JPS62105955A - 透明高密度磁器の製造方法 - Google Patents

透明高密度磁器の製造方法

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JPS62105955A
JPS62105955A JP60242252A JP24225285A JPS62105955A JP S62105955 A JPS62105955 A JP S62105955A JP 60242252 A JP60242252 A JP 60242252A JP 24225285 A JP24225285 A JP 24225285A JP S62105955 A JPS62105955 A JP S62105955A
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JP
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plzt
porcelain
hot isostatic
oxide
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幸夫 豊田
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Sumitomo Special Metals Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、光学用デバイス等に用いられる円。
La、 Zr、 T5の各酸化物を主成分とする透明高
密度磁器の製造方法に係り、高透明度でかつ無気孔化し
た透明高密度磁器が容易に得られる製造方法に関する。
背景技術 光シヤツター、光記憶素子2画像表示デバイス等の光学
用デバイスに用いられるPb、 li、 Zr、 T;
の各酸化物を主成分とする透明高密度磁器(以下、PL
Z丁という)は、磁器を通過する光の散乱あるいは吸収
等を防止するため、漫めて高い透明度が要求されている
このため、光の散乱原因となるPI、7丁内部の気孔を
減少させ、また、P i、、−Z Tを黄色にしカリ光
を吸収゛す゛る過剰PbOを除去する必要がある。
かかるPLZ丁を176方法として、酸化アルミニウム
、炭化1ノい累、グラフ7−イ1〜等で作成されたダイ
中に、PLZT磁器原料扮末を装入し、アルミナ製など
のパンチで押1−「する、所謂、−軸加圧式ホットプレ
ス法(米国特許3.666.666;1972 )が知
られている。しかし、この方法は、ダーイ、パンチの高
温強度や外部ヒーターを用いる灼熱法等の問題から、’
t?+うれる製品の大さざ!、′:限度があり、また、
パンチ、ダイス材との被加圧体との反応も避は難く、ざ
らに、生産性の点でも問題があった。
一方、圧電磁器の製造方法として、圧力媒体に高温高圧
ガスを用いる熱間静水圧成形法が知られ、出願人は先に
、この熱間静水圧成形法を利用したPb Tj O3、
PbNbzOs 、PbTix ”1rYO3+Nb2
O5等の高密度圧N磁器の製造方法を提案(特開昭58
−182883号)した。
しかし、上記方法をPLZTに適用しても、PLZT内
部に生成した気孔を充分に除去することが困難であり、
特に、大きな気孔を除去することができず、光学用デバ
イスとして要求される高い透明度と高密度を達成するこ
とが困難であった。
また、PLZTの焼成時に生成する大きな気孔を除去す
る方法として、PbO酸素雰囲気中で焼成する雰囲気焼
成法が知られているが、PbO蒸気圧の制御が困難であ
り、PbO蒸気圧が所定圧力より高いと、PLZT内部
に過剰なPbOが侵入して、PLZTを黄色に変色させ
てしまい、また、PbO蒸気圧が低いと、PbOの侵入
は防止できるが、PbO内部の気孔を除去することがで
きず、安定した性状のPLZTを得ることができなかっ
た。
ざらに上記の焼成法と熱間静水圧成形法を組合わせても
、高透明度でかつ無気孔化した透明高密度磁器を安定し
て得ることはできなかった。
発明の目的 この発明は、光学用デバイス等に用いられる島。
La、 Zr、 TLの各酸化物を主成分とする透明高
密度磁器を、高透明度化、無気孔化し、かつ安定して量
産できる透明高密度磁器の製造方法を目的としている。
発明の構成と効果 この発明は、鉛、ランタン、ジルコニウム、チタンの各
酸化物を主成分とする磁器成型体を、理論密度の97%
以上の声度まで真空中にて焼成し、溶融型酸化アルミニ
ウム、溶融型酸化ジルコニウム、溶融型酸化マグネシウ
ムのうち少なくとも1種からなる粒径50項〜3000
.amの粉末を、密に充填した耐熱容器内に、該焼成体
を埋入したのち、熱間静水圧プレス処理することを特徴
とする透明高密度磁器の製造方法である。
この発明の製造方法により、焼成時の気孔発生並びに過
剰PbOの侵入が防止され、ざらに、熱間静水圧プレス
処理により、PLZT内部の気孔をほぼ零とすることが
でき、極めて高い透明度と緻密さを有する光学デバイス
用磁器が安定して量産できる。
発明の好ましい実施態様 この発明において、PLZTの組成は、通常、光学用デ
バイスとして使用される下記の成分組成であれば、いず
れの組成にも適用でき、同様の効果が得られる。
(Pb+−xLax )  (ZryTiz )   
 03  ””0式%式% この発明において、まず、上記組成の磁器成型体を、理
論密度の97%以上の密度となるよう、真空中で焼成し
て焼結体となす。
真空中で焼成するのは、焼成時の気孔発生並びに過剰P
bOの侵入を防止するためであり、焼成体の密度が理論
密度の97%未満では、後工程で熱間静水圧プレス処理
を施しても、理論密度の100%近い高密度のPLZT
@得ることができず、また、真空度、焼成温度、焼成時
間は、PLZTの組成によって適宜選定する必要がおる
焼成時の真空度は、1xlO−2〜1xlO−5Tor
rの範囲が好ましく、IX 10”2 Torrより低
い真空度では、気孔発生及び過剰PbOの侵入防止効果
が得られず、lXl0−5TOrrより高い真空度では
、PLZTが還元されて変色して特性の劣化を招来する
また、焼成条件は、過度の加熱はPbOの蒸発を招いて
PLZTの特性を不安定にし、ざらに生産性も低下ざぜ
ることから、1000℃〜1350℃、1〜50時間の
範囲が望ましい。
ついで、得られた焼成体に熱間静水圧プレス処理を施す
が、溶融型の酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、間
化マグネシウムのうち少なくとも1種からなる粒径50
1Im〜30001Jmの粉末を、密に充填した耐熱容
器内に、該焼成体を埋入して行なう。
耐熱容器は、圧力媒体ガスか容器表面から容易に浸透す
ることがない緻密なものが望ましく、また、容器の蓋は
、該処理の準備段階において、炉内の空気と雰囲気ガス
との置換を容易にするため、僅かに通気性をもたせるよ
うにして設ける。
熱間静水圧プレス処理条件は、圧力600に9d〜10
00kg4.1000℃〜1350’Cの処理温度、1
〜10時間の処理時間の範囲で、組成に応じて、適宜最
適条件を選定して行なう。また、高温の圧力媒体ガスに
は、不活性ガスが望ましく、PLZTの組成中の酸素が
蒸発するのを防止するため、少量の酸素含有Arガスと
するのもよい。
耐熱容器に密に充填する粉末には、溶融型の酸化アルミ
ニウム、酸化ジルコニウム、!化マグネシウムが適して
おり、これらの溶融型(電融)酸化物は、前記の処理温
度範囲にて、化学的に充分安定しており、粗大結晶粒及
びその集合粒子粉末であるため、自身の焼結が進行せず
、純度も良好でPLZT等と容易には反応せず、また、
粒子内部にはほとんど空孔等がないため、該プレス処理
後に微粉化することなく、再使用可能で、かつ工業的に
容易に入手できる。
しかし、上記の溶融型酸化物でも、微粉末では、焼結が
ゆっくりと進行し、また、取扱い中に飛散するのを防止
し、該プレス処理前の空気と圧力媒体ガスとの置換作業
を容易にする必要から、50.am以上の粒径を有する
ことが望ましい。また、該溶融型酸化物の粒径が大きく
なりすぎると、容器内に密に充填しても、空隙が大きく
なるため好ましくない。さらに、微細粉と粗大粉を適宜
混合して用いる場合は、粗大粉の粒径が数man程度で
あっても、理論上では可能でおるが、著しく粒径が異な
ると作業性の上で難点があり、3000um以下が好ま
しい。
また、熱間静水圧プレス処理後に、酸素雰囲気中にて、
700℃〜850℃、1〜5時間程度の焼鈍を施すこと
により、より安定した特性を有する高透明度、高密度の
PLZTが得られる。
実施例 前記の0式におけるx、y、zを第1表の数値とした組
成に調整したPLZT粉末を、3 t、Jの加圧力にて
、60φX10mm寸法に成形したのち、lX10”−
3TOrrの真空中で、1100℃X20時間の焼成を
行なった。
得られた焼成体を、平均粒径300虜の溶融型酸化ジル
コニウム粉末を密に充填したアルミナ製耐熱容器内に埋
入して、高温高圧炉に装入した。
ついで、Arガスを圧力媒体とした該炉にて、処理温度
1200’C,圧カフ00に9着、3時間の条件で、熱
間静水圧プレス処理を施した。
この熱間静水圧プレス処理前後にあけるPLZTの密度
と透過率(λ= 600nm時)を測定した。
測定結果を第1表に示す。
また、比較例として、焼成を酸素雰囲気中にて行なう以
外は、組成も熱間静水圧プレス条件も同一条件で製造し
たPLZTに、上記の測定を行ない、その結果を第1表
に示す。
第1表の結果から明らかなように、この発明の製造方法
によるPLZTは、熱間静水圧プレス処理後の密度が、
理論密度とほぼ同程度となり、かつ透過率も従来にない
高い値を示している。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 鉛、ランタン、ジルコニウム、チタンの各酸化物を
    主成分とする磁器成型体を、理論密度の97%以上の密
    度まで真空中にて焼成し、溶融型酸化アルミニウム、溶
    融型酸化ジルコニウム、溶融型酸化マグネシウムのうち
    少なくとも1種からなる粒径50μm〜3000μmの
    粉末を、密に充填した耐熱容器内に、該焼成体を埋入し
    たのち、熱間静水圧プレス処理することを特徴とする透
    明高密度磁器の製造方法。
JP60242252A 1985-10-29 1985-10-29 透明高密度磁器の製造方法 Granted JPS62105955A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0381524A2 (en) * 1989-02-02 1990-08-08 Sumitomo Special Metals Company Limited Method of manufacturing transparent high density ceramic material
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WO2014122865A1 (ja) * 2013-02-08 2014-08-14 信越化学工業株式会社 透光性金属酸化物焼結体の製造方法及び透光性金属酸化物焼結体

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US9604853B2 (en) 2013-02-08 2017-03-28 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Light transmitting metal oxide sintered body manufacturing method and light transmitting metal oxide sintered body

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