JPS6177012A - カラ−フイルタの製法 - Google Patents
カラ−フイルタの製法Info
- Publication number
- JPS6177012A JPS6177012A JP59199787A JP19978784A JPS6177012A JP S6177012 A JPS6177012 A JP S6177012A JP 59199787 A JP59199787 A JP 59199787A JP 19978784 A JP19978784 A JP 19978784A JP S6177012 A JPS6177012 A JP S6177012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- agent
- color filter
- dyed
- substrate
- film agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔社業上の利用分野〕
この発明はカラーテレビ、その他のカラー表示装置に使
われるカラーフィルタの製法に関するものである。
われるカラーフィルタの製法に関するものである。
従来のカラーフィルタの製法として、ゼラチン等の可染
性樹脂に重クロム酸アンモニウム等の感光性物質を添加
したものを用い、これをガラス基土に塗布し、紫外線照
射して樹脂が十分架橋、硬化するようにする。その上に
フオトレジスｒｔ−［布し、所定のマスクを用いてパタ
ーン露光を行ない、現像する。そして上記樹脂が露出し
た部分に染料でたとえば赤色に染色する。以後同様の操
作をくり返して、赤、緑、青の三色を染め、最後にレジ
ストを剥離してカラーフィルタを得る。
性樹脂に重クロム酸アンモニウム等の感光性物質を添加
したものを用い、これをガラス基土に塗布し、紫外線照
射して樹脂が十分架橋、硬化するようにする。その上に
フオトレジスｒｔ−［布し、所定のマスクを用いてパタ
ーン露光を行ない、現像する。そして上記樹脂が露出し
た部分に染料でたとえば赤色に染色する。以後同様の操
作をくり返して、赤、緑、青の三色を染め、最後にレジ
ストを剥離してカラーフィルタを得る。
上述の従来例においては、染色前に樹脂が硬化している
ので、染料の樹脂への染着が少なくなり、十分な色濃度
が得られないという欠点があった。
ので、染料の樹脂への染着が少なくなり、十分な色濃度
が得られないという欠点があった。
この発明は上記従来技術における問題点を解決するもの
で、光硬化型で可染性の樹脂を膜剤として基板に塗布し
、膜剤が十分に架橋、硬化しない程、度に紫外−！１！
露光させるかまｆｃは乾燥して固化させた状懐で染色し
、最後に紫外線を照射して膜剤を十分に硬化させること
により、濃く染って、露光後は色ぬけの少ない安定なカ
ラーフィルタの製法を提供するものである。
で、光硬化型で可染性の樹脂を膜剤として基板に塗布し
、膜剤が十分に架橋、硬化しない程、度に紫外−！１！
露光させるかまｆｃは乾燥して固化させた状懐で染色し
、最後に紫外線を照射して膜剤を十分に硬化させること
により、濃く染って、露光後は色ぬけの少ない安定なカ
ラーフィルタの製法を提供するものである。
実施例１゜
酸性染料に可染で、樹脂自体は非水溶性の光硬化型アク
リル樹脂溶液をガラス等の基板の上にスピナーで塗布し
、これを１００℃で３０分乾燥して固化させた。、つい
で７０℃の酸性染料水溶液に１０分間浸して染色後、洗
浄、乾燥させた。最後に超高圧水銀灯により紫外線照射
をした。
リル樹脂溶液をガラス等の基板の上にスピナーで塗布し
、これを１００℃で３０分乾燥して固化させた。、つい
で７０℃の酸性染料水溶液に１０分間浸して染色後、洗
浄、乾燥させた。最後に超高圧水銀灯により紫外線照射
をした。
これによって色が濃く、安定なカラーフィルタを得た。
なお比較例として、上述の実施例と同じものを用いて、
紫外線照射により完全に硬化させた後に染色した場合は
染まりづらく、濃い色が出せなかった。
紫外線照射により完全に硬化させた後に染色した場合は
染まりづらく、濃い色が出せなかった。
実施例２
ゼラチン水溶液に光感受性硬化剤として重りａム酸アン
モニウムを添加した膜剤１をガラス等の基板２上にスピ
ナーで塗布した（第２図）。これを１００℃で３０分乾
燥させ固化させた。ついでこの上に７オトレジスト３を
塗布し、所定のパターンをもってマスク４を用いて露光
させた（第３図）０これを現像して７００の赤色の酸性
染料水溶液中に１０分間浸して膜剤１の露出した部分を
赤色Ｒに染めた（第４図）０つぎ〈レジストを塗布し別
のマスクを用いて露光、現像し、部分的に緑色Ｇに染め
、同様にして實色Ｂも染めてレジストを除去し赤、緑、
青の三色よりなるカラーパターンを形成し、最後に紫外
線を照射して膜剤１の樹脂が十分に架橋、硬化するよう
にしてカラーフィルタ５を完成させる（Ｋ１図）。
モニウムを添加した膜剤１をガラス等の基板２上にスピ
ナーで塗布した（第２図）。これを１００℃で３０分乾
燥させ固化させた。ついでこの上に７オトレジスト３を
塗布し、所定のパターンをもってマスク４を用いて露光
させた（第３図）０これを現像して７００の赤色の酸性
染料水溶液中に１０分間浸して膜剤１の露出した部分を
赤色Ｒに染めた（第４図）０つぎ〈レジストを塗布し別
のマスクを用いて露光、現像し、部分的に緑色Ｇに染め
、同様にして實色Ｂも染めてレジストを除去し赤、緑、
青の三色よりなるカラーパターンを形成し、最後に紫外
線を照射して膜剤１の樹脂が十分に架橋、硬化するよう
にしてカラーフィルタ５を完成させる（Ｋ１図）。
なおこの実施例で、膜剤１を暗所で乾燥、焼成して、ポ
ジ型フォトレジストによりパターニングを行ないレジス
トの露光を膜剤１の樹脂の固化と兼ねてもよい。すなわ
ち、乾燥、焼成だけだと、染色浴でゼラチンまで溶ける
おそれがあるが、ポジレジストの場合、露光部分がレジ
ストがとれてここを染色することになるので、必然的〈
レジストも少し露光して光硬化することになり、染色浴
で溶けなくなる。他方、膜剤１は完全に硬化していない
ので十分染色は行えるものである。
ジ型フォトレジストによりパターニングを行ないレジス
トの露光を膜剤１の樹脂の固化と兼ねてもよい。すなわ
ち、乾燥、焼成だけだと、染色浴でゼラチンまで溶ける
おそれがあるが、ポジレジストの場合、露光部分がレジ
ストがとれてここを染色することになるので、必然的〈
レジストも少し露光して光硬化することになり、染色浴
で溶けなくなる。他方、膜剤１は完全に硬化していない
ので十分染色は行えるものである。
本発明によれば、染色工程が樹脂の硬化前なので、色が
傾く染まり、しかも染色後に樹脂を硬化゛するので色ぬ
けやマイグレーションによる色のにじみが起きにりく、
安定なカラーフィルタを製造することができる。
傾く染まり、しかも染色後に樹脂を硬化゛するので色ぬ
けやマイグレーションによる色のにじみが起きにりく、
安定なカラーフィルタを製造することができる。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は本発明により製
造したカラーフィルタの断面図、第２〜４図はそれぞれ
製造工種を示す断面図である。 １・・・・・・膜剤 ２・・・・・・基板 ５・・・・・・カラーフィルタ 以 上
造したカラーフィルタの断面図、第２〜４図はそれぞれ
製造工種を示す断面図である。 １・・・・・・膜剤 ２・・・・・・基板 ５・・・・・・カラーフィルタ 以 上
Claims (3)
- （１）光硬化型で可染性の樹脂を膜剤として基板に塗布
し、上記膜剤が十分に硬化しない程度に紫外線露光させ
るかまたは乾燥して固化させた状態で染色し、最後に紫
外線を照射して上記膜剤を十分硬化させることを特徴と
するカラーフィルタの製法。 - （２）光硬化型で可染性の樹脂を膜剤として基板に塗布
し、上記膜剤が十分に硬化しない程度に紫外線露光させ
るかまたは乾燥して固化させ、その上にレジストでパタ
ーン形成後染色し、最後に紫外線を照射して上記膜剤を
十分硬化させる特許請求の範囲第１項のカラーフィルタ
の製法。 - （３）上記膜剤を赤、緑、青の三色に染める特許請求の
範囲第２項のカラーフィルタの製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199787A JPS6177012A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199787A JPS6177012A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタの製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177012A true JPS6177012A (ja) | 1986-04-19 |
Family
ID=16413600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59199787A Pending JPS6177012A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177012A (ja) |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP59199787A patent/JPS6177012A/ja active Pending
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