JPS62184693A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS62184693A
JPS62184693A JP61025895A JP2589586A JPS62184693A JP S62184693 A JPS62184693 A JP S62184693A JP 61025895 A JP61025895 A JP 61025895A JP 2589586 A JP2589586 A JP 2589586A JP S62184693 A JPS62184693 A JP S62184693A
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JP
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signal
circuit
data
address strobe
control circuit
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JP61025895A
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English (en)
Inventor
Hiromi Tsukada
塚田 啓視
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Hitachi Ltd
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Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体記憶装置に関するもので、たとえば
、自動リフレッシュ回路を内蔵するダイナミック型RA
M等に利用して有効な技術に関するものである。
〔従来の技術〕
半導体記憶装置については、たとえば1985年、日立
製作所発行の「日立ICメモリデータブックjにも各種
の製品例が記載されている。また、そのうちのダイナミ
ック型RAMに関して、たとえば特開昭57−8228
2号等いくつがの先願がなされている。
上記の資料に記載されるように、ダイナミック型RAM
のような半導体記憶装置に対する1き込みは、1ビツト
、4ビツトないし8ビツトのような比較的少ないビット
単位で行われる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来の半導体記憶装置には次に示す問題点があるこ
とが本発明者等によって明らかになった。
すなわち、特定のパターン、たとえば全ビット論理“0
1または全ビット論理“1″の書き込みを多数のメモリ
セルに行う試験動作や初期設定等の場合、アドレス信号
を変化させながら多数回の書き込み動作を繰り返す必要
がある。半導体集積技術の進展に伴いダイナミック型R
AM等の記憶容量が増大してきたことにより、上記試験
や初期設定のための特定パターンの書き込みに膨大なサ
イクル数を費やすことになる。
この発明の目的は、低消費電力でしかも高速クリア可能
なダイナミック型RA Mを提供することにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
〔問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、複数のデータ線に特定の書込みデータを入力
するためのMOS F ETと、複数のワード線を同時
選択するためのスイッチMOS F ETとを設け、こ
れを外部端子から供給される動作モード制御信号の組み
合わせに基づいて制御するとともに、上記データ線の信
号を増幅するセンスアンプの動作を禁止させるクリア制
御回路を設けるものである。
〔作  用〕
上記した手段によれば、同時選択された複数のワード線
の全メモリセルに同一のデータを書込むことができ、低
消費電力で高速クリア可能なダイナミック型RAMを実
現できるものである。
〔実施例〕
第1図には、この発明が通用されたダイナミック型RA
Mのブロック図が示されている。同図の各回路素子およ
び回路ブロックは、公知の半導体集積回路の製造技術に
よって、特に制限されないが、1個の単結晶シリコンの
ような半導体基板上に形成される。
1ビツトのメモリセルMCは、その代表として示されて
いるように情報記憶キャパシタCsとアドレス選択用M
OSFETQmとからなり、論理“1”、“O”の情報
はキャパシタCsに電荷が有るか無いかの形で記憶され
る。
情報の読み出しは、MOSFETQmをオン状態にして
キャパシタCsを共通のデータ線DLにつなぎ、データ
線DLの電位がキャパシタCsに蓄積された電荷量に応
じてどのような変化が起きるかをセンスすることによっ
て行われる。
メモリセルMCを小さく形成し、しかも共通のデータ1
iitDLに多くのメモリセルをつないで高集積大容量
のメモリマトリックスにしであるため、上記キャパシタ
Csと、共通データ線DLの浮遊容1ico(図示せず
)との関係は、Cs / Coの比が非常に小さな値に
なる。したがって、上記キャパシタCsに蓄積された電
荷量によるデータ線DI、の電位変化は、非常に微少な
信号となっている。
このような微少な信号を検出するための基準としてダミ
ーセルDCが設けられている。このダミーセルDCは、
そのキャパシタCdの容量値がメモリセルMCのキャパ
シタCsのほぼ半分であることを除き、メモリセルMC
と同じ製造条件、同じ設計定数で作られている。キャパ
シタCdは、アドレッシングに先立って、MOSFET
Qd’によって接地電位に充電される。
上記のように、キャパシタCdは、キャパシタCsの約
半分の容量値に設定されているので、メモリセルMCか
らの読み出し信号のほぼ半分に等しい基準電圧を形成す
ることになる。
同図においてSAは、上記アドレッシングにより生じる
このような電位変化の差を、タイミング信号(センスア
ンプ制御信号)φpal”およびφpa2’で決まるセ
ンス期間に拡大するセンスアンプであり(その動作は後
述する)、1対の平行に配置された相補データ線DL、
Dτにその人孔力ノードが結合されている。相補データ
線DL、Dτに結合されるメモリセルの数は、検出精度
を上げるため等しくされ、DL、DLのそれぞれに1個
ずつのダミーセルが結合されている。また、各メモリセ
ルMCは、1本のワード線WLと相補データ線の一方と
の間に結合される。各ワード線WLは双方のデータ線対
と交差しているので、ワード線WLに生じる雑音成分が
静電結合によりデータ線にのっても、その雑音成分が双
方のデータ線DL、D工に等しく現れ、差動型のセンス
アンプSAによって相殺される。上記アドレッシングに
おいて、相補データ線DL、 D″′r−の一方に結合
されたメモリセルMCが選択された場合、他方のデータ
線には必ずダミーセルDCが結合されるように一対のダ
ミーワード線DWr5.DWLの一方が選択される。
上記センスアンプSAは、一対の交Mt’N続されたM
OSFETQI、Q2を有し、これらの正帰還作用によ
り、相補データ線DI1.DLに現れた微少な信号を差
動的に増幅する。この正帰還動作は、2段回に分けてお
こなわれ比較的小さいコンダクタンス特性にされたMO
SFETQ7が比較的早いタイミング信号φpal”に
よって導通し始めると同時に開始され、アドレッシング
によって相補データ線DL、DLに与えられた電位差に
基づき高い方のデータ線電位は遅い速度で、低い方のそ
れは速い速度で共にその差が広がりながら下降していく
。この時、上記電圧差がある程度太きくなったタイミン
グで比較的大きいコンダクタンス特性にされたMOSF
ETQ8がタイミング信号φpa2’によって導通する
ので、上記低い方のデータ線電位が急速に低下する。こ
のように2段階にわけてセンスアンプSAの動作を行わ
せることによって、上記高い方の電位落ち込みを防止す
る。こうして低い方の電位が交差結合MOSFETのし
きい値電圧以下に低下したとき正帰還動作が終了し、高
い方の電位の下降は電源電圧vccより低く上記しきい
値電圧より高い電位に留まるとともに、低い方の電位は
最終的に接地電位(OV)に到達する。
上記のアドレッシングの際、一旦破壊されかかったメモ
リセルMCの記憶情報は、このセンス動作によって得ら
れたハイレベル若しくはロウレベルの電位をそのまま受
は取ることによってN fj!する。しかしながら、前
述のようにハイレベルが電源電圧Vccに対して一定以
上落ち込むと、何回かの読み出し、再書込みを繰り返し
ているうちに論理°“0”として読み取られてしまうよ
うなfJ動作が生じる。この誤動作を防ぐために設けら
れるのがアクティブリストア回路ARである。このアク
ティブリストア回路ARは、ロウレベルの信号に対して
何ら影響を与えずハイレベルの信号にのみ選択的に電源
電圧Vccの電位にブーストする働きがある。
MOSFETQ9およびQIOにより構成されるデータ
線のクリア回路CRは相補データ線DL。
DLに対応してもうけられ、クリア動作時に、クリア制
御回路から送られるタイミング信号φSにより、データ
線「工を電源電圧またDLを接地電位とする。これによ
り、クリア動作時には論理“0”が、指定されたワード
線と全データ線の交点に接続された複数のメモリセル(
たとえば、1×256にビットRAMの場合512個)
に−斉に書き込まれる。また、このクリア動作は後述す
るYアドレス信号によるデータ線の指定を行わない状態
で実行でき、自動リフレッシュ回路のカウンターを用い
て高速に繰り返すことができる。
同図において代表として示されているデータ線対DL、
DLは、カラムスイッチCWを構成するM OS F 
E T Q 3 、 Q 4を介してコモン相補データ
#IACD L 、 σ万了に接続される。他の代表と
して示されているデータ線対についても同様なMO5F
E’l’Q5.O6を介してコモン相補データ線CDL
、CDLに接続される。このコモン相補データ線CDL
、CDLには、出力アンプを含むデータ出力バッファD
OBの入力端子とデータ人力バッファDIRの出力端子
に接続される。 ロウデコーダおよびカラムデコーダR
−DCR,C−DCRは、アドレスバッファR−ADB
、C−ADBで形成された内部相補アドレス信号を受−
けて、1本のワード線およびダミーワード線並びにカラ
ムスイッチ選択信号を形成してメモリセルおよびダミー
セルのアドレッシングを行う、すなわち、外部アドレス
信号AXO〜AXiは、ロウアドレスストローブ信号R
ASのロウレベルへの変化タイミングに同期して形成さ
れたタイミング信号φarによりアドレスバッファR−
ADBに取り込まれる。アドレスバッファR−ADDは
、外部アドレス信号AXO〜AXiに従った内部相補ア
ドレス信号を形成してロウデコーダR−DCRに伝える
。ロウデコーダR−DCRは、上記内部相補アドレス信
号をwl読して、ワード線選択タイミング信号φXに同
期して所定のワード線およびダミーワード線選択動作を
行う。一方、外部アドレス信号AYO〜AYiはカラム
アドレスストローブ信号CASのロウレベルへの変化タ
イミングに同期して形成されたタイミング信号φacに
よりアドレスバッファC−ADBに取り込まれる。アド
レスバッファC−ADBは、外部アドレス信号AYO〜
A Y iに従った内部相補アドレス信号を形成してカ
ラムデコーダC−DCRに伝える。カラムデコーダC−
DCRは、上記内部相補アドレス信号を解読し・て、ワ
ード線選択タイミング信号φyに同期してデータ線の選
択動作を行う。
上記アドレスデコーダやアドレスバッファ等のような周
辺回路は、特に制限されないが、CM O8(相補型M
O5)回路により構成される。
タイミング制御回路TCは、上記クリア制御回路を含み
、外部から供給されたアドレスストローブ信号1τ「、
カラムアドレスストローブ信号でASおよびライトイネ
ーブル信号WEとを受けて、その動作モードの識別を行
い、その動作モードに従って上記代表として示されたタ
イミング信号の他各皿タイミング信号を形成する。たと
えば、ロウアドレスストローブ信号RASがロウレベル
にされる前にカラムアドレスストローブ信号CASが先
にロウレベルにされると、リフレッシュ動作モード(い
わゆるCASビフォワーRASリフレッシュ)とみなし
て、後述する自動リフレッシュ回路REFCの動作信号
RFDを発生する。また、このリフレッシュモードの時
には、ロウアドレスバッファR−ADHの入力部に設け
られた信号取り込み用の伝送ゲー)MOSFET (マ
ルチプレクサ回路)を切り換える制御信号(図示せず)
を発生させ、ロウアドレスバッフIR−A D Bに外
部アドレス信号に代えて自動リフレッシュ回路REFC
により形成されたアドレス信号xO°〜Xi′の取り込
みを指示するものである。
自動リフレッシュ回路REFCは、後述するようなリフ
レッシュ用の内部アドレス信号xO°〜xl°を形成す
るカウンタ回路および歩進用のパルス発生回路(タイマ
ー回路)を含んでおり、上記タイミング制御回路TCに
よって識別されたリフレッシュ動作信号RFDを受けて
、動作状態にされる。
第2図には、上記タイミング制御回路TCに含まれるク
リア制御回路の一実施例の基本回路図が示されている0
図において、AND (アンド)ゲート回路G1には外
部端子から供給されるカラムアドレスストローブ信号C
ASおよびライトイネーブル信号WEの反転信号とロウ
アドレスストローブ信号RA Sが入力され、ロウアド
レスストローブ信号RASの立ち下がりよりも前にカラ
ムアドレスストローブ信号CA Sおよびライトイネー
ブル信号WEが立ち下がる動作モード、すなわちクリア
動作モードが指定されるとハイレベルの出力をフリップ
フロップ回IJFFに送る。フリップフロップ回路FF
は上記クリア動作モード指定時のANDゲート回路G1
のハイレベル出力によりセットされ、カラムアドレスス
トローブ信号σ■Sによりリセットされる。これにより
、フリップフロップ回路FFはクリア動作が指定されて
いる間セットされ、その出力Qはハイレベルとなる。
フリップフロップ回路FFの出力Qはメモリアレイのク
リア回路をオン状態にさせるためのタイミング信号φS
として出力される。ANDゲートG3およびG4はフリ
ップフロップ回路FFの出力Qがハ・Cレベル、すなわ
ち、クリア動作モードでない時のみ、センスアンプ回路
′gA動用タイミング信号φpal’およびφpa2’
を出力する。これにより、クリア動作モード時にはタイ
ミング(R号φpal’およびφpal’が形成されず
、センスアンプ回路の動作が禁止されて、低消g′@力
化が図れる。
第3図には、上記ダイナミック型RAMの通常動作モー
ドにおけるタイミング図が示されている。
このタイミング図によりタイミング制御回路を中心とし
た説明を続ける。
第3図に示されるように、ロウアドレスストローブ信号
RASがカラムアドレスストローブ信号CASおよびラ
イトイネーブル信号WEよりも前にハイレベルからロー
レベルに立ち下がることで、タイミング制御回路は通常
動作モードであることを識別する。このロウアドレスス
トローブ信1?ASの立ち下がりに同期してタイミング
信号φ3rがロウアドレスパンツ71? −、A D 
Bに送られ、アドレスマルチされて外部供給されるアド
レス信号のうちXアドレス信号A X O〜AXiがロ
ウアドレスバッファR−ADBにとりこまれる。タイミ
ング信号φarに少し遅れて、前述のタイミング信号φ
pal”およびφpa2’がセンスアンプ回路に送られ
、センスアンプ回路はセンス動作をり1始する0次に、
カラムアドレスストローブ信号CA Sの立ち下がりに
同期してタイミング信号φacがカラムアドレスバッフ
1C−A D Bに送られ、アドレスマルチされて外部
供給されるアドレス信号のうちYアドレス信号AYO〜
ΔYiがカラムアドレスバッファC−A D Bにとり
こまれ、以下通常の書き込みまたは読み出し動作が行わ
れる。
一方、第4図には、クリア動作モードにおけるタイミン
グ図が示されている。同図に示されるように、ロウアド
レスストローブ信号RASより前にカラムアドレススト
ローブ信号σASおよびライトイネーブル信号WEが立
ち下がることで、タイミング制御回路はクリア動作モー
ドであることを識別する。カラムアドレスストローブ信
号σスSの立ち下がりに少し遅れて、メモリアレイのデ
ータ線のクリア回路をオン状態にするためのタイミング
信号φ3が送られる。また、カラムアドレスス)o−フ
iB号cp、sがロウアドレスストローブ信号RASよ
りも前にローレベルにされることで、タイミング制御回
路は自動リフレッシュモード(いわゆる、σx1ビフォ
アRASリフレッシュモード)としても識別し、自動リ
フレフシェ制御回路REFCに動作信号RFCを出力す
るとともに、ロウアドレスバッファR−ADBの入力部
に設けられた信号取り込み用の伝送ゲートMOSFET
 (マルチプレクサ回路)を切り換える制御信号(図示
せず)を出力する。これにより、ロウアドレスバッファ
R−ADBには外部アドレス信号に代えて自動リフレッ
シュ回路REFCのカウンターにより形成されたアドレ
ス信号xO’ 〜Xi°が取り込まれる。ロウアドレス
ストローブ信号RASの立ち下がりに同期して自動リフ
レッシ工制御回路のカウンターが歩進されるとともに、
そのアドレス信号xO”〜xl°がロウアドレスバッフ
ァR−ADBを経てロウデコーダR−DCRに入力され
、ワード線が指定される。
以上の動作により、全データ線と指定されたワード線と
の交点に接続された複数のメモリセルにはすべて論理“
O″が書き込まれる。また、カラムアドレスストローブ
信号CASとライトイネーブル信号WEをローレベルに
したままロウアドレスストローブ信号RASをハイレベ
ルからローレベルに繰り返し変化させることにより、リ
フレッシェ用カウンターが歩進し、上記クリア動作を繰
り返すことができる。これを全ワード線について行うこ
とで、全メモリセルへの論理“0“書き込み、すなわち
、全メモリセルの初期設定が可能となる。また以上のク
リア動作中は、前述のように、センスアンプ回路駆動用
のタイミング信号φpal′およびφpa2”が形成さ
れないので、センスアンプ回路が動作せず、消費電力を
節約できる。
第5図には、本発明によるワード線クリア回路CRWの
回路図が示されている。ワード線クリア回路CRWは上
記クリア動作をさらに高速化するために設けられる0図
において、上記メモリアレイM−ARYの各ワード線に
対応してPチャンネルスイッチMO3FE’rQl 1
〜Q1mが設けられ、これらPチャンネルMOSFET
のソースはたとえば電源電圧に共通接続される。MOS
FETQII〜Qlrnのゲートは共通接続され、前述
のタイミング信号φSと同期したタイミング信号φsw
が供給される。
ワード線クリア回路CRWは、クリア動作時に複数のワ
ード線を一斉に選択状態とするため、っぎの動作を行う
。すなわち、前述のように動作モード信号の特定な組み
合わせによりクリア動作の起動がかかると、タイミング
制御回路はデータ線のクリア回路CRにまずタイミング
信号φSを送り、相補データ線のすべてのDL線を接地
電位とするとともに、同時に、ワード線クリア回路CR
Wへのタイミング信号φSWをローレベルとする。
これにより、MOSFETQI 1〜Q1mはオン状態
となり、相補ワード線のすべてのWL線は電源電圧レベ
ルになって一斉選択状態となり、相補データ線および相
補ワード線に接続されるすべ′このメモリセルに論理O
″臀き込み、すなわち、初期設定が終了する。
以上の本実施例に示されるように、この発明をダイナミ
ック型RA M等の半導体記憶装置に適用した場合、次
に示すような効果が得られる。すなわち、 (1)ダイナミック型RAMのすべてのデータ線に接地
電位を供給するためのスイッチMO5FETによるクリ
ア回路を設け、これらを所定の動作モード信号の組み合
わせ、すなわち、カラムアドレスストローブ信号CAS
およびライトイネーブル信号■1をロウアドレスストロ
ーブ信号RASより前に立ち下げることでオン状態とし
、指定されたワード線と全データ線の交点に接続される
すべてのメモリセルに一斉に論理′″0″書き込み、す
なわち、初期設定等を行うことができるという効果が得
られる。
(2)カラムアドレスストローブ信号CASおよびライ
トイネーブル信号−Wlをローレベルにしたままロウア
ドレスストローブ信号RASをハイレベルからローレベ
ルに繰り返し変化させ、自動リフレッシュ制御回路のカ
ウンターを歩進させながら、上記(1)項の動作を繰り
返すことにより、全メモリセルへの論理“0”書き込み
、すなわち、初期設定等を短時間で行うことができると
いう効果が得られる。
(3)上記(11項および(2)項の動作は、すでに実
用化されている自動リフレッシュ機能、すなわち、τ】
SビフォアRASリフレッシュ機能を併用して行うこと
ができ、外部から見た起動条件は、ライトイネーブル信
号下の立ち下がりを追加するのみで良く、比較的簡単に
実現できるという効果が得られる。
(4)ダイナミック型RAMのすべてのワード線に電源
電圧を供給するためのスイッチMOS F ETによる
ワード線クリア回路を設け、これらをデータ線のスイッ
チMOSFETと同時にオン状態にし、全ワード線を選
択状態として、上記(1)項の動作を行わせることによ
り、1回のメモリアクセスで全メモリセルへの“0″書
き込み、すなわち、初期設定等ができるという効果が得
られる。
(5)センスアンプ回路駆動用のタイミング信号を、上
記クリア動作時には形成させないことにより、センスア
ンプ回路の不必要な動作を禁止することで、ダイナミッ
ク型RAMの低消費電力化が図れるという効果が得られ
る。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、第1図にお
いて、メモリアレイM−ARYおよびセンスアンプ回路
SAの構成は種々の実施形態を採り得るものであり、ま
た、データ線のクリア回路CRは論理“1”をメモリセ
ルに署き込むための電圧をデータ線に送るものであって
もよい。また第6図に示すように、データ人カバソファ
DIBを介して入力される入力データ信号を通光な増幅
回路A M Pにより増幅してクリア回路に供給するこ
とで、外部から任意の書込みデータを指定できるもので
あってもよい。この場合、第5図に点線にて示すように
、入力データ信号を他の制御信号より前に入力する。一
方、上記クリア動作を指定するために外部(Jt給され
る動作モード信号の組み合わせは、カラJ1アドレスス
トローブ信号CA Sの立ら下がりを含まず、いわゆる
RASオンリーリフレッシュを併用するものであっても
よい、また、自動リフレッシュ制御回路を含まず、アド
レスを外部アドレス信号により順次指定するものであっ
てもよい。
以上の説明では主として本発明者によっ°Cなされた発
明をその背景となった利用分野であるダイナミック型R
AMの初期設定に適用した場合について説明したが、そ
れに限定されるものではなく、たとえば、各種の半導体
記憶装置の初期設定や特定データの全メモリセル書込み
などに通用できる。
本発明は、少なくとも複数のデータ線と複数のワード線
を有する半導体記憶装置には通用できるものである。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
”chられる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。すなわち、複数のデータ線に特定の得込みテーク
を入力するためのM OS F ETと、複数のワード
線を同時選択するためのスイッチMO5FETとを設け
、これを外部端子から供給される動作モード制御信号の
組み合わせに基づい°ζ制御するとともに、上記データ
線の信号を増幅するセンスアンプの動作を禁止させるク
リア制御回路を設けることにより、同時選択された複数
のワード線の全メモリセルに同一のデータを書込むこと
ができ、低消費電力で高速クリア可能なダイナミック型
RAMを実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明に係るダイナミック型RAMの一実
施例を示すブロック図、 第2図は、そのタイミング制御回路に含まれるクリア制
御回路の一実施例を示す回路図、第31!lは、その通
常動作モードにおける動作タイミング図、 第4図は、そのクリア動作モードにおける動作タイミン
グ図、 第5図は、この発明に係るワード線クリア回路CRWの
一実施例を示す回路図、 第6図は、データ線クリア回路CRのもう一つの実施例
を示す回路図である。 MC・・・メモリセル、DC・・・ダミーセル、CW・
カラムスイッチ、SA・・センスアンプ、AR・・・・
・アクティブリストア回路、CR・・・・・データ線ク
リア回路、 CRW・・・・ワード線クリア回路、 R−DCR・・ロウデコーダ、 C−DCR・・カラムデコーダ、 R−ADB・・ロウアドレスバッファ、C−ADB・・
カラムアドレスバッファ、DOB・・・・データ出力バ
ッファ、 DIB・・・・データ入カバソファ、 TC・・・・・タイミング制御回路、 REFC・・・自動リフレッシュ回路、FF・・・・・
フリップフロップ回路 AMP・・・・増幅回路 第1図 第3図 第4[!f xO〜XI −−−−一−−−−−−ベーーーーーーー
ノー−−一−一−)−一一−−−第5図 1′ ψ× ユX

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数のメモリセルに特定の書込みデータを入力する
    ものであって、上記特定の書込み時に、データ線の信号
    を増幅するセンスアンプの動作を禁止させることを特徴
    とする半導体記憶装置。 2、メモリセルの入出力ノードが接続された複数のデー
    タ線と、上記複数のデータ線に特定の書込みデータを入
    力し、および/またはメモリセルのアドレス選択端子が
    結合された複数のワード線を同時選択するためのスイッ
    チMOSFETと、外部端子から供給される動作モード
    制御信号の組み合わせにもとづいて形成された起動信号
    を受けて、上記スイッチMOSFETを制御するクリア
    制御回路とを具備することを特徴とする半導体記憶装置
    。 3、上記半導体記憶装置はダイナミック型RAMであり
    、上記スイッチMOSFETはデータ線と電源電圧また
    は回路の接地電位との間、および/またはワード線と電
    源電圧端子との間に設けられるものであることをことを
    特徴とする特許請求の範囲第2項記載の半導体記憶装置
    。 4、上記動作モード信号は、ロウアドレスストローブ信
    号とカラムアドレスストローブ信号およびライトイネー
    ブル信号であり、上記起動信号はロウアドレスストロー
    ブ信号がハイレベルからローレベルに立ち下がる前にラ
    イトイネーブル信号とカラムアドレスストローブ信号を
    ローレベルに立ち下げることによって形成されるもので
    あることを特徴とする特許請求の範囲第2項または第3
    項記載の半導体記憶装置。 5、上記クリア制御回路の起動信号は、内蔵する自動リ
    フレッシュ回路も起動させるものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第2項、第3項または第4項記載の半
    導体記憶装置。
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US5075887A (en) * 1987-12-21 1991-12-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor memory capable of improving data rewrite speed
JP2008506217A (ja) * 2004-07-06 2008-02-28 スパンション エルエルシー ダミーワード線を備えたフラッシュメモリアレイの消去電圧分布の改良方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5075887A (en) * 1987-12-21 1991-12-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor memory capable of improving data rewrite speed
JP2008506217A (ja) * 2004-07-06 2008-02-28 スパンション エルエルシー ダミーワード線を備えたフラッシュメモリアレイの消去電圧分布の改良方法

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