JPS6191028A - 流体ジエツトにより切断される板材を支持するための方法及び装置 - Google Patents
流体ジエツトにより切断される板材を支持するための方法及び装置Info
- Publication number
- JPS6191028A JPS6191028A JP60210904A JP21090485A JPS6191028A JP S6191028 A JPS6191028 A JP S6191028A JP 60210904 A JP60210904 A JP 60210904A JP 21090485 A JP21090485 A JP 21090485A JP S6191028 A JPS6191028 A JP S6191028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supporting
- support
- plate material
- plate
- fluid jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 55
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 51
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 2
- 239000011120 plywood Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 101100008048 Caenorhabditis elegans cut-4 gene Proteins 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005372 Plexiglas® Polymers 0.000 description 1
- 241000207961 Sesamum Species 0.000 description 1
- 235000003434 Sesamum indicum Nutrition 0.000 description 1
- 101100388071 Thermococcus sp. (strain GE8) pol gene Proteins 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C5/00—Devices or accessories for generating abrasive blasts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
- B26F3/00—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
- B26F3/004—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor by means of a fluid jet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
- B24C1/04—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for treating only selected parts of a surface, e.g. for carving stone or glass
- B24C1/045—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for treating only selected parts of a surface, e.g. for carving stone or glass for cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C3/00—Abrasive blasting machines or devices; Plants
- B24C3/02—Abrasive blasting machines or devices; Plants characterised by the arrangement of the component assemblies with respect to each other
- B24C3/04—Abrasive blasting machines or devices; Plants characterised by the arrangement of the component assemblies with respect to each other stationary
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、高速の研磨性流体ジェットを用いて板材を所
定のパターンにて切断する技術に関し、特にそのような
切断工程の間にカラス等の板材を支持するための新規な
方法及び装置に関する。
定のパターンにて切断する技術に関し、特にそのような
切断工程の間にカラス等の板材を支持するための新規な
方法及び装置に関する。
〈従来の技術〉
高速流体ジェットを用いて、種々の部材を切断し、ドリ
ル加工し、研磨加工する技術が公知となっている。この
ような目的で使われる装置は、流体を高圧室内にて35
001(g/cni(50,000PSI)以上の高圧
に加圧し1qる高圧流体源と、流体を切断領域に導くた
めの管路と、流体を高速かつ小径の切断ジェットとして
噴出するための極めて小さな、例えば(0,025m〜
1 、016nun(0,001インチ〜0.040イ
ンチ)のAリフィスロ径を有するノズルとを(幀えてい
る。このようにして形成されるジェットは、極めて高度
に集束されているため、僅かな損失を伴うのみて比較的
直径の小さなジェット、即ち噴流を形成する。
ル加工し、研磨加工する技術が公知となっている。この
ような目的で使われる装置は、流体を高圧室内にて35
001(g/cni(50,000PSI)以上の高圧
に加圧し1qる高圧流体源と、流体を切断領域に導くた
めの管路と、流体を高速かつ小径の切断ジェットとして
噴出するための極めて小さな、例えば(0,025m〜
1 、016nun(0,001インチ〜0.040イ
ンチ)のAリフィスロ径を有するノズルとを(幀えてい
る。このようにして形成されるジェットは、極めて高度
に集束されているため、僅かな損失を伴うのみて比較的
直径の小さなジェット、即ち噴流を形成する。
このような方法は、合成樹脂、木材、繊維等の様々な軟
質の材料、或いは岩石−1合金等の比較的硬質の材料等
を、円滑な切断面を形成するようにして切断するために
利用されてきた。また、従来の流体ジェットによっては
切断することのできない特殊な金属、セラミック材料、
ガラス等、硬質であって脆性を有する材料を切断するた
めに高速の流体ジェットに、シリカ砂、ガーネット等の
研磨剤を混入することも知られている。
質の材料、或いは岩石−1合金等の比較的硬質の材料等
を、円滑な切断面を形成するようにして切断するために
利用されてきた。また、従来の流体ジェットによっては
切断することのできない特殊な金属、セラミック材料、
ガラス等、硬質であって脆性を有する材料を切断するた
めに高速の流体ジェットに、シリカ砂、ガーネット等の
研磨剤を混入することも知られている。
高速の流体ジェットの力即ち衝撃力を吸収するためには
、切断されるべき材料を強固に支持する必要がある。こ
れは、板状の材料を正確に切断するために重要なことで
ある。板材が僅かにでも動くと切断線が予定の軌跡から
外れることとなり、切断工程に欠陥が生ずることとなる
。多くの切断及びドリル加工工程に於て、流体ジェット
は母材を完全に與通し、その下側の支持面に達すること
となる。そのため、支持面が浸蝕されることは云うまで
もない。流体ジェットが、ランダムにまたは一定のパタ
ーンにて繰返し母材を量適することにより、支持面を浸
蝕し、最終的には、支持面が十分強固な支持を行うこと
ができなくなり、支持体を交換しな【プればならなくな
る。そのため、切断されるべき板材は、剛固な支持フレ
ーム上に取着された消耗品としての板部材、即ち犠牲板
部材により支持し、このような犠牲板材を必要に応じて
交換するようにしていた。
、切断されるべき材料を強固に支持する必要がある。こ
れは、板状の材料を正確に切断するために重要なことで
ある。板材が僅かにでも動くと切断線が予定の軌跡から
外れることとなり、切断工程に欠陥が生ずることとなる
。多くの切断及びドリル加工工程に於て、流体ジェット
は母材を完全に與通し、その下側の支持面に達すること
となる。そのため、支持面が浸蝕されることは云うまで
もない。流体ジェットが、ランダムにまたは一定のパタ
ーンにて繰返し母材を量適することにより、支持面を浸
蝕し、最終的には、支持面が十分強固な支持を行うこと
ができなくなり、支持体を交換しな【プればならなくな
る。そのため、切断されるべき板材は、剛固な支持フレ
ーム上に取着された消耗品としての板部材、即ち犠牲板
部材により支持し、このような犠牲板材を必要に応じて
交換するようにしていた。
水を用いる従来形式のジェット切断装置を用いる場合に
は、従来、合板、Plexiglass (商標名)等
犠牲板部材とじてか用いられ、格別支障を生じることが
なかった。しかしながら、流体ジェット中に研磨剤を混
入することによりその切断能力か増大するに伴い、この
ような犠牲板部材の使用可能期間が大幅に短縮され、頻
繁に交換しなければならなくなった。このような犠牲板
部材は比較的廉価ではあるが、これを頻繁に交換し、そ
れに伴う装置の停止時間及び必要となる労力か過大とな
りがらであって、このような切断工程のコストを高1p
さける結果となった。
は、従来、合板、Plexiglass (商標名)等
犠牲板部材とじてか用いられ、格別支障を生じることが
なかった。しかしながら、流体ジェット中に研磨剤を混
入することによりその切断能力か増大するに伴い、この
ような犠牲板部材の使用可能期間が大幅に短縮され、頻
繁に交換しなければならなくなった。このような犠牲板
部材は比較的廉価ではあるが、これを頻繁に交換し、そ
れに伴う装置の停止時間及び必要となる労力か過大とな
りがらであって、このような切断工程のコストを高1p
さける結果となった。
また、ガラスや成る種の合成樹脂材お1等比較的脆い板
材を切断する際に、切断線の両側に隣接する領域を均一
に支持することが極めて重要であることか見出された。
材を切断する際に、切断線の両側に隣接する領域を均一
に支持することが極めて重要であることか見出された。
これは、切断過程中に、切断線の片側か他方の側よりも
垂れ下がることにより、流体ジェットが貫通ずる領域に
好ましくない応ツノを発生さけ、切断面にクラックを発
生ざμる事態を回避しなければならないからである。特
に、切断されるべき材料がガラスであって、車輌または
建築物に用いられるべく熱処理を行うものである場合に
は、肉眼によりかろうじて識別し得るような微細なりラ
ックであっても許容することかできない。このような熱
処理は、周知のように、曲げ加工、焼入れ、焼鈍し等を
含むもので、クラックを有する板ガラスに対してこのよ
うな熱処理を行った場合には、このようなりラックが拡
大し、板十オを破壊する可能性が高いからである。特に
、製造工程の末期に於ける板材の損失は、製造コストを
大幅に高騰さU、可及的に回避しなければならない。こ
のにうなりラックを有する板材が無事に熱処理過程を通
過し、販売された場合には、衝撃或いは太陽光線に対す
る露出にJ、り破壊する危険かある。このような状態に
ある焼入れ窓ノコラスが、残留応力の開放により、自然
に破壊し、微細なカラス片を飛散さける場合があること
か)、Uられている。従って、クラックのない板材を提
供覆る必要が強いことが理解されよう。
垂れ下がることにより、流体ジェットが貫通ずる領域に
好ましくない応ツノを発生さけ、切断面にクラックを発
生ざμる事態を回避しなければならないからである。特
に、切断されるべき材料がガラスであって、車輌または
建築物に用いられるべく熱処理を行うものである場合に
は、肉眼によりかろうじて識別し得るような微細なりラ
ックであっても許容することかできない。このような熱
処理は、周知のように、曲げ加工、焼入れ、焼鈍し等を
含むもので、クラックを有する板ガラスに対してこのよ
うな熱処理を行った場合には、このようなりラックが拡
大し、板十オを破壊する可能性が高いからである。特に
、製造工程の末期に於ける板材の損失は、製造コストを
大幅に高騰さU、可及的に回避しなければならない。こ
のにうなりラックを有する板材が無事に熱処理過程を通
過し、販売された場合には、衝撃或いは太陽光線に対す
る露出にJ、り破壊する危険かある。このような状態に
ある焼入れ窓ノコラスが、残留応力の開放により、自然
に破壊し、微細なカラス片を飛散さける場合があること
か)、Uられている。従って、クラックのない板材を提
供覆る必要が強いことが理解されよう。
上記したような従来の犠牲板部材は、切断されるべき板
材に対して安定かつ平坦な支持面を(;?供し梢るよう
に正6イ〔に整合されかつUいに近接して配設された複
数の金属製の横東上に取r1されてG)だ。このような
構造体によっても、初めの内は部分な支持を行うことが
できるが、この1M a体を艮朗間に亘って使用し、流
体に暴露することにより、支持板間に温度差を生じ、歪
みが発生すると同口5に支持面の平面度が失われてくる
。例えば合板等の材4′j1は、流体に長期間暴露する
のみてこのようになってしまう。前記したように、+2
7に切断さ4′シるべき板材が板ガラスである場合には
、支持面の平面度が失われることは、切断品質に対して
悪影響を及ぼす。
材に対して安定かつ平坦な支持面を(;?供し梢るよう
に正6イ〔に整合されかつUいに近接して配設された複
数の金属製の横東上に取r1されてG)だ。このような
構造体によっても、初めの内は部分な支持を行うことが
できるが、この1M a体を艮朗間に亘って使用し、流
体に暴露することにより、支持板間に温度差を生じ、歪
みが発生すると同口5に支持面の平面度が失われてくる
。例えば合板等の材4′j1は、流体に長期間暴露する
のみてこのようになってしまう。前記したように、+2
7に切断さ4′シるべき板材が板ガラスである場合には
、支持面の平面度が失われることは、切断品質に対して
悪影響を及ぼす。
透明な仮ガラスや合成樹脂板を切断するために研磨性の
流体ジェット用いる場合の第2の問題は、厳しい光学的
な要求を満足しなければならない点にある。これは、建
築物、航空機或いは車輌等め窓(Aとしての用途に関す
るもので、窓材を通して外界を正しく見ることとのでき
るように、窓材には光学的欠陥があってはならない一前
記したように、切断過程の間、板材は犠牲板部材の上面
に支持され、該板材を貫通した切断媒体は、支持面に対
しても切込むこととなる。研磨剤を含む流体ジェットか
支持板に衝当すると、成る程度の量の研磨4,1料が支
持板により反射されて、板ガラスの底面に衝当し、切断
線に隣接する領域に好ましくない曇を発生ずる場合があ
る。このような曇は、特に研磨製の流体ジェットが支持
板を完全に貫通し、ぞの直下に位置する金属製の補強梁
に反射した場合に特に現れ易い。このような曇が発生し
た場合、その度合によっては、窓材が所定の光学的要求
を;−1足することができず、不合格品とされる場合が
ある。
流体ジェット用いる場合の第2の問題は、厳しい光学的
な要求を満足しなければならない点にある。これは、建
築物、航空機或いは車輌等め窓(Aとしての用途に関す
るもので、窓材を通して外界を正しく見ることとのでき
るように、窓材には光学的欠陥があってはならない一前
記したように、切断過程の間、板材は犠牲板部材の上面
に支持され、該板材を貫通した切断媒体は、支持面に対
しても切込むこととなる。研磨剤を含む流体ジェットか
支持板に衝当すると、成る程度の量の研磨4,1料が支
持板により反射されて、板ガラスの底面に衝当し、切断
線に隣接する領域に好ましくない曇を発生ずる場合があ
る。このような曇は、特に研磨製の流体ジェットが支持
板を完全に貫通し、ぞの直下に位置する金属製の補強梁
に反射した場合に特に現れ易い。このような曇が発生し
た場合、その度合によっては、窓材が所定の光学的要求
を;−1足することができず、不合格品とされる場合が
ある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
このような従来技術の問題点に鑑み、本発明の主な目的
は、高速の流体ジェットによる切断過程に際して、切断
されるべき板材を支持するための新規な支持方法及び装
置を提供することにある。
は、高速の流体ジェットによる切断過程に際して、切断
されるべき板材を支持するための新規な支持方法及び装
置を提供することにある。
本発明の第2の目的は、流体ジェットにより板材を切断
するに際して、流体ジェットの軌跡を妨害することのな
い上記形式の支持方法及び装置を提供することに必る。
するに際して、流体ジェットの軌跡を妨害することのな
い上記形式の支持方法及び装置を提供することに必る。
本発明の第3の目的は、切断されるべき板材を均一に支
持するべく、切断線の両側部分を同一1而に保持し得る
ような一対の互いに共別Jする支持部材を有するような
上記形式の支持装置を提供することにある。
持するべく、切断線の両側部分を同一1而に保持し得る
ような一対の互いに共別Jする支持部材を有するような
上記形式の支持装置を提供することにある。
本発明の第4の目的は、前記支持部材の一方が、切断さ
れるべき板材を保持するための真空手段と、前記両支持
部材を整合゛するための調整手段を有σる一ヒ記形式の
支持装置を提供することにある。
れるべき板材を保持するための真空手段と、前記両支持
部材を整合゛するための調整手段を有σる一ヒ記形式の
支持装置を提供することにある。
本発明の第5の目的は、板材を所定のパターンにて切断
づるに際して、支持・口能を損うことなく長期間に亘っ
て使用可能な上記形式の支持装置を提イ」リ−ることに
ある。
づるに際して、支持・口能を損うことなく長期間に亘っ
て使用可能な上記形式の支持装置を提イ」リ−ることに
ある。
〈問題点を解決するだめの手段〉
このような[1的は、本発明によれば、胡麻性の流体ジ
ェットにより所定のパターンにて切断されるべさ脆性を
有する板材を均一に支持するための方法であって、前記
流体ジェットが前記所定のパターンにて前記板材を切断
するべく描く軌跡の外側に沿って前記板(・オの周縁部
を連続的に支持する過程と、切断されるへきパターンを
前記軌跡の内側にて前記周縁部の支持面と同一面により
個別に支持することをもって、前記軌跡に沿う板材の領
域を支持しないでおく過程と、前記流体ジェットを、前
記した支持されない領域に沿って通過さけることにより
、前記パターンを応力により破損することなく前記周縁
部を前記パターンから分離する過程とを有することを特
徴とする支持方法により達成される。
ェットにより所定のパターンにて切断されるべさ脆性を
有する板材を均一に支持するための方法であって、前記
流体ジェットが前記所定のパターンにて前記板材を切断
するべく描く軌跡の外側に沿って前記板(・オの周縁部
を連続的に支持する過程と、切断されるへきパターンを
前記軌跡の内側にて前記周縁部の支持面と同一面により
個別に支持することをもって、前記軌跡に沿う板材の領
域を支持しないでおく過程と、前記流体ジェットを、前
記した支持されない領域に沿って通過さけることにより
、前記パターンを応力により破損することなく前記周縁
部を前記パターンから分離する過程とを有することを特
徴とする支持方法により達成される。
〈作用〉
本発明によれば、)1コ体ジエツ1〜にJ、り切断され
るぺさ領域を全体的に均一かつ強固に支持し、その支1
)性能を[(1うことなく長期間に口って使用可能な支
持装置が提供される。この支持部δは、切断されるべき
1コ1定のパターンの輪郭に対して略同形をなし、かつ
僅かに大きな開口をイ1づる平坦な支1、′1板を右り
゛るものであって良い。前記開口内にて前記支持部材に
ス・1して独立に設けられた真空スタンドは、切断過程
に際して切断されるべき板材を強固に保持しかつ上下方
向に調節可能な複数の真空ヘッドを有するものであって
良い。パターンを母材から切出すに際して、前記第1の
支持部(Aは、母材の切断線よりも外側の領域を支持す
るために用いられ、真空スタンドは、切断線の内側の中
央領l或、即ちパターン領域を支持するために用いられ
る。真空ヘットを平坦な支持面に対して正確に調整可能
にしてあくことにより、仮柵を均等に支持することかで
き、切断される仮(・A中に有害なりラックか発生する
可能性を極少化することができる。
るぺさ領域を全体的に均一かつ強固に支持し、その支1
)性能を[(1うことなく長期間に口って使用可能な支
持装置が提供される。この支持部δは、切断されるべき
1コ1定のパターンの輪郭に対して略同形をなし、かつ
僅かに大きな開口をイ1づる平坦な支1、′1板を右り
゛るものであって良い。前記開口内にて前記支持部材に
ス・1して独立に設けられた真空スタンドは、切断過程
に際して切断されるべき板材を強固に保持しかつ上下方
向に調節可能な複数の真空ヘッドを有するものであって
良い。パターンを母材から切出すに際して、前記第1の
支持部(Aは、母材の切断線よりも外側の領域を支持す
るために用いられ、真空スタンドは、切断線の内側の中
央領l或、即ちパターン領域を支持するために用いられ
る。真空ヘットを平坦な支持面に対して正確に調整可能
にしてあくことにより、仮柵を均等に支持することかで
き、切断される仮(・A中に有害なりラックか発生する
可能性を極少化することができる。
〈実施例〉
以下、本発明の好適実施例を添付の図面について詳しく
説明する。
説明する。
第1図は、仮hラス切断システム10を示し、該システ
ムは光学式倣い装置12と研磨性流体ジェット切断装置
14とからなる。切断装置14は、本発明に基つく新規
な板材支持装置」6を有する。
ムは光学式倣い装置12と研磨性流体ジェット切断装置
14とからなる。切断装置14は、本発明に基つく新規
な板材支持装置」6を有する。
以下の説明は、図示された特定の輪郭切断装置について
行われるが、本発明にiづく板材支持装置16は、この
ような用途に限定されるものでなく、他の形式の輪郭切
断装置にも等しく利用することかできる。例えば、特定
のパターンを繰返し切断するために常用されるテンプレ
ート或いはカム/カムフAロワ装置を用いる切断装置、
或いはロボット、コンピュータ制御式の切断装置にも応
用することかできる。
行われるが、本発明にiづく板材支持装置16は、この
ような用途に限定されるものでなく、他の形式の輪郭切
断装置にも等しく利用することかできる。例えば、特定
のパターンを繰返し切断するために常用されるテンプレ
ート或いはカム/カムフAロワ装置を用いる切断装置、
或いはロボット、コンピュータ制御式の切断装置にも応
用することかできる。
図示された実施例に於て、流体ジェット切断装置1/4
は、タイバー20により光学式倣い装置12に機械的に
連結されたノズルアレンブリ18を右する。本発明を限
定するものではないが、この倣い装z112は、光電式
のものであって、テーブル26に載置された板部材24
に形成されたパターン、即ちテンプレート22に従って
ノズルアセンブリ1Bの運動をガイドする。光学式倣い
装置 “12は、横方向に長いレール30に滑
動自在に取着されたキレリッジ28に固設され、レール
30の両端は、一対のキャリッジ32及び34に固設さ
れている。キャリッジ32及び34は、床面42上に立
設されたスタンチオン40により互いに平行に支持され
たレール36及び38に滑動自在に菰るされている。
は、タイバー20により光学式倣い装置12に機械的に
連結されたノズルアレンブリ18を右する。本発明を限
定するものではないが、この倣い装z112は、光電式
のものであって、テーブル26に載置された板部材24
に形成されたパターン、即ちテンプレート22に従って
ノズルアセンブリ1Bの運動をガイドする。光学式倣い
装置 “12は、横方向に長いレール30に滑
動自在に取着されたキレリッジ28に固設され、レール
30の両端は、一対のキャリッジ32及び34に固設さ
れている。キャリッジ32及び34は、床面42上に立
設されたスタンチオン40により互いに平行に支持され
たレール36及び38に滑動自在に菰るされている。
ノズルアセンブリ18は、支持板46及び締結具48等
適宜な手段によりキ(・リッジ44に固設されている。
適宜な手段によりキ(・リッジ44に固設されている。
キャリッジ44は、タイバー20によりキャリッジ28
に対して間隔をおいて固設されており、Sれら両キVリ
ッジ28及び44間の間隔は、光学式倣い装置12及び
ノズルアセンブリ1Bかそれぞれ板部材24及σ阜仮1
Gをカム(、、¥)るように定められている。これらの
キレリッジ2B、32.34及び44は本発明の要部を
椙成するものでなく、従ってその詳しい説明は省略りる
。
に対して間隔をおいて固設されており、Sれら両キVリ
ッジ28及び44間の間隔は、光学式倣い装置12及び
ノズルアセンブリ1Bかそれぞれ板部材24及σ阜仮1
Gをカム(、、¥)るように定められている。これらの
キレリッジ2B、32.34及び44は本発明の要部を
椙成するものでなく、従ってその詳しい説明は省略りる
。
かくして、倣い装置12は、縦方向、横方向及び対角方
向等任意の方向に運動可能で、タイバー20及びレール
30によりキャリッジ28及び44か連動することから
、キャリッジ44とノズルアセンブリ18とか同一の運
動を1)う。通當動作に際して、倣い装置12は、板部
材24に形成された輪郭、即ちテンプレート22に従っ
て運動し、ノズルアセンブリ18は、キャリッジ44を
介して、4仮部拐24上のテンプレート22の輪郭に対
応する運動を行うこととなる。倣い装置12のAン/7
Iフ、自動−手動切換等の制御は、制御CiK 50か
ら行うことかできる。
向等任意の方向に運動可能で、タイバー20及びレール
30によりキャリッジ28及び44か連動することから
、キャリッジ44とノズルアセンブリ18とか同一の運
動を1)う。通當動作に際して、倣い装置12は、板部
材24に形成された輪郭、即ちテンプレート22に従っ
て運動し、ノズルアセンブリ18は、キャリッジ44を
介して、4仮部拐24上のテンプレート22の輪郭に対
応する運動を行うこととなる。倣い装置12のAン/7
Iフ、自動−手動切換等の制御は、制御CiK 50か
ら行うことかできる。
)Aコ体ジェット切断装置14の全体か第1図に示され
ており、該装置は、流体ポンプ54を駆動する電動モー
タ52を有し、流体ポンプ54は高圧ユニット58に、
管路56を介して作動流体を供給する。高圧ユニット5
8は、貯槽60等の流体源から供給される、例えば非イ
オン化水等を、703t(g/car (10,0OO
PSI )以上に胃圧し管路62に供給する。管路62
の先端には、ノズルアセンブリ18か取着され、ノズル
アセンブリ18は、支持装置16により支持される仮カ
ラス64に向りて、4へめて高速であってしかも小さな
直径を有づる流体ジェットを衝当さぼる。
ており、該装置は、流体ポンプ54を駆動する電動モー
タ52を有し、流体ポンプ54は高圧ユニット58に、
管路56を介して作動流体を供給する。高圧ユニット5
8は、貯槽60等の流体源から供給される、例えば非イ
オン化水等を、703t(g/car (10,0OO
PSI )以上に胃圧し管路62に供給する。管路62
の先端には、ノズルアセンブリ18か取着され、ノズル
アセンブリ18は、支持装置16により支持される仮カ
ラス64に向りて、4へめて高速であってしかも小さな
直径を有づる流体ジェットを衝当さぼる。
第3図に良く示されているにうに、ノ、ズルアレンブリ
18は、概ね箱型のハウジング66を有し、該ハウジン
グを上下に口通する通路70の上端にはねじ孔6εうか
設けられている。通路74をイーTすると共に外ねじを
有する継手72が、管路62の″tL端部に装着されて
いる。継手72の遊喘部に設りられたボス77の内部に
は窪み76−b稲堪プられ、” 極めて小さな口径、例
えば0.07mrtr−0,35mm(0,003イン
チ〜0.014インチ)の内径を有する噴出開口80を
有する流体ジェットオリフィス78が窪み76内に設け
られている。牟I木手72かねじ孔68内に螺合される
と、オリフィス78が通路70の上側縮径部82に緊密
に当接する。通路70の下端には、ノズル、即ち混合管
86を受容するための拡径部84が設けられている。こ
の混合管86は、第3図に良く示されているように、通
路70に圧入され、その摩1察力により保持されるが、
他の手段により適宜固るされていて良い。混合管86は
比較的小径の例えば0゜88mm〜3.17mm(0,
035インチ〜0.125インチ)の軸線方向通路88
を有し、該軸線方向通路の入口側端部には、オリフィス
78からのジェット流を好適に受容するべく外向きに誦
斗状に拡開された入口開口90か設けられている。
18は、概ね箱型のハウジング66を有し、該ハウジン
グを上下に口通する通路70の上端にはねじ孔6εうか
設けられている。通路74をイーTすると共に外ねじを
有する継手72が、管路62の″tL端部に装着されて
いる。継手72の遊喘部に設りられたボス77の内部に
は窪み76−b稲堪プられ、” 極めて小さな口径、例
えば0.07mrtr−0,35mm(0,003イン
チ〜0.014インチ)の内径を有する噴出開口80を
有する流体ジェットオリフィス78が窪み76内に設け
られている。牟I木手72かねじ孔68内に螺合される
と、オリフィス78が通路70の上側縮径部82に緊密
に当接する。通路70の下端には、ノズル、即ち混合管
86を受容するための拡径部84が設けられている。こ
の混合管86は、第3図に良く示されているように、通
路70に圧入され、その摩1察力により保持されるが、
他の手段により適宜固るされていて良い。混合管86は
比較的小径の例えば0゜88mm〜3.17mm(0,
035インチ〜0.125インチ)の軸線方向通路88
を有し、該軸線方向通路の入口側端部には、オリフィス
78からのジェット流を好適に受容するべく外向きに誦
斗状に拡開された入口開口90か設けられている。
通路70には、流体ジェット流中に砂、ガーネット等の
研磨材料を供給するための通路92が斜めに合流してい
る。所定量の研磨剤が、貯’+M 94から、レギュレ
ータ95及びフレキシブル管路96(第1図)を経て通
路9゛2に供給される。流体が通路70を通過するに伴
い、11JI fa材料も流体シェツト流中に吸入され
、吸入された研磨剤は、混合管86の通路88に至る前
に流体中に混合され、流体と共に加速される。このノズ
ルアセンブリ18の使用に際して、混合管86の先端は
、母材に対して、例えば0.76mm−6,35mtn
(0,030インチ〜0.250インチ程度の微少距
翻1をおいて密接され、シェツト流の拡散を極小化し、
切断に伴う切れ目の幅を極小化する。上記したノズルア
センブリは、当該技術に於て典型的であると考えられる
ものであって、本発明を何ら限定する−5のではない。
研磨材料を供給するための通路92が斜めに合流してい
る。所定量の研磨剤が、貯’+M 94から、レギュレ
ータ95及びフレキシブル管路96(第1図)を経て通
路9゛2に供給される。流体が通路70を通過するに伴
い、11JI fa材料も流体シェツト流中に吸入され
、吸入された研磨剤は、混合管86の通路88に至る前
に流体中に混合され、流体と共に加速される。このノズ
ルアセンブリ18の使用に際して、混合管86の先端は
、母材に対して、例えば0.76mm−6,35mtn
(0,030インチ〜0.250インチ程度の微少距
翻1をおいて密接され、シェツト流の拡散を極小化し、
切断に伴う切れ目の幅を極小化する。上記したノズルア
センブリは、当該技術に於て典型的であると考えられる
ものであって、本発明を何ら限定する−5のではない。
上記したように、従来は、高速流体ジェットによる切断
工程に際して様々な+オ料を好適に支持刃るために、犠
牲板部材が用いられていたが、研磨剤を利用する場合に
は、犠牲板部イΔのRj−命かあまりにも短1宿されて
しまうため、多くの産業的用jヱに於ては犠牲板部材を
用いることか実用的でなくなってきた。このような傾向
は、自動車用窓カラスの製造等の人m生産に於て待に灯
1著となってきた。このような大量生産の用途に前記し
た犠牲板部材と餌磨性流体ジェットとを併用した場合に
は、儀牲仮部(・Δの交]灸のために製造工程をMi繁
に中11Jiしなければならなくなる。前記したように
、このにうな製j青工程の中断は、製造コストに対して
(へめて不利な影響を及ぼすものである。
工程に際して様々な+オ料を好適に支持刃るために、犠
牲板部材が用いられていたが、研磨剤を利用する場合に
は、犠牲板部イΔのRj−命かあまりにも短1宿されて
しまうため、多くの産業的用jヱに於ては犠牲板部材を
用いることか実用的でなくなってきた。このような傾向
は、自動車用窓カラスの製造等の人m生産に於て待に灯
1著となってきた。このような大量生産の用途に前記し
た犠牲板部材と餌磨性流体ジェットとを併用した場合に
は、儀牲仮部(・Δの交]灸のために製造工程をMi繁
に中11Jiしなければならなくなる。前記したように
、このにうな製j青工程の中断は、製造コストに対して
(へめて不利な影響を及ぼすものである。
本発明(ユ、流体ジェットによる切断工程に際して、切
断されるべき板材を強固かつ均一に支持するための改良
された支持装置を提供するもので、この支持装置は、そ
の支持性能を損うことなく長JIIJ問使用可能なもの
である。この支持装置は、脆・計を右する板カラスを研
磨性の流体ジェットにより切断する場合に好適なもので
あって、本発明を限定するものではないが、適当なガラ
ス母材から様々な形状を有する自動車用窓カラスを製造
する場合について以下に更に詳しく説明する。
断されるべき板材を強固かつ均一に支持するための改良
された支持装置を提供するもので、この支持装置は、そ
の支持性能を損うことなく長JIIJ問使用可能なもの
である。この支持装置は、脆・計を右する板カラスを研
磨性の流体ジェットにより切断する場合に好適なもので
あって、本発明を限定するものではないが、適当なガラ
ス母材から様々な形状を有する自動車用窓カラスを製造
する場合について以下に更に詳しく説明する。
第2図及び第4図に示されているように、支持装置16
は、真空スタンド98と、後記するように適切な開口1
02を有する板部材100とを備えている。板部材10
0は、切断工程に伴い発生する使用済研磨剤やガラス粉
を収集するためのキレッチャータンク105の上側開口
端にボルト104により着脱自在に取着されている。タ
ンク105は、側壁107と底壁108とを有する有底
箱型椙造体106をなしている。その上側開口端には、
板部材100を支持するために正確に整合された複数の
構造部材110が固着されている。
は、真空スタンド98と、後記するように適切な開口1
02を有する板部材100とを備えている。板部材10
0は、切断工程に伴い発生する使用済研磨剤やガラス粉
を収集するためのキレッチャータンク105の上側開口
端にボルト104により着脱自在に取着されている。タ
ンク105は、側壁107と底壁108とを有する有底
箱型椙造体106をなしている。その上側開口端には、
板部材100を支持するために正確に整合された複数の
構造部材110が固着されている。
タンク105の中央部には描迄部IJ110か延在して
いないため、これら構造部材110が、真空スタンド9
8或いは第4図に破線Aにより示される流体ジェットの
軌跡と干渉することがない。
いないため、これら構造部材110が、真空スタンド9
8或いは第4図に破線Aにより示される流体ジェットの
軌跡と干渉することがない。
研磨材料の衝撃力及び混触作用に対抗し得るような緩梗
i特性を得る目的で、タンク105の底壁108には、
弾性的なゴムマット113により支持されたアルミニウ
ム製タイル112がライニングされている。タイルは、
例えば25.4mm<1インチ)のオーダの厚さを有し
、ゴムマット113は、6.4!Irm(1/4インチ
)の厚さを有するものであって良い。タイル及びマット
の厚さ及び組成は、単に例示のために示すもので本発明
の概念から逸脱することなく変更し得るものである。
i特性を得る目的で、タンク105の底壁108には、
弾性的なゴムマット113により支持されたアルミニウ
ム製タイル112がライニングされている。タイルは、
例えば25.4mm<1インチ)のオーダの厚さを有し
、ゴムマット113は、6.4!Irm(1/4インチ
)の厚さを有するものであって良い。タイル及びマット
の厚さ及び組成は、単に例示のために示すもので本発明
の概念から逸脱することなく変更し得るものである。
真空スタンド98は、平坦な基礎部材116に立設され
た複数の中空な管状柱114を有し、基礎部材116が
底壁のタイル112上に載置され、全体としてタンク1
05内に位置している。第2図、第4図及び第5図に良
く示されているように、各)1114の上端には例えば
螺合によりレジユーザ118が接続されている。各レジ
ューサ゛118は、外ねじを有する管状調節部材120
を受容するための内ねじ部119を有する。各調節部材
120の遊端には、真空ヘッド124を取着するための
継手部材122が設けられている。このようにして、調
節部材120をレジューサ118に対して回動すること
により、支持部材110に対する真空ヘッド124の上
下方向位置を正確に調節することができる。更に、真空
ヘッド124を所望の位置に固定するためのロックナツ
ト126が用いられている。管状柱114は、連通管1
28にJこり真空源に接続された真空管路130に共通
に接続されている。
た複数の中空な管状柱114を有し、基礎部材116が
底壁のタイル112上に載置され、全体としてタンク1
05内に位置している。第2図、第4図及び第5図に良
く示されているように、各)1114の上端には例えば
螺合によりレジユーザ118が接続されている。各レジ
ューサ゛118は、外ねじを有する管状調節部材120
を受容するための内ねじ部119を有する。各調節部材
120の遊端には、真空ヘッド124を取着するための
継手部材122が設けられている。このようにして、調
節部材120をレジューサ118に対して回動すること
により、支持部材110に対する真空ヘッド124の上
下方向位置を正確に調節することができる。更に、真空
ヘッド124を所望の位置に固定するためのロックナツ
ト126が用いられている。管状柱114は、連通管1
28にJこり真空源に接続された真空管路130に共通
に接続されている。
上記した真空スタンド94は4つの真空ヘッド124を
有するものであったが、真空ヘッドの数、配列或いは間
隔は、切断されるべき母材の形状に応じて定めれば良い
。重要なことは、ガラス等の脆い材料を切断Jるに際し
て、母材に対して極力好ましくない応力を加えることの
ないように母材を支持することである。前記したように
、仮ガラスの不均一な支持により発生する応ツノは、ク
ラックの発生の原囚となり、切断工程にある板ガラスの
破壊の原因となるばかりでなく、後の処理工程に於ける
仮ガラスの破損の原囚となる。
有するものであったが、真空ヘッドの数、配列或いは間
隔は、切断されるべき母材の形状に応じて定めれば良い
。重要なことは、ガラス等の脆い材料を切断Jるに際し
て、母材に対して極力好ましくない応力を加えることの
ないように母材を支持することである。前記したように
、仮ガラスの不均一な支持により発生する応ツノは、ク
ラックの発生の原囚となり、切断工程にある板ガラスの
破壊の原因となるばかりでなく、後の処理工程に於ける
仮ガラスの破損の原囚となる。
支持板100は、切断工程に際して発生ずる水分及び熱
に据置された場合でも、混触或いは歪みを発生すること
なく連続して使用し得るような十分な厚さと剛性とを有
する耐久性に富む材料からなるものであると良い。12
.7mm<1/2インチ)の厚さを有するアルミニウム
板がこのような要求を満足するものであることが見出さ
れた。このような支持板は、比較的軽量でおるために取
扱いが容易であるという利点がある。
に据置された場合でも、混触或いは歪みを発生すること
なく連続して使用し得るような十分な厚さと剛性とを有
する耐久性に富む材料からなるものであると良い。12
.7mm<1/2インチ)の厚さを有するアルミニウム
板がこのような要求を満足するものであることが見出さ
れた。このような支持板は、比較的軽量でおるために取
扱いが容易であるという利点がある。
支持板100の開口102は、切断されるべきパターン
の輪郭と略同形であってしかもその輪郭よりも僅かに大
きいものであるのが好ましい。開口102が、切断され
るぺぎパターンよりも僅かに大きいことにより、流体ジ
ェットへの!P/(跡(第4図〉に干渉することなく基
板64の外周縁を好適に支持することができる。
の輪郭と略同形であってしかもその輪郭よりも僅かに大
きいものであるのが好ましい。開口102が、切断され
るぺぎパターンよりも僅かに大きいことにより、流体ジ
ェットへの!P/(跡(第4図〉に干渉することなく基
板64の外周縁を好適に支持することができる。
例えば、母材から自動車の窓ガラスを製造するという!
11!型的な実施態様に於ては、切断されるべきパター
ンの輪郭に対応するテンプレート22を有する板部材2
4が、光学式倣い装置12のテーブル26上に載置され
る。前記したパターンに対して略同形であってしかもそ
れよりも若干大きい形状を有する開口102を備える支
持板100がキレツヂャータンク105の上面に取着さ
れ、真空スタンド98が開口102の中心位置に設置さ
れ、個々の真空ヘッド124が、支持板100の上面に
整合する高さに調整される。このようにして、真空スタ
ンド98及び支持板100が互いに共動することにより
、切断されるべき板材の全体を均一に支持するための平
坦な支持面を郭成することができる。本実施例の場合四
角形の板ガラスからなる母材64は開口102の上に載
置され、真空装置を作動させることにより、真空ヘッド
12/1か母材を保持する。
11!型的な実施態様に於ては、切断されるべきパター
ンの輪郭に対応するテンプレート22を有する板部材2
4が、光学式倣い装置12のテーブル26上に載置され
る。前記したパターンに対して略同形であってしかもそ
れよりも若干大きい形状を有する開口102を備える支
持板100がキレツヂャータンク105の上面に取着さ
れ、真空スタンド98が開口102の中心位置に設置さ
れ、個々の真空ヘッド124が、支持板100の上面に
整合する高さに調整される。このようにして、真空スタ
ンド98及び支持板100が互いに共動することにより
、切断されるべき板材の全体を均一に支持するための平
坦な支持面を郭成することができる。本実施例の場合四
角形の板ガラスからなる母材64は開口102の上に載
置され、真空装置を作動させることにより、真空ヘッド
12/1か母材を保持する。
所要の制御装置を作動させることにより切断装置14及
び倣い装置12を起動する。自動モードを用いた場合、
倣い装置12が板部′vJ24のテンプレート22に追
従する。前記したように、ノズルアセンブリ18は倣い
装置12に機械的に連結されており、倣い装置と同一の
運動を行うことにより母材64を切断する。倣い装置1
2及びノズルアセンブリ18の移動速度、流体圧力及び
冊磨削の供給釘は、研磨性の流体ジェットが母材を貫通
し、母材を中央部分132と外側部分133とに完全に
分離し得るように制御される。これら中央部分132と
外側部分133との間には1法及び重量の差が存在する
が、本発明に基づく支持装置16によれば、均一な支持
か可能であって、これら両部会のいずれも垂れ下がるこ
とかなく、応力に起因する破損の可能性を極小化するこ
とができる。1回の切断工程が柊rすると、制御装置か
停止され、ff14:Jから切出された中央部分132
及び外側部分133が支持装置16から取外される。
び倣い装置12を起動する。自動モードを用いた場合、
倣い装置12が板部′vJ24のテンプレート22に追
従する。前記したように、ノズルアセンブリ18は倣い
装置12に機械的に連結されており、倣い装置と同一の
運動を行うことにより母材64を切断する。倣い装置1
2及びノズルアセンブリ18の移動速度、流体圧力及び
冊磨削の供給釘は、研磨性の流体ジェットが母材を貫通
し、母材を中央部分132と外側部分133とに完全に
分離し得るように制御される。これら中央部分132と
外側部分133との間には1法及び重量の差が存在する
が、本発明に基づく支持装置16によれば、均一な支持
か可能であって、これら両部会のいずれも垂れ下がるこ
とかなく、応力に起因する破損の可能性を極小化するこ
とができる。1回の切断工程が柊rすると、制御装置か
停止され、ff14:Jから切出された中央部分132
及び外側部分133が支持装置16から取外される。
〈発明の効果〉
この支持装置に於ては、互いに共働する2つの支持部材
、即ち真空スタンド98及び支持板100が、研磨性流
体ジェットの軌跡に干渉することかない。従って、支持
部材に何等の混触が発生することがなく、その支持性能
を損うことなく長期間に亘って使用することができる。
、即ち真空スタンド98及び支持板100が、研磨性流
体ジェットの軌跡に干渉することかない。従って、支持
部材に何等の混触が発生することがなく、その支持性能
を損うことなく長期間に亘って使用することができる。
また、研磨性流体ジェットの軌跡が干渉を受けることが
ないことから、研磨性拐料が母材の下面に向けて反則さ
れることがないため、同部分に曇を発生させることがな
く、特に透明材料を切断する上で極めて有利である。
ないことから、研磨性拐料が母材の下面に向けて反則さ
れることがないため、同部分に曇を発生させることがな
く、特に透明材料を切断する上で極めて有利である。
以上本発明の好適実施例について説明したが、本発明は
上記に限定されず、本発明の概念から逸脱することなく
各部の形状、寸法及び配列並びに′ 発明の実施の手順
を種々変更することが可能である。
上記に限定されず、本発明の概念から逸脱することなく
各部の形状、寸法及び配列並びに′ 発明の実施の手順
を種々変更することが可能である。
第1図は本発明に基づく支持装置を有する研磨性流体ジ
ェノ1〜式切断システムの仝体内構成を示す斜視図であ
る。 第2図は第1図に示されたジェットノズルアセンブリ及
び支持装置を一部破断して示す拡大斜視図である。 第3図は上記実施例に用いられたジェットノズルアセン
ブリを一部破断して示ず拡大側面図である。 第4図は第2図の4−4線について見た断面図である。 第5図は、本発明に基づく支持装置に於ける調節可能な
社の1本を一部破断して示す拡大側面図である。 10・・・板ガラス切断システム 12・・・倣い装置 14・・・切断装置16・・
・支持装置 18・・・ノズルアセンブリ20・・
・タイバー 22・・・テンプレート24−・・板
部材26・・・テーブル 28・・・キトリッジ 30・・・レール32.34
・・・キャリッジ 36.38・・・レール 40・・・スタンチオン42
・・・床面 44・・・キトリツジ46・・・
克持仮 48・・・締結貝50・・・制御Q!R
52・・・電動モータ54・・・流体ポンプ 56・
・・管路58・・・高圧ユニット 60・・・貯槽62
・・・管路 64・・・仮ガラス66・・・ハ
ウジング 68・・・ねじ孔70・・・通路
72・・・継手74・・・通路 76・・・
窪み77・・・ボス 78・・・オリフィス8
0・・・開口 82・・・縮径部84・・・拡
径部 86・・・混合管88・・・通路
90・・・開口92・・・通路 94・・・
貯槽95・・・レキュレータ 96・・・管路98・・
・真空スタンド 100・・・板部材102・・・開口
104・・・ポル1〜105・・・キキIツチ
1ノータンク 10G・・・)荀造体 107・・・側壁108・
・・底壁 110・・・構造部材112・・・タ
イル 113・・・ゴムマット114・・・杜
116・・・基礎部材118・・・レジューサ“
119・・・内ねじ部120・・・調節部材 12
2・・・継手124・・・真空ヘット 126・・・ロ
ックナツト128・・・連通管 130・・・真空
色゛路132・・・中央部分 133・・・外側部分
特許出願人 リビーーオーウエンズーフオード・カンパ
ニー
ェノ1〜式切断システムの仝体内構成を示す斜視図であ
る。 第2図は第1図に示されたジェットノズルアセンブリ及
び支持装置を一部破断して示す拡大斜視図である。 第3図は上記実施例に用いられたジェットノズルアセン
ブリを一部破断して示ず拡大側面図である。 第4図は第2図の4−4線について見た断面図である。 第5図は、本発明に基づく支持装置に於ける調節可能な
社の1本を一部破断して示す拡大側面図である。 10・・・板ガラス切断システム 12・・・倣い装置 14・・・切断装置16・・
・支持装置 18・・・ノズルアセンブリ20・・
・タイバー 22・・・テンプレート24−・・板
部材26・・・テーブル 28・・・キトリッジ 30・・・レール32.34
・・・キャリッジ 36.38・・・レール 40・・・スタンチオン42
・・・床面 44・・・キトリツジ46・・・
克持仮 48・・・締結貝50・・・制御Q!R
52・・・電動モータ54・・・流体ポンプ 56・
・・管路58・・・高圧ユニット 60・・・貯槽62
・・・管路 64・・・仮ガラス66・・・ハ
ウジング 68・・・ねじ孔70・・・通路
72・・・継手74・・・通路 76・・・
窪み77・・・ボス 78・・・オリフィス8
0・・・開口 82・・・縮径部84・・・拡
径部 86・・・混合管88・・・通路
90・・・開口92・・・通路 94・・・
貯槽95・・・レキュレータ 96・・・管路98・・
・真空スタンド 100・・・板部材102・・・開口
104・・・ポル1〜105・・・キキIツチ
1ノータンク 10G・・・)荀造体 107・・・側壁108・
・・底壁 110・・・構造部材112・・・タ
イル 113・・・ゴムマット114・・・杜
116・・・基礎部材118・・・レジューサ“
119・・・内ねじ部120・・・調節部材 12
2・・・継手124・・・真空ヘット 126・・・ロ
ックナツト128・・・連通管 130・・・真空
色゛路132・・・中央部分 133・・・外側部分
特許出願人 リビーーオーウエンズーフオード・カンパ
ニー
Claims (8)
- (1)研磨性の流体ジェットにより所定のパターンにて
切断されるべき脆性を有する板材を均一に支持するため
の方法であって、 前記流体ジェットが前記所定のパターンにて前記板材を
切断するべく描く軌跡の外側に沿って前記板材の周縁部
を連続的に支持する過程と、切断されるべきパターンを
前記軌跡の内側にて前記周縁部の支持面と同一面により
個別に支持することをもって、前記軌跡に沿う板材の領
域を支持しないでおく過程と、 前記流体ジェットを、前記した支持されない領域に沿っ
て通過させることにより、前記パターンを応力により破
損することなく前記周縁部を前記パターンから分離する
過程とを有することを特徴とする支持方法。 - (2)脆性を有する前記板材がガラスであることを特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載の支持方法。 - (3)流体ジェットにより切断されるべき板材を支持す
るための装置であって、 フレームと、 前記板材の第1の部分を支持するべく平坦な上面及び開
口を有すると共に前記フレームに取着された第1の支持
部材と、 前記第1の支持部材の平坦な前記上面により支持される
前記第1の部分と概ね同一面にて前記板材の第2の部分
を支持するための手段を前記開口内に有し、かつ第1の
支持部材に対して独立に設けられた第2の支持部材とを
備えることを特徴とする支持装置。 - (4)前記開口が、前記板材よりも小さく、前記板材が
前記開口上に載置されることにより、前記板材の周縁部
、即ち第1の部分が平坦な前記上面により支持されるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第3項に記載の支持装置
。 - (5)前記第2の支持部材が真空スタンドを有し、前記
支持手段が、前記板材の前記第2の部分を保持するべく
、前記開口の周縁部に対して内側に間隔をおいて設けら
れた少なくとも一つの真空ヘッドを有することを特徴と
する特徴とする特許請求の範囲第4項に記載の支持装置
。 - (6)前記支持手段が複数の真空ヘッドを有し、前記真
空スタンドが、平坦な前記上面に対する前記真空ヘッド
の垂直方向位置を調節するための手段を有することを特
徴とする特許請求の範囲第5項に記載の支持装置。 - (7)倣い手段と、前記倣い手段により追従されるべき
パターンと、前記倣い手段により定められる軌跡に沿っ
て移動し、前記板材を該軌跡に沿って切断するための流
体ジェット切断手段とを備えることを特徴とする特許請
求の範囲第3項乃至第6項のいずれかに記載の支持装置
。 - (8)前記開口が、前記所定パターンと略同形であって
、しかも該パターンよりも僅かに大きいことを特徴とす
る特許請求の範囲第7項に記載の支持装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US654975 | 1984-09-27 | ||
US06/654,975 US4656791A (en) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | Abrasive fluid jet cutting support |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6191028A true JPS6191028A (ja) | 1986-05-09 |
Family
ID=24626978
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60210904A Pending JPS6191028A (ja) | 1984-09-27 | 1985-09-24 | 流体ジエツトにより切断される板材を支持するための方法及び装置 |
JP60210906A Pending JPS6191027A (ja) | 1984-09-27 | 1985-09-24 | ガラスの切断方法 |
JP60210905A Pending JPS6191026A (ja) | 1984-09-27 | 1985-09-24 | 強化板ガラスの切断方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60210906A Pending JPS6191027A (ja) | 1984-09-27 | 1985-09-24 | ガラスの切断方法 |
JP60210905A Pending JPS6191026A (ja) | 1984-09-27 | 1985-09-24 | 強化板ガラスの切断方法 |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4656791A (ja) |
JP (3) | JPS6191028A (ja) |
KR (1) | KR860002346A (ja) |
AU (1) | AU580624B2 (ja) |
BE (1) | BE903278A (ja) |
BR (1) | BR8504669A (ja) |
CA (1) | CA1248009A (ja) |
DE (1) | DE3533341A1 (ja) |
ES (1) | ES8609168A1 (ja) |
FR (1) | FR2570636A1 (ja) |
GB (1) | GB2164880B (ja) |
IT (1) | IT1182877B (ja) |
LU (1) | LU86086A1 (ja) |
SE (1) | SE460836B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022510115A (ja) * | 2019-10-25 | 2022-01-26 | 常州瑞賽環保科技有限公司 | 太陽光パネル用の解体装置 |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4702042A (en) * | 1984-09-27 | 1987-10-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Cutting strengthened glass |
KR930008692B1 (ko) * | 1986-02-20 | 1993-09-13 | 가와사끼 쥬고교 가부시기가이샤 | 어브레시브 워터 제트 절단방법 및 장치 |
JPS6328599A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-06 | 株式会社 スギノマシン | 脆性材料加工方法 |
US4865919A (en) * | 1987-01-02 | 1989-09-12 | Ppg Industries, Inc. | Method of fabricating a curved glass panel having a removable section and glass panel with a removable section |
AT387175B (de) * | 1987-03-20 | 1988-12-12 | Eckelt Josef | Verfahren und vorrichtung zur randentschichtung beschichteter glasscheiben fuer die isolierglaserzeugung |
US4836072A (en) * | 1988-04-21 | 1989-06-06 | Gerber Garment Technology, Inc. | Vacuum supply system for movable cutter |
FR2632554A1 (fr) * | 1988-06-09 | 1989-12-15 | Aerospatiale | Machine d'usinage |
US5003729A (en) * | 1988-10-11 | 1991-04-02 | Ppg Industries, Inc. | Support system for abrasive jet cutting |
US5040342A (en) * | 1988-10-11 | 1991-08-20 | Ppg Industries, Inc. | Method and apparatus for processing glass sheets |
US4934111A (en) * | 1989-02-09 | 1990-06-19 | Flow Research, Inc. | Apparatus for piercing brittle materials with high velocity abrasive-laden waterjets |
US4934112A (en) * | 1989-03-29 | 1990-06-19 | Libbey-Owens-Ford Co. | Multiple head abrasive cutting of glass |
FR2666802B1 (fr) * | 1990-09-19 | 1993-07-16 | Saint Gobain Vitrage Int | Preparation de plaques de verre faconnees avec commande numerique. |
US5127199A (en) * | 1991-01-08 | 1992-07-07 | Progressive Blasting Systems, Inc. | Abrasive water jet catch tank media transporting means |
US5346193A (en) * | 1991-10-08 | 1994-09-13 | Kitagawa Kogyo Co., Ltd. | Apparatus for sucking by negative pressure |
DE4134273C2 (de) * | 1991-10-17 | 1994-05-26 | Wolfgang Mayer | Vorrichtung zum Zuschneiden und zur Kantenbearbeitung plattenförmiger Werkstücke |
DE9113455U1 (ja) * | 1991-10-29 | 1992-03-19 | Foracon Maschinen- Und Anlagenbau Gmbh, 7518 Bretten, De | |
US5226636A (en) * | 1992-06-10 | 1993-07-13 | International Business Machines Corporation | Holding fixture for substrates |
US5364083A (en) * | 1992-07-15 | 1994-11-15 | The Boeing Company | Universal holding fixture end effector |
IT1255607B (it) * | 1992-09-21 | 1995-11-09 | Dispositivo per il bloccaggio ed il mantenimento in posizione di lastre di vetro sagomabili durante la loro lavorazione. | |
US5301012A (en) * | 1992-10-30 | 1994-04-05 | International Business Machines Corporation | Optical technique for rapid inspection of via underetch and contamination |
US5493767A (en) * | 1994-12-15 | 1996-02-27 | Thermwood Corporation | System and method for positioning workpieces on CNC machines |
US6299510B1 (en) * | 1998-04-28 | 2001-10-09 | Flow International Corporation | Abrasive removal system for use with high-pressure fluid-jet cutting device |
ES2165323B1 (es) * | 2000-05-26 | 2003-06-16 | Ingenieria De Aplicaciones S A | Equipo perfeccionado de corte por chorro de agua. |
WO2003002313A1 (en) | 2001-06-28 | 2003-01-09 | Shaw Jack B | Apparatus and method for cutting using a liquid fluid jet |
US6634928B2 (en) | 2001-11-09 | 2003-10-21 | International Business Machines Corporation | Fluid jet cutting method and apparatus |
SG121700A1 (en) * | 2001-12-28 | 2006-05-26 | Jetsis Int Pte Ltd | A method and related apparatus for cutting a product from a sheet material |
FI115038B (fi) * | 2002-07-25 | 2005-02-28 | Tuori Sami | Menetelmä leikkauslaitteen leikkauspään ohjaamiseksi |
US7338164B2 (en) * | 2003-07-31 | 2008-03-04 | Visx, Incorporated | Systems and methods for eye aberration and image sensor orientation |
US20060180579A1 (en) * | 2005-02-11 | 2006-08-17 | Towa Intercon Technology, Inc. | Multidirectional cutting chuck |
JP5063908B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2012-10-31 | Towa株式会社 | アブレイシブウォータージェットによる切断装置 |
SG136008A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-29 | Jetsis Int Pte Ltd | Platform and method for supporting a workpiece to be cut from sheet material |
US7866642B2 (en) * | 2006-10-24 | 2011-01-11 | The Boeing Company | Modular universal holding fixture |
ITTV20070162A1 (it) * | 2007-09-21 | 2009-03-22 | For El Base Di Vianello Fortun | Macchina automatica e procedimento automatico per la molatura del bordo perimetrale delle lastre di vetro. |
CN101868323B (zh) * | 2007-11-30 | 2014-10-29 | Flow国际公司 | 用于对工件进行机械加工的柔性支撑系统 |
US8132427B2 (en) | 2009-05-15 | 2012-03-13 | Corning Incorporated | Preventing gas from occupying a spray nozzle used in a process of scoring a hot glass sheet |
JP5332929B2 (ja) * | 2009-06-15 | 2013-11-06 | セントラル硝子株式会社 | シート材の切断方法および装置 |
CH702452A1 (de) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Micromachining Ag | Bearbeitungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels mindestens eines Flüssigkeitsstrahls. |
TW201200297A (en) * | 2010-06-22 | 2012-01-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Sand-blasting apparatus and method for shaping product with same |
TW201213047A (en) * | 2010-09-23 | 2012-04-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Cylindrical grinding apparatus and method for cylindrical grinding using same |
US11045969B2 (en) | 2011-07-28 | 2021-06-29 | Flow International Corporation | Catcher tank assembly of waterjet cutting system |
JP6022862B2 (ja) * | 2012-05-08 | 2016-11-09 | 株式会社不二製作所 | 硬質脆性基板の切り出し方法及び切り出し装置 |
FR2996803B1 (fr) * | 2012-10-12 | 2014-11-21 | Saint Gobain | Fabrication d'un vitrage feuillete muni d'un conducteur electrique |
CN105364724B (zh) * | 2014-08-26 | 2017-12-05 | 中国石油天然气股份有限公司 | 压裂试件的切割装置及方法 |
JP2017088467A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板に孔を形成する装置および方法 |
CN205325427U (zh) * | 2016-02-02 | 2016-06-22 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种基板研磨装置 |
CN113369969B (zh) * | 2021-05-25 | 2022-12-06 | 广州国显科技有限公司 | 一种加工设备以及加工方法 |
CN116572159B (zh) * | 2023-07-12 | 2024-03-22 | 德州正瑞健康科技有限公司 | 一种种植体表面处理喷砂装置及处理方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US750667A (en) * | 1904-01-26 | Vacuum-frame | ||
US1851028A (en) * | 1929-12-11 | 1932-03-29 | Louis J Kolb | Vacuum table |
NL68949C (ja) * | 1940-12-24 | 1900-01-01 | ||
US2379054A (en) * | 1944-05-05 | 1945-06-26 | Zuk Joseph | Sanding machine |
US2985050A (en) * | 1958-10-13 | 1961-05-23 | North American Aviation Inc | Liquid cutting of hard materials |
US3366857A (en) * | 1964-04-27 | 1968-01-30 | Westinghouse Canada Ltd | Co-ordinate drive line tracer |
CH504783A (de) * | 1969-06-20 | 1971-03-15 | Siemens Ag | Verfahren zum Abtrennen eines Körpers von einem scheibenförmigen Kristall und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
US3877334A (en) * | 1973-11-23 | 1975-04-15 | Gerber Garment Technology Inc | Method and apparatus for cutting sheet material with a fluid jet |
DE2646062C3 (de) * | 1976-10-13 | 1979-08-09 | Vereinigte Glaswerke Gmbh, 5100 Aachen | Numerisch gesteuerte Modellschneidemaschine für Glasscheiben |
SE444526B (sv) * | 1978-01-23 | 1986-04-21 | Western Electric Co | Sett att i lege och plan placera en substratbricka |
US4463639A (en) * | 1982-06-22 | 1984-08-07 | Gerber Garment Technology, Inc. | Fluid jet receiver positioner |
DE3339320C2 (de) * | 1983-10-29 | 1986-10-16 | VEGLA Vereinigte Glaswerke GmbH, 5100 Aachen | Verfahren zur Herstellung einer Verbundglasscheibe |
US4702042A (en) * | 1984-09-27 | 1987-10-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Cutting strengthened glass |
CA1252711A (en) * | 1984-09-27 | 1989-04-18 | Richard A. Herrington | Ultra-high pressure abrasive jet cutting of glass |
-
1984
- 1984-09-27 US US06/654,975 patent/US4656791A/en not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-08-28 CA CA000489512A patent/CA1248009A/en not_active Expired
- 1985-09-04 AU AU47045/85A patent/AU580624B2/en not_active Ceased
- 1985-09-11 GB GB08522488A patent/GB2164880B/en not_active Expired
- 1985-09-11 KR KR1019850006648A patent/KR860002346A/ko not_active Application Discontinuation
- 1985-09-12 ES ES546911A patent/ES8609168A1/es not_active Expired
- 1985-09-16 DE DE19853533341 patent/DE3533341A1/de not_active Withdrawn
- 1985-09-20 LU LU86086A patent/LU86086A1/fr unknown
- 1985-09-20 BE BE0/215612A patent/BE903278A/fr not_active IP Right Cessation
- 1985-09-24 BR BR8504669A patent/BR8504669A/pt not_active IP Right Cessation
- 1985-09-24 JP JP60210904A patent/JPS6191028A/ja active Pending
- 1985-09-24 JP JP60210906A patent/JPS6191027A/ja active Pending
- 1985-09-24 JP JP60210905A patent/JPS6191026A/ja active Pending
- 1985-09-26 FR FR8514258A patent/FR2570636A1/fr not_active Withdrawn
- 1985-09-26 IT IT48592/85A patent/IT1182877B/it active
- 1985-09-26 SE SE8504454A patent/SE460836B/sv not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022510115A (ja) * | 2019-10-25 | 2022-01-26 | 常州瑞賽環保科技有限公司 | 太陽光パネル用の解体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4656791A (en) | 1987-04-14 |
ES546911A0 (es) | 1986-07-16 |
CA1248009A (en) | 1989-01-03 |
SE8504454D0 (sv) | 1985-09-26 |
KR860002346A (ko) | 1986-04-24 |
GB2164880B (en) | 1988-07-06 |
BR8504669A (pt) | 1986-07-15 |
IT8548592A0 (it) | 1985-09-26 |
GB8522488D0 (en) | 1985-10-16 |
IT1182877B (it) | 1987-10-05 |
DE3533341A1 (de) | 1986-04-03 |
SE8504454L (sv) | 1986-03-28 |
AU580624B2 (en) | 1989-01-19 |
BE903278A (fr) | 1986-01-16 |
FR2570636A1 (fr) | 1986-03-28 |
JPS6191026A (ja) | 1986-05-09 |
SE460836B (sv) | 1989-11-27 |
AU4704585A (en) | 1986-04-10 |
ES8609168A1 (es) | 1986-07-16 |
JPS6191027A (ja) | 1986-05-09 |
LU86086A1 (fr) | 1986-03-11 |
GB2164880A (en) | 1986-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6191028A (ja) | 流体ジエツトにより切断される板材を支持するための方法及び装置 | |
EP0784517B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum feinstreinigen von oberflächen | |
EP1753679B1 (de) | Tisch zur aufnahme eines werkstücks sowie verfahren zur bearbeitung eines werkstücks auf einem solchen | |
EP0969947B1 (de) | Bearbeitungskopf für eine lasergravier- bzw. -schneidvorrichtung | |
US5532451A (en) | Combined cutting and welding process for manufacturing structural products, and apparatus implementing such a process | |
RU2292312C2 (ru) | Устройство для обработки плит материала | |
TW201025655A (en) | Device for manufacturing thin layer solar cell modules | |
DE102007060467A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen einer optischen Linse | |
CN116494132A (zh) | 激光辅助磨料水射流对射加工方法及装置 | |
DE19601331C1 (de) | Maschine zum Bohren, Nuten, Fräsen und Kantenbearbeiten von plattenförmigen Werkstücken aus Holz oder ähnlichen Werkstoffen | |
JP4317502B2 (ja) | 機械部品等洗浄装置 | |
JPS6291436A (ja) | ガラス板を切断するための方法、装置及びノズル管 | |
JP2001521443A (ja) | 垂直状態の板材、特にシートメタルにおける切断穴開け方法 | |
JPH04200888A (ja) | レーザ切断方法 | |
JPH04256600A (ja) | 流体ジェット式切削装置 | |
DE29920869U1 (de) | Werkstückträger für eine Bearbeitungsmaschine | |
JPS63207545A (ja) | 研磨装置 | |
JP3957060B2 (ja) | アブレシブジェット加工方法 | |
JPH06124969A (ja) | Icモールドの洗浄装置 | |
KR20240001404A (ko) | 잉크젯 시스템 | |
JPH04101800A (ja) | 液体噴流切断用設備の液体噴流受容装置 | |
JPS60149731A (ja) | スプレ−ノズル装置 | |
DE202019106951U1 (de) | Zusatzaggregat für eine Maschine zum Bearbeiten eines Werkstücks | |
JPH0249427A (ja) | 微細なゴミの除去装置 | |
JPH05245757A (ja) | 微粒子噴射加工方法及びこの方法を用いて加工したマイクロステージ |