦＴのＴｉｔのＧ−Ｄシボ′−ト３４
は、ゲート信号線Ｇｔにオン電圧を印加し、前記信号線
に接続されているＴＰＴをオン状態とする。したがって Ｇ、−Ｇ−Ｄショート３４→Ｐｚｇ−４Ｔｇｚ−３ｔ→
ＰＳ、→ＳＳ！ なる電流経路が生じ、Ｇ−ＤシＥＦ−ト３４を検出する
ことができる。なお前述のクロスショートとＧ−Ｄ＞ａ
−トの区別は検出される信号の大きさにより容易に判定
することができる。また、クロスショートの場合はオフ
電圧をさらに負方向に変化させることにより出力信号も
負方向に大きさが変化することからも判定することがで
きる。。

以上のように本発明の液晶表示パネル検査装置では、ゲ
ート信号線にブロービイングの必要がない。

第５図は本発明の第２の実施例の液晶表示パネル検査装
置のブロック図である。第１の実施例との相違点はｔＣ
制御手段２７が液晶表示パネルのソース信号線に接続さ
れた信号ドライブＩＣを制御していることが異なる。他
の構成・動作は同様である。

第６図は本発明の第２の実施例の液晶表示パネル検査装
置を用いて検査をおこなう場合の液晶表示パネルの平面
図である。第７図は第６図のつで示す点線内の拡大図、
第８図は第６図のイで示す点線内の拡大図である。第６
図〜第８図において３５は信号ドライブＩＣ，３６ａ・
３６ｂは引き出し電極である。第７図および第８図で明
らかなように液晶表示パネルのソース信号線を一本おき
に引き出し、偶数番目あるいは奇数番目のソース信号線
のみに信号ドライブＩＣを接続する。また前記信号ドラ
イブＩＣ３５を制御する信号制御信号線はコネクタなど
を用いてｒｃ制御手段２７の制御信号出力端子（図示せ
ず）と電気的に接続する。

以下、上記の本発明の第２の実施例の液晶表示パネルの
動作・使用方法を詳しく説明するための第９図を用いて
説明する。第９図は本発明の第２の実施例の液晶表示パ
ネルの検査装置を用いての検査方法の説明図である。第
９図に示す液晶パネルは一絵素に２個のＴＰＴを形成し
た場合を示している。第９図において、３８はＴＰＴに
発生したソース・ドレイン間ショート（以後、Ｓ−Ｄシ
ョートと呼ぶ。）、３７はＧ−Ｄショート、ＰＳ、〜Ｐ
Ｓ、はプローブ、ＳＳＩ〜ＳＳ、はスイッチである。

Ｇ−Ｄショートの検出方法はまずプローブＰＳ。

〜ＰＳ、を奇数番目のソース信号線に圧接する。

次にＩＣＩＩＩ御手段２７によりゲートドライブＩＣを
制御し、ゲート信号線Ｇ、のみにオン電圧を他のゲート
信号線にはオフ電圧が印加されるようにする。次にＳＳ
ＩからＳＳｓまで順次閉じていき、そのときにソース信
号線に出力信号がないかを検出する。すべてのスイッチ
に対しておこなったのち、ゲートドライブＩＣに対して
シフトパルス信号を送り、オン電圧印加位置をゲート信
号線Ｇ２にする。そして同様にスイッチを順次閉じてい
き、ソース信号線に出力信号がないかを検出する。以上
の動作をすべてのゲート信号線・ソース信号線に対して
行なう、今Ｇ−Ｄシ！ｌ−ト３１が発生しているため、
ゲート信号線Ｇ４にオン電圧を印加したとき、ＴＰＴの
７Ｍ３３がオン状態となりＧ、−Ｇ−Ｄショート３７→
Ｔ　Ｍｘｓ→Ｓ、→ＰＳ、→Ｓ　Ｓ　ｓ なる電流経路が生じる。したがってＣ，−Ｄショート３
７を検出することができる。なおＴＰＴのＴＳ□のトラ
ンジスタにＧ−Ｄショートが発生している場合は以下の
電流経路が生じるための検出することができる。ただし
今、ＴＦＴのＴＳｔ２にＧ−Ｄショートが発生している
と仮定する。前記の場合、ゲート信号線Ｇ、にオン電圧
を印加した場合、ＴＰＴのＴＭ、１がオン状態となりＳ
Ｓｓ→ＰＳｓ→ＴＭｚｚ→Ｐｚｚ→ＴＳｚ２→Ｇ−Ｄシ
ッート→Ｇ２ なる電流経路が発生することにより検出することができ
る。

Ｓ−Ｄショートの検出方法はＧ−Ｄショート検出方法と
同様の方法で行なう。ただし、Ｓ−Ｄショートの検出方
法ではＩＣ制御手段２７信号線ドライブＩＣ３５を制御
し、１本のソース信号線に信号を印加する。前記信号印
加位置はＳ２から順にすべての偶数番目のソース信号線
に対しておこなう。

まずゲート信号線Ｇ１のみにオン電圧を印加し、ソース
信号線Ｓ２に信号を印加する。次にＳＳ。

を閉じ、ソース信号線Ｓ、に信号が印加されていないか
を信号測定手段で検出する。またＳ３３を閉じ、ソース
信号綿Ｓ、に信号が印加されていないかを検出する。次
にソース信号線Ｓ４のみに信号を印加し、ＳＳ、および
Ｓ　Ｓ　ｓを順次閉じ、ソース信号線Ｓ、・ＳＳに信号
が印加されていないかを信号検出手段２５で検出する。

以上の動作を今度はゲート信号線Ｇｔのみにオン電圧を
印加しておこなう。前述の動作をすべてのゲート信号線
およびソース信号線に対しておこなう。第９図に示す液
晶表示パネルではＳ−Ｄショート３８が発生しているた
め、ソース信号線Ｓ２に信号を印加し、ゲート信号線Ｇ
２にオン電圧を印加し、かつＳＳ３を閉じたとき Ｓ、−３−Ｄショート３８→Ｐ　ｚｔ”Ｔ　Ｓ　ｚｚ→
Ｓ　３→ＰＳ、　　→ＳＳ。

なる信号の経路が発生するため、Ｓ−Ｄショート３日を
検出することができる。

なお、本発明の実施例において接続手段をプローブとし
て説明したが、これに限定するものではなく、たとえば
コネクタなどを用いて液晶表示パネルの信号線と電気的
接続をとってもよい。

発明の効果 本発明の液晶表示パネルの検査装置は、ＩＣ制御手段を
用い、液晶表示パネルの信号線に接続されているＩＣを
用いて検査をおこなうものであるから、ブロービイング
はソース信号線のみでよい。

したがって絵素ピッチが微細になってもソース信号線の
引き出し電極配置のみを考慮するだけで、十分にプロー
ビイングすることができる。ゆえに従来の検査装置と比
較してプローブ本数を％にすることができ、またゲート
信号線とプローブを接続させるための位置決め装置が必
要でないため、検査装置のコストを大幅に低減すること
ができる。

その上、ゲートドライブＩＣを制御することによりゲー
ト信号線すべてに一括ブロービイングをおこなったのと
同様の効果が得られ、またゲート信号線への印加電圧お
よびソース信号線への印加電圧を自由に操作することが
できるから、従来の装置と比較して１／１００以上と非
常に高速に検査をおこなうことができる。さらには従来
の検査装置では検出できなかったＧ−Ｄショートなどの
欠陥を容易に検出することができる。以上のことから本
発明の効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例における液晶表示パネル
検査装置のブロック図、第２図（ａ）（ｔ））・第１１
図（ａ）［有］）は液晶表示パネルの平面図および断面
図、第３図・第７図・第８図・第１２図・第１３図は液
晶表示パネルの一部拡大図、第４図は本発明の第１の実
施例における液晶表示パネル検査装置による検査方法の
説明図、第５図は本発明の第２の実施例における液晶表
示パネル検査装置のブロック図、第６図は液晶表示パネ
ルの平面図、第９図は本発明の第２の実施例における液
晶表示パネル検査装置による検査方法の説明図、第１０
図は従来の液晶表示パネル検査装置のブロック図、第１
４図は従来の液晶表示パネル検査装置による検査方法の
説明図である。 １・・・・・・基板、２．３・・・・・・ドライブＩＣ
積載部、４・・・・・・対向電極基板、５・・・・・・
封止樹脂、６・・・・・・表示領域、７・・・・・・Ｔ
ＦＴ形成部、８・・・・・・対向電極、９・・・・・・
液晶、１０・・・・・・液晶表示パネル、１１・・・・
・・積載台、１２．１３・・・・・・プローブ、１４．
１５・・・・・・プローブ位置決め手段、１６．１７・
・・・・・プローブ制御手段、１８・・・・・・抵抗値
測定手段、１９・・・・・・制御手段、２０・・・・・
・ゲート信号線、２１．２３・・・・・・引き出し電極
、２２・・・・・・ゲートドライブＩ（ＪＩＪ御信号線
、２４・・・・・・信号ドライブＩＣ制御信号線、２５
ａ、２５ｂ・・・・・・接続配線、２６・・・・・・ク
ロスショート、２７・・・・・・ＩＣ制御手段、２８・
・・・・・信号測定手段、２９・・・・・・制御手段、
３０・・・・・・ゲートドライブｒｃ、３１・・・・・
・接続手段、３２・・・・・・位置決め手段、３３・・
・・・・位置決め制御手段、３４・・・・・・Ｇ−Ｄシ
ョート、３５・・・・・・信号ドライブＩＣ１３６ａ、
３６ｂ・・・・・・引き出し電極、３７・・・・・・Ｇ
−Ｄショート、３日・・・・・・Ｓ−Ｄショート、Ｇ、
〜Ｇ４・・・・・・ゲート信号線、ＳＩ〜Ｓ４・・・・
・・ソース信号線、Ｔ　１１−Ｔ　４４．　Ｔ　Ｍ　１
１〜ＴＭｉｓ、’ｒｓ、、〜ＴＳ４４・・・・・・ＴＦ
Ｔ、、ＰＳ、　　〜ＰＳｓ・・・・・・接続手段、ＳＳ
１〜ＳＳ、・・・・・・切換え手段。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名２７−ＩＣ
制、卸手役 １２図 ３０−　　ゲートドライブＩＣ （の １　図 お−位１笑め制加手段 第 Ｓ 信号ドライブＩＣ 図 第 図 ゲート・ドレインショート ＳＳｔ　−３Ｓ、ｙ　−選択手段 第 図 ３６ｔｔ　＝−引 出 しｔ赫 第 第１Ｏ図 図 ３６ｂ−引出 し　　覚　涌

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）液晶表示パネルを積載する台と、液晶表示パネル
   に形成されたソース信号線に信号を印加する信号ドライ
   ブＩＣとゲート信号線に信号を印加するゲートドライブ
   ＩＣのうち少なくとも一方を制御するＩＣ制御手段と、
   液晶表示パネルの任意の信号線と電気的に接続する接続
   手段と、前記接続手段が電気的に接続している液晶表示
   パネルの信号線に印加されている信号を測定する測定手
   段と、接続手段を任意の信号線に位置決めをおこなう位
   置決め手段とを具備することを特徴とする液晶表示パネ
   ル検査装置。
2. （２）ＩＣ制御手段はゲートドライブＩＣの任意の出力
   端子を所定電圧に制御できることを特徴とする請求項（
   １）記載の液晶表示パネル検査装置。
3. （３）位置決め手段は液晶表示パネルの任意のソース信
   号線と電気的接続がとれるように制御することを特徴と
   する請求項（１）記載の液晶表示パネル検査装置。
4. （４）測定手段は電流の大きさ・極性と電圧の大きさ・
   極性のうち少なくとも一方を測定できることを特徴とす
   る請求項（１）記載の液晶表示パネル検査装置。